CN207512075U - 分段式光纤预制棒烧结炉装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种分段式光纤预制棒烧结炉装置，所述烧结炉装置包括炉芯管和能够上下移动的引杆，所述炉芯管主要由上管体、加热段管体和下管体组成，所述上管体和下管体采用石英玻璃管，所述加热段管体采用由耐高温材料制成的耐高温管体，所述上管体和下管体分别采用可拆连接方式固定安装在所述加热段管体的上端面和下端面，所述加热段管体的外侧的密封腔内设有加热件，所述炉芯管的上端设有用于端口密封的密封端盖和位于所述密封端盖上面的密封罩。本实用新型的炉芯管使用寿命长，降温至常温后无需更换炉芯管，能够再次升温使用，并可单独更换炉芯管的加热段管体，有利于减低生产成本，并有利于提高光纤产品的品质。

Description

分段式光纤预制棒烧结炉装置

技术领域

本实用新型涉及一种分段式光纤预制棒烧结炉装置，属光纤制造技术领域。

背景技术

光纤预制棒松散体的烧结工艺是以VAD法大规模批量制备大尺寸光纤预制棒中的一个关键环节，目前光纤预制棒松散体的烧结是在预制棒烧结炉中进行的，烧结炉设有炉芯管以及围绕在炉芯管高温区外侧的加热件，通过加热件在密封的炉芯管内形成高温区域，光纤预制棒上的松散体在高温作用下玻璃化，烧结过程中通常应在炉芯管内形成一个负压和洁净的环境，以避免外部杂质侵入和污染。

现有炉芯管采用石英玻璃管，基于石英玻璃本身的物化性质，在高温环境中，这种炉芯管会出现析晶现象，各处析晶的不均衡性及局部析晶缺陷会导致不均衡分布的应力，使炉芯管变脆，出现褶皱和开裂，使外界气体得以进入炉芯管的烧结腔内，影响光纤预制棒松散体的烧结，而由此引入的杂质会导致所制备的光纤衰减变大，不仅制约光纤品质的提升，而且当衰减超出允许的范围后，就必须更换炉芯管，这是影响现有炉芯管使用寿命的一个主要因素。

由于炉芯管应容纳预制棒并允许预制棒在其内腔中移动，所以炉芯管的尺寸比预制棒大，对于大尺寸光纤预制棒的烧结，由于炉芯管尺寸增大带来的密封问题更为明显。在现有技术背景下，大尺寸炉芯管通常是由多段石英玻璃管焊接起来的，对制作工艺的要求较高，制作成本昂贵，其使用寿命是影响生产成本的一个重要因素。另外，炉芯管的更换还影响着系统的稳定性，需要进行较长时间的系统调试，同样也影响着生产效率和生产成本。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种分段式光纤预制棒烧结炉装置，这种烧结炉的炉芯管使用寿命长，有利于减低生产成本，并有利于提高光纤产品的品质。

本实用新型的技术方案是：一种分段式光纤预制棒烧结炉装置，包括炉芯管和能够上下移动的引杆，所述炉芯管主要由上管体、加热段管体和下管体组成，所述上管体和下管体采用石英玻璃管，所述加热段管体采用由耐高温材料制成的耐高温管体，所述上管体和下管体分别采用可拆连接方式固定安装在所述加热段管体的上端面和下端面，与所述加热段管体相互连接成完整的炉芯管，所述加热段管体的外侧设有环绕该管体的密封腔，所述密封腔内设有加热件，所述加热件的数量为一个或多个，环形围绕在所述加热段管体的中部外侧，所述引杆的安装机架位于所述炉芯管的上方，所述引杆设有能够带动其上下移动和绕轴线旋转的引杆驱动装置。

当所述加热件的数量为多个时，可以在轴向上分为一层或多层，同一层上的多个加热件沿圆周均匀分布，当所述加热件数量为一个时，优选呈环形围绕在所述加热段管体的中部外侧的形状。

所述加热件优选电加热件。

所述引杆驱动装置可以采用任意适宜的现有技术，例如，可以采用与钻床等机床类似的进给和旋转装置。

所述引杆驱动装置的驱动电机优选采用伺服电机。

优选地，所述上管体和下管体与所述加热段管体之间的可拆连接方式均为通过密封连接件连接，所述密封连接件可以采用任意适宜的现有技术，例如，可以设有一个套管，将相连接的两管体的连接端分别从套管的两端插入套管中且与套管内壁之间的配合间隙足够小或者在与套管内壁之间的间隙中填充耐高温的密封材料，以同时实现固定连接和密封。

