JPS6140068A - 光プリンタ用発光ダイオ−ド - Google Patents
光プリンタ用発光ダイオ−ドInfo
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- JPS6140068A JPS6140068A JP16225584A JP16225584A JPS6140068A JP S6140068 A JPS6140068 A JP S6140068A JP 16225584 A JP16225584 A JP 16225584A JP 16225584 A JP16225584 A JP 16225584A JP S6140068 A JPS6140068 A JP S6140068A
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- light
- light emitting
- common electrode
- led
- emitting diode
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/15—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components having potential barriers, specially adapted for light emission
- H01L27/153—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components having potential barriers, specially adapted for light emission in a repetitive configuration, e.g. LED bars
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
・ イ)産業上の利用分野
本発明は表面に複数の発光部を有し、いずれの発光部の
輝度も高い光プリンタ用発光ダイオードに関する。
・ 口】従来の技術 近年第3図に示すように表面に整列した発光部を有する
発光ダイオード11(milli・・・tm列させて光
プリンタ用ヘッドとして用いる事が提案されており、そ
のための発光ダイオードは例えば1982年電子通憚学
会研究会報告第23頁に記載さ些ているつところでこの
ような一光ダイオードにおいては第4図に示すように、
一つ1′つの発光ダイオードfl(1aト・内に多数の
発光i合amlIe−?有しているので、このうちの1
発光接合′(1”’):fット分の発光部)を 。
輝度も高い光プリンタ用発光ダイオードに関する。
・ 口】従来の技術 近年第3図に示すように表面に整列した発光部を有する
発光ダイオード11(milli・・・tm列させて光
プリンタ用ヘッドとして用いる事が提案されており、そ
のための発光ダイオードは例えば1982年電子通憚学
会研究会報告第23頁に記載さ些ているつところでこの
ような一光ダイオードにおいては第4図に示すように、
一つ1′つの発光ダイオードfl(1aト・内に多数の
発光i合amlIe−?有しているので、このうちの1
発光接合′(1”’):fット分の発光部)を 。
点灯させた時と金発晃接合(発光ダイオード内の□、全
ての発光部)1に点灯させた時とでは点灯条件が、異な
る。即ち仮に定電流駆動した、時でも、隣接するPN発
光接合にも電流ツ流れているか否かに゛よって電流分布
が異なるし、基板側で電流束全形成した時の電流分布等
によっても輝度等は変化するO ところがこのような点灯条件について輝度低下の原因を
検討したところ、上述した発光ダイオード内部のみ゛の
理由による低下では考えられない低下が生じる事がわか
った。□そこでさらに詳細に検討したところ、発光ダイ
オードの裏面にある電極(n側コモン電極)における損
失が大きい事がわかった。
ての発光部)1に点灯させた時とでは点灯条件が、異な
る。即ち仮に定電流駆動した、時でも、隣接するPN発
光接合にも電流ツ流れているか否かに゛よって電流分布
が異なるし、基板側で電流束全形成した時の電流分布等
によっても輝度等は変化するO ところがこのような点灯条件について輝度低下の原因を
検討したところ、上述した発光ダイオード内部のみ゛の
理由による低下では考えられない低下が生じる事がわか
った。□そこでさらに詳細に検討したところ、発光ダイ
オードの裏面にある電極(n側コモン電極)における損
失が大きい事がわかった。
ハ)発明が解決しようとする問題点
第5図は上記検討により注目し友電極について電子分光
分析装置で観測した裏面電極の表面(素子としては底面
]状態分析図であるが、金を主体とする表面に酸素や炭
素の存在が確認された。従ってこれら酸化物等の薄膜被
膜が、大電流時、に電 “流阻害?して輝度低下を生じ
ていたものと確認で ′き’ft。
分析装置で観測した裏面電極の表面(素子としては底面
]状態分析図であるが、金を主体とする表面に酸素や炭
素の存在が確認された。従ってこれら酸化物等の薄膜被
膜が、大電流時、に電 “流阻害?して輝度低下を生じ
ていたものと確認で ′き’ft。
よって本発明はこの光プリンタ用発光ダイオードの底面
の電極被膜を除いて、発光部(ドツト)の点灯数の多少
にかかわらず輝度変動の少ない光プリンタ用発光ダイオ
ードを提供するものである〇二)問題点を解決するため
の手段 本発明は共通電極の露出面をスパッタリング面とするも
のであるり ホ」作 用 これにより共通電極の露出面が活性化され、電流の如何
にかかわらず底面の界面効果がなくなってどの発壱点(
ドツト)の発光でも輝度低下は1096未満(発光ダイ
オード素子内部の要因のみに帰因する低下]とする事が
できた。
の電極被膜を除いて、発光部(ドツト)の点灯数の多少
にかかわらず輝度変動の少ない光プリンタ用発光ダイオ
ードを提供するものである〇二)問題点を解決するため
の手段 本発明は共通電極の露出面をスパッタリング面とするも
のであるり ホ」作 用 これにより共通電極の露出面が活性化され、電流の如何
にかかわらず底面の界面効果がなくなってどの発壱点(
ドツト)の発光でも輝度低下は1096未満(発光ダイ
オード素子内部の要因のみに帰因する低下]とする事が
できた。
へ)実施例
