JPS6166354U - - Google Patents

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JPS6166354U
JPS6166354U JP1984149959U JP14995984U JPS6166354U JP S6166354 U JPS6166354 U JP S6166354U JP 1984149959 U JP1984149959 U JP 1984149959U JP 14995984 U JP14995984 U JP 14995984U JP S6166354 U JPS6166354 U JP S6166354U
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mask
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vram
ion
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案実施例の装置概略図、第２図は
パターン表示用VRAMのＣＲＴ像、第３図、第４図
はビーム制御用VRAMのＣＲＴ像を示す図である。 １……イオン源、２……イオンビーム、３……
マスク、４……２次イオン、５……２次イオン検
出器、６……２値化回路、７……ＣＰＵ、８……
パターン表示用VRAM、９……ＤＡコンバータ、１
０……ＸＹデフレクター、１１……ビーム制御用
VRAM、１２……インバータ、１３……ビームブラ
ンキング電極、２０……マスク欠陥、２１……指
定領域、２２……修正領域。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. イオンビームマスクリペア装置において、マス
    ク欠陥部近辺の２次イオン像を２値化してＶＲＡ
    Ｍへ取り込みＣＲＴへ表示する機構と、イオンビ
    ーム走査と同期してVRAMのドツトの１，０に対応
    してビームをブランキングする機構を備えること
    により、任意形状のマスク欠陥を修正できること
    を特徴とする、任意形状修正可能なイオンビーム
    マスクリペア装置。
JP1984149959U 1984-10-03 1984-10-03 Expired JPS6312347Y2 (ja)

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JP1984149959U JPS6312347Y2 (ja) 1984-10-03 1984-10-03

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Publication Number Publication Date
JPS6166354U true JPS6166354U (ja) 1986-05-07
JPS6312347Y2 JPS6312347Y2 (ja) 1988-04-08

Family

ID=30708123

Family Applications (1)

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JP1984149959U Expired JPS6312347Y2 (ja) 1984-10-03 1984-10-03

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5856332A (ja) * 1981-09-30 1983-04-04 Hitachi Ltd マスクの欠陥修正方法
JPS58196020A (ja) * 1982-05-12 1983-11-15 Hitachi Ltd マスクの欠陥検査・修正方法およびその装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5856332A (ja) * 1981-09-30 1983-04-04 Hitachi Ltd マスクの欠陥修正方法
JPS58196020A (ja) * 1982-05-12 1983-11-15 Hitachi Ltd マスクの欠陥検査・修正方法およびその装置

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JPS6312347Y2 (ja) 1988-04-08

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