JPS6158245A - Ｉｃチツプの位置合せ装置 - Google Patents
Ｉｃチツプの位置合せ装置Info
- Publication number
- JPS6158245A JPS6158245A JP18010784A JP18010784A JPS6158245A JP S6158245 A JPS6158245 A JP S6158245A JP 18010784 A JP18010784 A JP 18010784A JP 18010784 A JP18010784 A JP 18010784A JP S6158245 A JPS6158245 A JP S6158245A
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- JP
- Japan
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- chip
- reference point
- displacement
- mounting device
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は、特にＩＣチップを基板上に実装する際にＩＣ
チップの正確な位：ａ合せを行なうＩＣチップの位置合
せ装置に関する。
チップの正確な位：ａ合せを行なうＩＣチップの位置合
せ装置に関する。
［発明の技術的背景］
従来から、ＩＣチップを基板上の所定位置に実装する際
には、基板とは別の台上に基板上の位置合せ基準点に対
応する基準点を設定し、ＩＣチップを一旦この基準点に
対して位置合せし、ざらに基板上に対称移動させた模、
ボンディングするという方法が行われている。
には、基板とは別の台上に基板上の位置合せ基準点に対
応する基準点を設定し、ＩＣチップを一旦この基準点に
対して位置合せし、ざらに基板上に対称移動させた模、
ボンディングするという方法が行われている。
このような方法において、ＩＣチップの位置合せを行な
う装置としては、例えばＩＣチップを向きを合せただけ
のラフな状態で台上に載置し、第３図に示したように、
先端縁部２ａが相互に直角になるようにされている抑圧
部材２で４方向から押圧して姿勢を補正するよう構成さ
れたものや、第４図に示したように、ＩＣチップ１を先
端縁部３ａが直角のＬ字状に形成された押圧部材３で２
方向から抑圧して姿勢を補正するよう構成されたものが
知られている。
う装置としては、例えばＩＣチップを向きを合せただけ
のラフな状態で台上に載置し、第３図に示したように、
先端縁部２ａが相互に直角になるようにされている抑圧
部材２で４方向から押圧して姿勢を補正するよう構成さ
れたものや、第４図に示したように、ＩＣチップ１を先
端縁部３ａが直角のＬ字状に形成された押圧部材３で２
方向から抑圧して姿勢を補正するよう構成されたものが
知られている。
［背景技術の問題点］
しかしながら、上述したように従来のＩＣチップの位置
合は液性は押圧部材を使う礪械的な構成であるために、
異なるサイズのＩＣチップの位置合せをする際には、数
種類の抑圧部材を用意しＩＣチップのナイスが異なる毎
に交換しなければならないという問題があった。
合は液性は押圧部材を使う礪械的な構成であるために、
異なるサイズのＩＣチップの位置合せをする際には、数
種類の抑圧部材を用意しＩＣチップのナイスが異なる毎
に交換しなければならないという問題があった。
また、抑圧部材を交Ｍｋする際には複雑な調節を行なわ
なくてはならないので、特にＩＣチップを複＠個１ｒｔ
＠するハイブリットｒＣを生産する場合には作業能率が
極端に低下してしまう。ざらに押圧部材でＩＣチップを
押圧する際にＩＣチップに過大な負荷が加わって、破損
させてしまうことがあるという問題もあった。
なくてはならないので、特にＩＣチップを複＠個１ｒｔ
＠するハイブリットｒＣを生産する場合には作業能率が
極端に低下してしまう。ざらに押圧部材でＩＣチップを
押圧する際にＩＣチップに過大な負荷が加わって、破損
させてしまうことがあるという問題もあった。
［発明の目的１
