JPH0936388A - 半導体装置 - Google Patents

半導体装置

Info

Publication number
JPH0936388A
JPH0936388A JP7184085A JP18408595A JPH0936388A JP H0936388 A JPH0936388 A JP H0936388A JP 7184085 A JP7184085 A JP 7184085A JP 18408595 A JP18408595 A JP 18408595A JP H0936388 A JPH0936388 A JP H0936388A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
region
layer
semiconductor substrate
semiconductor
type diffusion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7184085A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshifumi Tomomatsu
佳史 友松
Mitsuyoshi Takeda
満喜 武田
Akiyuki Soejima
顕幸 副島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP7184085A priority Critical patent/JPH0936388A/ja
Priority to US08/567,418 priority patent/US5945691A/en
Priority to CH00630/96A priority patent/CH691751A5/de
Priority to DE19611689A priority patent/DE19611689A1/de
Publication of JPH0936388A publication Critical patent/JPH0936388A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/40Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/41Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
    • H01L29/417Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions carrying the current to be rectified, amplified or switched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/86Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
    • H01L29/861Diodes
    • H01L29/868PIN diodes

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Thyristors (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターンオフ時の破壊を抑制する。 【解決手段】 カソード電極6は、半導体基板10の下
主面全体に接続されるのではなく、アノード電極5に略
対向する領域に選択的に接続される。このため、順方向
電圧が印加されたときに、半導体基板10内に発生する
電場は、おおよそP型拡散層2の直下の領域に限って分
布し、その外側に位置する周辺領域へはほとんど広がら
ない。その結果、P型拡散層2およびN+層4からN-
1へと注入されるキャリアは周辺領域へはほとんど広が
らず、蓄積キャリアはおおよそP型拡散層2の直下の領
域に限って蓄積される。このため、P型拡散層2の辺縁
部におけるターンオフ時の逆方向電流の集中が緩和され
る。その結果、逆方向電流の集中による破壊が防止ない
し抑制される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体装置に関
し、特に、ターンオフ時の破壊を抑えるための改良に関
する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の電力用ダイオードの構成を
示す斜視断面図である。この装置100では、N型不純
物が低濃度に導入された半導体基板(半導体基体)10
の下主面に、N型不純物を高濃度に拡散することによっ
てN+層4が形成されており、他方の上主面の中央部に
は、P型不純物を選択的に拡散することによって、P型
拡散層2が選択的に形成されている。また、上主面にお
けるP型拡散層2の周辺部には、P型拡散層2を囲むよ
うに例えば環状のP型拡散層3が選択的に形成されてい
る。すなわち、半導体基板10は、N+層4、P型拡散
層2、P型拡散層3、およびそれらを除いた領域である
-層1を有している。
【0003】さらに、P型拡散層2の露出面にはアノー
ド電極5がオーミック接続されており、反対側のN+