所述上管体和下管体上可以分别设有各自的炉芯管通风管，以分别用于炉芯管内腔的进出风，具体进出风流向可以依据实际需要。

所述炉芯管的上端可以设有用于端口密封的密封端盖和位于所述密封端盖上面的密封罩，所述密封端盖采用可拆连接方式固定在所述炉芯管的上端（例如，扣合在所述炉芯管的上端，可以在炉芯管上端设置用于与所述密封端盖配合的环形企口等配合结构，以利于密封端盖的定位和固定），所述密封罩采用可拆连接方式安装在所述炉芯管的上端和/或所述密封罩的顶盖为可开启顶盖（例如，采用扣合在密封罩侧壁上的盖子，或者与密封罩侧壁通过铰链连接的盖子等）。

由于预制棒的直径大于引杆之间，而引杆孔的尺寸不宜过大，预制棒无法通过引杆孔进入炉芯管内，因此，所述密封端盖优选采用分体构造，至少分为能够相互对合的两部分（例如两个能够相互对合为一个圆环的半圆环）并在对合处留有供所述引杆穿过的引杆孔，当所述密封罩在所述炉芯管上端的安装采用可拆连接方式时，所述密封罩采用分体构造，至少分为能够相互对合的两部分并在顶盖的对合处留有供所述引杆穿过的引杆孔。由此可以在不移出引杆的情况下将密封端盖和密封罩安上或拆下，并使引杆从对合后形成的引杆孔穿过，拆卸下密封端盖，打开密封罩的顶盖或拆卸下密封罩，预制棒就可以直接通过炉芯管上端端口进入炉芯管内。

当所述密封端盖采用能够相对对合的两部分且所述密封罩的顶盖为可开启顶盖，密封端盖的两部分优选大小相等且镜像对称，其中任意一部分的尺寸小于所述密封罩的水平方向的尺寸，即允许将密封端盖的两部分通过密封罩的顶部敞口放入密封罩的底部，盖住位于密封罩底部的炉芯管上端端口。

所述端面密封罩上可以设有密封罩通风管，所述密封罩通风管可以设置在密封罩的侧壁上，以便通过抽风方式在密封罩内形成一定的负压状态。

所述加热段管体的外侧可以设有环形围绕的密封腔壳体，所述密封腔壳体与所述加热段管体之间的密封空间构成所述的密封腔，所述密封腔壳体优选外形呈柱形的壳体，其上下端面的中央部位均设有供炉芯管穿过的炉芯管孔。

所述密封腔壳体上可以设有密封腔通风管，以便充入保护气体对加热件和加热段管体进行保护。

所述上管体和下管体与所述加热段管体之间的可拆连接方式可以采用任意适于管体间多次连接和拆分的连接方式，例如一种方便和常见的可拆连接方式为法兰连接，另一种方便和常见的可拆连接方式为相连接的两管体的连接端面上设有能够相互对合的企口结构，通过相应企口结构对合在一起，甚至还可以以相连接的两管体的平面端面相互对合，再一种方便的可拆连接方式是通过管箍或套管等各种形式的管道连接装置连接，例如将相连接的两管体的连接端插接在同一个连接用套管上，相连接的两管体之间的相对固定可以采用任意适宜的现有技术，可以是两管体之间的直接固定，也可以是分别固定在各自的或共同的机架上，可以依据现有技术在相互连接的管体之间设置密封，考虑到炉芯管的高温使用环境，管体之间的密封可以采用适应于相应高温环境的硬密封，在管体间不设密封或密封不严格的情形下，可以通过在炉芯管内抽真空（负压）和/或通入保护气体等方式避免外部气体进入。

所述密封罩与所述炉芯管顶部端口之间的可拆连接方式亦可以采用类似或其他适宜的可拆连接技术。

所述耐高温材料为适用于炉芯管所处高温的耐高温、耐腐蚀和不易引入杂质的材料，在炉芯管涉及的环境下具有所要求的稳定性和可靠性，不会出现石英玻璃管那种因析晶和应力不均匀等原因导致的褶皱和开裂，所述耐高温管体可以采用任意适宜的所述耐高温材料制成，例如，由石墨制成的石墨管体，所述石墨管体上可以镀有氧化膜以进一步改善其性能。

