JPS6184883A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発振装置Info
- Publication number
- JPS6184883A JPS6184883A JP20664484A JP20664484A JPS6184883A JP S6184883 A JPS6184883 A JP S6184883A JP 20664484 A JP20664484 A JP 20664484A JP 20664484 A JP20664484 A JP 20664484A JP S6184883 A JPS6184883 A JP S6184883A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- particles
- discharge
- tungsten
- amount
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、レーザ媒質を放電励起してレーザ発振を行な
うガスレーザ発振Ｓ装置に関するものである。
うガスレーザ発振Ｓ装置に関するものである。
従来の技術
レーザ媒質であるガスにエネルギーを注入し、励起する
手段の一つとして多く用いられる方法が、グロー放電に
よるレーザ媒質励起Ｃあることは周知である。グロー放
電は、レーザ媒質中に均一に１ネルギーを注入する効果
があるので、レーザ媒質を均一に効率よく励起すること
が可能である。
手段の一つとして多く用いられる方法が、グロー放電に
よるレーザ媒質励起Ｃあることは周知である。グロー放
電は、レーザ媒質中に均一に１ネルギーを注入する効果
があるので、レーザ媒質を均一に効率よく励起すること
が可能である。
そこで、エネルギーをより多く注入してレーザ媒質を励
起し、＾出力のレーザ光を得るためには、放電電流耐を
増大すればよいのであるが、放電の状態は放電電流吊り
変化に影費を受けやすいという欠点がある。ずなわら、
グロー放電状態の放電管のｔｌｉ電電流聞を増大してや
ろうとすると、ある限界点で放心状態がグロー放電から
アーク放Ｍ＋、：移行してしまうのである。この現象の
要因の一つとして考えられるのが、電極表面上の過度の
電流集中（陰極輝点）である。
起し、＾出力のレーザ光を得るためには、放電電流耐を
増大すればよいのであるが、放電の状態は放電電流吊り
変化に影費を受けやすいという欠点がある。ずなわら、
グロー放電状態の放電管のｔｌｉ電電流聞を増大してや
ろうとすると、ある限界点で放心状態がグロー放電から
アーク放Ｍ＋、：移行してしまうのである。この現象の
要因の一つとして考えられるのが、電極表面上の過度の
電流集中（陰極輝点）である。
ｔ！ｉ電状態がアーク放電になれば、レーザ媒質中の一
部分にしか電流が流れなくなり、効率のよいレーＦｆ′
媒質励起が不可能となる。。
部分にしか電流が流れなくなり、効率のよいレーＦｆ′
媒質励起が不可能となる。。
以下、第３図を参照しながら従来例について説明を行う
。
。
第３図は、従来のガスレーザ発＠装置の放電用電極によ
る電子放出の状態を示したものである。
る電子放出の状態を示したものである。
ここで１はＰＡ極、２は陰極であり、双方°とも材質は
銅である。第３図（ａ ）に示すように、グロー放電状
態では、陰極２の表面から図中−〇で表示する電子が一
様に放出される。しかし、族Ｎ電流量を増大させていく
と、第３図（ｂ）に示すように陰極２の表面上の温度分
布に不均一さが生じ、局所的に温度上昇を生じた所から
熱電子が放出され、アーク放電に移行するのである。す
なわち、局所的に電気伝導度の優れ／Ｃ部分に電流が集
中し、陰極輝点が生じるのである。
銅である。第３図（ａ ）に示すように、グロー放電状
態では、陰極２の表面から図中−〇で表示する電子が一
様に放出される。しかし、族Ｎ電流量を増大させていく
と、第３図（ｂ）に示すように陰極２の表面上の温度分
布に不均一さが生じ、局所的に温度上昇を生じた所から
熱電子が放出され、アーク放電に移行するのである。す
なわち、局所的に電気伝導度の優れ／Ｃ部分に電流が集
中し、陰極輝点が生じるのである。
よって、放電電流量を増大させたときのグロー放電から
アーク放電への移行を抑制づるためには、局所的な電流
の集中を分散させることが必要である。
アーク放電への移行を抑制づるためには、局所的な電流
の集中を分散させることが必要である。
凡用が解決しようとする問題点
本発明は、上記欠点に鑑み、グロー放電を維持したまま
従来よりも放電電流量を増大させ、レーザ媒質励起を高
効率で行なうことにより高出力発振可能なガスレーザ発
掘装置を提供しようとするものである。
従来よりも放電電流量を増大させ、レーザ媒質励起を高
効率で行なうことにより高出力発振可能なガスレーザ発
掘装置を提供しようとするものである。
