JPS6133444B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6133444B2 JPS6133444B2 JP55086157A JP8615780A JPS6133444B2 JP S6133444 B2 JPS6133444 B2 JP S6133444B2 JP 55086157 A JP55086157 A JP 55086157A JP 8615780 A JP8615780 A JP 8615780A JP S6133444 B2 JPS6133444 B2 JP S6133444B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- signal
- backward
- contact
- speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 96
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37193—Multicoordinate measuring system, machine, cmm
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37207—Verify, probe, workpiece
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50103—Restart, reverse, return along machined path, stop
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/50—Machine tool, machine tool null till machine tool work handling
- G05B2219/50111—Retract tool along path, reengage along same path
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は座標測定機のプローブ移動方法及び装
置、特に被測定物と接触してタツチ信号を出力す
るタツチプローブの改良された移動方法及び装置
に関するものである。
置、特に被測定物と接触してタツチ信号を出力す
るタツチプローブの改良された移動方法及び装置
に関するものである。
複雑な形状の被測定物の外径寸法を正確に測定
する座標測定機が周知であり、二次元あるいは三
次元測定機として種々の産業分野に利用されてい
る。
する座標測定機が周知であり、二次元あるいは三
次元測定機として種々の産業分野に利用されてい
る。
第１図には周知の三次元座標測定機が示され、
測定ベツド１０上には被測定物１２が固定保持さ
れ、該被測定物１２に対してタツチプローブ１４
を所定の測定点で接触させ、この時のタツチプロ
ーブ１４の座標位置を読取ることによつて被測定
物１２の寸法を高精度で測定することができる。
タツチプローブ１４をXY方向に任意に移動制御
するために、測定機にはＸ軸モータ１６、Ｙ軸モ
ータ１８及びＺ軸モータ２０が設けられ、各モー
タ１６，１８，２０から成るプローブ移動装置に
は移動指令装置２２からそれぞれ速度信号及び方
向信号を有する移動制御信号を印加し、プローブ
１４をXYZ方向に任意に移動することによつてプ
ローブ１４を被測定物１２の所定の測定点へ接触
させる。タツチプローブ１４は被測定物１２との
接触時にタツチ信号１００を出力し、このタツチ
信号１００を端子２４から図示していない信号処
理回路へ供給することによつて、測定点のXYZ座
標を読取り、被測定物１２の外径を測定及び記録
することができる。前記移動指令装置２２は操作
者がリモートコントロールレバーを各軸方向に傾
動させてこの時の電圧変化を移動指令値として出
力する例えばジヨイステイツク（商品名）等の手
動指令装置から形成することもでき、また予め設
定された測定プログラムを出力する自動指令装置
から形成することも可能である。
測定ベツド１０上には被測定物１２が固定保持さ
れ、該被測定物１２に対してタツチプローブ１４
を所定の測定点で接触させ、この時のタツチプロ
ーブ１４の座標位置を読取ることによつて被測定
物１２の寸法を高精度で測定することができる。
タツチプローブ１４をXY方向に任意に移動制御