4の露出面にはカソード電極6がオーミック接続されて
いる。すなわち、アノード電極5とカソード電極6と
は、半導体基板10を挟むように互いに反対の主面の上
に形成されている。
【0004】P型拡散層2が半導体基板10の上主面全
体に形成されるのではなく、一部領域に選択的に形成さ
れているのは、逆方向電圧に対する強さすなわち耐圧を
確保するためである。P型拡散層2の周辺部の幅Lが広
いほど耐圧が高まる。P型拡散層2の周辺部に環状のP
型拡散層3を設けることにより、周辺部の幅Lが同一で
ある条件下において耐圧がさらに高められる。
【0005】また、N+層4は、半導体基板10を薄く
して順方向抵抗を低く抑えたままで、逆方向電圧が印加
されたときに空乏層がカソード電極6にまで達すること
を防止し、高い耐圧を得ることを目的として設けられて
いる。周辺部の幅Lと半導体基板10の厚さDとは、通
常においてL≧Dの範囲に設定されている。
【0006】この装置100はつぎのように動作する。
アノード電極5およびカソード電極6に順方向電圧が印
加されると、P型拡散層2からN-層1へとホールが注
入され、N+層4からN-層1へと電子が注入される。そ
の結果、アノード電極5からカソード電極6へと順方向
電流が流れる。すなわち、装置100は導通する。
【0007】一方、アノード電極5およびカソード電極
6に印加される電圧を、順方向電圧から逆方向電圧へと
反転させる、すなわちターンオフすると、N-層1に蓄
積される電子およびホールが、それぞれN+層4および
P型拡散層2へと回収されるまで、カソード電極6から
アノード電極5へと逆方向電流が過渡的に流れる。すな
わち、装置100は、N-層1の蓄積キャリアが消滅す
るまでは導通状態を継続し、蓄積キャリアが消滅した後
に遮断状態となる。
【0008】以上のように、装置100は順方向電圧が
印加されると導通し、逆方向電圧が印加されると一定の
過渡期間を経過した後に遮断する。すなわち、装置10
0はダイオードとして機能する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで上述したよう
に、従来の装置100では、耐圧を確保するために、P
型拡散層2は半導体基板10の上主面に選択的に形成さ
れ、その周辺部の幅Lは一定以上の大きさに設定され
る。一方、カソード電極6は半導体基板10の下主面の
全面を覆うように形成されている。
【0010】このため、順方向電圧が印加されたときに
は、図6の正面断面図に矢印で模式的に示すように、半
導体基板10の中の電場はP型拡散層2の直下の領域だ
けではなく、その外側の領域である周辺領域13へも広
がる。その結果、P型拡散層2およびN+層4からN-
1へと注入されるキャリアは周辺領域13へも広がる。
すなわち、蓄積キャリアがP型拡散層2の直下の外側に
位置する周辺領域13においても広く蓄積される。
【0011】したがって、ターンオフしたときには、P
型拡散層2の辺縁部7には、半導体基板10の周辺領域
13にも広く蓄積されたキャリアが殺到することにな
る。すなわち、辺縁部7には逆方向電流が高い密度で流
れる。その結果、ターンオフの際に、装置100が破壊
を引き起こし易いという問題点があった。
【0012】この発明は、従来の装置における上記した
問題点を解消するためになされたもので、耐圧を確保す
ると同時にターンオフ時の破壊が発生し難い半導体装置
を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】第1の発明の装置は、二
つの主面を有する半導体基体の一方主面に第1導電形式
の第1半導体層が露出しており、当該第1半導体層の露
出面の一部領域に第2導電形式の第2半導体層が選択的
に形成されており、当該第2半導体層の露出面には第1
主電極が接続され、前記半導体基体の他方主面に第2主
電極が接続されている半導体装置において、前記第2主
電極が前記他方主面の一部領域に選択的に接続されてい
ることを特徴とする。
【0014】第2の発明の装置は、第1の発明の半導体
装置において、前記他方主面の前記一部領域が、前記第
2半導体層に略対向する前記他方主面内の領域以内であ
ることを特徴とする。
【0015】第3の発明の装置は、二つの主面を有する
半導体基体の一方主面に第1導電形式の第1半導体層が
露出しており、当該第1半導体層の露出面の一部領域に
第2導電形式の第2半導体層が選択的に形成されてお
り、当該第2半導体層の露出面には第1主電極が接続さ
れ、前記半導体基体の他方主面に第2主電極が接続され
ている半導体装置において、前記半導体基体内へ前記第
1主電極を投影させた領域を中央領域と定義し、前記第
2半導体層を投影させた領域の外側の領域を周辺領域と
定義し、前記第1半導体層の中で、前記中央領域に含ま
れる領域である第1領域におけるライフタイムよりも、
前記周辺領域に含まれる領域である第2領域におけるラ
イフタイムが、少なくとも平均的には短く設定されてい
ることを特徴とする。
【0016】第4の発明の装置は、第3の発明の半導体
装置において、前記第1半導体層におけるライフタイム
が、前記第1領域と前記第2領域との間で、前記第1領
域よりも前記第2領域の方において短くなるように、略
段差状の分布を有することを特徴とする。
