JPH024486B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体部品等の製造及び検査工程にお
いて用いられるリードフレーム、基板、キヤリア
プレート等を収納するマガジンの移送装置に関す
るものである。

半導体部品は製造、検査工程の途中で運搬、取
扱いに便利な様にマガジンに収納される。時に、
ダイボンダー、ワイヤボンダー等の自動作業にお
いては、通常、半導体部品はローデイング側のマ
ガジンから自動的に供給され、アンローデイング
側のマガジンに自動的に搬出されるというよう
に、マガジンが必要不可欠である。

ところで、半導体部品の収納マガジンは通常、
リードフレーム等の板状部品を上下に積上げて収
納する積上げマガジンであり、これから部品を取
出したり、逆に部品を収納したりするには、マガ
ジンを部品の収納ピツチ毎に昇降させる移送装置
が必要である。

従来のこの種の移送装置は、第１図に示す様
に、垂直方向に配置された送りねじ１と、この送
りねじ１を間欠的に回転駆動するモーター２と、
送りねじ１に螺合してその回転により昇降するマ
ガジン受け３とからなるもので、マガジン受け３
に載置されたローデイング側のマガジン４は下方
から上方へ所定ピツチづつ移送され、順次収納し
た部品６を送り装置７によつて自動的に作業装置
８の位置に送り、アンローデイング側のマガジン
５は上方から下方へ移動して加工又は検査等が終
了した部品６を順次収納する。

しかしながら、こうしたマガジンの移送装置で
は、ローデイング側の１個のマガジン４が空にな
り、アンローデイング側の１個のマガジン５が満
杯になると、手作業によりマガジンを交換し、か
つマガジン受け３を一方は下降、他方は上昇させ
て原位置に戻さねばならない。そして、この作業
中は製造、検査の作業は停止されるため、作業効
率の向上に大きな障害となつていた。

本発明は上記従来装置の欠点に鑑みてなされた
もので、マガジンの交換による無駄時間を無くす
ことを可能にするマガジン移送装置を提供するこ
とを目的とする。

以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明になるマガジン移送装置の一実施
例を示す正面図（第３図に示すＡ−Ａ線矢視図）、
第３図は第２図に示すＢ−Ｂ線矢視断面図であ
る。１０は架台で、その上面に送り装置１１を備
え、中央部に作業装置１２が設けられている。１
３は架台１０に付設されたローデイング側のマガ
ジン上下移送装置、１４は同様のアンローデイン
グ側マガジン上下移送装置で、これらは各々同一
機構を備え、対称に配置されている。これら移送
装置の構造は前述のように同一であるので、アン
ローデイング側によつてその構造を説明する。

１５はフレーム、１６はフレーム１５の上部に
回転可能に支持された軸１７に固定された２個１
対の第１スプロケツト、１８は第１スプロケツト
１６の下方にあつてこれに対向し同様にフレーム
１５に回転可能に支持された軸１９に固定された
２個１対の第２スプロケツトで、これらのスプロ
ケツト１６，１８はプーリでもよい。２０はフレ
ーム１５に固定され出力軸が軸１７に連結された
第１モータ、２１は第１スプロケツト１６と第２
スプロケツト１８を垂直方向に沿つて周回する２
本１対のベルトもしくはチエーン等の伝動部材
（以下ベルトと称する）、２２はベルト２１の外周
に各々１本づつ２本１組で等間隔に多数配設され
たピン、２３はピン２２に圧入されて固定された
２個１組のＬ字状のマガジン受け、２４はマガジ
ン受け２３に載置されたマガジンである。

第４図はマガジン２４の正面図で、矩形状の少
くとも一面が開口した箱状のケース２４ａの対向
する内壁に対をなす溝２４ｂがそれぞれ多数設け
られており、この溝２４ｂに半導体部品、例えば
リードフレーム２５が多数挿入されて積み上げ収
納される。

第５図はマガジン２４に形成された溝２４ｂの
ピツチ毎、即ちリードフレーム２５の積み上げ収
納のピツチ毎に間欠的に上下に移送させるための
マガジン上下移送装置１３，１４における位置検
出機構を示すもので、フレーム１５に固定された
フオトセンサ３０によつてマガジン２４の溝２４
ｂの通過を検出するものである。この位置検出機
構は、この他に、例えば第１モータ２０をパルス
モータかもしくはパルスエンコーダー付モータと
して、回転量を計測してマガジン２４の昇降量を
換算検知する方法でもよい。

さて、再び第２，３図に戻つて、前記マガジン
上下移送装置１３，１４の下方側にはそれぞれ下
記のような構成よりなるマガジン水平移送装置が
配設されている。４０はフレーム１５に回転可能
に支持された軸４１に固定された２個１対の第３
スプロケツト、４２は第３スプロケツト４０に水
平方向に対向して同様にフレーム１５に回転可能
に支持された軸４３に固定された２個１対の第４
スプロケツト、４４はフレーム１５に固定され出
力軸が軸４１に連結された第２モータ、４５は第
３スプロケツト４０と第４スプロケツト４２を水
平方向に沿つて周回する２本１対のベルト、４６
はベルト４５の外周に各々１本づつ２本１組で等
間隔に多数配設されたピン、４７はピン４６に圧
入されて固定された２個１組の凹字状のマガジン
受けで、ベルト４５の通過経路はベルト２１の経
路に対して直交する様に配置されており、マガジ
ン受４７に支持されたマガジン２４をマガジン受
け２３に移乗させたり、或いはその逆の動作を行
わしめることができる。

５０はベルト２１とベルト４５の交差点ａの上
方に配設されマガジン受け２３よりマガジン２４
を押出すプツシヤーで、フレーム１５に固定され
たアングル５１に固定されている。５２はプツシ
ヤー５０で押出されたマガジン２４を乗せる乗せ
台で、フレーム１５より水平に突起して設けられ
ている。

次にかかる構成からなるマガジン移送装置の作
用について説明する。初めにマガジン２４にリー
ドフレーム２５を積上げ収納させ、これをローデ
イング側１３の水平方向移動のマガジン受け４７
に何個か積載する。また同様に空のマガジン２４
をアンローデイング側１４の水平方向移動のマガ
ジン受け４７に何個か積載する。そしてローデイ
ング側及びアンローデイング側の第２モータ４４
を起動して第３スプロケツト４０を回転させ、ベ
ルト４５を周回運動せしめマガジン受け４７を移
動させてマガジン２４をベルト２１の経路との交
差点ａへ移送する。そして、ここでベルト４５の
運動を停止し、次にローデイング側及びアンロー
デイング側の第１モータ２０を起動して第１スプ
ロケツト１６を回転させ、ベルト２１を周回運動
せしめマガジン受け２３を上昇させると、交差点
ａに位置したマガジン２４を下方よりすくい上げ
るようにこれをマガジン受け２３の側に移乗せし
め、そのまま上方へ移送する。そしてマガジン２
４の最上部の溝２４ｂが送り装置１１の案内溝と
同じレベルに達すると、フオトセンサー３０が動
作してモータ２０を停止させ、マガジン２４の移
送を停止させる。

そしてローデイング側のマガジン２４から最初
のリードフレーム２５が送り出されて送り装置１
１により作業装置１２に送られ、ここで作業が行
われる。最初のリードフレーム２５が送り出され
ると、図示しない検出装置によつて検出され、そ
の信号によつてローデイング側の第１モータ２０
が再び起動し、マガジン２４は上方へ次の溝２４
ｂが送り装置１１の案内路と同じレベルに達する
まで移送され、次のリードフレーム２５を送り出
す用意を完了し、以下必要に応じてこの動作が繰
返えされる。また作業を完了したリードフレーム
２５は送り装置１１によつてアンローデイング側
のマガジン２４へ送られ最上部の溝２４ｂに収納
される。その後アンローデイング側の第１モータ
２０が再び起動し、マガジン２４は上方へ次の溝
２４ｂが送り装置１１の案内路と同じレベルに達
するまで移送され次のリードフレーム２５を収納
する用意を完了する。

そして最初のマガジン２４が交差点ａから上方
へ移送されると、ローデイング側及びアンローデ
イング側の第２モータ４４が再起動して、次のマ
ガジン２４を交差点ａへ移送待機せしめ、以下、
必要に応じてこの動作が繰返えされる。

さて、ローデイング側では最初のマガジン２４
はその中に収納した全てのリードフレーム２５を
送り出し終ると、またアンローデイング側ではマ
ガジン２４の中に全てのリードフレーム２５を収
納し終ると、次のマガジン２４が続いて移送さ
れ、順次位置決めされてリードフレーム２５を送
出又は収納していくのにつれて上方へ移送され、
プツシヤー５０の前方に位置する。すると、プツ
シヤー５０が前進し、マガジン２４はマガジン受
け２３より乗せ台５２に押出される。

第６図はマガジン２４の上下位置検出機構の他
の実施例を示す。マガジン２４にその溝２４ｂの
ピツチと同ピツチのスリツト３１ａを有するスリ
ツト板３１を付設し、これをフオトセンサ３０に
より検出するように構成してなる。

第７図はマガジン２４の上下位置検出機構の更
に他の実施例を示す。送り装置１１のローデイン
グ側マガジン移送装置１３（第２図参照）側にア
ングル３２を取付け、検出アーム３３を固定した
軸３４を前記アングル３２に回転自在に取付けて
なる。そして、検出アーム３３の一端にリードフ
レーム２５と平行な突起部３３ａを設け、検出ア
ーム３３の他端を挾持する形ちでフオトセンサ３
５を送り装置１１に固定してなる。

従つて、リードフレーム２５が収納されている
ローデイング側のマガジン２４がモーター２０の
駆動により上昇すると、検出アーム３３が時計方
向に回転してフオトセンサ３５を遮光し、リード
フレーム２５の位置が検出される。この検出でモ
ータ２０の回転量を制御する。

以上の説明から明らかな如く、本発明になる半
導体部品を収納するマガジン移送装置によれば、
マガジンを連続的に移送するため、ローデイング
側は半導体部品の収納したマガジンを補充し、ま
たアンローデイング側は空マガジンを補充するの
みで作業装置の運転を停止することなく行うこと
ができ、作業効率は従来に比べ著しく向上する。
またマガジン上下移送装置は、ベルトコンベア等
のように周回する手段よりなるので、単に一方向
に移動させるのみでよく、元の位置に復帰させる
動作を必要としない。即ち、ロスタイムがなく、
生産性に優れている。またマガジン上下移送装置
は、その送り制御手段によつて、マガジンの最上
部又は最下部の溝を送り装置の案内溝レベルまで
間欠的に駆動すると共に、マガジンの溝ピツチで
間欠的に移送せしめるようになつているので、マ
ガジン内の部品を順次作業装置に送り出し及び加
工が完了した部品をマガジン内に収納することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマガジン移送装置を示す正面
図、第２図は本発明になるマガジン移送装置の一
実施例を示す正面図、第３図は第２図に示すＢ−
Ｂ線断面図、第４図はマガジンの正面図、第５図
はマガジンの定ピツチ上下送りの位置検出機構の
一実施例を示す説明図、第６図はマガジン位置検
出機構の他の実施例を示し、ａは正面図、ｂは側
面図、第７図はマガジン位置検出機構の更に他の
実施例を示し、ａは正面図、ｂは側面図、ｃはフ
オトセンサー部の背面図である。 １１……送り装置、１２……作業装置、１３…
…ローデイング側上下移送装置、１４……アンロ
ーデイング側上下移送装置、１６……第１スプロ
ケツト、１８……第２スプロケツト、２０……第
１モータ、２１……ベルト、２２……ピン、２３
……マガジン受け、２４……マガジン、２４ｂ…
…溝、２５……リードフレーム、３０……フオト
センサ、４０……第３スプロケツト、４２……第
４スプロケツト、４４……第２モータ、４５……
ベルト、４７……マガジン受け。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ ローデイング側及びアンローデイング側にそ
   れぞれ配設され、マガジンを上下方向に移送する
   ２個のマガジン上下移送装置と、このマガジン上
   下移送装置に交差するように該マガジン上下移送
   装置の下方側にそれぞれ配設され、マガジンを水
   平方向に移送するマガジン水平移送装置と、前記
   ２個のマガジン上下移送装置間に配設された作業
   装置と、同様に前記２個のマガジン上下移送装置
   間に配設され、ローデイング側のマガジンに収納
   された部品を前記作業装置を経由してアンローデ
   イング側に移送する送り装置とを有し、前記マガ
   ジン上下移送装置は、上下に対向する少なくとも
   ２個の回転体を垂直方向に沿つて周回するベルト
   もしくはチエーン等の伝動部材と、この伝動部材
   に連鎖的に配設され部品を収納するマガジンを載
   置する多数のマガジン受けと、前記回転体の少な
   くとも１個を回転駆動し、前記マガジン上下移送
   装置と前記マガジン水平移送装置とでマガジンの
   受け渡しを行うように、かつローデイング側では
   マガジンの最上部の溝を、アンローデイング側で
   はマガジンの最下部の溝をそれぞれ前記送り装置
   の案内溝レベルまで間欠的に駆動すると共に、マ
   ガジンの溝ピツチで間欠的に移送せしめる送り制
   御手段とを備え、前記マガジン水平移送装置は、
   前記伝動部材の経路に対して直交する様に配置さ
   れ水平に対向する少なくとも２個の回転体を水平
   方向に沿つて周回するベルトもしくはチエーン等
   の伝動部材と、この伝動部材に連鎖的に配設され
   マガジンを載置する多数のマガジン受けと、前記
   回転体の少なくとも１個を回転駆動し、前記マガ
   ジン受けを該マガジン受けのピツチで間欠的に移
   送せしめる送り制御手段とを備えてなるマガジン
   移送装置。