JPS6144309A - プリント基板上の配線パターンの検査装置 - Google Patents
プリント基板上の配線パターンの検査装置Info
- Publication number
- JPS6144309A JPS6144309A JP59164943A JP16494384A JPS6144309A JP S6144309 A JPS6144309 A JP S6144309A JP 59164943 A JP59164943 A JP 59164943A JP 16494384 A JP16494384 A JP 16494384A JP S6144309 A JPS6144309 A JP S6144309A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- incident
- fluorescence
- pattern
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
- G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
- G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
- G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Image Input (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、プリン上板等のパターンを鮮明に検出する方
法に関するものであり、紫色光あるいは紫外線等の光を
対象物に照射し、対象物の一部から発生する蛍光を検出
することにより、バター７を鮮明に検出する際の照明法
に関するものである。
法に関するものであり、紫色光あるいは紫外線等の光を
対象物に照射し、対象物の一部から発生する蛍光を検出
することにより、バター７を鮮明に検出する際の照明法
に関するものである。
蛍光を利用したバター／の検出法に関しては。
特許５Ｂ−１０６７５０に細述されているように第１図
に示すように紫（外）光４をダイクロイック鏡５によっ
て垂直方向に曲げ、上方から対象物６を照明する。対象
物からは、紫（外）光が反射するとともに、基材部７か
ら蛍光１４が発生する。ダイクロイック鏡５は紫（外）
光を透過し、これより長い波長の蛍光（黄・緑色光等）
を透過する性質を持っている。つぎに光はレンズ８を通
り、パターン像を結像するが、途中に黄・緑色光等長い
波長の光のみを通す長波長透過フィルタ１０を挿入する
。これＫよって、蛍光１４′のみの画像を得るので物体
の反射率によらない鮮明な画像が得られる。
に示すように紫（外）光４をダイクロイック鏡５によっ
て垂直方向に曲げ、上方から対象物６を照明する。対象
物からは、紫（外）光が反射するとともに、基材部７か
ら蛍光１４が発生する。ダイクロイック鏡５は紫（外）
光を透過し、これより長い波長の蛍光（黄・緑色光等）
を透過する性質を持っている。つぎに光はレンズ８を通
り、パターン像を結像するが、途中に黄・緑色光等長い
波長の光のみを通す長波長透過フィルタ１０を挿入する
。これＫよって、蛍光１４′のみの画像を得るので物体
の反射率によらない鮮明な画像が得られる。
従来の発明を１例えば半田等の反射率の高いもので形成
されたパターン１１の検出に利用すると１反射率が高い
ために、照明紫（外）光１３が強く反射されるためにダ
イクロイックｆ＆５．長波長透過フィルタ１０では反射
紫（外）光１３を十分に遮断することができず、蛍光１
４′のみによるパターン検出ができなかりた。
されたパターン１１の検出に利用すると１反射率が高い
ために、照明紫（外）光１３が強く反射されるためにダ
イクロイックｆ＆５．長波長透過フィルタ１０では反射
紫（外）光１３を十分に遮断することができず、蛍光１
４′のみによるパターン検出ができなかりた。
本発明は、これを可能にする照明法を提供することにあ
る。
る。
本発明は、照明用紫（外）光の照明を垂直落射によらず
斜方向から行うことによって強い入射紫（外）光がレン
ズに入射しないようにしたことを利用したものである、 〔発明の実施例〕 第２図に実施例を示す。
斜方向から行うことによって強い入射紫（外）光がレン
ズに入射しないようにしたことを利用したものである、 〔発明の実施例〕 第２図に実施例を示す。
検出光学系は第１図のものと同じであるが。
照明光４は斜（角度θ）から行う。斜から対象物６に入
射する光４は、、対象物６により正反射をおこし、反対
側に反射する。角度θは１反射光１２がし／ズ８に入射
しない角度を選択する。
射する光４は、、対象物６により正反射をおこし、反対
側に反射する。角度θは１反射光１２がし／ズ８に入射
しない角度を選択する。
第１図においては、照明光４は垂直落射でパターン１１
に入射するため、バター７１１の反射率が高いと強い反
射光１５がし／ズ８に入射する。通常基材部７から発生
する蛍光１４は入射光４０強度の１／１０００〜１／１
００００の強度であり非常に弱いため、ダイクロイック
鏡５．長波長透過フィルタ１０を用いても、照明光４０
反射光１３を、１／１００００以下の強度に減衰させる
ことは困難である。
に入射するため、バター７１１の反射率が高いと強い反
射光１５がし／ズ８に入射する。通常基材部７から発生
する蛍光１４は入射光４０強度の１／１０００〜１／１
００００の強度であり非常に弱いため、ダイクロイック
