JPS6139210A - 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法Info
- Publication number
- JPS6139210A JPS6139210A JP15674884A JP15674884A JPS6139210A JP S6139210 A JPS6139210 A JP S6139210A JP 15674884 A JP15674884 A JP 15674884A JP 15674884 A JP15674884 A JP 15674884A JP S6139210 A JPS6139210 A JP S6139210A
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- Japan
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- film magnetic
- thin film
- magnetic head
- coil
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の゛分野）
本発明は磁気ディスク、ＶＴＲ等に用いられる２チャン
ネルの薄膜磁気ヘッドおよびそ−の製造方法に関するも
のである。
ネルの薄膜磁気ヘッドおよびそ−の製造方法に関するも
のである。
（発明の技術的背景および従来技術）
従来より、磁気記録媒体を用いて各種の信号を記録再生
する磁気記録再生装置が種々開発されており、近年、磁
気記録媒体の高抗磁力化、小型化が進むにつれて、これ
らの媒体に情報を記録し、この記録された情報を再生す
る手段である磁気ヘッドについても多様な媒体に適した
種々の磁気ヘッドの開発が進められている。例えば最内
周記録半径が１５ｍｍ、最外周記録半径が２０ｓ程度の
小型の円盤状高抗磁力磁気記録媒体を用いて記録再生を
行なうための磁気ヘッドとしては、ヘッド自体も小型か
つ高性能である必要があるため、従来のバルク型の磁性
材料を用いたバルクヘッドに代って薄膜型の磁気ヘッド
が多く用いられるようになっている。また上述した小型
の円盤状磁気記録媒体を用いてフレーム記録を行なう際
などには、磁気記録媒体の記録密度とクロストーク特性
との関係から、２チャンネルのＮ膜磁気ヘッドが多く用
いられるようになっている。この２チャンネルの薄膜磁
気ヘッドは基板と保護板との間に、磁性層、ギャップ材
、コイルからなる薄膜磁気ヘッド部材を２組挾持してな
るものであり、その製造方法としては、基板上に２組の
薄膜磁気ヘッド部材を成膜し、この基板上に設けられた
薄膜磁気ヘッド部材上に接着材層を介して保護板を接着
するという方法が用いられている。
する磁気記録再生装置が種々開発されており、近年、磁
気記録媒体の高抗磁力化、小型化が進むにつれて、これ
らの媒体に情報を記録し、この記録された情報を再生す
る手段である磁気ヘッドについても多様な媒体に適した
種々の磁気ヘッドの開発が進められている。例えば最内
周記録半径が１５ｍｍ、最外周記録半径が２０ｓ程度の
小型の円盤状高抗磁力磁気記録媒体を用いて記録再生を
行なうための磁気ヘッドとしては、ヘッド自体も小型か
つ高性能である必要があるため、従来のバルク型の磁性
材料を用いたバルクヘッドに代って薄膜型の磁気ヘッド
が多く用いられるようになっている。また上述した小型
の円盤状磁気記録媒体を用いてフレーム記録を行なう際
などには、磁気記録媒体の記録密度とクロストーク特性
との関係から、２チャンネルのＮ膜磁気ヘッドが多く用
いられるようになっている。この２チャンネルの薄膜磁
気ヘッドは基板と保護板との間に、磁性層、ギャップ材
、コイルからなる薄膜磁気ヘッド部材を２組挾持してな
るものであり、その製造方法としては、基板上に２組の
薄膜磁気ヘッド部材を成膜し、この基板上に設けられた
薄膜磁気ヘッド部材上に接着材層を介して保護板を接着
するという方法が用いられている。
このような方法により作られる２チャンネルの薄膜磁気
ヘッドにおいては、予め一定の大きざに設定された基板
上に２組の薄膜ヘッド部材を成膜しなければならないた
め、各簿膜ヘッド部材のコイルスペースは狭くなってし
まい巻線数を多くとることは困難であった。したがって
磁気記録媒体を磁化する際には、磁化を行なうための起
磁力は巻線数と記録電流の積であることから、巻線数が
少ない場合には有効な起磁力を得るために記録電流を増
加させなければならず、特にビデオ信号の記録に用いら
れるメタル型磁気記録媒体等の高抗磁力型の記録媒体を
磁化するためには、起磁力が通常の酸化鉄磁気記録媒体
を磁化する場合の４倍以上必要であるため、記録電流を
かなり増加させなければならなくなる。しかしながら、
記録電流を増加させると、コイルスペースが狭いために
巻線の幅が小さくなっていることから、コイルが発熱に
より溶断したり、コイル間がショートし易くなるために