するために、測定機にはＸ軸モータ１６、Ｙ軸モ
ータ１８及びＺ軸モータ２０が設けられ、各モー
タ１６，１８，２０から成るプローブ移動装置に
は移動指令装置２２からそれぞれ速度信号及び方
向信号を有する移動制御信号を印加し、プローブ
１４をXYZ方向に任意に移動することによつてプ
ローブ１４を被測定物１２の所定の測定点へ接触
させる。タツチプローブ１４は被測定物１２との
接触時にタツチ信号１００を出力し、このタツチ
信号１００を端子２４から図示していない信号処
理回路へ供給することによつて、測定点のXYZ座
標を読取り、被測定物１２の外径を測定及び記録
することができる。前記移動指令装置２２は操作
者がリモートコントロールレバーを各軸方向に傾
動させてこの時の電圧変化を移動指令値として出
力する例えばジヨイステイツク（商品名）等の手
動指令装置から形成することもでき、また予め設
定された測定プログラムを出力する自動指令装置
から形成することも可能である。
ここで、速度信号とは電気的にはパルス信号で
あり１パルス当り一定量だけモータを回転させる
ことができる。従つて、一定時間中のパルス密度
がモータ回転速度に比例する。
あり１パルス当り一定量だけモータを回転させる
ことができる。従つて、一定時間中のパルス密度
がモータ回転速度に比例する。
前述した座標測定機に用いられるタツチプロー
ブ１４はそれ自体接触部が逃げ機構を有し、被測
定物１２と接触した後の移動部の慣性によりプロ
ーブ１４が若干被測定物に向つて惰性移動した場
合においても、プローブ１４が破壊されることを
防止している。
ブ１４はそれ自体接触部が逃げ機構を有し、被測
定物１２と接触した後の移動部の慣性によりプロ
ーブ１４が若干被測定物に向つて惰性移動した場
合においても、プローブ１４が破壊されることを
防止している。
そして、プローブ１４が被測定物１２と接触し
た後、プローブ１４は次の測定点に向つて移動制
御されるが、従来装置では、このプローブ１４の
被測定物１２からの後退移動時のプローブ１４と
被測定物１２とが衝突するという問題があつた。
すなわち、プローブ１４はそれ自体高価であり、
被測定物１２との接触により容易に変形あるいは
破壊され、また被測定物１２の測定を再び最初か
らやり直さなければならない等種々の不利益を生
じていた。
た後、プローブ１４は次の測定点に向つて移動制
御されるが、従来装置では、このプローブ１４の
被測定物１２からの後退移動時のプローブ１４と
被測定物１２とが衝突するという問題があつた。
すなわち、プローブ１４はそれ自体高価であり、
被測定物１２との接触により容易に変形あるいは
破壊され、また被測定物１２の測定を再び最初か
らやり直さなければならない等種々の不利益を生
じていた。
前述したプローブ１４の後退時における被測定
物１２との衝突はプローブ１４の後退経路を接触
経路と全く同様に設定すれば避けられるが、従来
の手動指令装置では、コントロールレバーを完全
に接触時の移動指令と反対側へ傾動操作すること
が極めて困難であり、コントロールレバーの操作
ミスによつてしばしば前述した衝突事故を生起さ
せるという欠点があつた。また予め定められたプ
ログラムに従う自動指令装置においても、実際の
接触時の移動制御はフイードバツク制御により行
われ、この接触経路を完全に事前にプログラムす
ることは困難であり、後退移動経路を接触経路と
同一に設定することが不可能であつた。
物１２との衝突はプローブ１４の後退経路を接触
経路と全く同様に設定すれば避けられるが、従来
の手動指令装置では、コントロールレバーを完全
に接触時の移動指令と反対側へ傾動操作すること
が極めて困難であり、コントロールレバーの操作
ミスによつてしばしば前述した衝突事故を生起さ
せるという欠点があつた。また予め定められたプ
ログラムに従う自動指令装置においても、実際の
接触時の移動制御はフイードバツク制御により行
われ、この接触経路を完全に事前にプログラムす
ることは困難であり、後退移動経路を接触経路と
同一に設定することが不可能であつた。
本発明は上記従来の課題に鑑みなされたもので
あり、その目的は、プローブの後退経路を接触経
路とほぼ同一に自動制御し、プローブが被測定物
から安全に後退して両者の衝突によるプローブの
破損その他を確実に防止することのできる改良さ
れたプローブ移動方法及び装置を提供することに
ある。
あり、その目的は、プローブの後退経路を接触経
