JPS6157251B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体部品等の製造及び検査工程にお
いて用いられるリードフレーム、基板、キヤリア
プレート等を収納するマガジンの移送装置に関す
るものである。

半導体部品は製造、検査工程の途中で運搬、取
扱いに便利な様にマガジンに収納される。特に、
ダイボンダー、ワイヤボンダー等の自動作業にお
いては、通常、半導体部品はローデイング側のマ
ガジンから自動的に供給され、アンローデイング
側のマガジンに自動的に搬出されるというよう
に、マガジンが必要不可欠である。

ところで、半導体部品の収納マガジンは通常、
リードフレーム等の板状部品を上下に積上げて収
納する積上げマガジンであり、、これから部品を
取出したり、逆に部品を収納したりするには、マ
ガジンを部品の収納ピツチ毎に昇降させる移送装
置が必要である。

従来のこの種の移送装置は、第１図に示す様
に、垂直方向に配置された送りねじ１と、この送
りねじ１を間欠的に回転駆動するモーター２と、
送りねじ１に螺合してその回転により昇降するマ
ガジン受け３とからなるもので、マガジン受け３
に載置されたローデイング側のマガジン４は下方
から上方へ所定ピツチづつ移送され、順次収納し
た部品６を送り装置７によつて自動的に作業装置
８の位置に送り、アンローデイング側のマガジン
５は上方から下方へ移動して加工又は検査等が終
了した部品６を順次収納する。

しかしながら、こうしたマガジンの移送装置で
は、ローデイング側の１個のマガジン４が空にな
り、アンローデイング側の１個のマガジン５が満
杯になると、手作業によりマガジンを交換し、か
つマガジン受け３を一方は下降、他方は上昇させ
て原位置に戻さねばならない。そして、この作業
中は製造、検査の作業は停止されるため、作業効
率の向上に大きな障害となつていた。

本発明は上記従来装置の欠点に鑑みてなされた
もので、マガジンの変換による無駄時間を無くす
ことを可能にするマガジン移送装置を提供するこ
とを目的とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になるマガジン移送装置の１実施
例を示す正面図（第３図に示すＡ−Ａ線矢視
図）、第３図は第２図に示すＢ−Ｂ線矢視断面
図、第４図は第３図に示すＣ−Ｃ線矢視図であ
る。１０は架台で、その上面に送り装置１１を備
え、中央部に作業装置１２が設けられている。１
３は架台１０に付設されたローデイング側のマガ
ジン上下移送装置、１４は同様のアンローデイン
グ側マガジン上下移送装置で、これらは各々同一
機構を備え、対称に配置されている。これら移送
装置の構造は前述のように同一であるので、アン
ローデイング側によつてその構造を説明する。

１５はフレーム、１６はフレーム１５の上部に
回転可能に支持された軸１７に固定された２個１
対の第１スプロケツト、１８は第１スプロケツト
１６の下方にあつてこれに対向し同様にフレーム
１５に回転可能に支持された軸１９に固定された
２個１対の第２スプロケツトで、これらのスプロ
ケツト１６，１８はプーリでもよい。２０はフレ
ーム１５に固定され出力軸が軸１７に連結された
第１モータ、２１は第１スプロケツト１６と第２
スプロケツト１８を垂直方向に沿つて周回する２
本１対のベルトもしくはチエーン等の伝動部材
（以下ベルトと称する）、２２はベルト２１の外周
に各々１本づつ２本１組で等間隔に多数配設され
たピン、２３はピン２２に圧入されて固定された
２個１組のＬ字状のマガジン受け、２４はマガジ
ン受け２３に載置されたマガジンである。

第５図はマガジン２４の正面図で、矩形状の少
くとも一面が開口した箱状のケース２４ａの対向
する内壁に対をなす溝２４ｂがそれぞれ多数設け
られており、この溝２４ｂに半導体部品、例えば
リードフレーム２５が多数挿入されて積み上げ収
納される。

第６図はマガジン２４に形成された溝２４ｂの
ピツチ毎、即ちリードフレーム２５の積み上げ収
納のピツチ毎に間欠的に上下に移送させるための
マガジン上下移送装置１３，１４における位置検
出機構を示すもので、フレーム１５に固定された
フオトセンサ３０によつてマガジン２４の溝２４
ｂの通過を検出するものである。この位置検出機
構は、この他に、例えば第１モータ２０をパルス
モータかもしくはパルスエンコーダー付モータと
して、その回転量を計測してマガジン２４の昇降
量を換算検知する方法でもよい。

さて、再び第２，３，４図に戻つて、４０はフ
レーム１５に回転可能に支持された軸４１に固定
された２個１対の第３スプロケツト、４２は第３
スプロケツト４０に水平方向に対向して同様にフ
レーム１５に回転可能に支持された軸４３に固定
された２個１対の第４スプロケツト、４４はフレ
ーム１５に固定され出力軸が軸４１に連結された
第２モータ、４５は第３スプロケツト４０と第４
スプロケツト４２を水平方向に沿つて周回する２
本１対のベルト、４６はベルト４５の外周に各々
１本づつ２本１組で等間隔に多数配設されたピ
ン、４７はピン４６に圧入されて固定された２個
１組の凹字状のマガジン受けで、ベルト４５の通
過経路はベルト２１の経路に対して直交する様に
配置されており、マガジン受け４７に支持された
マガジン２４をマガジン受け２３に移乗させた
り、或いはその逆の動作を行わしめることができ
る。