本発明はこのような事情によりなされたもので、サイズ
の異なる種々のＩＣチップに柔軟に対応することができ
、しかもＩＣチップの破損をＩＥ ＜おそれがないＩＣ
チップの位置合せ装置の提供を目的としている。
の異なる種々のＩＣチップに柔軟に対応することができ
、しかもＩＣチップの破損をＩＥ ＜おそれがないＩＣ
チップの位置合せ装置の提供を目的としている。
［発明の概要コ
すなわち本発明のＩＣチップの位置合せ装置は、ＩＣチ
ップを固定する移動可能な回転台と、この回転台の移動
した位置においてこの回転台から前記ＩＣチップを離脱
させ基板上の所定実装位置に載置する移動可能なマウン
ト装置とを描え、前記回転台の移動前に前記回転台上に
固定された前記ＩＣチップを前記マウント装置の基準点
と対応した視野内ｌＩｋ準点単点する撮像’ＪＡ＠で撮
像して前記ＩＣチップの前記視野角基準点からの変位角
および変位距離を検出し、前記変位角を打ち消すような
方向に前記回転台を回転させ、次いで前記回転台を前記
マウント装置の位置まで移動させ、さらに前記ＩＣチッ
プの変位距離を打ち消すような方向に前記マウント装置
を変位させるよう構成されていることをｖ！徴としてい
る。
ップを固定する移動可能な回転台と、この回転台の移動
した位置においてこの回転台から前記ＩＣチップを離脱
させ基板上の所定実装位置に載置する移動可能なマウン
ト装置とを描え、前記回転台の移動前に前記回転台上に
固定された前記ＩＣチップを前記マウント装置の基準点
と対応した視野内ｌＩｋ準点単点する撮像’ＪＡ＠で撮
像して前記ＩＣチップの前記視野角基準点からの変位角
および変位距離を検出し、前記変位角を打ち消すような
方向に前記回転台を回転させ、次いで前記回転台を前記
マウント装置の位置まで移動させ、さらに前記ＩＣチッ
プの変位距離を打ち消すような方向に前記マウント装置
を変位させるよう構成されていることをｖ！徴としてい
る。
［発明の実施例１
以下本発明の詳細を図面に示す実施例に基づいて説明す
る。
る。
第１図は本発明のＩＣチップの位置合ぼ装置の一実施例
の構成を示す一部に側面図および平面図を含んだブロッ
ク図である。
の構成を示す一部に側面図および平面図を含んだブロッ
ク図である。
同図において４はモータ５により３６０°回動可能な第
１のθテーブル、６は第１のθテーブル４と同様にモー
タ７により回動可能な第２のθテーブルを示しており、
共に台座８上の対称位置にに配置されている。この台座
８は駆動装置９により１８０°揺動可能なようにされて
いる。
１のθテーブル、６は第１のθテーブル４と同様にモー
タ７により回動可能な第２のθテーブルを示しており、
共に台座８上の対称位置にに配置されている。この台座
８は駆動装置９により１８０°揺動可能なようにされて
いる。
また第１のθテーブル４、第２のθテーブル６それぞれ
の中心に設けられた貞通孔４ａ １５ａにはバキューム
吸引器（図示せず）のチューブ１０ａ、ｉｉａが接続さ
れている。１０，１１はバキューム吸引を２値的に制御
する電磁弁を示している（以上の部分は側面図で示され
ている）。
の中心に設けられた貞通孔４ａ １５ａにはバキューム
吸引器（図示せず）のチューブ１０ａ、ｉｉａが接続さ
れている。１０，１１はバキューム吸引を２値的に制御
する電磁弁を示している（以上の部分は側面図で示され
ている）。
そして１２は第１のθテーブル４上に位置しＩＣチップ
１を撮像するＩＴＶカメラ、１３は第２のθテーブル６
の近傍に位置しＸ−Ｙテーブル１３ａおよびピックアッ
プ部１３ｂを有するマウント装置（マウントＫＵは平面
図で示されている）、１４はモータ５．７を回転させて
第１のθテーブル４、第２のθテーブル６を回動させる
制御を行なうθテーブル制御回路、１５はＸ−Ｙテーブ
ル１３ａを移動させる制御を行なうＸ−Ｙテーブル ゛
制御回路、１６はＩＴＶカメラ１２からの情報に従って
θテーブル制御回路１４、Ｘ−Ｙテーブル゛制御制御回
路１５に後述する信号を出力するマイクロプロセッサを
示している。
１を撮像するＩＴＶカメラ、１３は第２のθテーブル６