路とほぼ同一に自動制御し、プローブが被測定物
から安全に後退して両者の衝突によるプローブの
破損その他を確実に防止することのできる改良さ
れたプローブ移動方法及び装置を提供することに
ある。
上記目的を達成するために、本発明に係るプロ
ーブ移動方法は、それぞれ速度信号及び方向信号
を有する少くとも二次元以上の移動制御信号をプ
ローブ移動装置に印加してプローブを被測定物に
接触するまで移動制御し該接触時の座標を測定す
る座標測定機のプローブ移動方法において、プロ
ーブが被測定物に接触した時に接触時の速度信号
と実質的に同一の速度信号であつて接触時と反対
方向の方向信号を有する移動制御信号をプローブ
移動装置に印加してプローブが被測定物に接触し
た直後に接触経路とほぼ同一の経路に沿つてプロ
ーブが被測定物から後退することを特徴とする。
ーブ移動方法は、それぞれ速度信号及び方向信号
を有する少くとも二次元以上の移動制御信号をプ
ローブ移動装置に印加してプローブを被測定物に
接触するまで移動制御し該接触時の座標を測定す
る座標測定機のプローブ移動方法において、プロ
ーブが被測定物に接触した時に接触時の速度信号
と実質的に同一の速度信号であつて接触時と反対
方向の方向信号を有する移動制御信号をプローブ
移動装置に印加してプローブが被測定物に接触し
た直後に接触経路とほぼ同一の経路に沿つてプロ
ーブが被測定物から後退することを特徴とする。
また、本発明に係る装置は、それぞれ速度信号
及び方向信号を有する少くとも二次元以上の移動
制御信号を出力する移動指令装置と、移動制御信
号に基づいてプローブを各軸毎に移動するモータ
を有するプローブ移動装置と、を含む座標測定機
のプローブ移動装置において、プローブが被測定
物に接触した時の速度信号と実質的に同一の速度
信号を後退速度信号として所定後退量出力する後
退速度指令回路と、プローブ接触時の方向信号を
反転する反転回路と、プローブのタツチ信号に基
づいて前記後退速度指令回路及び反転回路に後退
トリガ信号を供給する後退トリガ回路と、を含
み、プローブが被測定物に接触した直後に接触経
路とほぼ同一の経路に沿つてプローブを被測定物
から後退移動させることを特徴とする。
及び方向信号を有する少くとも二次元以上の移動
制御信号を出力する移動指令装置と、移動制御信
号に基づいてプローブを各軸毎に移動するモータ
を有するプローブ移動装置と、を含む座標測定機
のプローブ移動装置において、プローブが被測定
物に接触した時の速度信号と実質的に同一の速度
信号を後退速度信号として所定後退量出力する後
退速度指令回路と、プローブ接触時の方向信号を
反転する反転回路と、プローブのタツチ信号に基
づいて前記後退速度指令回路及び反転回路に後退
トリガ信号を供給する後退トリガ回路と、を含
み、プローブが被測定物に接触した直後に接触経
路とほぼ同一の経路に沿つてプローブを被測定物
から後退移動させることを特徴とする。
以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を説
明する。
明する。
第２図には本発明に係るプローブ移動装置の好
適な第１実施例が示され、三次元座標測定機にお
けるＸ軸移動装置のみを示し、他のＹ軸及びＺ軸
に対しても同様の回路構成であるためにその構成
は省略する。
適な第１実施例が示され、三次元座標測定機にお
けるＸ軸移動装置のみを示し、他のＹ軸及びＺ軸
に対しても同様の回路構成であるためにその構成
は省略する。
ジヨイステイツク等の移動指令装置２２からは
速度信号１０２及び方向信号１０４が出力され、
両移動制御信号１０２，１０４がそれぞれ後退速
度指令回路２６及び反転回路２８を介して端子３
０，３２からプローブ移動装置のＸ軸モータ１６
へ供給される。
速度信号１０２及び方向信号１０４が出力され、
両移動制御信号１０２，１０４がそれぞれ後退速
度指令回路２６及び反転回路２８を介して端子３
０，３２からプローブ移動装置のＸ軸モータ１６
へ供給される。
後退速度指令回路２６は速度信号１０２が供給
されるアンドゲート３４と該アンドゲート３４の
出力によつてカウントを開始するプリセツトカウ
ンタ３６とプリセツトカウンタ３６の出力によつ
て作動されるフリツプフロツプ（以下FFとい
う）３８を含み、更にFF３８のＱ出力はインバ
ータ４０を介してアンドゲート４２の一方の入力
に供給されている。アンドゲート４２の他方の入
力には前記速度信号１０２が供給されており、ま