本实用新型用于光纤预制棒烧结的工作方法为：将待烧结的光纤预制棒松散体固定安装在所述引杆的下端，通过引杆驱动装置带动所述引杆下移，将预制棒松散体移至设定在所述上管体内的初始位置，加热件依据工艺要求在加热段管体内的高温烧结区形成所需的高温，所述引杆在引杆驱动装置的驱动下带动预制棒松散体进入和/或穿过加热段管体内的高温烧结区进行高温处理，然后重新返回上管体内的初始位置，所述高温处理的次数为一次或多次，使预制棒松散体实现所需的玻璃化，形成光纤预制棒，在将预制棒从炉芯管上方移至炉芯管内的过程中和从炉芯管内移至炉芯管上方的过程中，炉芯管的顶部不安装密封端盖，不安装密封罩或者将安装好的密封罩的顶盖打开，在预制棒进入炉芯管后，将密封端盖和密封罩安装好以进行炉芯管上端口的密封。所述高温处理的次数优选为两次。其中，第一次高温处理为脱水处理，通过所述下管体上设置的炉芯管通风管向炉芯管内持续通入惰性保护气体（例如，氦气、氮气等）和用作脱水剂的氯气，使炉芯管内压力处于正压状态（略高于环境大气压），通过所述上管体上的炉芯管通风管排出尾气，通过加热件使高温烧结区的温度达到脱水处理温度，引杆在引杆驱动装置的驱动下匀速下移且匀速旋转，待预制棒松散体穿过加热段管体的高温烧结区后，关闭氯气，将脱水后的预制棒松散体提升至起始位置；第二次高温处理为玻璃化烧结处理，在完成第一次高温处理后进行，通过加热件时高温烧结区处于玻璃化烧结温度，引杆在引杆驱动装置的驱动下匀速下移且匀速旋转，待预制棒松散体穿过加热段管体的高温烧结区后，引杆在引杆驱动装置的驱动下匀速上移且匀速旋转，直至玻璃化的预制板返回起始位置。所述脱水处理温度和玻璃化烧结温度优选分别为1050-1100℃和1450-1500℃，所述脱水处理中引杆的下移速度可以为3-8mm/min，下移过程的旋转速度可以为3-6rpm，上移速度可以为5-10mm/min，在玻璃化烧结处理过程中，引杆的下移速度可以为5-10mm/min，下移过程的旋转速度可以为3-6rpm，上移速度可以为5-10mm/min，上移过程的旋转速度可以为3-6rpm。在全部高温处理过程中，优选密封罩抽真空，优选密封腔通入惰性气体保护且处于正压状态。

本实用新型的有益效果为：由于采用了分段式炉芯管并通过可拆连接方式实现各段管体之间的连接，当加热段管体不能继续使用时，可以单独更换加热段管体，无需对更换整个炉芯管，由此节省了炉芯管的更换成本，并在延长炉芯管（加热段管体）更换周期的同时，简化和方便了加热段管体的更换作业，减小了因炉芯管更换对系统造成的负面影响，有助于提高光纤品质；由于加热段管体可以采用耐高温材料，在烧结过程中具有更好的热稳定性和化学稳定性，能够避免或大幅度减轻因高温和温度大幅度波动时导致的不利变化，延长使用寿命，同时环境温度较低的上管体和下管体能够继续采用高纯石英玻璃管，在保证使用寿命的同时有利于降低成本；由于密封罩采用分体构造并以可拆连接方式安装，在预制棒松散体从炉芯管上方进入炉芯管的过程中，可以将密封罩拆下来，不会妨碍预制棒松散体的移动，而在预制棒松散体进入炉芯管后，特别是在烧结过程中，可以将密封罩安装在炉芯管上，实现对炉芯管端口的密封，避免影响炉芯管内的温度和气体成分等。

