JP3197047B2 - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
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- JP3197047B2 JP3197047B2 JP03978492A JP3978492A JP3197047B2 JP 3197047 B2 JP3197047 B2 JP 3197047B2 JP 03978492 A JP03978492 A JP 03978492A JP 3978492 A JP3978492 A JP 3978492A JP 3197047 B2 JP3197047 B2 JP 3197047B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、検査物の欠陥の前後で
の散乱光の変化をとらえて判定を行う欠陥検査装置に関
するものであり、詳しくは、半透明粒状検査物に適し、
特に数mm程度の白色半透明粒状検査物であるものに適す
る欠陥検査装置に関するものである。
の散乱光の変化をとらえて判定を行う欠陥検査装置に関
するものであり、詳しくは、半透明粒状検査物に適し、
特に数mm程度の白色半透明粒状検査物であるものに適す
る欠陥検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明の対象となる欠陥（割れ）には、
次のような形態的特徴がある。内部に発生しているこ
と半透明粒状検査物のほぼ中心部にあること形状
が、面状であること半透明粒状検査物の表面に、粒状
の濃い斑が発生することがあることそこで、ＣＣＤカメ
ラを使用した画像処理装置が、各種発売されている。
次のような形態的特徴がある。内部に発生しているこ
と半透明粒状検査物のほぼ中心部にあること形状
が、面状であること半透明粒状検査物の表面に、粒状
の濃い斑が発生することがあることそこで、ＣＣＤカメ
ラを使用した画像処理装置が、各種発売されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかし、従来の技術
で半透明粒状検査物を検査した場合、 反射照明の場合は、半透明粒状検査物の表面での反
射光を受光することになり、内部に発生した割れを検出
することはできない。 透過照明の場合は、半透明粒状検査物の透過率が非
常に低いため、割れによる内部の透過光量変化を検出す
ることは不可能である。また、照明の輝度を上げると、
半透明粒状検査物の背景の光が高輝度となるため、ＣＣ
Ｄカメラの出力が飽和する。 表面にある粒状の濃い斑と割れは、いずれも濃淡が
発生するため、両者の判別が困難である。 という問題があった。
で半透明粒状検査物を検査した場合、 反射照明の場合は、半透明粒状検査物の表面での反
射光を受光することになり、内部に発生した割れを検出
することはできない。 透過照明の場合は、半透明粒状検査物の透過率が非
常に低いため、割れによる内部の透過光量変化を検出す
ることは不可能である。また、照明の輝度を上げると、
半透明粒状検査物の背景の光が高輝度となるため、ＣＣ
Ｄカメラの出力が飽和する。 表面にある粒状の濃い斑と割れは、いずれも濃淡が
発生するため、両者の判別が困難である。 という問題があった。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決するこ
とを目的としたものであり、半透明粒状検査物に粒状の
濃い斑が発生していても、半透明粒状検査物の内部に発
生した割れを検出することを可能とした検査装置の提供
をするものである。
とを目的としたものであり、半透明粒状検査物に粒状の
濃い斑が発生していても、半透明粒状検査物の内部に発
生した割れを検出することを可能とした検査装置の提供
をするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は鋭意検討を重ね
た結果ｍ光ファイバライトガイドを半透明粒状検査物の
斜めに、ＣＣＤカメラを前記光ファイバライトガイドの
出射方向を外した位置に配置し、割れの前後での散乱光
の変化を複数の検査領域でとらえれば、この目的達成に
有効であることを見い出しこの発明を完成するに到っ
た。
た結果ｍ光ファイバライトガイドを半透明粒状検査物の
斜めに、ＣＣＤカメラを前記光ファイバライトガイドの