信頼性の高い記録再生を行なうことができなくなるとい
う不都合が生じていた。
ヘッドにおいては、予め一定の大きざに設定された基板
上に２組の薄膜ヘッド部材を成膜しなければならないた
め、各簿膜ヘッド部材のコイルスペースは狭くなってし
まい巻線数を多くとることは困難であった。したがって
磁気記録媒体を磁化する際には、磁化を行なうための起
磁力は巻線数と記録電流の積であることから、巻線数が
少ない場合には有効な起磁力を得るために記録電流を増
加させなければならず、特にビデオ信号の記録に用いら
れるメタル型磁気記録媒体等の高抗磁力型の記録媒体を
磁化するためには、起磁力が通常の酸化鉄磁気記録媒体
を磁化する場合の４倍以上必要であるため、記録電流を
かなり増加させなければならなくなる。しかしながら、
記録電流を増加させると、コイルスペースが狭いために
巻線の幅が小さくなっていることから、コイルが発熱に
より溶断したり、コイル間がショートし易くなるために
信頼性の高い記録再生を行なうことができなくなるとい
う不都合が生じていた。
（発明の目的）
本発明は上記のような問題に鑑みてなされたものであり
、コイルが溶断したりショートしたりすることなく高抗
磁力型の記録媒体を磁化することができ、信頼性の高い
安定した記録再生を行なうことのできる構造を備えた２
チャンネルの薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法を提供
することを目的とするものである。
、コイルが溶断したりショートしたりすることなく高抗
磁力型の記録媒体を磁化することができ、信頼性の高い
安定した記録再生を行なうことのできる構造を備えた２
チャンネルの薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法を提供
することを目的とするものである。
（発明の構成〉
本発明の２チャンネルの薄膜磁気ヘッドは、２つの薄膜
磁気ヘッド部材が、それぞれ基板および保護板上に成膜
されており、両薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分が互い
に重なり合う大きさを有していることを特徴とするもの
である。この各薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分は他方
の磁気ヘッド部材の磁極と重ならない範囲で任意の大き
さに設定することができ、従来のコイル部分の２倍近い
大きさまでコイルスペースを拡大することができる。ま
た本発明の２チャンネルの薄膜磁気ヘッドの製造方法は
、同一基板上に複数の薄膜磁気ｔ＼ツド部材を成膜した
後１チャンネル毎に切断し、切断された基板を２枚ずつ
、各基板上の薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分がもう一
方のヘッド部材の磁極と重ならない範囲でもう一方のヘ
ッド部材のコイル部分と重なり合うように貼り合わせる
ことを特徴とするものである。なお本発明の２チャンネ
ルの薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法は２チャンネル
を有する薄膜磁気ヘッドを１組以上含んでいればよく、
同様のａｌ造および製造方法による２チャンネルの薄膜
磁気ヘッドを複数個連続させてなるマルチチャンネルの
薄膜磁気ヘッドであってもよい。
磁気ヘッド部材が、それぞれ基板および保護板上に成膜
されており、両薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分が互い
に重なり合う大きさを有していることを特徴とするもの
である。この各薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分は他方
の磁気ヘッド部材の磁極と重ならない範囲で任意の大き
さに設定することができ、従来のコイル部分の２倍近い
大きさまでコイルスペースを拡大することができる。ま
た本発明の２チャンネルの薄膜磁気ヘッドの製造方法は
、同一基板上に複数の薄膜磁気ｔ＼ツド部材を成膜した
後１チャンネル毎に切断し、切断された基板を２枚ずつ
、各基板上の薄膜磁気ヘッド部材のコイル部分がもう一
方のヘッド部材の磁極と重ならない範囲でもう一方のヘ
ッド部材のコイル部分と重なり合うように貼り合わせる
ことを特徴とするものである。なお本発明の２チャンネ
ルの薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法は２チャンネル
を有する薄膜磁気ヘッドを１組以上含んでいればよく、
同様のａｌ造および製造方法による２チャンネルの薄膜
磁気ヘッドを複数個連続させてなるマルチチャンネルの
薄膜磁気ヘッドであってもよい。
（実施例）
以下、図面により本発明の実施例について説明する。
第１図および第２図は本発明の２チャンネルの薄膜磁気