附图说明

图1是本实用新型的构造示意图；

图2是与图1对应的A-A剖面构造示意图；

图3-图5分别为采用本实用新型烧结的光纤预制棒拉丝后制得的G.652D常规单模光纤在1310nm波长、1383nm波长和1550nm波长的衰减系数表。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1和图2所示，本实用新型的烧结炉可用于光纤预制棒松散体的烧结，烧结炉的炉芯管由上管体10、加热段管体18和下管体20通过相应的密封连接件12依次连接，使用了耐高温材料制成炉芯管的加热段管体，置于加热件围绕的空间，加热段管体内对应的高温区域为高温烧结区15，通过炉芯管的分段式设计，解决了现有一体式石英玻璃炉芯管的高温区部分容易产生析晶并由此引发一系列故障的缺点。

所述炉芯管的上管体10和下管体20采用石英玻璃管，上管体内的空间11应足以能够容纳预制棒，可以在上管体内设定初始位置，作为预制棒进行高温处理的起点位置，炉芯管中间的加热段管体18是可更换的，采用可拆连接方式与上管体和下管体连接，需要更换时将加热段管体拆下来更换即可，加热段管体18由适于炉芯管工作条件的耐高温材料制作而成，由石英玻璃管构成的上、下管体10、20和耐高温的加热段18之间的密封连接件可以采用密封法兰形式，加热段管体18和加热件14的外面有一个环形围绕的密封腔壳体19，密封腔壳体与加热段管体及密封连接件之间的密封空间构成密封腔13，所述加热件设置在密封腔内，工作时，密封腔由密封腔通风管17通入惰性气体，防止加热件和加热段管体18氧化，设置于密封腔通风管上的压力探测器16用于探测密封腔内的压力（进气侧压力），惰性气体从密封腔通风管17进入密封腔内，使密封腔处于一个高压的状态（正压状态），密封腔壳体19外部的气体不会进入到密封腔13内，加热件14和耐高温炉芯管18不易被氧化。

在选择加热段管体18的材料时，要考虑耐高温、耐腐蚀且不易引入新的杂质。这种分段式炉芯管的上、下管体10、20，由于远离高温区，可以采用石英玻璃管且不会出现析晶现象，稳定性较好，不需要频繁更换，加热段管体是炉芯管的中间部分，应选取耐高温、耐腐蚀和不易引入杂质的材料，且该管体是可以更换的。

用于各炉芯管各管体连接的密封连接件可以采用任意适宜的现有技术，例如，可以设有一个套管，将相连接的两管体的连接端分别从套管的两端插入套管中且与套管内壁之间的配合间隙足够小，以同时实现固定连接和密封，其中一个方便的方式为密封连接用的密封法兰。

设置在上管体和下管体上的炉芯管通风管7、22用于炉芯管的进出风，以便通过保护气体，需要时还可以通入脱水剂气体，上管体上的炉芯管通风管可以设有真空泵8，以便对炉芯管内腔抽真空，下管体上的炉芯管通风管可以设有压力探测器21，用于探测炉芯管内气体压力（进气侧压力）。

用于安装引杆1的机架（未绘出）延伸至炉芯管的上方，将引杆安装在位于炉芯管上方的机架上，并使引杆能够相对于机架上下移动和绕其自身轴线旋转，可以设置限定引杆活动空间的套管或类似通孔状的限位结构，只允许引杆上下移动和旋转，在机架上安装引杆的驱动装置2，用于驱动引杆上下移动和旋转，工作时将预制棒（或称预制棒松散体）9固定安装在引杆的下端，使其随着引杆同步运动。

所述引杆驱动装置可以采用任意适宜的现有技术，例如，可以采用与钻床等机床类似的进给和旋转装置，可以分别设置能够带动引杆旋转的旋转驱动电机和能够带动引杆上下移动的移动驱动电机，也可以设置统一的驱动电机通过相应的传动机构同时带动引杆旋转和上下移动，所述电机优选采用伺服电机。