【0017】第5の発明の装置は、第4の発明の半導体
装置において、前記周辺領域内の少なくとも前記第2領
域にライフタイムキラーが選択的に導入されており、そ
のことによって、前記略段差状の分布が得られているこ
とを特徴とする。
【0018】
【発明の実施の形態】
<実施の形態1>図1は実施の形態1の電力用ダイオー
ドの構成を示す斜視断面図である。なお、以下の図にお
いて、図5および図6に示した従来装置と同一部分ある
いは相当部分については、同一符号を付してその詳細な
説明を略する。
【0019】図1に示す装置110では、カソード電極
6がP型拡散層2と略同一面積であって、しかもP型拡
散層2に略対向するように、半導体基板10の下主面に
選択的に形成されている点が、従来装置とは特徴的に異
なっている。このため、順方向電圧が印加されたときに
は、図2の正面断面図の中に矢印で模式的に示すよう
に、半導体基板10の中の電場は、おおよそP型拡散層
2の直下の領域に限って分布し、その外側に位置する周
辺領域13へはほとんど広がらない。
【0020】その結果、P型拡散層2およびN+層4か
らN-層1へと注入されるキャリアは周辺領域13へは
ほとんど広がらない。このため、蓄積キャリアはおおよ
そP型拡散層2の直下の領域に限って蓄積され、周辺領
域13におけるキャリアの蓄積が抑制される。したがっ
て、P型拡散層2の辺縁部7におけるターンオフ時の逆
方向電流の集中が緩和される。その結果、逆方向電流の
集中による破壊が防止ないし抑制される。
【0021】装置110では、従来装置100と同様
に、P型拡散層2は半導体基板10の上主面に選択的に
形成されており、その周辺部の幅Lは一定以上の大きさ
に設定されている。そうすることで従来装置100の耐
圧を維持しつつ、同時に、カソード電極6を選択的に形
成することによってターンオフ時の破壊を抑える効果を
得ている。すなわち、装置110は、高い耐圧とターン
オフ時の破壊の防止ないし抑制とを両立的に実現してい
る。また、好ましくは、従来装置100と同様に、周辺
部の幅Lと半導体基板10の厚さDとは、L≧Dの範囲
に設定される。
【0022】装置110において、P型拡散層2のアノ
ード電極5との接触面におけるP型不純物の濃度は、好
ましくは1x1015cm-3〜1x1018cm-3の範囲で
選択され、上主面からのP型拡散層2の深さは、好まし
くは0.1μm〜数十μmの範囲で選択される。
【0023】なお、装置110では、カソード電極6は
P型拡散層2と略同一面積で形成されていたが、P型拡
散層2より広くても半導体基板10の下主面全体よりは
狭くなるように、下主面内の一部領域に選択的に形成さ
れておれば、従来装置100に比べてターンオフ時の破
壊が発生し難い装置が実現する。また、カソード電極6
がP型拡散層2よりも狭い面積で形成されれば、キャリ
アの蓄積領域がさらに小さくなるので、効果はさらに高
まる。すなわち、カソード電極6の広さに応じて相応の
効果が得られる。
【0024】<実施の形態2>図3は、実施の形態2の
電力用ダイオードの正面断面図である。この装置120
では、半導体基板10において、アノード電極5の直下
の領域である中央領域11、P型拡散層2の直下の領域
(中央領域11と辺縁領域12とを併せた領域)の外側
の領域である周辺領域13との間でキャリアのライフタ
イムの長さに段差が設けられている点が、従来装置10
0とは特徴的に異なっている。
【0025】すなわち、この装置120では、キャリア
の再結合中心としてキャリアの消滅を促進する結晶欠陥
であるライフタイムキラーを、周辺領域13に選択的に
導入することによって、周辺領域13におけるライフタ
イムが中央領域11に比べて短く設定されている。ライ
フタイムキラーを選択的に導入するには、例えば、金、
白金などの重金属を周辺領域13へと選択的に拡散させ
るとよい。あるいは、電子線などの放射線を周辺領域1
3へと選択的に照射してもよい。いずれの方法も容易に
遂行可能である。
【0026】図4は、図3におけるA−A線に沿った、
ライフタイムのプロフィールを模式的に示す分布図であ
る。図4に示すように、中央領域11におけるライフタ
イムτ1と周辺領域13におけるライフタイムτ2との間
には段差があり、ライフタイムτ2はライフタイムτ1
りも短く設定されている。
【0027】このように、ライフタイムτ2が短く設定
されているので、周辺領域13におけるキャリアの消滅
が促進される。すなわち、周辺領域13ではキャリアの
蓄積が抑制され、蓄積キャリアの濃度が低く抑えられ
る。その結果、P型拡散層2の辺縁部におけるターンオ
フ時の逆方向電流の集中が緩和されるので、逆方向電流
の集中による破壊が防止ないし抑制される。
【0028】この実施の形態の装置では、カソード電極
6は半導体基板10の下主面全体の上に形成してよいの
で、カソード電極6を形成する工程で、半導体基板10
を挟んで反対側に形成されるアノード電極5との間でマ
スク合わせを行う必要がない。すなわち、カソード電極
6を形成する工程が容易であるという利点がある。
【0029】なお、中央領域11のライフタイムをも短
くする必要がある場合には、中央領域11、辺縁領域1
2をも含めた半導体基板10全体に一様に、ライフタイ
ムキラーをさらに導入することによって、中央領域11
