JPS62158450U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62158450U JPS62158450U JP1986047589U JP4758986U JPS62158450U JP S62158450 U JPS62158450 U JP S62158450U JP 1986047589 U JP1986047589 U JP 1986047589U JP 4758986 U JP4758986 U JP 4758986U JP S62158450 U JPS62158450 U JP S62158450U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- detector
- displays
- ion
- gradation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はマスクリペア装置のブロツク図、第２
図ＡないしＤは欠陥パタン画像図及び第３図は従
来の欠陥パタン画像図である。 １…イオン源、２…イオンビーム、３…偏向電
極、４…走査信号発生回路、５…増幅回路、８…
マスク、１０…検出器、１１…２次イオン、１２
…計数器、１３…階調分割回路、１４…カラー割
り当て回路、１５…カラー画像表示装置。
図ＡないしＤは欠陥パタン画像図及び第３図は従
来の欠陥パタン画像図である。 １…イオン源、２…イオンビーム、３…偏向電
極、４…走査信号発生回路、５…増幅回路、８…
マスク、１０…検出器、１１…２次イオン、１２
…計数器、１３…階調分割回路、１４…カラー割
り当て回路、１５…カラー画像表示装置。
Claims (1)
- イオンビームを発射するイオン源と、イオンビ
ームを走査しつつマスクに照射する偏向電極と、
マスクのパタンから放出される２次イオンを検出
する検出器と、２次イオンの平面強度分布に基づ
いてマスクパタンを表示する画像表示装置と、表
示されたマスクパタンの欠陥部を選択的にイオン
ビームど照射し補修を行う手段よりなるマスクリ
ペア装置において、検出器により選択された所定
の２次イオン種を計数する計数器と、計数データ
を複数の閾値によつて複数の階調に区分する階調
分割回路と、各々の階調に所定の色を付与して表
示するカラー割り当て回路を含むことを特徴とす
るマスクリペア装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986047589U JPS62158450U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986047589U JPS62158450U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158450U true JPS62158450U (ja) | 1987-10-08 |
Family
ID=30868332
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986047589U Pending JPS62158450U (ja) | 1986-03-31 | 1986-03-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62158450U (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50105185A (ja) * | 1974-01-28 | 1975-08-19 | ||
| JPS5258373A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Fujitsu Ltd | Inspection for defects of pattern forming film |
| JPS52119981A (en) * | 1976-04-01 | 1977-10-07 | Tokyo Keiki Kk | Displaying devie for ultrasonic flaw detector |
-
1986
- 1986-03-31 JP JP1986047589U patent/JPS62158450U/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50105185A (ja) * | 1974-01-28 | 1975-08-19 | ||
| JPS5258373A (en) * | 1975-11-07 | 1977-05-13 | Fujitsu Ltd | Inspection for defects of pattern forming film |
| JPS52119981A (en) * | 1976-04-01 | 1977-10-07 | Tokyo Keiki Kk | Displaying devie for ultrasonic flaw detector |
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