の近傍に位置しＸ−Ｙテーブル１３ａおよびピックアッ
プ部１３ｂを有するマウント装置（マウントＫＵは平面
図で示されている）、１４はモータ５．７を回転させて
第１のθテーブル４、第２のθテーブル６を回動させる
制御を行なうθテーブル制御回路、１５はＸ−Ｙテーブ
ル１３ａを移動させる制御を行なうＸ−Ｙテーブル ゛
制御回路、１６はＩＴＶカメラ１２からの情報に従って
θテーブル制御回路１４、Ｘ−Ｙテーブル゛制御制御回
路１５に後述する信号を出力するマイクロプロセッサを
示している。
このように構成された本発明のＩＣチップの位置合せ装
置では、まずＩＣチップ１をトレイ（図示せず）からピ
ックアップし、向きを合せただけのラフな状態で第１の
θテーブル４上にｆＩ！置する。
置では、まずＩＣチップ１をトレイ（図示せず）からピ
ックアップし、向きを合せただけのラフな状態で第１の
θテーブル４上にｆＩ！置する。
そしてこの状態のまま電磁弁１０をｕ１］いてＩＣデツ
プ１を第１のθテーブル４上に吸引固定する。
プ１を第１のθテーブル４上に吸引固定する。
次にＩＴＶカメラ１２によりＩＣチップ１を垂直上方向
から撮像し、Ｉｆｆデータをマイクロブロセッサ１６に
入力して第２図に示したような動作を行なう。
から撮像し、Ｉｆｆデータをマイクロブロセッサ１６に
入力して第２図に示したような動作を行なう。
まずＩＴＶカメラ１２の視野Ａ内にマウント装置１３の
ピックアップ部１３ｂの基準点Ｓ１に対応する基準点＄
２を原点とした座標を想定し、この座標における【Ｃチ
ップ１の変位角θを求める（第２図にＪ３いてはｙｌ＊
に対する縁部１ａの傾きを変位角θとしている）。なお
、マウント装Ｗｔ１３の基準点Ｓ１は基板上におけるＩ
Ｃチップ１の実装位置の基準点く図示せず）に合致して
いる。
ピックアップ部１３ｂの基準点Ｓ１に対応する基準点＄
２を原点とした座標を想定し、この座標における【Ｃチ
ップ１の変位角θを求める（第２図にＪ３いてはｙｌ＊
に対する縁部１ａの傾きを変位角θとしている）。なお
、マウント装Ｗｔ１３の基準点Ｓ１は基板上におけるＩ
Ｃチップ１の実装位置の基準点く図示せず）に合致して
いる。
次にこの変位角θがＯになるよう第１のθテーブル４を
回動させる。そして基準点３２からのＩＣチップ１の基
準点Ｓ３の変位距１１！ＩＩ（Ｘ、Ｙ）を求め、マイク
ロプロセッサ１６に入力する。
回動させる。そして基準点３２からのＩＣチップ１の基
準点Ｓ３の変位距１１！ＩＩ（Ｘ、Ｙ）を求め、マイク
ロプロセッサ１６に入力する。
以上の後、駆動装置９を作動させて台座８を１８０’揺
動させ、第１のθテーブル４をマウント装置１３の位置
まで移動させる。この移動に伴って第２のθテーブル６
は最初に第１のθテーブル４が存在していた位置に移動
する。
動させ、第１のθテーブル４をマウント装置１３の位置
まで移動させる。この移動に伴って第２のθテーブル６
は最初に第１のθテーブル４が存在していた位置に移動
する。
そして電磁弁１０を閉じ、ピックアップ部１３ｂにより
第１のθテーブル４からＩＣチップ１を離脱させる。
第１のθテーブル４からＩＣチップ１を離脱させる。
ざらにＸ−Ｙテーブル制御回路１５はマイクロプロセッ
サ１６から先に述べた［Ｃチップ１の基準点Ｓ３の変位
距Ｍ （Ｘ、Ｙ）を打ら消ずような方向にｘ−Ｙテーブ
ル１３ａを変位させる信号を入力し、ピックアップ部１
３ｂの基準点Ｓ１の位置を補正する。
サ１６から先に述べた［Ｃチップ１の基準点Ｓ３の変位
距Ｍ （Ｘ、Ｙ）を打ら消ずような方向にｘ−Ｙテーブ
ル１３ａを変位させる信号を入力し、ピックアップ部１
３ｂの基準点Ｓ１の位置を補正する。
すなわち移動前のピックアップ部１３ｂの基準点Ｓ＋は
基板上における１Ｇチツプ１の実装位置の基準点合致し
ているので、上記移動の後にピックアップ部１３ａｅＪ
ｌ板上のＩＣチップ１の実装位置に移動させ、ＩＣチッ
プ１を基板上に載置すればＩＣチップ１の基準点Ｓ３は
基板上の実装位置の基準点に合致する。
基板上における１Ｇチツプ１の実装位置の基準点合致し
ているので、上記移動の後にピックアップ部１３ａｅＪ
ｌ板上のＩＣチップ１の実装位置に移動させ、ＩＣチッ
