JPS6042891A - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents
ガスレ−ザ発生装置Info
- Publication number
- JPS6042891A JPS6042891A JP15016883A JP15016883A JPS6042891A JP S6042891 A JPS6042891 A JP S6042891A JP 15016883 A JP15016883 A JP 15016883A JP 15016883 A JP15016883 A JP 15016883A JP S6042891 A JPS6042891 A JP S6042891A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cathode
- carbon
- alloy
- discharge
- discharge surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は〜、極部材を改良したレーザ発生装置に関する
。
。
一般に、ガスレーザ発生装置は、混合ガスたとえばＣＯ
！ Ｉ Ｎ ｅ＋ Ｈｅを充填した放電管内に陰極と陽
極とを配置する。両電極間に曲流電圧を印加して、両電
極でグロー放電を形成する。陰極部材として通常無酸化
銅、アルミを使、用している。
！ Ｉ Ｎ ｅ＋ Ｈｅを充填した放電管内に陰極と陽
極とを配置する。両電極間に曲流電圧を印加して、両電
極でグロー放電を形成する。陰極部材として通常無酸化
銅、アルミを使、用している。
陰極は放電面以外の部分に絶縁被膜たとえばボロンを被
膜し、放電面の全面に陰極点を拡けるようにして、局部
過熱よりアーク放電に移行するのを防止している。
膜し、放電面の全面に陰極点を拡けるようにして、局部
過熱よりアーク放電に移行するのを防止している。
グロー放電時の電子、イオンとの衝突により、ＣＯ！が
解離して生じた炭素Ｃ「すす」は、放電面に耐着する。
解離して生じた炭素Ｃ「すす」は、放電面に耐着する。
喝に、炭素Ｃは本発明者らの観察によれば、混合カスの
流れで下流側の放電面近傍の絶縁被膜の部券に耐着する
。炭素Ｃの形成速度は、ゆつくシした現象であるが、ガ
スレーザ発生装置の運転時間が長く数十時間から数百時
間になると、その耐着量も多くな乙。その結果、耐着し
た炭素部分も陰極面となつ千、グロー放電にめずかるよ
うになる。このような状態は、放電面積が増加したこと
に和尚し、陰極点は放−面全体に広がらず、クロー放電
が放−５面の一方側に片谷を生じ、不安定となる。その
結果、注入可能な放−入力が小さくなシ、出力も低くな
ることに加えて、取出されるレーザビームの強度分布は
、軸対象とならす、加工性も悪Ｘなる。
流れで下流側の放電面近傍の絶縁被膜の部券に耐着する
。炭素Ｃの形成速度は、ゆつくシした現象であるが、ガ
スレーザ発生装置の運転時間が長く数十時間から数百時
間になると、その耐着量も多くな乙。その結果、耐着し
た炭素部分も陰極面となつ千、グロー放電にめずかるよ
うになる。このような状態は、放電面積が増加したこと
に和尚し、陰極点は放−面全体に広がらず、クロー放電
が放−５面の一方側に片谷を生じ、不安定となる。その
結果、注入可能な放−入力が小さくなシ、出力も低くな
ることに加えて、取出されるレーザビームの強度分布は
、軸対象とならす、加工性も悪Ｘなる。
また、Ｃ（ｈが解離するので、使用できず不経済である
。
。
本発明の目的は、安定したグロー放電を得ることが出来
るカスレーザ発止装置を提供することにおる。
るカスレーザ発止装置を提供することにおる。
本発明の陰極は、陰極点の温度を高めることによ）、陰
極の絶縁被膜部に引着した炭素Ｃを燃焼させて除去する
ことにある。このために、陰極部材として陰極点温度の
高い導電、性部材たとえばＣＵ−Ｗ合金、Ｃｕ−Ｃｒ合
金等を使用することｒｃるる。
極の絶縁被膜部に引着した炭素Ｃを燃焼させて除去する
ことにある。このために、陰極部材として陰極点温度の
高い導電、性部材たとえばＣＵ−Ｗ合金、Ｃｕ−Ｃｒ合
金等を使用することｒｃるる。
以下、本発明の実施例を第１図に示す放電領域１により
説明する。
説明する。
放電領域１は絶縁管２と絶縁管２の両端に支持された陽
＆３および陰極４とから構成されている。
＆３および陰極４とから構成されている。
陽極３および陰極４の外側は、これらの電極と対応して
出力鏡および反射鏡（図示せず）を配置している。混合
カス５は矢印方向に向って流通している。陰極部材とし
ては、ＣＵ−Ｗ合金を使用している。円形状の陰極４は
、第２図に示す如く中心穴６と中心穴の周囲に沿って配
置された複数個の補助穴７とから構成されている。放ｋ
Ｉ１８は中心穴６の内周面に形成している。、絶縁被膜
９７’ｃとえばボロンは、第３図に示す如く放電面８以
外の陰極全体に被膜されている。
出力鏡および反射鏡（図示せず）を配置している。混合
カス５は矢印方向に向って流通している。陰極部材とし
ては、ＣＵ−Ｗ合金を使用している。円形状の陰極４は
、第２図に示す如く中心穴６と中心穴の周囲に沿って配
置された複数個の補助穴７とから構成されている。放ｋ
Ｉ１８は中心穴６の内周面に形成している。、絶縁被膜
９７’ｃとえばボロンは、第３図に示す如く放電面８以
外の陰極全体に被膜されている。
この構成で、ｌｌＩ＆３と陰＆４との間に直流電圧を印
加すれば、陽極３と放を面８との間にグロー放％１０を
発生する。・・一般に、陰極において、長時間（数百時
間以上）に亘るグロー放電を行なうと、鎖線で示＋☆口
（混合ガスの流れで下流側の放電面近傍の絶縁被膜９の
部分１１に炭素Ｃが引着する。しかし、本発明のように
隘極部拐として、ＣＵ−Ｗ合金を使用すれに、下流側部
分１１に炭゛累Ｃが堆積しない。その理由は、ＣＯ！と
電子やイオンとの愉突によシ生Ｕた縦索Ｃは、一度、下
流’ｅＡ１１部ｆＪ１１に引着する。しかし、ＣＵ−Ｗ
合金は陰極点温度がＣｕ−？ＡＬに比べて高いため、下
流側部分１１も高くすることができる。このため。
加すれば、陽極３と放を面８との間にグロー放％１０を