出射方向を外した位置に配置し、割れの前後での散乱光
の変化を複数の検査領域でとらえれば、この目的達成に
有効であることを見い出しこの発明を完成するに到っ
た。
【０００６】すなわち、本発明の欠陥検査装置は、半透
明粒状検査物の斜めより照射する光ファイバライトガイ
ドと、前記光ファイバライトガイドの出射方向を外した
位置に設置したＣＣＤカメラと、前記半透明粒状検査物
の欠陥の前後での散乱光の強度の低下を複数本の検査領
域でとらえ、全ての検査領域で欠陥の前後での散乱光の
強度の低下を検出した場合に前記欠陥を割れと判定し、
一部の検査領域で欠陥の前後での散乱光の強度の低下を
検出した場合に前記欠陥を濃い斑と判定する画像処理装
置とからなることを特徴とするものである。
明粒状検査物の斜めより照射する光ファイバライトガイ
ドと、前記光ファイバライトガイドの出射方向を外した
位置に設置したＣＣＤカメラと、前記半透明粒状検査物
の欠陥の前後での散乱光の強度の低下を複数本の検査領
域でとらえ、全ての検査領域で欠陥の前後での散乱光の
強度の低下を検出した場合に前記欠陥を割れと判定し、
一部の検査領域で欠陥の前後での散乱光の強度の低下を
検出した場合に前記欠陥を濃い斑と判定する画像処理装
置とからなることを特徴とするものである。
【０００７】上記構成からなるこの発明の検査装置を用
い半透明粒状検査物を検査する場合について、より詳細
に説明する。
い半透明粒状検査物を検査する場合について、より詳細
に説明する。
【０００８】 光ファイバライトガイドを半透明粒状
検査物の斜めに設置し、ＣＣＤカメラを前記光ファイバ
ライトガイドの出射方向を外した位置に設置する。 ａ） 半透明粒状検査物の透過率が非常に低いため高輝
度の光ファイバライトガイドを使用した照明を使用す
る。 ｂ） 半透明粒状検査物の斜めから照明し、ＣＣＤカメ
ラで透過光を受光せず、散乱光を受光するようにする。 ｃ） 割れの前後での明暗変化を画像処理装置で検出す
る。
検査物の斜めに設置し、ＣＣＤカメラを前記光ファイバ
ライトガイドの出射方向を外した位置に設置する。 ａ） 半透明粒状検査物の透過率が非常に低いため高輝
度の光ファイバライトガイドを使用した照明を使用す
る。 ｂ） 半透明粒状検査物の斜めから照明し、ＣＣＤカメ
ラで透過光を受光せず、散乱光を受光するようにする。 ｃ） 割れの前後での明暗変化を画像処理装置で検出す
る。
【０００９】 割れの前後での散乱光の変化を、複数
の検査領域でとらえる。半透明粒状検査物の表面に発生
した粒状の濃い斑と割れを判別するため、割れの前後に
複数の検査領域を設ける。
の検査領域でとらえる。半透明粒状検査物の表面に発生
した粒状の濃い斑と割れを判別するため、割れの前後に
複数の検査領域を設ける。
【００１０】
【実施例】以下、本発明を図面に従い、詳細に説明す
る。
る。
【００１１】図１は本発明の一実施例を説明する図であ
る。検査物１は数mm程度の半透明粒状検査物であり、←
の方向に、間欠的に移動させている。検査物１には、内
部に割れが発生しているものがあり、これを検出するこ
とが必要となる。
る。検査物１は数mm程度の半透明粒状検査物であり、←
の方向に、間欠的に移動させている。検査物１には、内
部に割れが発生しているものがあり、これを検出するこ
とが必要となる。
【００１２】光ファイバライトガイド２は、光源３の光
を検査物１の斜め下方から照明するためのものである。
光ファイバライトガイド２は、三菱レイヨン（株）製エ
スカを使用しており、光源３は、１００Ｗハロゲンラン
プを使用した三菱レイヨン（株）製エスカイルミネータ
（型名：ＥＬＩ−１００）を使用している。
を検査物１の斜め下方から照明するためのものである。
光ファイバライトガイド２は、三菱レイヨン（株）製エ
スカを使用しており、光源３は、１００Ｗハロゲンラン
プを使用した三菱レイヨン（株）製エスカイルミネータ
（型名：ＥＬＩ−１００）を使用している。
【００１３】検査物１は半透明粒状検査物であるため、
内部で散乱する。この散乱光を上方に設置したＣＣＤカ
メラ４で読み取ると、正常な検査物１の場合は、検査物
１が白く、背景が黒く観測される。
内部で散乱する。この散乱光を上方に設置したＣＣＤカ
メラ４で読み取ると、正常な検査物１の場合は、検査物
１が白く、背景が黒く観測される。
【００１４】ＣＣＤカメラ４の信号は画像処理装置５で