たその出力は端子３０から速度信号１０２として
出力されている。そして前記アンドゲート３４の
他方の入力にはFFから成る後退トリガ回路４４
からの後退トリガ信号１０６が供給されている。
また、後退速度指令回路２６のプリセツトカウン
タ３６にはプリセツト入力端子４６から所定のプ
リセツト値が供給されており、プリセツトカウン
タ３６はアンドゲート３４からの計数値が前記プ
リセツト値に到達した時にFF３８へ出力を供給
する。
されるアンドゲート３４と該アンドゲート３４の
出力によつてカウントを開始するプリセツトカウ
ンタ３６とプリセツトカウンタ３６の出力によつ
て作動されるフリツプフロツプ（以下FFとい
う）３８を含み、更にFF３８のＱ出力はインバ
ータ４０を介してアンドゲート４２の一方の入力
に供給されている。アンドゲート４２の他方の入
力には前記速度信号１０２が供給されており、ま
たその出力は端子３０から速度信号１０２として
出力されている。そして前記アンドゲート３４の
他方の入力にはFFから成る後退トリガ回路４４
からの後退トリガ信号１０６が供給されている。
また、後退速度指令回路２６のプリセツトカウン
タ３６にはプリセツト入力端子４６から所定のプ
リセツト値が供給されており、プリセツトカウン
タ３６はアンドゲート３４からの計数値が前記プ
リセツト値に到達した時にFF３８へ出力を供給
する。
一方、第２図における反転回路２８はエクスク
ルーシブオアゲートから成り、その他方の入力に
は前記後退トリガ信号１０６が供給されている。
ルーシブオアゲートから成り、その他方の入力に
は前記後退トリガ信号１０６が供給されている。
後退トリガ回路４４の入力には、第１図のタツ
チプローブ１４からのタツチ信号１００が端子２
４を介して供給されており、該タツチ信号１００
の印加時すなわちプローブ１４が被測定物１２と
接触した時に後退トリガ信号１０６が出力される
こととなる。
チプローブ１４からのタツチ信号１００が端子２
４を介して供給されており、該タツチ信号１００
の印加時すなわちプローブ１４が被測定物１２と
接触した時に後退トリガ信号１０６が出力される
こととなる。
第２図におけるFF３８，４４及びプリセツト
カウンタ３６のリセツト入力には端子４８からリ
セツト信号が供給されており、実施例におけるジ
ヨイステイツクを用いた移動指令装置２２におい
てはジヨイステイツクのコントロールレバーを離
した零指令時にリセツト入力が供給されることと
なる。
カウンタ３６のリセツト入力には端子４８からリ
セツト信号が供給されており、実施例におけるジ
ヨイステイツクを用いた移動指令装置２２におい
てはジヨイステイツクのコントロールレバーを離
した零指令時にリセツト入力が供給されることと
なる。
本発明の第１実施例は以上の構成から成り、以
下にその作用を説明する。
下にその作用を説明する。
移動指令装置２２によるプローブ１４の移動指
令が開始される前には、前記FF３８，４４及び
プリセツトカウンタ３６はいずれもリセツトされ
ており、この結果、後退速度指令回路２６のアン
ドゲート４２はインバータ４０からの入力が
「１」となり、また反転回路２８の一方の入力で
ある後退トリガ信号１０６は「０」となつてい
る。この状態で、移動指令装置２２がプローブ１
４の移動制御信号を出力すると、その速度信号１
０２及び方向信号１０４はそれぞれアンドゲート
４２及び反転回路２８をそのまま通過して従来と
同様にプローブ移動装置を駆動し、プローブ１４
は所定の接触経路を通つて被測定物１２の所定測
定点に向つて前進する。
令が開始される前には、前記FF３８，４４及び
プリセツトカウンタ３６はいずれもリセツトされ
ており、この結果、後退速度指令回路２６のアン
ドゲート４２はインバータ４０からの入力が
「１」となり、また反転回路２８の一方の入力で
ある後退トリガ信号１０６は「０」となつてい
る。この状態で、移動指令装置２２がプローブ１
４の移動制御信号を出力すると、その速度信号１
０２及び方向信号１０４はそれぞれアンドゲート
４２及び反転回路２８をそのまま通過して従来と
同様にプローブ移動装置を駆動し、プローブ１４
は所定の接触経路を通つて被測定物１２の所定測
定点に向つて前進する。
プローブ１４が被測定物１２に接触すると、図
示していない停止信号によりプローブ移動装置は
停止制御され、同時にタツチ信号１００が出力さ
れる。
示していない停止信号によりプローブ移動装置は
停止制御され、同時にタツチ信号１００が出力さ