プ１を基板上に載置すればＩＣチップ１の基準点Ｓ３は
基板上の実装位置の基準点に合致する。
上記動作と並行して、第１のθテーブル４が最初に存在
した位置に移動している第２のθテーブル６にＩＣチッ
プ１を搭載し、上述した動作を順に行なう。
した位置に移動している第２のθテーブル６にＩＣチッ
プ１を搭載し、上述した動作を順に行なう。
このように２つのθテーブルを用いて２つのＩＣチップ
１の位置合せを交互に行なえば、ＩＣチップ１の実装に
おけるマウント作業の効率が向上する。またθテーブル
は３６００回転可能にされているので、【Ｃチップ１が
どのような角度に置かれていても変位角の補正を行なう
ことができる。
１の位置合せを交互に行なえば、ＩＣチップ１の実装に
おけるマウント作業の効率が向上する。またθテーブル
は３６００回転可能にされているので、【Ｃチップ１が
どのような角度に置かれていても変位角の補正を行なう
ことができる。
［発明の効果］
以上説明したように本発明のＩＣチップの位置合せ装置
は、回転台上に固定されたＩＣチップをマウント装置の
基準点と対応する視野的基準点を有する毘像装置で岡象
し、視野的基準点からの【Ｃチップの変位角および変位
距離を検出し、回転台を回転させることにより変位角を
補正し、次いで回転台をマウント８置の位置まで移動さ
せ、マウント装置を［０チツプの変位距離を打ち消すよ
うな方向に変位させるよう構成されているので、サイズ
の異なる神々のＩＣチップに柔軟に対応することができ
る。しかもＩＣチップを直接動かすことなく位置合せを
行なうので、ＩＣチップの破損を１０りおそれがない。
は、回転台上に固定されたＩＣチップをマウント装置の
基準点と対応する視野的基準点を有する毘像装置で岡象
し、視野的基準点からの【Ｃチップの変位角および変位
距離を検出し、回転台を回転させることにより変位角を
補正し、次いで回転台をマウント８置の位置まで移動さ
せ、マウント装置を［０チツプの変位距離を打ち消すよ
うな方向に変位させるよう構成されているので、サイズ
の異なる神々のＩＣチップに柔軟に対応することができ
る。しかもＩＣチップを直接動かすことなく位置合せを
行なうので、ＩＣチップの破損を１０りおそれがない。
加えてＩＴＶカメラ１２を使用して位置合せを行なうの
で、供給される（Ｃチップの不良を発見することも可能
である。
で、供給される（Ｃチップの不良を発見することも可能
である。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す一部側面図およ
び平面図を含んだブロック図、第２図はそのＩＣチップ
の位置合せ様態を示す図、第３図および第４因は従来の
ＩＣチップの位置合せ装置によるＩＣチップの位置合せ
様態を示ず図である。 １・・・・・・・・・・・・ＩＣチップ２．３・・・・
・・押圧部材 ４・・・・・・・・・・・・第１のθテーブル５．７・
・・・・・モータ ６・・・・・・・・・・・・第２のθテーブル８・・・
・・・・・・・・・台 座 ９・・・・・・・・・・・・駆動装置 １０．１１・・・電磁弁 １２・・・・・・・・・・・・［ＴＶカメラ１３・・・
・・・・・・・・・マウント装置１３ａ・・・・・・・
・・Ｘ−Ｙテーブル１３ｂ・・・・・・・・・ピックア
ップ部１４・・・・・・・・・・・・θテーブル制御回
路１５・・・・・・・・・・・・Ｘ−Ｙテーブル制御回
路１６・・・・・・・・・・・・マイクロプロセッサ代
理人弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図
び平面図を含んだブロック図、第２図はそのＩＣチップ
の位置合せ様態を示す図、第３図および第４因は従来の
ＩＣチップの位置合せ装置によるＩＣチップの位置合せ
様態を示ず図である。 １・・・・・・・・・・・・ＩＣチップ２．３・・・・
・・押圧部材 ４・・・・・・・・・・・・第１のθテーブル５．７・
・・・・・モータ ６・・・・・・・・・・・・第２のθテーブル８・・・
・・・・・・・・・台 座 ９・・・・・・・・・・・・駆動装置 １０．１１・・・電磁弁 １２・・・・・・・・・・・・［ＴＶカメラ１３・・・
