JPS6139505A - 厚膜抵抗体のトリミング方法 - Google Patents
厚膜抵抗体のトリミング方法Info
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- JPS6139505A JPS6139505A JP15902084A JP15902084A JPS6139505A JP S6139505 A JPS6139505 A JP S6139505A JP 15902084 A JP15902084 A JP 15902084A JP 15902084 A JP15902084 A JP 15902084A JP S6139505 A JPS6139505 A JP S6139505A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- trimming
- thick film
- cut
- resistance value
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
−本発明は厚膜混成集積回路におけるトリミングの際に
、抵抗体の耐サージ特性を低下させることなく、高精度
の抵抗体を形成できるようにした混成集績回路用抵抗器
のトリミング方法に関する。
、抵抗体の耐サージ特性を低下させることなく、高精度
の抵抗体を形成できるようにした混成集績回路用抵抗器
のトリミング方法に関する。
（従来の技術）
従来の厚膜混成集積回路における抵抗体のトリミング方
法全第２図て示す。トリミング技術についてはＩＣ化実
装技術（日本マイクロエレクトロニクス協会綿、トリミ
ング技術Ｐ３３．Ｐ６６）に詳述されている。第２図に
おいて１は端子、２は抵抗体、３は電流の流れ、４はト
リミングによる溝である。本抵抗器は端子１および抵抗
体２とによって形成されている。このような抵抗器【レ
ーデまたはサンドブラストによシ溝４を設は抵抗値を調
整する。溝形成の・母ターンを第２図（Ａ）〜（Ｃ）に
示す。同図（Ａ）はストレートカット、（Ｂ）ばＬカッ
トであシ、これらが一般的である。前述のカット方法は
抵抗値を測定しながら徐々にトリミングすることが可能
で、所定の抵抗値に達したところで止めることができる
ため高精度かつ短時間でトリミングが可能である。また
切込量が抵抗体の幅に対して数ノ？−セント以内であれ
ばサージ電圧全印加した場合に通常発生する溝のコーナ
部や、末端部の電流集中による局部的な発熱、更にマイ
クロラックの発生及び成長が非常に少なく、（Ｃ）に示
すエッジシェイブカットと同等であることが知られてい
る。しかし切込Ｒｅ抵抗体の幅に対して所定のパーセン
ト以内に抑えることは、抵抗体焼成後の抵抗値を目標値
に対してマイナス数パーセント以内に抑えることになシ
非常に製造が難かしく、歩留りの低下につながる。この
問題を解決するだめ第２図Ｃに示すエッジシェイブカッ
ト４ｃと呼ばれているカット／Ｊターン全使用しておシ
、該・ンターンはサージ電流が印加される場合に有効で
ある。前記エッジシェイブカット４Ｃは電流の流れ３よ
シ明らかなように電流集中は起きず、発熱は均一のため
サージ電流には非常に強い。
法全第２図て示す。トリミング技術についてはＩＣ化実
装技術（日本マイクロエレクトロニクス協会綿、トリミ
ング技術Ｐ３３．Ｐ６６）に詳述されている。第２図に
おいて１は端子、２は抵抗体、３は電流の流れ、４はト
リミングによる溝である。本抵抗器は端子１および抵抗
体２とによって形成されている。このような抵抗器【レ
ーデまたはサンドブラストによシ溝４を設は抵抗値を調
整する。溝形成の・母ターンを第２図（Ａ）〜（Ｃ）に
示す。同図（Ａ）はストレートカット、（Ｂ）ばＬカッ
トであシ、これらが一般的である。前述のカット方法は
抵抗値を測定しながら徐々にトリミングすることが可能
で、所定の抵抗値に達したところで止めることができる
ため高精度かつ短時間でトリミングが可能である。また
切込量が抵抗体の幅に対して数ノ？−セント以内であれ
ばサージ電圧全印加した場合に通常発生する溝のコーナ
部や、末端部の電流集中による局部的な発熱、更にマイ
クロラックの発生及び成長が非常に少なく、（Ｃ）に示
すエッジシェイブカットと同等であることが知られてい
る。しかし切込Ｒｅ抵抗体の幅に対して所定のパーセン
ト以内に抑えることは、抵抗体焼成後の抵抗値を目標値
に対してマイナス数パーセント以内に抑えることになシ
非常に製造が難かしく、歩留りの低下につながる。この
問題を解決するだめ第２図Ｃに示すエッジシェイブカッ
ト４ｃと呼ばれているカット／Ｊターン全使用しておシ
、該・ンターンはサージ電流が印加される場合に有効で
ある。前記エッジシェイブカット４Ｃは電流の流れ３よ
シ明らかなように電流集中は起きず、発熱は均一のため
サージ電流には非常に強い。
（発明が解決しようとする問題点）
前述の如く抵抗値精度が必要な場合には、カット本数が
多く必要であシ、更に導体は抵抗体に比較してカットに
パワーを必要とするためカットスピードを遅くする必要
があるため、ストレートカット４ａ及びＬカット４ｂに
比較して数倍の時間を要するという欠点がある。本発明
はかかる欠点に鑑みなされたもので、抵抗体の耐サージ
特性を低下させることなく短時間で高精度のトリミング
を行うことにある。
多く必要であシ、更に導体は抵抗体に比較してカットに
パワーを必要とするためカットスピードを遅くする必要
があるため、ストレートカット４ａ及びＬカット４ｂに
比較して数倍の時間を要するという欠点がある。本発明
はかかる欠点に鑑みなされたもので、抵抗体の耐サージ
特性を低下させることなく短時間で高精度のトリミング
を行うことにある。
（問題点を解決するだめの手段）
本発明は抵抗体を予め目標の抵抗値近傍まで電流集中が
起きにくい形状にトリミングした後、Ｌ形にトリミング
することによって目標の抵抗値まで微少調整するもので
ある。
起きにくい形状にトリミングした後、Ｌ形にトリミング
することによって目標の抵抗値まで微少調整するもので
ある。
（作用）
厚膜抵抗体を一定の幅にトリミングする。この状態の抵
抗体は電流集中が発生しないのでサージ特性の優れた抵
抗体が得られ、更に電流集中が起きな−い範囲でしカッ
トによって抵抗値を微調整可能となる。
抗体は電流集中が発生しないのでサージ特性の優れた抵
抗体が得られ、更に電流集中が起きな−い範囲でしカッ
トによって抵抗値を微調整可能となる。
（実施例）
本発明の実施例を第１図に示す。幅Ｗ、の抵抗体の初期
抵抗値Ｒｉｆｉｌ”測定し、目標抵抗値ＲＯに対してマ
イナス数パーセントになるように（１）式に基づいて切
込ｔＷｔを算出する。
抵抗値Ｒｉｆｉｌ”測定し、目標抵抗値ＲＯに対してマ
イナス数パーセントになるように（１）式に基づいて切
込ｔＷｔを算出する。
