JPS6144309A - プリント基板上の配線パターンの検査装置 - Google Patents
プリント基板上の配線パターンの検査装置Info
- Publication number
- JPS6144309A JPS6144309A JP59164943A JP16494384A JPS6144309A JP S6144309 A JPS6144309 A JP S6144309A JP 59164943 A JP59164943 A JP 59164943A JP 16494384 A JP16494384 A JP 16494384A JP S6144309 A JPS6144309 A JP S6144309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- incident
- fluorescence
- pattern
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、プリン上板等のパターンを鮮明に検出する方
法に関するものであり、紫色光あるいは紫外線等の光を
対象物に照射し、対象物の一部から発生する蛍光を検出
することにより、バター7を鮮明に検出する際の照明法
に関するものである。
法に関するものであり、紫色光あるいは紫外線等の光を
対象物に照射し、対象物の一部から発生する蛍光を検出
することにより、バター7を鮮明に検出する際の照明法
に関するものである。
蛍光を利用したバター/の検出法に関しては。
特許5B−106750に細述されているように第1図
に示すように紫(外)光4をダイクロイック鏡5によっ
て垂直方向に曲げ、上方から対象物6を照明する。対象
物からは、紫(外)光が反射するとともに、基材部7か
ら蛍光14が発生する。ダイクロイック鏡5は紫(外)
光を透過し、これより長い波長の蛍光(黄・緑色光等)
を透過する性質を持っている。つぎに光はレンズ8を通
り、パターン像を結像するが、途中に黄・緑色光等長い
波長の光のみを通す長波長透過フィルタ10を挿入する
。これKよって、蛍光14′のみの画像を得るので物体
の反射率によらない鮮明な画像が得られる。
に示すように紫(外)光4をダイクロイック鏡5によっ
て垂直方向に曲げ、上方から対象物6を照明する。対象
物からは、紫(外)光が反射するとともに、基材部7か
ら蛍光14が発生する。ダイクロイック鏡5は紫(外)
光を透過し、これより長い波長の蛍光(黄・緑色光等)
を透過する性質を持っている。つぎに光はレンズ8を通
り、パターン像を結像するが、途中に黄・緑色光等長い
波長の光のみを通す長波長透過フィルタ10を挿入する
。これKよって、蛍光14′のみの画像を得るので物体
の反射率によらない鮮明な画像が得られる。
従来の発明を1例えば半田等の反射率の高いもので形成
されたパターン11の検出に利用すると1反射率が高い
ために、照明紫(外)光13が強く反射されるためにダ
イクロイックf&5.長波長透過フィルタ10では反射
紫(外)光13を十分に遮断することができず、蛍光1
4′のみによるパターン検出ができなかりた。
されたパターン11の検出に利用すると1反射率が高い
ために、照明紫(外)光13が強く反射されるためにダ
イクロイックf&5.長波長透過フィルタ10では反射
紫(外)光13を十分に遮断することができず、蛍光1
4′のみによるパターン検出ができなかりた。
本発明は、これを可能にする照明法を提供することにあ
る。
る。
本発明は、照明用紫(外)光の照明を垂直落射によらず
斜方向から行うことによって強い入射紫(外)光がレン
ズに入射しないようにしたことを利用したものである、 〔発明の実施例〕 第2図に実施例を示す。
斜方向から行うことによって強い入射紫(外)光がレン
ズに入射しないようにしたことを利用したものである、 〔発明の実施例〕 第2図に実施例を示す。
検出光学系は第1図のものと同じであるが。
照明光4は斜(角度θ)から行う。斜から対象物6に入
射する光4は、、対象物6により正反射をおこし、反対
側に反射する。角度θは1反射光12がし/ズ8に入射
しない角度を選択する。
射する光4は、、対象物6により正反射をおこし、反対
側に反射する。角度θは1反射光12がし/ズ8に入射
しない角度を選択する。
第1図においては、照明光4は垂直落射でパターン11
に入射するため、バター711の反射率が高いと強い反
射光15がし/ズ8に入射する。通常基材部7から発生
する蛍光14は入射光40強度の1/1000〜1/1
0000の強度であり非常に弱いため、ダイクロイック
鏡5.長波長透過フィルタ10を用いても、照明光40
反射光13を、1/10000以下の強度に減衰させる
ことは困難である。
に入射するため、バター711の反射率が高いと強い反
射光15がし/ズ8に入射する。通常基材部7から発生
する蛍光14は入射光40強度の1/1000〜1/1
0000の強度であり非常に弱いため、ダイクロイック
鏡5.長波長透過フィルタ10を用いても、照明光40
反射光13を、1/10000以下の強度に減衰させる
ことは困難である。
本発明によれば、第2図に示すように入射光4は斜から
入射するため1反射光12はし/ズ8に入射しないため
、レンズ8に入射する光13゜14′は、入射光の反射
光150強度が低い。従って、長波長透過フィルタ10
によって十分に反射光15を遮断することができるので
、パターン検出器9には、蛍光のみの画像が形成される
。従って。
入射するため1反射光12はし/ズ8に入射しないため
、レンズ8に入射する光13゜14′は、入射光の反射
光150強度が低い。従って、長波長透過フィルタ10
によって十分に反射光15を遮断することができるので
、パターン検出器9には、蛍光のみの画像が形成される
。従って。
基材部「明」、パターン部「暗」の明確な画像が検出可
能となる。
能となる。
なお、蛍光14の発生は、第3図に示すように入射光4
に対して1等方的に蛍光14が発生する。
に対して1等方的に蛍光14が発生する。
従って入射光4を斜から入射させても、蛍光14はし/
ズ8の方向に発生する成分があるので、この成分による
蛍光14’ 、 14’によって検出器9の上に像が結
像する。入射光4を斜にしたことによる問題はおこらな
い。
ズ8の方向に発生する成分があるので、この成分による
蛍光14’ 、 14’によって検出器9の上に像が結
像する。入射光4を斜にしたことによる問題はおこらな
い。
本発明によって、従来の方式でパターンの検出が行えな