炉芯管的上端设置可拆的密封端盖6，还设置位于密封端盖上面的可拆或可开启的密封罩5，所述密封端盖安装好后构成所述密封罩的底面，围出密封罩腔，所述密封端盖和密封罩可以采用适宜的现有技术，例如，所述密封端盖可以采用遮挡在炉芯管上端端口上的向内凸起的内凸缘结构或者称为环状，可以为两个对称的半环形，内凸缘结构的中孔构成密封法兰的引杆孔，所述密封罩罩在所述密封端盖上，与密封端盖共同构成上下面中央部位带有引杆孔的柱形箱体，密封端盖以底面紧贴在炉芯管的上端端面上等方式封住炉芯管的上端端口，形成与炉芯管的上端端面之间的密封，由于引杆孔与引杆之间需要一定的配合间隙，以允许引杆上下移动和旋转，通过设置密封罩并在密封罩上设置密封罩通风管3，能够通过该通风管对密封罩内抽真空，在密封端盖的上下两侧形成一定的压力差，由此可以避免外部气体从引杆孔与引杆之间的配合间隙进入炉芯管内，所述密封罩通风管上可以设置真空泵4，用于密封罩内的抽气。

在烧结开始前，先将炉芯管的加热段管体18内的温度加热至脱水温度，保温保压一段时间后开始烧结，将预制棒松散体9固定在引杆1上，通过驱动装置2的伺服电机驱动引杆带动松散体缓慢进入到上管体的腔体11中，待松散体完全进入烧结炉腔体11后停止下降，用密封端盖6盖住炉芯管的上端端口实现密封，密封后合上密封罩5，通过密封罩的真空泵4抽气，排除密封处渗出的废气。

这种烧结炉的使用方法或采用这种烧结炉的预制棒烧结方法的主要步骤和注意事项为：

1）初次使用确定高温区炉芯管附近温场分布：

在炉芯管进行第一次升温时，当温度提升到设定的玻璃化烧结温度1450-1500℃后，先进行空烧，使用热电偶从炉芯管顶部以固定速度伸入炉芯管内的高温烧结区，测量高温烧结区域及附近的温场分布，以确定松散体的初始位置，预制棒松散体的初始位置优选为比玻璃化设定温度低100摄氏度的位置处，通常可以位于上管体内，测试完毕后将炉芯管温度降低到脱水温度1050-1100℃，进行保温。

2）光纤预制棒松散体的安装：

打开密封罩，取出密封端盖，将光纤预制棒松散体安装于引杆上，通过程序控制引杆驱动装置的伺服电机，使松散体以5-10 mm/s的速度下降到第1步中确定的初始位置处，扣上密封端盖，盖上密封罩的顶盖，开启相应的真空泵进行抽气，使密封罩内为负压状态。

3）脱水烧结

通过密封腔的通风管向腔内通入流量为4-8 SLM的氮气，使密封腔处于高压状态，实现充气密封，腔体中的气压可略高于外部大气压，使大气中的氧气不会进入到烧结炉内即可。通过下管体的通风管从底部向炉芯管内缓慢通入流量为3-5 SLM的惰性气体氦气和1-2SLM的脱水剂氯气，同时从上管体的通风管抽出脱水废气，在向炉芯管内通入气体的同时，通过伺服电机使松散体以3-8 mm/min的速度下降，并且同时以3-6 rpm的转速旋转，松散体进入到加热段管体内的高温烧结区中进行脱水处理，脱水过程中涉及到的反应是：

Cl₂+2OH-=2HCl+O₂

4）玻璃化烧结：

待松散体完全通过高温烧结区后，关闭氯气进入，以5-10 mm/min的速度将脱水后的松散体提升至初始位置，通过加热件将高温区的温度以5-10 ℃/min的速度升温至1450-1500 ℃。升温结束后，将脱水后的松散体以5-10 mm/min的下降速度和3-6 rpm的旋转速度再次送入高温烧结区，在高温烧结区中，松散体中的气孔会缓缓闭合从而致密化，致密化后形成透明的玻璃棒，松散体中的气孔在致密化的过程中，气孔中的气体会从松散体的上部流出，这一过程为松散体玻璃化的过程。待松散体完全通过高温烧结区后，玻璃化过程完成，此时以5-10 mm/min的提升速度和3-6 rpm的旋转速度将玻璃化后的光纤预制棒提升至初始位置，在提升的过程中光纤预制棒再一次通过高温烧结区，进一步减小玻璃化后的光纤预制棒中的应力，使预制棒的密度分布更均匀，将预制棒提升到初始位置后，松散体的烧结过程全部完成，取预制棒后，烧结炉进行降温到脱水温度进行保温，以待下次烧结。