ここでＷｏ、は初期抵抗体幅、Ｗｉはカット後の抵抗体
幅、Ｗ４は切込量である。
幅、Ｗ４は切込量である。
切込量Ｗｔヲ算出後、第１図（Ａ）に示す如く抵抗体２
を幅Ｗｔだけカットする。次に同図（Ｂ）に示すように
溝４ｄの適当な位置からし溝５を形成し、目標抵抗値の
数ｉ４−セントの範囲になるまでトリミングし、所定の
値を有する抵抗体２を作成する。
を幅Ｗｔだけカットする。次に同図（Ｂ）に示すように
溝４ｄの適当な位置からし溝５を形成し、目標抵抗値の
数ｉ４−セントの範囲になるまでトリミングし、所定の
値を有する抵抗体２を作成する。
以上のように本発明によれば第１図（Ａ）に示すカット
を竹うことによシ抵抗体の＠を短かぐしたのと同一の効
果が得られる。即ちエッジシェイブカットの場合と同様
に目標値に対してマイナス数パーセントの直を持つ抵抗
体が得られたことになり、サージ電流が印加されても電
流集中はほとんど生じない。
を竹うことによシ抵抗体の＠を短かぐしたのと同一の効
果が得られる。即ちエッジシェイブカットの場合と同様
に目標値に対してマイナス数パーセントの直を持つ抵抗
体が得られたことになり、サージ電流が印加されても電
流集中はほとんど生じない。
（発明の効果）
以上説明した如く本発明によれば
（１）最も耐サージ特性に効果のあるエッジシェイブカ
ットに比較して同様の特性が得られる。
ットに比較して同様の特性が得られる。
（２）トリミングの時間はエッジシェイブカットに比較
して１／３に短縮することが可能である。
して１／３に短縮することが可能である。
（３）抵抗体のＩｎ ２；ｔを最も広くとることが出来
るため許容消費電力の最大な抵抗体のトリミング方法で
ある。
るため許容消費電力の最大な抵抗体のトリミング方法で
ある。
本発明の抵抗体は電流集中が少ないため耐サージ特性に
影響を与えることなく高精度の抵抗体を提供できる。
影響を与えることなく高精度の抵抗体を提供できる。
第１図は本発明に係る抵抗体のトリミングを示す図、第
２図は従来のトリミングを示す図。 れ １・・・端子、２・・・抵抗体、３・・・電流の流＼
４，５・・・トリミングによる溝。 特許出願人 沖電気工業株式会社 沖セラミック工業株式会社
２図は従来のトリミングを示す図。 れ １・・・端子、２・・・抵抗体、３・・・電流の流＼
４，５・・・トリミングによる溝。 特許出願人 沖電気工業株式会社 沖セラミック工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 厚膜抵抗体の値をトリミングによって調整する方法に
おいて、 抵抗体を一定の幅にトリミングし、該抵抗体の抵抗値を
粗調整した後、Ｌ溝をトリミングし、抵抗値を微調整す
ることを特徴とする厚膜抵抗体のトリミング方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15902084A JPS6139505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 厚膜抵抗体のトリミング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15902084A JPS6139505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 厚膜抵抗体のトリミング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139505A true JPS6139505A (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=15684495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15902084A Pending JPS6139505A (ja) | 1984-07-31 | 1984-07-31 | 厚膜抵抗体のトリミング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139505A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62198407A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-02 | 三井建設株式会社 | コンクリ−ト・モルタル部材の成形方法 |
| JPS6454304U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-04 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5728350A (en) * | 1980-07-28 | 1982-02-16 | Fujitsu Ltd | Manufacture of hybrid integrated circuit |
| JPS5848448A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 厚膜抵抗体のトリミング方法 |
| JPS5986202A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-18 | 株式会社東芝 | 厚膜抵抗素子 |
-
1984
- 1984-07-31 JP JP15902084A patent/JPS6139505A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5728350A (en) * | 1980-07-28 | 1982-02-16 | Fujitsu Ltd | Manufacture of hybrid integrated circuit |
| JPS5848448A (ja) * | 1981-09-16 | 1983-03-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 厚膜抵抗体のトリミング方法 |
| JPS5986202A (ja) * | 1982-11-09 | 1984-05-18 | 株式会社東芝 | 厚膜抵抗素子 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62198407A (ja) * | 1986-02-25 | 1987-09-02 | 三井建設株式会社 | コンクリ−ト・モルタル部材の成形方法 |
| JPS6454304U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-04 |
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