JPS61147590A - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS61147590A JPS61147590A JP26848284A JP26848284A JPS61147590A JP S61147590 A JPS61147590 A JP S61147590A JP 26848284 A JP26848284 A JP 26848284A JP 26848284 A JP26848284 A JP 26848284A JP S61147590 A JPS61147590 A JP S61147590A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge
- electrode
- particles
- laser
- sintered alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0388—Compositions, materials or coatings
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、レーザ媒質ガスを放電励起してレーザ発振を
行なう、ガスレーザ装置に関する。
行なう、ガスレーザ装置に関する。
（従来例の構成とその問題点）
ガスレーザ装置はその出力の大きいことを利用して、材
料の切断等の加工技術に用いられる。
料の切断等の加工技術に用いられる。
第１図は従来のガスレーザ装置における、放電用電極部
の概略を示す断面的な図で、符号１はＣｕからなる電極
、２はセラミック等の絶縁体、３は放電管である。レー
ザ媒質ガスは放電管３の中で放電励起され、全反射鏡４
及び出力鏡５との間で増幅され、レーザ光６を発生する
。なお、７は放電領域である。このとき、放電電流はセ
ラミック等の絶縁体２で蔽われていない部分を流れる。
の概略を示す断面的な図で、符号１はＣｕからなる電極
、２はセラミック等の絶縁体、３は放電管である。レー
ザ媒質ガスは放電管３の中で放電励起され、全反射鏡４
及び出力鏡５との間で増幅され、レーザ光６を発生する
。なお、７は放電領域である。このとき、放電電流はセ
ラミック等の絶縁体２で蔽われていない部分を流れる。
ところが、Ｃｕ電極１では放電電流を増大させて行くに
従い、表面上の電流の局所的な集中を生じ、放電領域７
の拡がりが悪くなる。
従い、表面上の電流の局所的な集中を生じ、放電領域７
の拡がりが悪くなる。
第２図は上記の状態を示す側面的な図で、Ｃｕ電極１の
Ｃｕ面１′からの電流（矢印で示す）は、放電電流が小
さいときは（、）図のように一様に分布しているが、放
電電流を増大させると（ｂ）図のように局所的な集中を
起す。この集中はレーザ媒質ガスを効率よく放電励起さ
せることの妨害となり、従ってレーザ出力が伸びなやむ
という欠点となる。
Ｃｕ面１′からの電流（矢印で示す）は、放電電流が小
さいときは（、）図のように一様に分布しているが、放
電電流を増大させると（ｂ）図のように局所的な集中を
起す。この集中はレーザ媒質ガスを効率よく放電励起さ
せることの妨害となり、従ってレーザ出力が伸びなやむ
という欠点となる。
（発明の目的）
本発明は、上述したガスレーザ装置の従来例の欠点を排
除して、高出力が容易に得られるガスレーザ装置の提供
を目的とする。
除して、高出力が容易に得られるガスレーザ装置の提供
を目的とする。
（発明の構成）
本発明は上記目的を達成するため、放電電極を質量比で
、Ｃｕを３０％±１０％、Ｗを７０％±ｌＯ％となるよ
うに混合した焼結合金により形成してなるガスレーザ装
置である。
、Ｃｕを３０％±１０％、Ｗを７０％±ｌＯ％となるよ
うに混合した焼結合金により形成してなるガスレーザ装
置である。
（実施例の説明）
本発明は、ＣｕとＷの焼結合金を放電電極の材料とした
ガスレーザ装置である。従ってレーザ励起のための電流
は主に、Ｃｕからのものとなり、微視的にＷのすき間の
Ｃｕ部分から電子が放出される。
ガスレーザ装置である。従ってレーザ励起のための電流
は主に、Ｃｕからのものとなり、微視的にＷのすき間の
Ｃｕ部分から電子が放出される。
第３図は上記現象を図示する放電電極部の模式的な図で
ある。白丸状のものはＣｕ粒子、ハツチングしたものは
Ｗ粒子を示しており、ＣｕとＷとの焼結合金を放電電極
に用いれば、矢印で示すように。
ある。白丸状のものはＣｕ粒子、ハツチングしたものは
Ｗ粒子を示しており、ＣｕとＷとの焼結合金を放電電極
に用いれば、矢印で示すように。
電流はＣｕ粒子からのみ流れ１合金であるがゆえにＷ粒
子が適当に介在して放電部位の物理的集中を生ぜず、か
つ、Ｗ粒子が発熱を拡散させ、電極表面上のプラズマ収
縮を抑制する効果がある。
子が適当に介在して放電部位の物理的集中を生ぜず、か
つ、Ｗ粒子が発熱を拡散させ、電極表面上のプラズマ収
縮を抑制する効果がある。
この発熱拡散が最も効果的にあられれるのは、Ｃｕ粒子
とＷ粒子の各表面積が等しい時であり、その時の質量比
は、 Ｃｕ、 Ｗそれぞれの質量の差から、Ｃｕが３０
％、Ｗが７０％になる。
とＷ粒子の各表面積が等しい時であり、その時の質量比
は、 Ｃｕ、 Ｗそれぞれの質量の差から、Ｃｕが３０
％、Ｗが７０％になる。
第４図は上述した事項を実験的に証明するもので、Ｃｕ
が質量比で３０％の時、レーザ出力（縦軸）が最大とな