鏡５．長波長透過フィルタ１０を用いても、照明光４０
反射光１３を、１／１００００以下の強度に減衰させる
ことは困難である。
本発明によれば、第２図に示すように入射光４は斜から
入射するため１反射光１２はし／ズ８に入射しないため
、レンズ８に入射する光１３゜１４′は、入射光の反射
光１５０強度が低い。従って、長波長透過フィルタ１０
によって十分に反射光１５を遮断することができるので
、パターン検出器９には、蛍光のみの画像が形成される
。従って。
入射するため１反射光１２はし／ズ８に入射しないため
、レンズ８に入射する光１３゜１４′は、入射光の反射
光１５０強度が低い。従って、長波長透過フィルタ１０
によって十分に反射光１５を遮断することができるので
、パターン検出器９には、蛍光のみの画像が形成される
。従って。
基材部「明」、パターン部「暗」の明確な画像が検出可
能となる。
能となる。
なお、蛍光１４の発生は、第３図に示すように入射光４
に対して１等方的に蛍光１４が発生する。
に対して１等方的に蛍光１４が発生する。
従って入射光４を斜から入射させても、蛍光１４はし／
ズ８の方向に発生する成分があるので、この成分による
蛍光１４’ 、 １４’によって検出器９の上に像が結
像する。入射光４を斜にしたことによる問題はおこらな
い。
ズ８の方向に発生する成分があるので、この成分による
蛍光１４’ 、 １４’によって検出器９の上に像が結
像する。入射光４を斜にしたことによる問題はおこらな
い。
本発明によって、従来の方式でパターンの検出が行えな
かった半田バター／等反射の高いパターンの検出が可能
となる。安定な検出画像をパターンの位置検出、パター
ンの検査に適用することができるので自動組立、自動検
査を実行することができるようになり、極めて効果は大
きい。
かった半田バター／等反射の高いパターンの検出が可能
となる。安定な検出画像をパターンの位置検出、パター
ンの検査に適用することができるので自動組立、自動検
査を実行することができるようになり、極めて効果は大
きい。
第１図は検出光学系の正面図、第２図は本発明の一実施
例の検出光学系の正面図、第３図は検査対象物断面と照
明光の入射説明図である。 １・・・・・・ランプ、 ３・・−・・紫（外）光フィルタ。 ４・・・・・・入射光、入射紫（外）光。 ６・・・・・・対象物、 ８・・・・・・レンズ。 ９・・・・・・検出器、 １０・・・・・・長波長透過フィルタ、１４・・・・・
・蛍光。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図
例の検出光学系の正面図、第３図は検査対象物断面と照
明光の入射説明図である。 １・・・・・・ランプ、 ３・・−・・紫（外）光フィルタ。 ４・・・・・・入射光、入射紫（外）光。 ６・・・・・・対象物、 ８・・・・・・レンズ。 ９・・・・・・検出器、 １０・・・・・・長波長透過フィルタ、１４・・・・・
・蛍光。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- １、紫色光、紫外光等を対象物に照射し、対象物の一部
から発生する蛍光を検出することによって、対象物パタ
ーンを検出するパターン検出法において、照射光を斜方
向から照射し、対象物からの正反射光がパターン検出用
光学系に入射しないようにして、蛍光のみによってパタ
ーン検出が行えるように配置したことを特徴とするパタ
ーンの検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164943A JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59164943A JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6144309A true JPS6144309A (ja) | 1986-03-04 |
| JPH0414281B2 JPH0414281B2 (ja) | 1992-03-12 |
Family
ID=15802795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59164943A Granted JPS6144309A (ja) | 1984-08-08 | 1984-08-08 | プリント基板上の配線パターンの検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6144309A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298484A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Kawasaki Steel Corp | 指紋検出用投受光装置 |
| JPH05196416A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Japan Radio Co Ltd | 光学式変位測定装置 |
| JP2002541443A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | エム・ブイ・リサーチ・リミテッド | 材料検査 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5599047A (en) * | 1979-01-24 | 1980-07-28 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for surface fluorescence |