第1図に本発明実施例の光プリンタ用発光ダイオードの
斜視図で、n型GaAs基板11i上にn型変成層(2
1とn型GaAsQ、(5PQ、4層(31ヲ順次エピ
タキシャル成長させ、亜鉛の選択拡散領域(4)を形成
し、個別電極+51151・・・を設けて発光部(ドツ
ト](6バ61・・・を形成するり発光部(6バ6I・
・・全一直線上に整列配置するため発光ダイオードは長
尺になる。
斜視図で、n型GaAs基板11i上にn型変成層(2
1とn型GaAsQ、(5PQ、4層(31ヲ順次エピ
タキシャル成長させ、亜鉛の選択拡散領域(4)を形成
し、個別電極+51151・・・を設けて発光部(ドツ
ト](6バ61・・・を形成するり発光部(6バ6I・
・・全一直線上に整列配置するため発光ダイオードは長
尺になる。
そして裏面VCは金(AV)t−主体とし、オーミック
剤を微量混入し友共通電極(7)全形成するっこの共通
電極+71Fi素子の基板山側はオーミック接触がとら
れているが露出面側はスパッタリング面となっているっ
スパッタリングはアルゴンを10−6丁orr 程度
においてイオン化し、2にVで加速して1.5〜3分照
射した。
剤を微量混入し友共通電極(7)全形成するっこの共通
電極+71Fi素子の基板山側はオーミック接触がとら
れているが露出面側はスパッタリング面となっているっ
スパッタリングはアルゴンを10−6丁orr 程度
においてイオン化し、2にVで加速して1.5〜3分照
射した。
このようにして得られた共通電極の電子分光分析装置に
よる状態分析図は第2図に示すとわ9で、酸素や炭素は
見あたらなかった。
よる状態分析図は第2図に示すとわ9で、酸素や炭素は
見あたらなかった。
また従来および本発明に係る点灯試験の結果を下記に示
した。これは1発光ダイオード中に64発光点(64ド
ツト]を設け、定電流電源を用い、任意の1ドツトのみ
t−,10mAで点灯させ九時と、半分の32ドツトe
520a+Aで点灯させた時の輝度の比較を行なってい
るが、従来の場合はいずれも1ドツトのみの点灯に対し
32ドツト点灯すると同一ドツトで十数%の輝度低下が
ある。そして本発明実施例においては輝就低下の割合は
、1桁となっているり ト) 発明の効果 このようにして共通電極の露出面での不所望な界面効果
がなくなるので、発光ダイオードが長尺になっても点灯
ドツト数の増減による一度の変化が少なくなり、印字品
質は良好に保たれる0
した。これは1発光ダイオード中に64発光点(64ド
ツト]を設け、定電流電源を用い、任意の1ドツトのみ
t−,10mAで点灯させ九時と、半分の32ドツトe
520a+Aで点灯させた時の輝度の比較を行なってい
るが、従来の場合はいずれも1ドツトのみの点灯に対し
32ドツト点灯すると同一ドツトで十数%の輝度低下が
ある。そして本発明実施例においては輝就低下の割合は
、1桁となっているり ト) 発明の効果 このようにして共通電極の露出面での不所望な界面効果
がなくなるので、発光ダイオードが長尺になっても点灯
ドツト数の増減による一度の変化が少なくなり、印字品
質は良好に保たれる0
第1図は本発明実施例の光プリンタ用発光ダイオードの
斜視図、第2図はその共通電極の状態分析図、第3図°
は光プリンタ用ヘッドの斜視図、第4図はその等価回路
図、1t!5図は従来の共通電極の状態分析図である。
斜視図、第2図はその共通電極の状態分析図、第3図°
は光プリンタ用ヘッドの斜視図、第4図はその等価回路
図、1t!5図は従来の共通電極の状態分析図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)表面に複数の発光部を有し、裏面にスパッタリング
面を有する共通電極を具備した事を特徴とする光プリン
タ用発光ダイオード。 2)前記発光部は長尺の化合物半導体の長手方向に添っ
て整列配置されている事を特徴とする前記特許請求の範
囲第1項記載の光プリンタ用発光ダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16225584A JPS6140068A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光プリンタ用発光ダイオ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16225584A JPS6140068A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光プリンタ用発光ダイオ−ド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6140068A true JPS6140068A (ja) | 1986-02-26 |
Family
ID=15750953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16225584A Pending JPS6140068A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 光プリンタ用発光ダイオ−ド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6140068A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5038186A (en) * | 1988-11-07 | 1991-08-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Light emitting diode array |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP16225584A patent/JPS6140068A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5038186A (en) * | 1988-11-07 | 1991-08-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Light emitting diode array |
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