かった半田バター/等反射の高いパターンの検出が可能
となる。安定な検出画像をパターンの位置検出、パター
ンの検査に適用することができるので自動組立、自動検
査を実行することができるようになり、極めて効果は大
きい。
かった半田バター/等反射の高いパターンの検出が可能
となる。安定な検出画像をパターンの位置検出、パター
ンの検査に適用することができるので自動組立、自動検
査を実行することができるようになり、極めて効果は大
きい。
第1図は検出光学系の正面図、第2図は本発明の一実施
例の検出光学系の正面図、第3図は検査対象物断面と照
明光の入射説明図である。 1・・・・・・ランプ、 3・・−・・紫(外)光フィルタ。 4・・・・・・入射光、入射紫(外)光。 6・・・・・・対象物、 8・・・・・・レンズ。 9・・・・・・検出器、 10・・・・・・長波長透過フィルタ、14・・・・・
・蛍光。 第1図 第 2 図 第 3 図
例の検出光学系の正面図、第3図は検査対象物断面と照
明光の入射説明図である。 1・・・・・・ランプ、 3・・−・・紫(外)光フィルタ。 4・・・・・・入射光、入射紫(外)光。 6・・・・・・対象物、 8・・・・・・レンズ。 9・・・・・・検出器、 10・・・・・・長波長透過フィルタ、14・・・・・
・蛍光。 第1図 第 2 図 第 3 図
Claims (1)
- 1、紫色光、紫外光等を対象物に照射し、対象物の一部
から発生する蛍光を検出することによって、対象物パタ
ーンを検出するパターン検出法において、照射光を斜方
向から照射し、対象物からの正反射光がパターン検出用
光学系に入射しないようにして、蛍光のみによってパタ
ーン検出が行えるように配置したことを特徴とするパタ
ーンの検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59164943A JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59164943A JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6144309A true JPS6144309A (ja) | 1986-03-04 |
JPH0414281B2 JPH0414281B2 (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=15802795
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59164943A Granted JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6144309A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63298484A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Kawasaki Steel Corp | 指紋検出用投受光装置 |
JPH05196416A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Japan Radio Co Ltd | 光学式変位測定装置 |
JP2002541443A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | エム・ブイ・リサーチ・リミテッド | 材料検査 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5599047A (en) * | 1979-01-24 | 1980-07-28 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for surface fluorescence |
JPS58129351A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Fujitsu Ltd | フオトルミネツセンス強度測定装置 |
JPS58153151A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-12 | Toshiba Corp | 発光物質検出装置 |
-
1984
- 1984-08-08 JP JP59164943A patent/JPS6144309A/ja active Granted
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5599047A (en) * | 1979-01-24 | 1980-07-28 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for surface fluorescence |
JPS58129351A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Fujitsu Ltd | フオトルミネツセンス強度測定装置 |
JPS58153151A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-12 | Toshiba Corp | 発光物質検出装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63298484A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Kawasaki Steel Corp | 指紋検出用投受光装置 |
JPH05196416A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Japan Radio Co Ltd | 光学式変位測定装置 |
JP2002541443A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | エム・ブイ・リサーチ・リミテッド | 材料検査 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0414281B2 (ja) | 1992-03-12 |
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