ることが分る。
が質量比で３０％の時、レーザ出力（縦軸）が最大とな
ることが分る。
以上本発明を説明したが、質量比は正しく上記の値を固
執するものではなく、±１０％程度の範囲であっても、
従来例よりも良好な発振装置が形成できる。
執するものではなく、±１０％程度の範囲であっても、
従来例よりも良好な発振装置が形成できる。
（Ｏｆ＠明の効果）
以上詳細に説明して明らかなように本発明は。
ガスレーザ装置を効率よく励起させ得るから、同じ出力
では小型で経済的な装置とすることができ、用いて大い
に益するところがある。
では小型で経済的な装置とすることができ、用いて大い
に益するところがある。
第１図はガスレーザの発振放電部を示す断面的な図、第
２図はその電極部分の放電状態を示す図、第３図は本発
明に用いる電極部の放電密度を説明する図、第４図は電
極のＣｕ含有量とレーザ出力の関係を示す図である。 １・・・Ｏｕ電極、２・・・絶縁体、３・・・放電管、
４・・・全反射鏡、５・・・出力鏡、６・・・レーザ光
、７・・・放電領域。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第２図
２図はその電極部分の放電状態を示す図、第３図は本発
明に用いる電極部の放電密度を説明する図、第４図は電
極のＣｕ含有量とレーザ出力の関係を示す図である。 １・・・Ｏｕ電極、２・・・絶縁体、３・・・放電管、
４・・・全反射鏡、５・・・出力鏡、６・・・レーザ光
、７・・・放電領域。 特許出願人 松下電器産業株式会社 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）レーザ媒質ガスを放電励起してレーザ発振を行な
うガスレーザ装置において、放電電極を、少なくともＣ
ｕ（銅）とＷ（タングステン）からなる焼結合金により
形成したことを特徴とするガスレーザ装置。 - （２）焼結合金を、質量比でＣｕ（銅）を３０％±１０
％、Ｗ（タングステン）を７０％±１０％含有させて構
成したことを特徴とする特許請求の範囲第（１）項記載
のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26848284A JPS61147590A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26848284A JPS61147590A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61147590A true JPS61147590A (ja) | 1986-07-05 |
Family
ID=17459105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26848284A Pending JPS61147590A (ja) | 1984-12-21 | 1984-12-21 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61147590A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61188980A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPS63311779A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-20 | ラムダ フィジーク フォルシュングス ウント エントビックルングスゲゼルシャフト エムベーハー | エクサイマーレーザー |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6184883A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
-
1984
- 1984-12-21 JP JP26848284A patent/JPS61147590A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6184883A (ja) * | 1984-10-02 | 1986-04-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61188980A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスレ−ザ発振装置 |
| JPH0318751B2 (ja) * | 1985-02-18 | 1991-03-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | |
| JPS63311779A (ja) * | 1987-06-03 | 1988-12-20 | ラムダ フィジーク フォルシュングス ウント エントビックルングスゲゼルシャフト エムベーハー | エクサイマーレーザー |
| DE3817145A1 (de) * | 1987-06-03 | 1988-12-22 | Lambda Physik Forschung | Elektrode fuer gepulste gas-laser |
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