れる。
タツチ信号１００は後退トリガ回路４４を作動
させ、後退トリガ信号１０６が「１」信号として
後退速度指令回路２６及び反転回路２８へ供給さ
れる。
させ、後退トリガ信号１０６が「１」信号として
後退速度指令回路２６及び反転回路２８へ供給さ
れる。
後退速度指令回路２６では、アンドゲート３４
からプリセツトカウンタ３６へカウント開始信号
が供給され、カウンタ３６のカウントがプリセツ
ト値に向つて開始される。そして、カウンタ３６
のカウント値がプリセツト値に達するまでは、
FF３８は作動されず、この結果、アンドゲート
４２からはプローブ１４が被測定物１２に接触し
た時の移動指令装置２２から出力されている速度
信号１０２と同一の速度信号を後退速度信号とし
て端子３０から出力する。
からプリセツトカウンタ３６へカウント開始信号
が供給され、カウンタ３６のカウントがプリセツ
ト値に向つて開始される。そして、カウンタ３６
のカウント値がプリセツト値に達するまでは、
FF３８は作動されず、この結果、アンドゲート
４２からはプローブ１４が被測定物１２に接触し
た時の移動指令装置２２から出力されている速度
信号１０２と同一の速度信号を後退速度信号とし
て端子３０から出力する。
一方、反転回路２８は後退トリガ信号１０６の
印加により、プローブ接触時の方向信号１０４を
反転することができる。
印加により、プローブ接触時の方向信号１０４を
反転することができる。
従つて、プローブ接触後には、プローブ移動装
置へ接触時と実質的に同一の速度信号及び方向が
反転した方向信号が供給されることとなり、この
結果、プローブ１４は接触経路とほぼ同一の経路
に沿つて被測定物１２から後退移動することとな
る。そして、この後退移動量はプリセツトカウン
タ３６のプリセツト値によつて定まり、すなわ
ち、所定個数の速度信号１０２をカウンタ３６が
カウントしてプリセツト値に到達した時にFF３
８に作動信号を供給し、この結果FF３８のＱ出
力が「１」となるので、インバータ４０を介して
アンドゲート４２へ「０」信号が供給され、端子
３０からの後退速度信号の出力が停止される。
置へ接触時と実質的に同一の速度信号及び方向が
反転した方向信号が供給されることとなり、この
結果、プローブ１４は接触経路とほぼ同一の経路
に沿つて被測定物１２から後退移動することとな
る。そして、この後退移動量はプリセツトカウン
タ３６のプリセツト値によつて定まり、すなわ
ち、所定個数の速度信号１０２をカウンタ３６が
カウントしてプリセツト値に到達した時にFF３
８に作動信号を供給し、この結果FF３８のＱ出
力が「１」となるので、インバータ４０を介して
アンドゲート４２へ「０」信号が供給され、端子
３０からの後退速度信号の出力が停止される。
以上のようにして、第１実施例によれば、プロ
ーブ１４は被測定物１２へ接触した直後の移動指
令装置２２から出力される速度信号１０２に対応
した速度で接触経路と同一の経路に沿つたプロー
ブ１４の後退移動を行うことができ、その移動量
はプリセツトカウンタ３６に予め定められた移動
量、すなわちプローブ１４が被測定物１２から充
分安全に後退した量に設定できることが理解され
る。第１実施例においては、移動指令装置２２は
ジヨイステイツク等から成り、そのコントロール
レバーの傾動量にて速度信号１０２が決定され、
前述した後退移動時には、プローブ１４が被測定
物１２に接触した時のコントロールレバーの保持
位置にて決定される。すなわちプローブ接触時の
速度信号と実質的に同一の速度信号にてプローブ
の後退移動が行われることとなる。通常の場合、
後退移動時間、例えば0.1秒程度の時間内では、
ジヨイステイツクのコントロールレバー傾度はほ
とんど同一値に保持されており、この結果、第１
実施例においては、接触経路とほぼ同一の後退経
路を得ることが可能となる。この移動量はプリセ
ツトカウンタ３６のプリセツト値によつてのみ決
定されているので、後退移動時間はプローブ接触
時の移動速度と対応し、移動速度が速い場合には
後退移動時間が短くなり、逆に移動速度が遅い場
合には後退移動時間も短くなるが、その移動量す
なわち距離はプリセツト値のみにて定まる一定量
となる。また、本実施例においては、プリセツト
カウンタ３６のプリセツト値はプリセツト入力端
子４６の設定信号にて任意に調整することがで
き、測定状態に応じた最適な移動量を設定するこ
とができる。
ーブ１４は被測定物１２へ接触した直後の移動指