と周辺領域13との間のライフタイムに段差を保ったま
まで、半導体基板10の全体のライフタイムを短くする
とよい。
【0030】また、重金属の選択的拡散あるいは放射線
の選択的照射を用いると、N-層1だけでなくN+層4、
P型拡散層3等を含めた周辺領域13のライフタイムが
短くなる。逆方向電流の集中を緩和しターンオフ時の破
壊を抑えるためには、周辺領域13の中の少なくともN
-層1のライフタイムが短くなっておれば十分である。
しかしながら、周辺領域13内においてN-層1だけで
なくN+層4などの他の部分のライフタイムが短くなっ
ていても、逆電流の集中を緩和する効果に変わりはな
い。
【0031】また、長いライフタイムτ1と短いライフ
タイムτ2との境界は、図4に例示したプロフィール通
りに厳格である必要はなく、平均的に中央領域11より
も周辺領域13のライフタイムが短くなっておれば、そ
の度合い応じて相応の効果を奏する。
【0032】<変形例> (1) 以上の実施の形態では、電力用ダイオードを例
として説明したが、電力用でないダイオードにも適用が
可能である。ただし、電力用ダイオードでは、順方向電
流が大きいために蓄積キャリアの量も大きいのに加え
て、通常の使用形態において高い逆方向電圧が印加され
るために、ターンオフ時の破壊を防止する効果が特に顕
著に現れる。
【0033】(2) また、ダイオードに限定すること
なく、一般に、二つの主面を有する半導体基板の一方主
面に、周辺部とは異なる導電形式の半導体層が選択的に
形成され、この半導体層の露出面に一方主電極が接続さ
れ、半導体基板の他方主面に他方主電極が接続された構
造の半導体装置に広く適用することが可能である。この
一般的な半導体装置においても、半導体層の辺縁部への
逆方向電流の集中が緩和されるので、装置の破壊を抑制
する効果が得られる。
【0034】
【発明の効果】第1の発明の装置では、第1および第2
主電極が半導体基体の一方主面と他方主面とにそれぞれ
接続されているので、これらの主電極を通じて供給され
る電流は半導体基体を貫通するように流れる。第1およ
び第2半導体層の接合部に順方向電流が流れるように第
1および第2主電極に順方向電圧が印加されると、第1
半導体層にキャリアが蓄積されるが、第2主電極は半導
体基体の他方主面全体を覆うのではなく、一部領域に選
択的に接続されているので、従来装置に比べて、蓄積キ
ャリアが分布する領域が縮小される。
【0035】このため、第1および第2主電極に印加さ
れる電圧が順方向電圧から逆方向電圧へと反転したとき
に、蓄積キャリアが移動することによって過渡的に流れ
る逆方向電流が、第2半導体層の辺縁部へと集中する現
象が緩和される。その結果、逆方向電流の集中に起因す
る装置の破壊が防止ないし抑制される。
【0036】さらに、この装置では、第2半導体層が半
導体基体の一方主面の一部領域に選択的に形成されてい
るので高い耐圧が得られる。すなわち、この装置は、高
い耐圧と破壊の抑制とを両立的に実現する。
【0037】第2の発明の装置では、第2主電極が第2
半導体層に略対向する他方主面内の領域以内に接続され
ているので、順方向電圧が印加されたときに半導体基体
内に発生する電場は、第2半導体層の周辺領域へはほと
んど広がらない。このため、蓄積キャリアは周辺領域に
はほとんど広がらない。このため、逆方向電流の集中が
一層効果的に緩和される。
【0038】第3の発明の装置では、第1および第2主
電極が半導体基体の一方主面と他方主面とにそれぞれ接
続されているので、これらの主電極を通じて供給される
電流は半導体基体を貫通するように流れる。第1および
第2半導体層の接合部に順方向電流が流れるように第1
および第2主電極に順方向電圧が印加されると、第1半
導体層にキャリアが蓄積されるが、第1半導体層内の中
央領域に相当する第1領域のライフタイムよりも周辺領
域に相当する第2領域のライフタイムが平均的に短く設
定されているので、第2領域では第1領域に比べてキャ
リアの消滅が平均的に早まる。したがって、第2領域で
はキャリアの蓄積が低く抑えられる。
【0039】このため、第1および第2主電極に印加さ
れる電圧が順方向電圧から逆方向電圧へと反転したとき
に、蓄積キャリアが移動することによって過渡的に流れ
る逆方向電流が、第2半導体層の辺縁部へと集中する現
象が緩和される。その結果、逆方向電流の集中に起因す
る装置の破壊が防止ないし抑制される。
【0040】さらに、この装置では、第2半導体層が半
導体基体の一方主面の一部領域に選択的に形成されてい
るので高い耐圧が得られる。また、第2主電極は半導体
基体の他方主面全体に接続されていてもよく、第1主電
極との間の相対位置を考慮する必要がない。このため、
第2主電極を形成する工程において、半導体基体を挟ん
で反対側に位置する第1主電極との間でマスク合わせを
行う必要がない。すなわち、この装置は、高い耐圧と第
2主電極の形成の容易さとを維持したままで、逆電流に
よる破壊の抑制を両立的に実現する。
【0041】第4の発明の装置では、第1半導体層にお
けるライフタイムが、第1領域と第2領域との間で略段
差状に異なっているので、逆電流の集中がさらに効果的
に緩和される。
【0042】第5の発明の装置では、周辺領域内の少な