処理され、検査物１の割れの有無を検出している。画像
処理装置５は、三菱レイヨン（株）製画像処理装置（型
名：ＦＳＣ−１００）を使用している。
処理され、検査物１の割れの有無を検出している。画像
処理装置５は、三菱レイヨン（株）製画像処理装置（型
名：ＦＳＣ−１００）を使用している。
【００１５】図２は本発明の一実施例で割れ部分での明
暗変化を出すために、検査物に当てたときの光の反射を
示す図である。
暗変化を出すために、検査物に当てたときの光の反射を
示す図である。
【００１６】図２ ａ）は検査物に割れがない場合を示
している。ＣＣＤカメラ４の出力値は、検査物１ 1 の内
部の散乱成分Ｐ1、Ｐ2…の光強度、即ち、散乱成分
Ｐ1、Ｐ2…を照射する光強度ｉ1’、ｉ2’…によって決
まる。検査物１1の下方からｉ 1 、ｉ 2 …の光強度で照明
すると、検査物１1の表面反射で光強度が低下するが、
散乱成分Ｐ1、Ｐ2を照明する光強度ｉ1’、ｉ2’は、ほ
ぼ同程度となる。
している。ＣＣＤカメラ４の出力値は、検査物１ 1 の内
部の散乱成分Ｐ1、Ｐ2…の光強度、即ち、散乱成分
Ｐ1、Ｐ2…を照射する光強度ｉ1’、ｉ2’…によって決
まる。検査物１1の下方からｉ 1 、ｉ 2 …の光強度で照明
すると、検査物１1の表面反射で光強度が低下するが、
散乱成分Ｐ1、Ｐ2を照明する光強度ｉ1’、ｉ2’は、ほ
ぼ同程度となる。
【００１７】図２ ｂ）は検査物に割れがある場合を示
している。検査物１2の下方からｊ1、ｊ2…の光強度で
照明すると、散乱成分Ｐ1、Ｐ2を照明する光強度は、検
査物１の表面反射の他、割れの部分での内部反射により
低下するため、ｊ1’＞ｊ2’となり、割れの左右で明暗
が発生することになる。
している。検査物１2の下方からｊ1、ｊ2…の光強度で
照明すると、散乱成分Ｐ1、Ｐ2を照明する光強度は、検
査物１の表面反射の他、割れの部分での内部反射により
低下するため、ｊ1’＞ｊ2’となり、割れの左右で明暗
が発生することになる。
【００１８】図３は本発明の割れ検出のための画像処理
方法について説明する図である。
方法について説明する図である。
【００１９】割れのない場合は、検査物１1は背景と比
較してＣＣＤ出力が高くなるため、２値化すると、検査
物１1の部分が「１」、背景が「０」となる。しかし、
割れのある場合は、割れ６の部分で出力が低下するた
め、割れの左側で「０」、右側で「１」となる。この変
化をとらえることにより、割れの検出が可能となる。
較してＣＣＤ出力が高くなるため、２値化すると、検査
物１1の部分が「１」、背景が「０」となる。しかし、
割れのある場合は、割れ６の部分で出力が低下するた
め、割れの左側で「０」、右側で「１」となる。この変
化をとらえることにより、割れの検出が可能となる。
【００２０】図４は本発明の半透明粒状検査物の表面に
発生した粒状の濃い斑と割れの判別方法を説明する図で
ある。
発生した粒状の濃い斑と割れの判別方法を説明する図で
ある。
【００２１】粒状の濃い斑と割れは、いずれも、２値化
すると「０」となる。しかし、そのパターンは異なる。
そこで、検査領域７1、７2…を複数箇所設けると、全て
の検査領域で「０」を検出した場合は割れ、一部の検査
領域で「０」を検出した場合は粒状の濃い斑であること
がわかる。
すると「０」となる。しかし、そのパターンは異なる。
そこで、検査領域７1、７2…を複数箇所設けると、全て
の検査領域で「０」を検出した場合は割れ、一部の検査
領域で「０」を検出した場合は粒状の濃い斑であること
がわかる。
【００２２】従って、全ての検査領域で「１」、「０」
の比率の範囲を設定することにより、粒状の濃い斑と割
れの判別が可能となる。
の比率の範囲を設定することにより、粒状の濃い斑と割
れの判別が可能となる。
【発明の効果】本発明は、半透明粒状検査物の表面に、
粒状の濃い斑が発生していても、半透明粒状検査物の内
部に発生した割れを検出することが可能であり、半透明
粒状検査物の欠陥検査装置として効果が大である。
粒状の濃い斑が発生していても、半透明粒状検査物の内
部に発生した割れを検出することが可能であり、半透明
粒状検査物の欠陥検査装置として効果が大である。
【図１】 本発明の一実施例である検査装置を用いて、
検査物を検査する様子を示す図である。
検査物を検査する様子を示す図である。
【図２】 本発明の一実施例で割れ部分での明暗変化を
出すために、検査物に光を当てたときの光の反射を示す