発生する。・・一般に、陰極において、長時間（数百時
間以上）に亘るグロー放電を行なうと、鎖線で示＋☆口
（混合ガスの流れで下流側の放電面近傍の絶縁被膜９の
部分１１に炭素Ｃが引着する。しかし、本発明のように
隘極部拐として、ＣＵ−Ｗ合金を使用すれに、下流側部
分１１に炭゛累Ｃが堆積しない。その理由は、ＣＯ！と
電子やイオンとの愉突によシ生Ｕた縦索Ｃは、一度、下
流’ｅＡ１１部ｆＪ１１に引着する。しかし、ＣＵ−Ｗ
合金は陰極点温度がＣｕ−？ＡＬに比べて高いため、下
流側部分１１も高くすることができる。このため。
ＣＵ−Ｗ合金の陰極点温度を高くすれば、それに応じて
下流側部分１１も高くな如、引着した炭素Ｃは燃焼して
、酸素と４４合し％Ｃ（ｈ となる。つまり、Ｃ＋（ｈ
→ＣＯ茸となる。従って、本発明の実施例の陰極４は、
陰極自身が炭素Ｃのクリーニング作用をしているので、
長時間に亘って安定なレーザ発振を行うことができる。
下流側部分１１も高くな如、引着した炭素Ｃは燃焼して
、酸素と４４合し％Ｃ（ｈ となる。つまり、Ｃ＋（ｈ
→ＣＯ茸となる。従って、本発明の実施例の陰極４は、
陰極自身が炭素Ｃのクリーニング作用をしているので、
長時間に亘って安定なレーザ発振を行うことができる。
上述の実施ψりでは、陰極全体をＣＵ−Ｗ合金で形成し
た賜金につき説明したが、陰極放−５面近傍のみＣＵ−
Ｗ合金とし、残シの部分をＣｕ−？Ａｔ尋の金属で構成
することもできる。また、上述の陰極部材以外に、Ａ
ｇ−Ｗ−＆金、（：ｕ−ｐｅ金合金Ｃｕ −Ｃｒ合金等
の放電面に引着させた炭素Ｃを燃焼させる温度以上の導
電性部材でおればよい。
た賜金につき説明したが、陰極放−５面近傍のみＣＵ−
Ｗ合金とし、残シの部分をＣｕ−？Ａｔ尋の金属で構成
することもできる。また、上述の陰極部材以外に、Ａ
ｇ−Ｗ−＆金、（：ｕ−ｐｅ金合金Ｃｕ −Ｃｒ合金等
の放電面に引着させた炭素Ｃを燃焼させる温度以上の導
電性部材でおればよい。
拘、上述のカスレーザ発生装置は軸流型について述べた
が、２軸、３軸等のカスレーザ発生装置およびこｆＬ、
らに使用される棒状形陰極にも使用できることは、勿論
である。
が、２軸、３軸等のカスレーザ発生装置およびこｆＬ、
らに使用される棒状形陰極にも使用できることは、勿論
である。
以上のように、本発明のカスレーザ発止装置によれは、
長時間に亘って安定なレーザ発振を行わせることができ
る。
長時間に亘って安定なレーザ発振を行わせることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の実施例として示した放電領域の側面図
、第２図は第１図に使用した陰極の平面図、第３図は第
２図の１１− ＩＩＩ線断面図である。 矧 ＋［１２１ Ｊ 篤２［ｌｉ］ 工 括 ３０
、第２図は第１図に使用した陰極の平面図、第３図は第
２図の１１− ＩＩＩ線断面図である。 矧 ＋［１２１ Ｊ 篤２［ｌｉ］ 工 括 ３０
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ＣＯ□を含崩する混合ガスが流通する陰極と陽極
との間でグロー放電を行なわせる時、混合ガスの一部か
ら炭素（すす）を生ずるものにおいて、上記電極の放電
面に炭素（すす）を焼燃させる温度に耐える壱知性部材
を使用することを特徴とするカスレーザ発生装置。 ２ 上記２ｓ導電性材としてＣｕ−Ｗ合金、Ｃｕ−Ｃｒ
合金、Ｃｕ−ｐｅ金合金Ａｇ−Ｗ合金から選ばれた１つ
の合金を使用することを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のガスレーザ発生装置。 ３ 炭素を焼燃させる温度に耐える導電性部材を、混合
カスの流れで下流側の放電面端に設けることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は第２項記載のカスレーザ発
生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15016883A JPS6042891A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | ガスレ−ザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15016883A JPS6042891A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | ガスレ−ザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6042891A true JPS6042891A (ja) | 1985-03-07 |
Family
ID=15490985
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15016883A Pending JPS6042891A (ja) | 1983-08-19 | 1983-08-19 | ガスレ−ザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6042891A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5891691A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-31 | Okaya Denki Sangyo Kk | ガスレ−ザ管の陰極 |
-
1983
- 1983-08-19 JP JP15016883A patent/JPS6042891A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5891691A (ja) * | 1981-11-26 | 1983-05-31 | Okaya Denki Sangyo Kk | ガスレ−ザ管の陰極 |
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