くとも第2領域にライフタイムキラーが選択的に導入さ
れており、そのことによって、第1半導体層のライフタ
イムの略段差状の分布が得られている。このため、例え
ば重金属を周辺領域へと選択的に拡散する、あるいは放
射線を周辺領域へと選択的に照射するという簡単な方法
を、装置の製造に用いることが可能である。すなわち、
装置の製造が容易であるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態1の装置の斜視断面図である。
【図2】 図1の装置の正面断面図である。
【図3】 実施の形態2の装置の正面断面図である。
【図4】 図3の装置のライフタイムの分布図である。
【図5】 従来の装置の斜視断面図である。
【図6】 図5の装置の正面断面図である。
【符号の説明】
1 N-層(第1半導体層)、2 P型拡散層(第2半
導体層)、5 アノード電極(第1主電極)、6 カソ
ード電極(第2主電極)、10 半導体基板(半導体基
体)、11 中央領域、13 周辺領域、110,12
0 電力用ダイオード(半導体装置)。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 二つの主面を有する半導体基体の一方主
    面に第1導電形式の第1半導体層が露出しており、当該
    第1半導体層の露出面の一部領域に第2導電形式の第2
    半導体層が選択的に形成されており、当該第2半導体層
    の露出面には第1主電極が接続され、前記半導体基体の
    他方主面に第2主電極が接続されている半導体装置にお
    いて、 前記第2主電極が前記他方主面の一部領域に選択的に接
    続されていることを特徴とする半導体装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の半導体装置において、 前記他方主面の前記一部領域が、前記第2半導体層に略
    対向する前記他方主面内の領域以内であることを特徴と
    する半導体装置。
  3. 【請求項3】 二つの主面を有する半導体基体の一方主
    面に第1導電形式の第1半導体層が露出しており、当該
    第1半導体層の露出面の一部領域に第2導電形式の第2
    半導体層が選択的に形成されており、当該第2半導体層
    の露出面には第1主電極が接続され、前記半導体基体の
    他方主面に第2主電極が接続されている半導体装置にお
    いて、 前記半導体基体内へ前記第1主電極を投影させた領域を
    中央領域と定義し、前記第2半導体層を投影させた領域
    の外側の領域を周辺領域と定義し、 前記第1半導体層の中で、前記中央領域に含まれる領域
    である第1領域におけるライフタイムよりも、前記周辺
    領域に含まれる領域である第2領域におけるライフタイ
    ムが、少なくとも平均的には短く設定されていることを
    特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の半導体装置において、 前記第1半導体層におけるライフタイムが、前記第1領
    域と前記第2領域との間で、前記第1領域よりも前記第
    2領域の方において短くなるように、略段差状の分布を
    有することを特徴とする半導体装置。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の半導体装置において、 前記周辺領域内の少なくとも前記第2領域にライフタイ
    ムキラーが選択的に導入されており、そのことによっ
    て、前記略段差状の分布が得られていることを特徴とす
    る半導体装置。
JP7184085A 1995-07-20 1995-07-20 半導体装置 Pending JPH0936388A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7184085A JPH0936388A (ja) 1995-07-20 1995-07-20 半導体装置
US08/567,418 US5945691A (en) 1995-07-20 1995-12-05 Semiconductor device for preventing destruction during a turn-off state
CH00630/96A CH691751A5 (de) 1995-07-20 1996-03-11 Halbleitervorrichtung zur Verhinderung der Zerstörung während eines Ausschaltzustandes.
DE19611689A DE19611689A1 (de) 1995-07-20 1996-03-25 Halbleiterbauelement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7184085A JPH0936388A (ja) 1995-07-20 1995-07-20 半導体装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0936388A true JPH0936388A (ja) 1997-02-07