図である。
出すために、検査物に光を当てたときの光の反射を示す
図である。
【図３】 割れ検出のための画像処理方法を示す図であ
る。
る。
【図４】 半透明粒状検査物の表面に発生した粒状の濃
い斑と割れの判別方法を示す画像図である。
い斑と割れの判別方法を示す画像図である。
１…検査物 １1…割れのない検査物 １2…割れのある検査物 ２…光ファイバライトガイド ３…光源 ４…ＣＣＤカメラ ５…画像処理装置 ６…割れ Ｐ1、Ｐ2… 検査物内の散乱成分 ｉ1、ｉ2…、ｊ1、ｊ2… 検査物を照明する光強度ｉ 1 ’、ｉ 2 ’…、ｊ 1 ’、ｊ 2 ’… 散乱成分を照明する
光強度 ７1、７2… 検査領域 ８1、８2… 濃い斑 ９…割れによる濃色部
光強度 ７1、７2… 検査領域 ８1、８2… 濃い斑 ９…割れによる濃色部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−305343（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−61653（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−156144（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−36643（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−137857（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−32157（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 - 21/958
Claims (1)
- 【請求項１】 半透明粒状検査物の斜めより照射する光
ファイバライトガイドと、前記光ファイバライトガイド
の出射方向を外した位置に設置され、半透明粒状検査物
からの散乱光を受光するＣＣＤカメラと、前記半透明粒
状検査物の欠陥の前後での散乱光の強度の低下を複数本
の検査領域でとらえ、全ての検査領域で欠陥の前後での
散乱光の強度の低下を検出した場合に前記欠陥を割れと
判定し、一部の検査領域で欠陥の前後での散乱光の強度
の低下を検出した場合に前記欠陥を濃い斑と判定する画
像処理装置とからなる欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03978492A JP3197047B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03978492A JP3197047B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05240795A JPH05240795A (ja) | 1993-09-17 |
| JP3197047B2 true JP3197047B2 (ja) | 2001-08-13 |
Family
ID=12562564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03978492A Expired - Fee Related JP3197047B2 (ja) | 1992-02-26 | 1992-02-26 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3197047B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6311372B2 (ja) | 2014-03-13 | 2018-04-18 | オムロン株式会社 | 画像処理装置および画像処理方法 |
-
1992
- 1992-02-26 JP JP03978492A patent/JP3197047B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05240795A (ja) | 1993-09-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010522 |
|
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