５０は架台１０の上方に突出配置された補助フ
レームで、これにはローデイング側上下移送装置
１３の第１スプロケツト１６の付近に軸５１に固
定された第５スプロケツト５２、アンローデイン
グ側上下移送装置１４の第１スプロケツト１６の
付近に第５スプロケツト５２に水平に対向して軸
５３に固定された第６スプロケツト５４が各々回
転可能に支持されている。５５は補助フレーム５
０に固定され出力軸が軸５３に連結された第３モ
ータ、５６は第５スプロケツト５２と第６スプロ
ケツト５４とを水平方向に周回するベルト、５７
はベルト５６に等間隔に多数固定されたピン、５
８はピン５７に圧入されて固定された送り爪、５
９は送り爪５８の通過経路に沿つて形成された案
内路で、これらによつてマガジン転送装置を形成
している。

次にかかる構成からなるマガジン移送装置の作
用について説明する。初めにマガジン２４にリー
ドフレーム２５を積上げ収納させ、これをローデ
イング側１３の水平方向移動のマガジン受け４７
に何個か積載する。そしてローデイング側の第２
モータ４４を起動して第３スプロケツト４０を回
転させ、ベルト４５を周回運動せしめマガジン受
け４７を移動させてマガジン２４をベルト２１の
経路との交差点ａへ移送する。そして、ここでベ
ルト４５の運動を停止し、次にローデイング側の
第１モータ２０を起動して第１スプロケツト１６
を回転させ、ベルト２１を周回運動せしめマガジ
ン受け２３を上昇させると、交差点ａに位置した
マガジン２４を下方よりすくい上げるようにこれ
をマガジン受け２３の側に移乗せしめ、そのまま
上方へ移送する。そしてマガジン２４の最上部の
溝２４ｂが送り装置１１の案内溝と同じレベルに
達すると、フオトセンサー３０が動作してモータ
２０を停止させ、マガジン２４の移送を停止させ
る。そしてマガジン２４から最初のリードフレー
ム２５が送り出されて送り装置１１により作業装
置１２に送られ、ここで作業が行われる。最初の
リードフレーム２５が送り出されると、図示しな
い検出装置によつて検出され、その信号によつて
ローデイング側の第１モータ２０が再び起動し、
マガジン２４上方へ次の溝２４ｂが送り装置１１
の案内路と同じレベルに達するまで移送され、次
のリードフレーム２５を送り出す用意を完了し、
以下必要に応じてこの動作が繰返えされる。

そして最初のマガジン２４が交差点ａから上方
へ移送されると、図示しない検出装置によつて検
出され、その信号によつてローデイング側の第２
モータ４４が再起動して、次のマガジン２４を交
差点ａへ移送待機せしめ、以下、必要に応じてこ
の動作が繰返えされる。

さて、最初のマガジン２４はその中に収納した
全てのリードフレーム２５を送り出し終ると、次
のマガジン２４が続いて移送され、順次位置決め
されてリードフレーム２５を送り出していくのに
つれて上方へ移送され、ベルト５６の通過経路と
の交差点ｂに達する。すると、第３のモータ５５
が起動し第６スプロケツト５４を回転させ、ベル
ト５６を周回運動せしめ送り爪５８を移動させ
る。マガジン２４はこの送り爪５８によつてマガ
ジン受け２３から案内路５９に移乗し、さらにこ
れに沿つて転送され、やがてアンローデイング側
の上下移送装置１４におけるベルト２１の通過経
路との交差点ｂに達する。そしてここでアンロー
デイング側のマガジン受け２３に移乗せられる。

ところで、加工を完了したリードフレーム２５
は送り装置１１によつてアンローデイング側のマ
ガジン２４へ送られる。アンローデイング側の空
のマガジン２４はアンローデイング側の第１モー
タ２０を回転させることで下方へ移送され、その
最下部の溝２４ｂが送り装置１１の案内路と同じ
レベルに達したところで停止されている。そして
送られてきたリードフレーム２５をこの溝２４ｂ
に挿入する形で収納する。しかる後、アンローデ
イング側の第１モータ２０を再び起動し、マガジ
ン２４を下方へ次の溝２４ｂが送り装置１１の案
内路と同じレベルに達するまで移送し、次のリー
ドフレーム２５を収納する用意を完了する。こう
して最初のマガジン２４にリードフレーム２５を
収納し終ると、続いて第２のマガジン２４が下方
へ移送されてくるが、これは先に述べたようにロ
ーデイング側から転送されて交差点ｂにあつたマ
ガジン２４であつて、以下必要に応じてこの動作
が繰返えされる。またリードフレーム２５を収納
したマガジン２４はアンローデイング側のベルト
４５との交差点ａに達すると、マガジン受け４７
にマガジン２４を移乗せしめて水平方向に移送
し、マガジン２４を搬出する。