5）衰减验证

初始几次烧结的光纤预制棒需要对拉丝后1383 nm处的衰减进行验证，以调节脱水氯气在一个较为合适的值，在正常生产后，关注1310 nm、1383 nm和1550 nm处的衰减情况，以便在必要时调整工艺参数。

6）降温后再次升温

在炉芯管使用次数达到一定值时，对炉芯管进行降温到常温，对加热件、炉体和炉芯管进行安全检查，由于加热段管体采用耐高温材料，例如镀了防氧化膜的石墨管，检查后如确认无需更换该管体，直接进行升温操作，以3-5℃/min的速度将炉芯管温度提升到设定的脱水温度，进行保温处理，保温处理后再次使用时重复步骤1-5，对于再次升温后炉芯管烧结出芯棒的衰减情况进行了跟踪，二次升温后需关注光纤在1310 nm、1383 nm和1550 nm波长处的衰减情况，和炉芯管第一次升温的情况进行对比发现，保证衰减值仍在标准范围内。

图3-5分别显示了以本实用新型制备的光纤预制板通过常规方式制备的G.652D常规单模光纤在1310nm波长衰减系数、在1383nm波长衰减系数和在1550nm波长衰减系数，其中可以看出，在炉芯管初次升温和二次升温下，本实用新型制备的光纤预制棒拉丝后的光纤具有良好衰减性能。

由于烧结过程是将沉积的预制棒松散体烧结称为玻璃化的预制棒，从宏观角度看，烧结前的预制棒松散体和烧结后的预制棒是同一实物且其微观构造变化是渐进的，本说明书所称预制棒和预制棒松散体及其他类似术语（相应的简称、全称）均指代该宏观实物。

本实用新型公开的各优选和可选的技术手段，除特别说明外及一个优选或可选技术手段为另一技术手段的进一步限定外，均可以任意组合，形成若干不同的技术方案。

Claims (11)

1.一种分段式光纤预制棒烧结炉装置，包括炉芯管和能够上下移动的引杆，其特征在于所述炉芯管主要由上管体、加热段管体和下管体组成，所述上管体和下管体采用石英玻璃管，所述加热段管体采用由耐高温材料制成的耐高温管体，所述上管体和下管体分别采用可拆连接方式固定安装在所述加热段管体的上端面和下端面，与所述加热段管体相互连接成完整的炉芯管，所述加热段管体的外侧设有环绕该管体的密封腔，所述密封腔内设有加热件，所述加热件的数量为一个或多个，环形围绕在所述加热段管体的中部外侧，所述引杆的安装机架位于所述炉芯管的上方，所述引杆设有能够带动其上下移动和绕轴线旋转的引杆驱动装置。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于所述上管体和下管体与所述加热段管体之间的可拆连接方式均为通过密封连接件连接。

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述引杆驱动装置的驱动电机采用伺服电机。

4.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述上管体和下管体上分别设有各自的炉芯管通风管。

5.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述炉芯管的上端设有用于端口密封的密封端盖和位于所述密封端盖上面的密封罩，所述密封端盖采用可拆连接方式固定在所述炉芯管的上端端口上，所述密封罩采用可拆连接方式安装在所述炉芯管的上端和/或所述密封罩的顶盖为可开启顶盖。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于所述密封端盖采用分体构造，至少分为能够相互对合的两部分并在对合处留有供所述引杆穿过的引杆孔，其在所述炉芯管的上端的安装方式为扣合在所述炉芯管的上端，当所述密封罩在所述炉芯管上端的安装采用可拆连接方式时，所述密封罩采用分体构造，至少分为能够相互对合的两部分并在顶盖的对合处留有供所述引杆穿过的引杆孔。

7.如权利要求5所述的装置，其特征在于所述端面密封罩上设有密封罩通风管。

8.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于所述加热段管体的外侧设有环形围绕的密封腔壳体，所述密封腔壳体与所述加热段管体之间的密封空间构成所述的密封腔，所述密封腔壳体的上下端面的中央部位均设有供炉芯管穿过的炉芯管孔。

9.如权利要求8所述的装置，其特征在于所述密封腔壳体上设有密封腔通风管。

10.如权利要求8所述的装置，其特征在于所述加热件为电加热件。

11.如权利要求8所述的装置，其特征在于所述密封腔壳体呈柱形。