Family

ID=16147142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7184085A Pending JPH0936388A (ja) 1995-07-20 1995-07-20 半導体装置

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5945691A (ja)
JP (1) JPH0936388A (ja)
CH (1) CH691751A5 (ja)
DE (1) DE19611689A1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6870199B1 (en) 1999-11-05 2005-03-22 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device having an electrode overlaps a short carrier lifetime region
JP2006523009A (ja) * 2003-04-09 2006-10-05 オイペク オイロペーシェ ゲゼルシャフト フューア ライストゥングスハルプライター エムベーハー 半導体素子およびその製造方法
DE102006002439B4 (de) * 2005-01-28 2008-06-19 Mitsubishi Denki K.K. Halbleitervorrichtung
JP2010506392A (ja) * 2006-10-05 2010-02-25 アーベーベー・テヒノロギー・アーゲー 電力半導体デバイス
DE112020007260T5 (de) 2020-05-29 2023-03-09 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitereinheit und leistungswandler

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10324100B4 (de) * 2003-05-27 2008-09-25 Infineon Technologies Ag Verfahren zur Herstellung eines robusten Halbleiterbauelements
DE10330571B8 (de) * 2003-07-07 2007-03-08 Infineon Technologies Ag Vertikale Leistungshalbleiterbauelemente mit Injektionsdämpfungsmittel im Rand bereich und Herstellungsverfahren dafür
JP5925991B2 (ja) * 2010-05-26 2016-05-25 三菱電機株式会社 半導体装置
US9287391B2 (en) * 2012-03-05 2016-03-15 Mitsubishi Electric Corporation Semiconductor device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3174882A (en) * 1961-02-02 1965-03-23 Bell Telephone Labor Inc Tunnel diode
US3254234A (en) * 1963-04-12 1966-05-31 Westinghouse Electric Corp Semiconductor devices providing tunnel diode functions
US5210601A (en) * 1989-10-31 1993-05-11 Kabushiki Kaisha Toshiba Compression contacted semiconductor device and method for making of the same

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6870199B1 (en) 1999-11-05 2005-03-22 Fuji Electric Co., Ltd. Semiconductor device having an electrode overlaps a short carrier lifetime region
JP2006523009A (ja) * 2003-04-09 2006-10-05 オイペク オイロペーシェ ゲゼルシャフト フューア ライストゥングスハルプライター エムベーハー 半導体素子およびその製造方法
US8187937B2 (en) 2003-04-09 2012-05-29 Infineon Technologies Ag Semiconductor component and method for producing the same
DE102006002439B4 (de) * 2005-01-28 2008-06-19 Mitsubishi Denki K.K. Halbleitervorrichtung
JP2010506392A (ja) * 2006-10-05 2010-02-25 アーベーベー・テヒノロギー・アーゲー 電力半導体デバイス
DE112020007260T5 (de) 2020-05-29 2023-03-09 Mitsubishi Electric Corporation Halbleitereinheit und leistungswandler

Also Published As

Publication number Publication date
DE19611689A1 (de) 1997-01-23
CH691751A5 (de) 2001-09-28
US5945691A (en) 1999-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20080093697A1 (en) Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP3925319B2 (ja) 半導体素子
JP2003124483A (ja) 光起電力素子
JPH0936388A (ja) 半導体装置
US5883403A (en) Power semiconductor device
JP2950025B2 (ja) 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ
JPH09246570A (ja) 半導体装置
JP3718223B2 (ja) 縦の溝を有する高電圧用の半導体デバイス
JP2003282575A (ja) 半導体装置およびその製造方法
JPH0465552B2 (ja)
FR2815472A1 (fr) Diac planar
US6218683B1 (en) Diode
JP2934606B2 (ja) 半導体装置
JPH07221326A (ja) プレーナ型半導体素子
JPH09237904A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPS621259B2 (ja)
JPS6327865B2 (ja)
JP2581890B2 (ja) 半導体装置
JP2804824B2 (ja) 静電誘導半導体装置
JP2753331B2 (ja) 半導体装置
JPS5927572A (ja) ゲ−トタ−ンオフサイリスタ
JPS58131736A (ja) 半導体装置
JP2583032B2 (ja) 受光素子
JPS63205957A (ja) 静電誘導サイリスタ
JPS621261B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040602

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040629

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041026