・・・・・・・・・マウント装置１３ａ・・・・・・・
・・Ｘ−Ｙテーブル１３ｂ・・・・・・・・・ピックア
ップ部１４・・・・・・・・・・・・θテーブル制御回
路１５・・・・・・・・・・・・Ｘ−Ｙテーブル制御回
路１６・・・・・・・・・・・・マイクロプロセッサ代
理人弁理士 須 山 佐 − 第１図 第２図
Claims (2)
- （１）ＩＣチップを固定する移動可能な回転台と、この
回転台の移動した位置においてこの回転台から前記ＩＣ
チップを離脱させかつ基板上の所定実装位置に載置する
移動可能なマウント装置とを備え、前記回転台の移動前
に前記回転台上に固定された前記ＩＣチップを前記マウ
ント装置の基準点と対応した視野内基準点を有する撮像
装置で撮像して前記ＩＣチップの前記視野内基準点から
の変位角および変位距離を検出し、前記変位角を打ち消
すような方向に前記回転台を回転させ、次いで前記回転
台を前記マウント装置の位置まで移動させ、さらに前記
ＩＣチップの変位距離を打ち消すような方向に前記マウ
ント装置を変位させるよう構成されていることを特徴と
するＩＣチップの位置合せ装置。 - （２）回転台を２つ有し、回転台が台座上の対称位置に
配置され、２つの回転台が交互に移動するようにされて
いる特許請求の範囲第１項記載のＩＣチップの位置合わ
せ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18010784A JPS6158245A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | Ｉｃチツプの位置合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18010784A JPS6158245A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | Ｉｃチツプの位置合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6158245A true JPS6158245A (ja) | 1986-03-25 |
Family
ID=16077541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18010784A Pending JPS6158245A (ja) | 1984-08-29 | 1984-08-29 | Ｉｃチツプの位置合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6158245A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373930U (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-17 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753950A (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 | Fujitsu Ltd | Peretsutobondeingusochi |
-
1984
- 1984-08-29 JP JP18010784A patent/JPS6158245A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5753950A (ja) * | 1980-09-17 | 1982-03-31 | Fujitsu Ltd | Peretsutobondeingusochi |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6373930U (ja) * | 1986-10-30 | 1988-05-17 |
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