JPS61188980A - ガスレ−ザ発振装置 - Google Patents

ガスレ−ザ発振装置

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JPS61188980A
JPS61188980A JP2963885A JP2963885A JPS61188980A JP S61188980 A JPS61188980 A JP S61188980A JP 2963885 A JP2963885 A JP 2963885A JP 2963885 A JP2963885 A JP 2963885A JP S61188980 A JPS61188980 A JP S61188980A
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JP
Japan
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copper
tungsten
particles
laser oscillation
electrode
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Application number
JP2963885A
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JPH0318751B2 (ja
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Togo Nishioka
西岡　統吾
Hitoshi Motomiya
均 本宮
Setsuo Terada
寺田　節夫
Shuzo Yoshizumi
吉住　修三
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02—Constructional details
    • H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
    • H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は循環するレーザ媒質ガスを放電励起し、レーザ
発振分行なうガスレーザ発振装置に関するものである。
従来の技術 第１図に従来のガスレーザ発振装置の放電用電極部の概
略図を示す。１は銅電極、２は放電管である。レーザ媒
質ガスは放電管２の中で放電励起され、全反射！Ｉ３と
出力！ｌ！４との間で増幅されレーザ光を発振する。こ
の時、放電電流は電極表面全体もしくは一部を流れる。
発明が解決しようとする問題点 ところがこの銅電極１では、放電電流を増大さ　　　。
せていくと銅電極表面の電流の局所的集中がおこり、放
電の拡がりが悪くなる。したがって効率よ〈レーザ媒質
ガスを放電励起できず、出力が伸びなやむ傾向がある。
この様子を第２図に示す。第２図ａに示すように、放電
電流が小さい場合は銅電極表面上に一様に分布していた
電流密度が電流の増大により、第２図すに示すように局
所的集中をひきおこしている。特に局所的集中をおこし
やすいのはレーザ媒質ガスの流れのないところに面した
電極表面部分である。
問題点を解決するための手段 この問題点を解決するために本発明は、ガスレーザ発振
装置の放電用電極の材質を少なくともタングステンと銅
からなる焼結合金としたものである。
作用 上記構成により、レーザ媒質ガスをより効率よく励起で
きる。
実施例 以下、本発明の実施例について第３図乃至第５図を参照
して説明する。
第３図において、１１は放電用電極であり、タングステ
ンと銅の焼結合金よりなり、タングステンと銅の質量比
はＴｏ　：　３０である。１２は放電管である。
上記構成において、放電用電極１１は銅とタングステン
の焼結合金よりなるが、銅とタングステンの電気伝導度
が異なるため、銅からの電流放出が中心となる。このた
めタングステンのすき間の銅の部分から電子が放出され
ることになる。この様子を第３図に示す。このため銅粒
子からの電子放出による銅粒子の発熱をタングステン粒
子が拡散させ、電極表面上のプラズマを抑制するという
効果がある。このタングステン粒子による発熱の拡散が
最も効果的にあられれるのは、銅粒子の表面積とタング
ステン粒子の表面積が等しい時である。このとき銅粒子
とタングステン粒子の質量比は３０％ニアｏ％となる。
なお銅とタングステンの質量比と出力の関係を第４図に
示す。
また、第５図に示すように、銅とタングステンの焼結合
金よりなる焼結合金電極１３の両側に絶縁物１４を位置
させることによシ放電用電極を構成すると、レーザ媒質
ガス流ｎに面した焼結合金電極１３の表面からのみ放電
させることができ、放電面上のガス圧、冷却等の条件が
均一化され、よシ放電電流の局所的集中を防ぐ効果が得
らｎる。
発明の効果 以上の説明から明らかなように本発明によればレーザ媒
質ガスをより効率よく励起できることにより、同出力で
より小型の経済的なガスレーザ発振装置を提供でき、そ
の効果は犬である。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のガスレーザ発振装置の要部断面図、第２
図ａは同装置における放電電流が小さい場合の要部断面
図、第２図すは同装置における放電電流が大きい場合の
要部断面図、第３図は本発明の一実施例を示すガスレー
ザ発振装置の要部断面図、第４図は同装置の放電用電極
の銅の質量比と出力の関係を示す特性図、第６図は本発
明の他の実施例を示すガスレーザ発振装置の要部断面図
である。 １１・・・・・・放電用電極、１２・・・・・・放電管
。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 （ｉｐ）

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）循環するレーザ媒質ガスを放電励起し、レーザ発
    振を行なうガスレーザ発振装置において、放電用電極の
    材質を少なくともタングステンと銅から成る焼結合金と
    したことを特徴とするガスレーザ発振装置。
  2. （２）焼結合金は質量比で銅３０％±１０％、タングス
    テン７０％±１０％となるよう混合した特許請求の範囲
    第１項記載のガスレーザ発振装置。
  3. （３）放電用電極はレーザ媒質ガスの流れに接する面の
    みを電極面として形成した特許請求の範囲第１項または
    第２項記載のガスレーザ発振装置。
JP2963885A 1985-02-18 1985-02-18 ガスレ−ザ発振装置 Granted JPS61188980A (ja)

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JPS61188980A true JPS61188980A (ja) 1986-08-22
JPH0318751B2 JPH0318751B2 (ja) 1991-03-13

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3817145A1 (de) * 1987-06-03 1988-12-22 Lambda Physik Forschung Elektrode fuer gepulste gas-laser

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6184883A (ja) * 1984-10-02 1986-04-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガスレ−ザ発振装置
JPS61147590A (ja) * 1984-12-21 1986-07-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd ガスレ−ザ装置

Patent Citations (2)

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Cited By (1)

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JPH0318751B2 (ja) 1991-03-13

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