令装置２２から出力される速度信号１０２に対応
した速度で接触経路と同一の経路に沿つたプロー
ブ１４の後退移動を行うことができ、その移動量
はプリセツトカウンタ３６に予め定められた移動
量、すなわちプローブ１４が被測定物１２から充
分安全に後退した量に設定できることが理解され
る。第１実施例においては、移動指令装置２２は
ジヨイステイツク等から成り、そのコントロール
レバーの傾動量にて速度信号１０２が決定され、
前述した後退移動時には、プローブ１４が被測定
物１２に接触した時のコントロールレバーの保持
位置にて決定される。すなわちプローブ接触時の
速度信号と実質的に同一の速度信号にてプローブ
の後退移動が行われることとなる。通常の場合、
後退移動時間、例えば0.1秒程度の時間内では、
ジヨイステイツクのコントロールレバー傾度はほ
とんど同一値に保持されており、この結果、第１
実施例においては、接触経路とほぼ同一の後退経
路を得ることが可能となる。この移動量はプリセ
ツトカウンタ３６のプリセツト値によつてのみ決
定されているので、後退移動時間はプローブ接触
時の移動速度と対応し、移動速度が速い場合には
後退移動時間が短くなり、逆に移動速度が遅い場
合には後退移動時間も短くなるが、その移動量す
なわち距離はプリセツト値のみにて定まる一定量
となる。また、本実施例においては、プリセツト
カウンタ３６のプリセツト値はプリセツト入力端
子４６の設定信号にて任意に調整することがで
き、測定状態に応じた最適な移動量を設定するこ
とができる。
前述した後退移動が完了した後、端子４８から
リセツト信号、すなわち実施例においてはジヨイ
ステイツクのコントロールレバーを離した時にリ
セツト信号が供給され、初期の状態に復帰し、プ
ローブ移動装置へは移動指令装置２２からの移動
制御信号が有効に印加されることとなる。
リセツト信号、すなわち実施例においてはジヨイ
ステイツクのコントロールレバーを離した時にリ
セツト信号が供給され、初期の状態に復帰し、プ
ローブ移動装置へは移動指令装置２２からの移動
制御信号が有効に印加されることとなる。
第３図には本発明の好適な第２実施例が示さ
れ、第２図と同一部材には同一符号を付して説明
を省略する。
れ、第２図と同一部材には同一符号を付して説明
を省略する。
第２実施例では、後退速度指令回路２６がプロ
ーブ接触時の速度信号１０２の値を記憶し、この
記憶値に基づいて後退速度信号が出力されること
を特徴とし、このために、後退速度指令回路２６
内には接触時速度指令記憶回路５０及び切替回路
５２が設けられる。接触時速度指令記憶回路５０
は速度指令１０２をサンプリングするサンプリン
グカウンタ５４、サンプリングカウンタ５４のカ
ウント値をアナログ信号に変換するDA変換器５
６、DA変換器５６のアナログ値を記憶するアナ
ログメモリ５８そしてアナログメモリ５８の電圧
値をパルス信号に変換するVF変換器６０を含
む。サンプリングカウンタ５４には端子６２を介
してサンプリングパルスが供給されており、所定
サンプリング周期毎に速度信号１０２がデジタル
信号としてカウントされる。そしてこのデジタル
信号に対応するアナログ信号がDA変換器５６か
らアナログメモリ５８へ供給されており、プロー
ブ接触時に後退トリガ信号１０６の印加によつて
アナログメモリ５８の記憶内容が保持されること
となる。更に、アナログメモリ５８に記憶保持さ
れたアナログ値はVF変換器６０にてパルス信号
に変換され、前記切替回路５２のアンドゲート６
４へ印加される。従つて、VF変換器６０からは
プローブ接触時の速度信号１０２がそのまま継続
的に出力され、プローブ１４の後退移動時に移動
指令装置２２の速度信号１０２が変化した場合に
おいても、この変化に拘りなくプローブ接触時の
速度信号を保持し、必要に応じて後退移動量を大
きく設定することも可能となる。
ーブ接触時の速度信号１０２の値を記憶し、この
記憶値に基づいて後退速度信号が出力されること
を特徴とし、このために、後退速度指令回路２６
内には接触時速度指令記憶回路５０及び切替回路
５２が設けられる。接触時速度指令記憶回路５０
は速度指令１０２をサンプリングするサンプリン
グカウンタ５４、サンプリングカウンタ５４のカ
ウント値をアナログ信号に変換するDA変換器５
６、DA変換器５６のアナログ値を記憶するアナ
ログメモリ５８そしてアナログメモリ５８の電圧
値をパルス信号に変換するVF変換器６０を含
む。サンプリングカウンタ５４には端子６２を介