問題を解決するだめの手段
このため本発明のがスレーザ発振装置は、レーザ媒質を
放電’ｖｄｒ起してレー’ｆＲ＆をｔＴなうガスレーザ
発娠装向の放電用Ｎ極を、タングステンと１種類以上の
異種金属との焼結合金にて形成し、かつ前記異種金属を
銅または鍛どじたちのぐある。
放電’ｖｄｒ起してレー’ｆＲ＆をｔＴなうガスレーザ
発娠装向の放電用Ｎ極を、タングステンと１種類以上の
異種金属との焼結合金にて形成し、かつ前記異種金属を
銅または鍛どじたちのぐある。
作用
このような構成によれば、タングステン粒子にて形成さ
れる酸化膜の網の目に相当する箇所に銅または眼の酸化
膜が形成されることから、この銅または銀の酸化膜が形
成されることから、この銅まは銀の酸化膜から多量の電
子が放出され、しかも焼結合金にて形成したことから、
適度の大きざの銅または銀粒子が全体に均一に分散され
ることになるため、局所的な゛上流集中が防止され、こ
の結果ｔＩｉ電電流吊を増大させても安定したグロー放
電が可能となる。
れる酸化膜の網の目に相当する箇所に銅または眼の酸化
膜が形成されることから、この銅または銀の酸化膜が形
成されることから、この銅まは銀の酸化膜から多量の電
子が放出され、しかも焼結合金にて形成したことから、
適度の大きざの銅または銀粒子が全体に均一に分散され
ることになるため、局所的な゛上流集中が防止され、こ
の結果ｔＩｉ電電流吊を増大させても安定したグロー放
電が可能となる。
実施例
以下、本発明の一実施例につして第１図、第２図を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
第１図は本発明の一実施例における放電用型（にによる
゛電子放出の状態を示したものである。１は銅う１の陽
極、２は陰極、３はタングステン粒子、３ａはタングス
テン粒子３に形成される酸化膜、１１は銅粒子、４ａは
銅粒子４に形成される酸化膜である。
゛電子放出の状態を示したものである。１は銅う１の陽
極、２は陰極、３はタングステン粒子、３ａはタングス
テン粒子３に形成される酸化膜、１１は銅粒子、４ａは
銅粒子４に形成される酸化膜である。
第２図は放電電流量に対するレーザ出力の関係を示した
ちのである。破線が従来例によるもので、実線が本発明
の一実施例によるものである。
ちのである。破線が従来例によるもので、実線が本発明
の一実施例によるものである。
以下、第１図、第２図を用いて説明する。
第１図に示すように、金属の表面に形成される酸化１１
１Ｎは、金属の種類によって厚さ、電気伝導度などの１
力埋的特性〈以下、これを酸化傾向と定えする。）が異
なっている。無論、酸化膜状態による電気伝導度の違い
は、電子放出ｍを左右する。
１Ｎは、金属の種類によって厚さ、電気伝導度などの１
力埋的特性〈以下、これを酸化傾向と定えする。）が異
なっている。無論、酸化膜状態による電気伝導度の違い
は、電子放出ｍを左右する。
すなわち、電気伝導度の良い酸化膜からは電子放出がか
多く、電気伝導度の悪い酸化膜からは電子放出量が少な
い。
多く、電気伝導度の悪い酸化膜からは電子放出量が少な
い。
第１図に示すように、タングステン粒子３に形成される
酸化１ｆ！Ｊ ３ ａと銅粒子４に形成される酸化膜４
ａとでは、これら酸化膜３ａ、’４ａをとおして放出さ
れる電子放出量が著しく異なるため、タングステン粒子
３に形成される酸化ｖ３ａの網の目に相当する銅粒子４
に形成される酸化膜４ａから、図中−〇で表示ツるほと
んどの電子が放出される。ずなわら、タングステン粒子
３に形成される酸化Ｍ３ａが電子放出を分散させる動き
をする。
酸化１ｆ！Ｊ ３ ａと銅粒子４に形成される酸化膜４
ａとでは、これら酸化膜３ａ、’４ａをとおして放出さ
れる電子放出量が著しく異なるため、タングステン粒子
３に形成される酸化ｖ３ａの網の目に相当する銅粒子４
に形成される酸化膜４ａから、図中−〇で表示ツるほと
んどの電子が放出される。ずなわら、タングステン粒子
３に形成される酸化Ｍ３ａが電子放出を分散させる動き
をする。
ここで、タングステン粒子３を用いたのは、タンゲス戸
ンは融点が高いため、放電電流によって銅粒子４と溶融
結合するのを防止できるからである。プなわも、電子放
出量を効率よく分散さぼるためには、異種金属粒子の溶
融結合による合金であってはならない。なぜなら、網の
目を均一にかつある程度の大きさでもって生じさせるこ
とが不可能となり、電子放出の集中を引きおこしやすい
からである。この点を考慮すると、タングステン粒子３
を含む焼結合金が適している。
ンは融点が高いため、放電電流によって銅粒子４と溶融
結合するのを防止できるからである。プなわも、電子放
出量を効率よく分散さぼるためには、異種金属粒子の溶
融結合による合金であってはならない。なぜなら、網の
目を均一にかつある程度の大きさでもって生じさせるこ
とが不可能となり、電子放出の集中を引きおこしやすい