ヘッドの製造工程を説明するための平面図である。
ヘッドの製造工程を説明するための平面図である。
本発明の製造方法は、まず、第１図に示すように、基板
であるウェハ１上に、端子５を先端に有してなるコイル
４＋１５よび磁極３からなる薄膜磁似ヘッド部材２を複
数個成膜する。これらの薄膜磁気ヘッド部材２を成膜さ
れたウェハ１は図中破線で示す位置で１チャンネルごと
のヘッドチップにスクライブされ、スクライブされたヘ
ッドチップは前記薄膜磁気ヘッド部材２を内側にして第
２図の（ａ）に示すように２つずつ貼り合わせられる。
であるウェハ１上に、端子５を先端に有してなるコイル
４＋１５よび磁極３からなる薄膜磁似ヘッド部材２を複
数個成膜する。これらの薄膜磁気ヘッド部材２を成膜さ
れたウェハ１は図中破線で示す位置で１チャンネルごと
のヘッドチップにスクライブされ、スクライブされたヘ
ッドチップは前記薄膜磁気ヘッド部材２を内側にして第
２図の（ａ）に示すように２つずつ貼り合わせられる。
なお前記ウェハ１はスクライブされる際に、貼り合わせ
られた時に対向する薄膜磁気ヘッド部材２の端子５が外
部に露出するような形状に一方の角を斜めに切断されて
いる。また前記コイル３は貼り合わせた際に対向する薄
膜磁気ヘッド部材２の磁極３と重ならない範囲で対向す
るコイル４と重なり合う大きさに成膜されているので、
第２図（ｂ）に示す従来の２チャンネルの薄膜磁気ヘッ
ドに比ベコイルスペースが広くなっている。上記のよう
に貼り合わせられた薄膜磁気ヘッドにおいては、磁極３
側端面を第３図に示すように、上部磁性層３Ａ、下部磁
性層３Ｂ、およびギャップ部３Ｃから成る前記磁極３お
よびコイル４は、磁極３が互いに重なり合わないように
２枚のウェハ１により挾持されている。このように貼り
合わせられた２チャンネルの薄膜磁気ヘッドは次に第４
図（ａ）〜（Ｃ）に示すように磁気記録媒体に対して良
好なヘッドタッチを得ることができるように摺動面゛が
面取り加工された後、摺動面にＲ加工が施され、最後に
前記コイル４の端部５にリード線６が接続される。
られた時に対向する薄膜磁気ヘッド部材２の端子５が外
部に露出するような形状に一方の角を斜めに切断されて
いる。また前記コイル３は貼り合わせた際に対向する薄
膜磁気ヘッド部材２の磁極３と重ならない範囲で対向す
るコイル４と重なり合う大きさに成膜されているので、
第２図（ｂ）に示す従来の２チャンネルの薄膜磁気ヘッ
ドに比ベコイルスペースが広くなっている。上記のよう
に貼り合わせられた薄膜磁気ヘッドにおいては、磁極３
側端面を第３図に示すように、上部磁性層３Ａ、下部磁
性層３Ｂ、およびギャップ部３Ｃから成る前記磁極３お
よびコイル４は、磁極３が互いに重なり合わないように
２枚のウェハ１により挾持されている。このように貼り
合わせられた２チャンネルの薄膜磁気ヘッドは次に第４
図（ａ）〜（Ｃ）に示すように磁気記録媒体に対して良
好なヘッドタッチを得ることができるように摺動面゛が
面取り加工された後、摺動面にＲ加工が施され、最後に
前記コイル４の端部５にリード線６が接続される。
上記のような方法により製造された本発明の２チャンネ
ルの薄膜磁気ヘッドにおいては、２つの薄膜磁気ヘッド
部材２はそれぞれ他方の薄膜磁気ヘッド部材のコイルと
重なり合う大きさのコイル４を有しており、従ってコイ
ル４のコイル幅は従来の２チャンネルの薄膜磁気ヘッド
のコイル幅に比べ大きいものとなっている。また上記の
ような薄膜磁気ヘッドは本発明に係る２チャンネルの薄
膜磁気ヘッドの一実施例であり、基板と保護板は同一素
材のウェハから成っているが、必ずしも基板と保護板は
同一のものでなくてもよく、異なる材質の基板と保護板
にそれぞれ薄膜磁気ヘッド部材を１チャンネルずつ成膜
した後貼り合わせてもよい。
ルの薄膜磁気ヘッドにおいては、２つの薄膜磁気ヘッド
部材２はそれぞれ他方の薄膜磁気ヘッド部材のコイルと
重なり合う大きさのコイル４を有しており、従ってコイ
ル４のコイル幅は従来の２チャンネルの薄膜磁気ヘッド
のコイル幅に比べ大きいものとなっている。また上記の
ような薄膜磁気ヘッドは本発明に係る２チャンネルの薄
膜磁気ヘッドの一実施例であり、基板と保護板は同一素
材のウェハから成っているが、必ずしも基板と保護板は
同一のものでなくてもよく、異なる材質の基板と保護板
にそれぞれ薄膜磁気ヘッド部材を１チャンネルずつ成膜
した後貼り合わせてもよい。
（発明の効果）
以上詳細に説明したように本発明の２チャンネルの薄膜
磁気ヘッドは、２つの薄膜磁気ヘッド部材が基板および
保護板に１チャンネルずつ成膜されてなるものであるた
め、コイルスペースを従来に比べ２倍近く大きくとるこ
とができ、コイルの幅を広くすることができることから
コイル間のショートや発熱による溶断が発生しにくくな
り、メタル型等の高抗磁力型の記録媒体にも安定した記
録再生を行なうことが可能になる。また同一基板上に複
数の薄膜磁気ヘッド部材を成膜した後１チャンネル毎に
スクライブし、スクライブされた各ヘッドチップを貼り