第７図はマガジン２４の上下位置検出機構の他
の実施例を示す。マガジン２４にその溝２４ｂの
ピツチと同ピツチのスリツト３１ａを有するスリ
ツト板３１を付設し、これをフオトセンサ３０に
より検出するように構成してなる。

第８図はマガジン２４の上下位置検出機構の更
に他の実施例を示す。送り装置１１のローデイン
グ側マガジン移送装置１３（第２図参照）側にア
ングル３２を取付け、検出アーム３３を固定した
軸３４を前記アングル３２に回転自在に取付けて
なる。そして、検出アーム３３の一端にリードフ
レーム２５と平行な突起部３３ａを設け、検出ア
ーム３３の他端を挾持する形ちでフオトセンサ３
５を送り装置１１に固定してなる。

従つて、リードフレーム２５が収納されている
ローデイング側のマガジン２４がモーター２０の
駆動により上昇すると、検出アーム３３が時計方
向に回転してフオトセンサ３５を遮光し、リード
フレーム２５の位置が検出される。この検出でモ
ータ２０の回転量を制御する。

第９図、第１０図、第１１図はマガジン２４の
転送装置の第２、第３、第４実施例を示す。第９
図に示すようにローデイング側よりプツシヤー６
０のロツド６０ａを突出させ、アンローデイング
側に転送する方法、第１０図に示すように往復動
する２つの送り爪６１ａ，６１ｂを両端に備えた
送り腕６１により２段送りする方法、第１１図に
示す様にマガジン２４を整列してその厚みに等し
い距離を１ピツチとしてプツシヤ６２で間欠的に
送る方法等、多くの実施例が考えられる。

以上のように、本発明による部品のマガジン移
送装置によれば、マガジンの交換作業に要する無
駄時間を必要とせず、しかもローデイング側のマ
ガジンを転送してアンローデイング側で使用する
ため、マガジンの交換作業そのものを省くことが
でき、極めて能率のよい作業を行うことができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマガジン移送装置を示す正面
図、第２図は本発明になるマガジン移送装置の一
実施例を示す正面図、第３図は第２図に示すＢ−
Ｂ線断面図、第４図は第３図に示すＣ−Ｃ線矢視
図、第５図はマガジンの正面図、第６図はマガジ
ンの定ピツチ上下送りの位置検出機構の一実施例
を示す説明図、第７図はマガジン位置検出機構の
他の実施例を示し、ａは正面図、ｂは側面図、第
８図はマガジン位置検出機構の更に他の実施例を
示し、ａは正面図、ｂは側面図、ｃはフオトセン
サー部の背面図、第９図、第１０図、第１１図は
それぞれマガジン転送装置の第２、第３、第４実
施例を示す説明図である。 １１……送り装置、１２……作業装置、１３…
…ローデイング側上下移送装置、１４……アンロ
ーデイング側上下移送装置、１６……第１スプロ
ケツト、１８……第２スプロケツト、２０……第
１モータ、２１……ベルト、２２……ピン、２３
……マガジン受け、２４……マガジン、２４ｂ…
…溝、２５……リードフレーム、３０……フオト
センサ、４０……第３スプロケツト、４２……第
４スプロケツト、４４……第２モータ、４５……
ベルト、４７……マガジン受け、５２……第５ス
プロケツト、５４……第６スプロケツト、５５…
…第３モータ、５６……ベルト、５８……送り
爪、５９……案内路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 部品を等間隔に積み上げる形で収納するマガ
   ジンをローデイング側及びアンローデイング側に
   上下動可能に配設し、部品が収納されたローデイ
   ング側のマガジンより部品を１個づつ受け取り、
   送り装置によつて作業装置の位置に送り、この作
   業装置による加工等が終了した部品を再び送り装
   置によつてアンローデイング側に送り、空のアン
   ローデイング側のマガジンに収納するマガジン移
   送装置において、上下に対向する少なくとも２個
   の回転体を垂直方向に沿つて周回するベルトもし
   くはチエーン等の伝動部材と、この伝動部材に連
   鎖的に配設され部品を収納するマガジンを載置す
   る多数のマガジン受けと、前記回転体の少なくと
   も１個を回転駆動し、前記マガジン受けを所定の
   ピツチで間欠的に移送せしめる送り制御手段とを
   備えたマガジン上下移送装置を前記送り装置の両
   側の前記ローデイング側と前記アンローデイング
   側の各々に設け、さらにローデイング側の前記マ
   ガジン上下移送装置から部品を前記送り装置に供
   給して空になつたマガジンを取り出してこれをア
   ンローデイング側の前記マガジン上下移送装置へ
   水平方向に転送するマガジン転送装置を設け、こ
   のアンローデイング側の空のマガジンに前記送り
   装置から送られてきた部品を収納することを特徴
   とするマガジン移送装置。