| JPS58129351A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Fujitsu Ltd | フオトルミネツセンス強度測定装置 |
| JPS58153151A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-12 | Toshiba Corp | 発光物質検出装置 |
-
1984
- 1984-08-08 JP JP59164943A patent/JPS6144309A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5599047A (en) * | 1979-01-24 | 1980-07-28 | Hitachi Ltd | Measuring apparatus for surface fluorescence |
| JPS58129351A (ja) * | 1982-01-29 | 1983-08-02 | Fujitsu Ltd | フオトルミネツセンス強度測定装置 |
| JPS58153151A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-12 | Toshiba Corp | 発光物質検出装置 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63298484A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Kawasaki Steel Corp | 指紋検出用投受光装置 |
| JPH05196416A (ja) * | 1992-01-17 | 1993-08-06 | Japan Radio Co Ltd | 光学式変位測定装置 |
| JP2002541443A (ja) * | 1999-04-07 | 2002-12-03 | エム・ブイ・リサーチ・リミテッド | 材料検査 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0414281B2 (ja) | 1992-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1226348A (en) | Inspection system utilizing dark-field illumination | |
| JP2796316B2 (ja) | 欠陥または異物の検査方法およびその装置 | |
| US4299443A (en) | Apparatus for detecting the defects of a pattern with directional characteristics using a filter having arm sections of curved shape | |
| KR920007196B1 (ko) | 이물질 검출방법 및 그 장치 | |
| TW201502500A (zh) | 用於光學檢測的照明系統及使用其之檢測系統、檢測方法 | |
| KR930010527A (ko) | 조사를 이용한 표면상태 검사방법 및 그 장치 | |
| JP3972749B2 (ja) | 検査装置および貫通孔の検査方法 | |
| JPH11337504A (ja) | ガラス板の欠陥識別検査方法および装置 | |
| JPS6036013B2 (ja) | 金属表面の欠陥検査方法 | |
| JP2002039952A (ja) | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
| JPS6144309A (ja) | プリント基板上の配線パターンの検査装置 | |
| JPS58120106A (ja) | 半導体ウエハの外観検査装置 | |
| JPS6319855B2 (ja) | ||
| JPH07270325A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP3053096B2 (ja) | 異物検出方法およびその装置 | |
| JP2002139439A (ja) | 検査用拡散光源 | |
| JPS62119444A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JP3197047B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH09288063A (ja) | 透明基板の傷検査装置 | |
| JPH01267444A (ja) | パターン検出方法 | |
| JPH04143639A (ja) | 光学検査装置用照明装置 | |
| JP2001188048A (ja) | ピンホールの検査方法 | |
| JPH08136465A (ja) | 板状部材の表面検査装置 | |
| KR20240079499A (ko) | 카메라를 이용한 표면검사 시스템에서 빛 번짐을 방지하는 장치 | |
| JPH0476405B2 (ja) |