合わせる本発明の製造方法によれば、保護板および基板
は前記同一基板であるウェハから成っており、薄膜磁気
ヘッド部材は、１チャンネルずつ保護板および基板に相
当するウェハに成膜されているため、従来のように基板
上にヘッド部材を成膜後保護板を接着する場合に比べ、
ヘッド部材と保護板（本発明ではウエハンとの接着層の
厚さを薄く均一にすることができるため接着強度のすぐ
れた磁気ヘッドを作ることができる。このため摺動面の
Ｒ加工工程等において砥石による研削ストレスに対して
強くなり、歩留りが向上する等の利点もある。
磁気ヘッドは、２つの薄膜磁気ヘッド部材が基板および
保護板に１チャンネルずつ成膜されてなるものであるた
め、コイルスペースを従来に比べ２倍近く大きくとるこ
とができ、コイルの幅を広くすることができることから
コイル間のショートや発熱による溶断が発生しにくくな
り、メタル型等の高抗磁力型の記録媒体にも安定した記
録再生を行なうことが可能になる。また同一基板上に複
数の薄膜磁気ヘッド部材を成膜した後１チャンネル毎に
スクライブし、スクライブされた各ヘッドチップを貼り
合わせる本発明の製造方法によれば、保護板および基板
は前記同一基板であるウェハから成っており、薄膜磁気
ヘッド部材は、１チャンネルずつ保護板および基板に相
当するウェハに成膜されているため、従来のように基板
上にヘッド部材を成膜後保護板を接着する場合に比べ、
ヘッド部材と保護板（本発明ではウエハンとの接着層の
厚さを薄く均一にすることができるため接着強度のすぐ
れた磁気ヘッドを作ることができる。このため摺動面の
Ｒ加工工程等において砥石による研削ストレスに対して
強くなり、歩留りが向上する等の利点もある。
第１図は本発明の２チャンネルの薄膜磁気ヘッドの製造
工程を示す平面図、 第２図は本発−明の磁気ヘッドと従来の磁気ヘッドの構
造を比較して示す平面図、 第３図は本発明の磁気ヘッドの摺動面側の側面図、 第４図は本発明の磁気ヘッドの製造工程を示す斜視図で
ある。 １・・・ウェハ ２・・・薄膜磁気ヘッド部材３
・・・磁 極 ４・・・コイル第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 第４図
工程を示す平面図、 第２図は本発−明の磁気ヘッドと従来の磁気ヘッドの構
造を比較して示す平面図、 第３図は本発明の磁気ヘッドの摺動面側の側面図、 第４図は本発明の磁気ヘッドの製造工程を示す斜視図で
ある。 １・・・ウェハ ２・・・薄膜磁気ヘッド部材３
・・・磁 極 ４・・・コイル第２図 （ａ） （ｂ） 第３図 第４図
Claims (2)
- （１）基板と保護板との間に２つの薄膜磁気ヘッド部材
を備えてなる２チャンネルの薄膜磁気ヘッドにおいて、
前記２つの薄膜磁気ヘッド部材がそれぞれ前記基板およ
び前記保護板上に成膜されており、両磁気ヘッド部材の
コイル部分が互いに重なり合う大きさを有していること
を特徴とする２チャンネルの薄膜磁気ヘッド。 - （２）同一基板上に複数の薄膜磁気ヘッド部材を成膜し
た後、１チャンネル毎に前記基板を切断し、切断された
基板を２つずつ、前記薄膜磁気ヘッド部材を内側にして
貼り合わせて２チャンネルの薄膜磁気ヘッドを製造する
方法において、切断された２つの前記基板を、前記薄膜
磁気ヘッド部材のコイル部分が貼り合わせた際に対向す
るヘッド部材の磁極と重ならない範囲で、対向するヘッ
ド部材のコイル部分と重なり合うように貼り合わせるこ
とを特徴とする２チャンネルの薄膜磁気ヘッドの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15674884A JPS6139210A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15674884A JPS6139210A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6139210A true JPS6139210A (ja) | 1986-02-25 |
Family
ID=15634451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15674884A Pending JPS6139210A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 薄膜磁気ヘツドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6139210A (ja) |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP15674884A patent/JPS6139210A/ja active Pending
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