からである。この点を考慮すると、タングステン粒子３
を含む焼結合金が適している。
したがって、タングステン粒子３に形成される酸化膜３
ａによって電流密度の局所的集中が分散され、放電電流
量を増大させても第２図に示すようにグロー放電を維持
づることが可能となり、高出力、高効率のレーザ出力を
冑ることができるわシブである３、なお、ｔＪＩｉ電を
安定したしのにし、かつ網の目を作っているタングステ
ン粒子３に形成される酸化膜３ａを雑持し、寿命の長い
電極とするために、電子放出の容易な銅粒子又は銀粒子
などを用いるのが好適である。
ａによって電流密度の局所的集中が分散され、放電電流
量を増大させても第２図に示すようにグロー放電を維持
づることが可能となり、高出力、高効率のレーザ出力を
冑ることができるわシブである３、なお、ｔＪＩｉ電を
安定したしのにし、かつ網の目を作っているタングステ
ン粒子３に形成される酸化膜３ａを雑持し、寿命の長い
電極とするために、電子放出の容易な銅粒子又は銀粒子
などを用いるのが好適である。
発明の効果
以上のように本発明は、放電電流恒を増大させても安定
したグロー放電が可能となることにより、高出力、高９
）ｊ率のレーザ出力が可能となるという、ガスレーザ発
振装δに浸れた効果を秦するものである。
したグロー放電が可能となることにより、高出力、高９
）ｊ率のレーザ出力が可能となるという、ガスレーザ発
振装δに浸れた効果を秦するものである。
第１図は本発明の一実施例における放電用電極の電子放
出状態図、第２図は放電Ｎ流量に対するレーザ出力の関
係を示す図、第３図は従来例における放電用゛電極の電
子放出状態図である。 １・・・陽極、２・・・陰極、３・・・タングステン粒
子、４・・−銅粒子、３ａ 、４ａ・・・酸化膜代理人
森 本 義 弘 第１図 第２図 東ｔｔ：ＪＬ量
出状態図、第２図は放電Ｎ流量に対するレーザ出力の関
係を示す図、第３図は従来例における放電用゛電極の電
子放出状態図である。 １・・・陽極、２・・・陰極、３・・・タングステン粒
子、４・・−銅粒子、３ａ 、４ａ・・・酸化膜代理人
森 本 義 弘 第１図 第２図 東ｔｔ：ＪＬ量
Claims (1)
- １、レーザに媒質を放電励起してレーザ発振を行なうガ
スレーザ発振装置の放電用電極を、タングステンと１種
類以上の異種金属との焼結合金にて形成し、かつ前記異
種金属を銅または銀としたことを特徴とするガスレーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20664484A JPS6184883A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20664484A JPS6184883A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184883A true JPS6184883A (ja) | 1986-04-30 |
| JPS6364067B2 JPS6364067B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=16526762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20664484A Granted JPS6184883A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184883A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61147590A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS61188980A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP20664484A patent/JPS6184883A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61147590A (ja) * | 1984-12-21 | 1986-07-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| JPS61188980A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPH0318751B2 (ja) * | 1985-02-18 | 1991-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6364067B2 (ja) | 1988-12-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |