JPS6145310A - 整合装置 - Google Patents
整合装置Info
- Publication number
- JPS6145310A JPS6145310A JP16560684A JP16560684A JPS6145310A JP S6145310 A JPS6145310 A JP S6145310A JP 16560684 A JP16560684 A JP 16560684A JP 16560684 A JP16560684 A JP 16560684A JP S6145310 A JPS6145310 A JP S6145310A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- alignment
- roller
- drive roller
- matching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
- B23Q7/16—Loading work on to conveyors; Arranging work on conveyors, e.g. varying spacing between individual workpieces
- B23Q7/165—Turning devices
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の分野］
本発明は、半導体ＷＩＪｍにがかるウェハのような薄板
を所望の配置に設定するための装置に関し、特に半導体
パターン焼付装置等の事前整合装置あるいは、種々の検
査装置等の検査に先立つ事前整合装置として好適な整合
装置に関する。
を所望の配置に設定するための装置に関し、特に半導体
パターン焼付装置等の事前整合装置あるいは、種々の検
査装置等の検査に先立つ事前整合装置として好適な整合
装置に関する。
［発明の背景］
従来、この種の整合装置は、第１図に示すように３つの
駆動［１−ラ２，５．６ど自由回転ローラ３及びつ■ハ
支持台２３でウェハ４を支持し、駆動ローラ２，５．６
にウェハを奇ける手段として押付アーム１つ、引きバネ
２２及びアーム開放ピストン２１等からなる押付に１１
＋、７に結合された自由回転１コーラ１を用いていた。
駆動［１−ラ２，５．６ど自由回転ローラ３及びつ■ハ
支持台２３でウェハ４を支持し、駆動ローラ２，５．６
にウェハを奇ける手段として押付アーム１つ、引きバネ
２２及びアーム開放ピストン２１等からなる押付に１１
＋、７に結合された自由回転１コーラ１を用いていた。
このため、１クエハが従動回転している際オリエンテー
ションフラット４′の一端が自由回転ローラ１にざしが
がった時、ウェハのオリエンｊ−シ・１ンフラツト４′
の艮δど、その時の押付力の作用する方向がらウェハを
逆回転方向に回りモーメントＭが発生し、同時に駆動ロ
ーラ２．５．６に寄せる力が減少するという力学的関係
がある。その結果、ウェハ４を回転不能に陥らせないた
めには、ウェハ４と駆動ローラ２゜５．６間のＩ！ＩＪ
擦係数を高摩擦係数に維持していがなければならない。
ションフラット４′の一端が自由回転ローラ１にざしが
がった時、ウェハのオリエンｊ−シ・１ンフラツト４′
の艮δど、その時の押付力の作用する方向がらウェハを
逆回転方向に回りモーメントＭが発生し、同時に駆動ロ
ーラ２．５．６に寄せる力が減少するという力学的関係
がある。その結果、ウェハ４を回転不能に陥らせないた
めには、ウェハ４と駆動ローラ２゜５．６間のＩ！ＩＪ
擦係数を高摩擦係数に維持していがなければならない。
一方、ウェハ４と駆動ローラ２．５．６間の摩擦係数は
周辺の状況（油やぼこ″ り等）によって減少し
ていくので、正常な整合動作を継続させるためには駆動
ローラの清ｈＭ等を頻繁にして必要なａ！環係数を維持
していがなくてはならないという欠点があった。
周辺の状況（油やぼこ″ り等）によって減少し
ていくので、正常な整合動作を継続させるためには駆動
ローラの清ｈＭ等を頻繁にして必要なａ！環係数を維持
していがなくてはならないという欠点があった。
［発明の目的］
本発明の目的は、上述の従来例の欠点を除去し、厳密な
１■擦係数の管理をしなくても、正常なウェハ整合動作
を継続さぼることができ、同時にウェハの大ぎざに対応
して押付アームの長さを変えたり、回転角度や押し付は
力の調整等をすることなく使用することが可能な整合装
置を提供することにある。
１■擦係数の管理をしなくても、正常なウェハ整合動作
を継続さぼることができ、同時にウェハの大ぎざに対応
して押付アームの長さを変えたり、回転角度や押し付は
力の調整等をすることなく使用することが可能な整合装
置を提供することにある。
［実施例のβ１明１
第２〜４図は本発明の実施例で、第２図は斜視図、第３
図は整合状態を示す図、第４図はオリエンテーションフ
ラット４′に押付ローラが乗り上げた状態を示ず。図に
おいて、４はウェハ、３゜５．６．ｉｓは自由回転ロー
ラ、１６は駆動ローラ、１７はクラッチ、１８は駆動ロ
ーラを略直線上に移動操作させる近似直線運動機能を備
えた押付機構、２１は押付機構を動作させる手段、２２
は引張りバネ、２３はウェハ支持台、２４はモータ、２
５は整合基板、２６は整合基板移！ｌ１ｌＪ機構、２７
は整合基板移動用ガイド、２８．２９は引張りバネ、３
０は伝達ベルトである。
図は整合状態を示す図、第４図はオリエンテーションフ
ラット４′に押付ローラが乗り上げた状態を示ず。図に
おいて、４はウェハ、３゜５．６．ｉｓは自由回転ロー
ラ、１６は駆動ローラ、１７はクラッチ、１８は駆動ロ
ーラを略直線上に移動操作させる近似直線運動機能を備
えた押付機構、２１は押付機構を動作させる手段、２２
は引張りバネ、２３はウェハ支持台、２４はモータ、２
５は整合基板、２６は整合基板移！ｌ１ｌＪ機構、２７
は整合基板移動用ガイド、２８．２９は引張りバネ、３
０は伝達ベルトである。
なお、駆動ローラ１Ｇの加圧方向はウェハ４の回転中心
に向っている。
に向っている。
第３図を参照して、ウェハ支持台２３上に空圧で支持さ
れたウェハ４は、押付機構１８に取付けられた駆動ロー
ラ１６により整合基板２５が整合位置に向う動作と連発
して自由回転ローラ３．５．６．１５へ寄せられる。そ
して、整合基板２５の整合作用位置への到着確認接クラ
ッチ１７が付勢され、モー９２４により駆動ローラ１Ｇ
が回転することによって回転動作をする。
れたウェハ４は、押付機構１８に取付けられた駆動ロー
ラ１６により整合基板２５が整合位置に向う動作と連発
して自由回転ローラ３．５．６．１５へ寄せられる。そ
して、整合基板２５の整合作用位置への到着確認接クラ
ッチ１７が付勢され、モー９２４により駆動ローラ１Ｇ
が回転することによって回転動作をする。
第４図を参照して、ウェハ４のオリエンテーションフラ
ンｌ−４′ の一端が駆動ローラ１６にさしかかった時
、押付）ｊはウェハ４に逆方向にモーメントＭを働かせ
る。しかし、ウェハ４と駆動ローラ１６間の反力は押付
力と等価で変化しないのでウェハ４が回転不能におちい
ることは緩和されている。
ンｌ−４′ の一端が駆動ローラ１６にさしかかった時
、押付）ｊはウェハ４に逆方向にモーメントＭを働かせ
る。しかし、ウェハ４と駆動ローラ１６間の反力は押付
力と等価で変化しないのでウェハ４が回転不能におちい
ることは緩和されている。
この利点から、ウェハ４を整合作業中（回転中）に回転
不能に陥れさせる要因であるウェハ４と駆動ローラ２ま
たは１Ｇとの間の摩擦係数の下限値を本実施例のもので
は第１図の５０％程度に下げることができる。
不能に陥れさせる要因であるウェハ４と駆動ローラ２ま
たは１Ｇとの間の摩擦係数の下限値を本実施例のもので
は第１図の５０％程度に下げることができる。
そして、オリエンテーションフラット４′が３つの自由
ローラ５，６．１５に接した時オリエンテーションフラ
ット４′を光学的に検知する装置（不図示）からの信号
で駆動ローラ１Ｇの回転力をクラッチ１７で切り離せば
、自由回転ローラ１及び駆動ローラ１６について説明し
たのと同様の逆回転のモーメントが自由回転ローラ５，
６．１５によって動き、積極的にウェハ回転停止が再現
できるため、ウェハの回転慣性によるいわゆるオーバー
ランを防止し、整合不能を防止することができる。
ローラ５，６．１５に接した時オリエンテーションフラ
ット４′を光学的に検知する装置（不図示）からの信号
で駆動ローラ１Ｇの回転力をクラッチ１７で切り離せば
、自由回転ローラ１及び駆動ローラ１６について説明し
たのと同様の逆回転のモーメントが自由回転ローラ５，
６．１５によって動き、積極的にウェハ回転停止が再現
できるため、ウェハの回転慣性によるいわゆるオーバー
ランを防止し、整合不能を防止することができる。
ウェハの整合手段を終えると、この装置は駆動ローラ１
Ｇを待期位置まで戻す動作を始め、移動の途中から整合
基板を連発させて逃げ位置まで戻す。
Ｇを待期位置まで戻す動作を始め、移動の途中から整合
基板を連発させて逃げ位置まで戻す。
［発明の効果］
以上説明したように本発明においては押付ローラに回転
駆動機能をも／Ｃせることで駆動ローラとウェハ間に必
要な摩擦係数の最低許容値を下げることができ、駆動ロ
ーラや自由回転ローラがつ工ハのオリエンテーションフ
ラット端部に乗り上げる際にウェハが回転不能に陥ると
いう欠点を押え、厳密な摩擦係数管理をすることなしに
正常なウェハ整合動作を継続させる効果がある。加えて
、従来の方式だと駆動ローラは自由ローラに回転力を加
える機能も兼ねていたため、駆動ローラの外径寸法及び
取（＝１時の調整はかなり厳しいものであったが、駆動
力を押付側にもたせることで、整合精度から分離できる
ことから、寸法や取付けについても安易な方法を用いる
ことが可能となっている。
駆動機能をも／Ｃせることで駆動ローラとウェハ間に必
要な摩擦係数の最低許容値を下げることができ、駆動ロ
ーラや自由回転ローラがつ工ハのオリエンテーションフ
ラット端部に乗り上げる際にウェハが回転不能に陥ると
いう欠点を押え、厳密な摩擦係数管理をすることなしに
正常なウェハ整合動作を継続させる効果がある。加えて
、従来の方式だと駆動ローラは自由ローラに回転力を加
える機能も兼ねていたため、駆動ローラの外径寸法及び
取（＝１時の調整はかなり厳しいものであったが、駆動
力を押付側にもたせることで、整合精度から分離できる
ことから、寸法や取付けについても安易な方法を用いる
ことが可能となっている。
また、押付ローラに駆動源をもたけることで整合の基準
となる自由回転ローラ群には複雑な機構がなくなるため
、このローラ群を搭載するための基板が簡素かつ軽量化
されるので、この基板をウェハ中心に向って出し入れし
た場合もその整合位置での停止の再現性を向上させるこ
とができ、この結果、整合装置内にウェハが送られてく
る前に基板を斜方向に逃がすことでウェハどＷ ＩＩＰ
−ローラとの衝突を防止でき、かつ整合されたウェハを
ハンドリングする際にウェハをハンドリング位置に移動
さヒたゆする必要性がなくなるため、整合からハンドリ
ングまでの精度を向上させることに効果がある。
となる自由回転ローラ群には複雑な機構がなくなるため
、このローラ群を搭載するための基板が簡素かつ軽量化
されるので、この基板をウェハ中心に向って出し入れし
た場合もその整合位置での停止の再現性を向上させるこ
とができ、この結果、整合装置内にウェハが送られてく
る前に基板を斜方向に逃がすことでウェハどＷ ＩＩＰ
−ローラとの衝突を防止でき、かつ整合されたウェハを
ハンドリングする際にウェハをハンドリング位置に移動
さヒたゆする必要性がなくなるため、整合からハンドリ
ングまでの精度を向上させることに効果がある。
第１図は従来例を示す平面原理図、第２〜４図は本発明
の実施例で、第２図は斜視図、第３及び第４図は説明図
である。 図中、４はウェハ、４′はオリエンテーションフラット
、３．５，６．１５は自由回転ローラ、１Ｇは駆動ロー
ラ、１７はクラッチ、１８は押付憬構、２３はウェハ支
持台、２４はモータ、２５は整合基板、２Ｇは整合基板
移動機構、２７は整合基板移動用ガイド、２８、２９は
引張りバネ、３０は伝達ベルトである。
の実施例で、第２図は斜視図、第３及び第４図は説明図
である。 図中、４はウェハ、４′はオリエンテーションフラット
、３．５，６．１５は自由回転ローラ、１Ｇは駆動ロー
ラ、１７はクラッチ、１８は押付憬構、２３はウェハ支
持台、２４はモータ、２５は整合基板、２Ｇは整合基板
移動機構、２７は整合基板移動用ガイド、２８、２９は
引張りバネ、３０は伝達ベルトである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、円板の一部を直線的に切除した形状を有する物体を
所定位置かつ所定の向きに整合させる装置であつて、整
合時上記切除部分に当接する位置へ平行移動可能にかつ
直線状に配列された複数の自由回転ローラとこれらの自
由回転ローラの配列方向への上記物体の移動を規制する
第２の自由回転ローラとを含む自由回転ローラ群と、駆
動・自由回転の切換可能でかつ該自由回転ローラ群の構
成する中心に向けて移動可能に設置された駆動ローラと
を具備することを特徴とする整合装置。 ２、前記駆動ローラを前記中心へ向けて移動させる手段
として近似直線運動機構を用い、移動の各所で上記駆動
ローラの上記円板への押付力を略均一にしたことを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の整合装置。 ３、前記自由回転ローラ群を１つの整合基板に搭載する
とともに該整合基板を前記中心を通り前記複数の自由回
転ローラと第２の自由回転ローラとを分離する直線に沿
って斜方向に移動可能とし、上記整合基板に整合作用位
置と逃げ位置とを付与たことを特徴とする特許請求の範
囲第１または２項記載の整合装置。 ４、前記整合基板が逃げ位置から整合作用位置に移動す
るのと同期して前記駆動ローラを移動させ、該整合基板
が整合作用位置に到達したことを確認して該駆動ローラ
の回転を開始することを特徴とする特許請求の範囲第３
項記載の整合装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16560684A JPS6145310A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 整合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16560684A JPS6145310A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 整合装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145310A true JPS6145310A (ja) | 1986-03-05 |
Family
ID=15815550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16560684A Pending JPS6145310A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | 整合装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145310A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0445435A2 (en) * | 1990-03-05 | 1991-09-11 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Apparatus for aligning a parison with a blow mold |
| JPH06177229A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-06-24 | Hughes Aircraft Co | 半導体ウェハの一致したジャムのない位置整合を行う方法および装置 |
| ITRM20080390A1 (it) * | 2008-07-18 | 2010-01-19 | Sipa Progettazione Automaz | Impianto di convogliamento di contenitori in materiale plastico |
| CN103056657A (zh) * | 2013-02-21 | 2013-04-24 | 安徽合力股份有限公司 | 用于叉车变速箱装配的回转组合托盘 |
-
1984
- 1984-08-09 JP JP16560684A patent/JPS6145310A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0445435A2 (en) * | 1990-03-05 | 1991-09-11 | Husky Injection Molding Systems Ltd. | Apparatus for aligning a parison with a blow mold |
| JPH06177229A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-06-24 | Hughes Aircraft Co | 半導体ウェハの一致したジャムのない位置整合を行う方法および装置 |
| ITRM20080390A1 (it) * | 2008-07-18 | 2010-01-19 | Sipa Progettazione Automaz | Impianto di convogliamento di contenitori in materiale plastico |
| WO2010007158A1 (en) * | 2008-07-18 | 2010-01-21 | S.I.P.A. Società Industrializzazione Progettazione E Automazione S.P.A. | Chuck |
| CN102099174A (zh) * | 2008-07-18 | 2011-06-15 | S.I.P.A.工业设计自动化合伙股份有限公司 | 卡盘 |
| US8544636B2 (en) | 2008-07-18 | 2013-10-01 | S.I.P.A. Societa' Industrializzazione Progettazione E Automazione S.P.A. | Chuck |
| CN103056657A (zh) * | 2013-02-21 | 2013-04-24 | 安徽合力股份有限公司 | 用于叉车变速箱装配的回转组合托盘 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH06291030A (ja) | 回転式基板処理装置用の基板回転保持装置 | |
| EP0326425B1 (en) | Positioning mechanism and method | |
| US4483434A (en) | Apparatus for conveying semiconductor substrates | |
| EP0633505B1 (en) | Process and device for adjusting the distance between a workpiece and a mask | |
| JPS6145310A (ja) | 整合装置 | |
| JPS5987677A (ja) | 可撓性磁気デイスク装置 | |
| US3761075A (en) | Document conveying mechanism | |
| JPS59228720A (ja) | 整合装置 | |
| JPH05220684A (ja) | チャック機構 | |
| GB2288063A (en) | Tape tensioning device for semiconductor wafers | |
| KR970002577Y1 (ko) | 테이프 형태의 레코드 캐리어용 기록 및 재생장치 | |
| JPH07235587A (ja) | 切り欠き部位置合わせ装置及びその方法 | |
| JPH0620917A (ja) | ステージ装置 | |
| JPH10231852A (ja) | トルク制限クラツチ | |
| RU97101284A (ru) | Переключающее устройство лентопротяжного механизма с реверсом | |
| JPH05192855A (ja) | レンズ芯取装置の微小径レンズクランプ装置 | |
| JP3177315B2 (ja) | カップ供給装置のカップターレット | |
| JP3025546B2 (ja) | 研磨装置 | |
| JP2674045B2 (ja) | ディスクドライブ装置 | |
| JPS6137109Y2 (ja) | ||
| JPH0327801Y2 (ja) | ||
| JP2876251B2 (ja) | 記録媒体供給機構の動力伝達装置 | |
| JPH0430931A (ja) | 移動テーブル | |
| JPH0346999B2 (ja) | ||
| JPH08217301A (ja) | テープ送り装置 |