してサンプリングパルスが供給されており、所定
サンプリング周期毎に速度信号１０２がデジタル
信号としてカウントされる。そしてこのデジタル
信号に対応するアナログ信号がDA変換器５６か
らアナログメモリ５８へ供給されており、プロー
ブ接触時に後退トリガ信号１０６の印加によつて
アナログメモリ５８の記憶内容が保持されること
となる。更に、アナログメモリ５８に記憶保持さ
れたアナログ値はVF変換器６０にてパルス信号
に変換され、前記切替回路５２のアンドゲート６
４へ印加される。従つて、VF変換器６０からは
プローブ接触時の速度信号１０２がそのまま継続
的に出力され、プローブ１４の後退移動時に移動
指令装置２２の速度信号１０２が変化した場合に
おいても、この変化に拘りなくプローブ接触時の
速度信号を保持し、必要に応じて後退移動量を大
きく設定することも可能となる。
切替回路５２は移動指令装置２２の出力である
速度信号１０２が印加されるアンドゲート６４，
６６及びアンドゲート６４，６６の出力が印加さ
れているオアゲート６８そして後退トリガ信号１
０６を反転してアンドゲート６６へ供給するイン
バータ７０を含む。
速度信号１０２が印加されるアンドゲート６４，
６６及びアンドゲート６４，６６の出力が印加さ
れているオアゲート６８そして後退トリガ信号１
０６を反転してアンドゲート６６へ供給するイン
バータ７０を含む。
本発明の第２実施例は以上の構成から成り、以
下にその作用を説明する。
下にその作用を説明する。
第２実施例の基本動作は第１実施例と同様であ
り、速度信号１０２と前記接触時速度指令記憶回
路５０の出力である後退速度信号との切替作用が
異なり、プローブ接触時の後退トリガ信号１０６
は切替回路５２に印加されて、アンドゲート６６
を閉じ、またアンドゲート６４を開くことによつ
て端子３０からは接触時速度指令記憶回路５０か
らの後退速度信号を出力することとなる。
り、速度信号１０２と前記接触時速度指令記憶回
路５０の出力である後退速度信号との切替作用が
異なり、プローブ接触時の後退トリガ信号１０６
は切替回路５２に印加されて、アンドゲート６６
を閉じ、またアンドゲート６４を開くことによつ
て端子３０からは接触時速度指令記憶回路５０か
らの後退速度信号を出力することとなる。
第２実施例によれば、プローブ接触後に移動指
令装置２２から異常な速度指令信号１０２が出力
された場合においても、後退経路を接触経路と実
質的に同一とすることが可能となる。第４図には
第２実施例における接触時速度指令記憶回路５０
の他の実施例が示され、サンプリングカウンタ５
４の出力をデジタルメモリ７２によりプローブ接
触時に記憶保持し、このデジタル値をDA変換し
た後にパルス信号に変換することを特徴とし、基
本的な回路動作は第３図と全く同様である。
令装置２２から異常な速度指令信号１０２が出力
された場合においても、後退経路を接触経路と実
質的に同一とすることが可能となる。第４図には
第２実施例における接触時速度指令記憶回路５０
の他の実施例が示され、サンプリングカウンタ５
４の出力をデジタルメモリ７２によりプローブ接
触時に記憶保持し、このデジタル値をDA変換し
た後にパルス信号に変換することを特徴とし、基
本的な回路動作は第３図と全く同様である。
第５図には第３図における接触時速度指令記憶
回路５０の更に他の実施例が示され、端子７４か
らジヨイステイツクの指令電圧を直接アナログメ
モリ５８へ供給し、このアナログ信号をパルス信
号に変換することを特徴とし、移動指令装置２２
としてジヨイステイツクを利用した場合に極めて
簡素化された回路を提供することができる。
回路５０の更に他の実施例が示され、端子７４か
らジヨイステイツクの指令電圧を直接アナログメ
モリ５８へ供給し、このアナログ信号をパルス信
号に変換することを特徴とし、移動指令装置２２
としてジヨイステイツクを利用した場合に極めて
簡素化された回路を提供することができる。
第６図には本発明の第３実施例が示され、後退
速度指令回路２６は接触経路速度記憶回路７６を
含み、接触時の経路が直線でない場合に該接触経
路速度をそのまま記憶し、これに基づいて後退速
度信号を出力することができる。接触経路速度記
憶回路７６はシフトレジスタ７８を含み、該シフ
トレジスタ７８はクロツク入力８０からのクロツ
ク信号によつて速度信号１０２を一定量読込むこ
とができ順次この読込内容が更新されている。そ
して、シフトレジスタ７８の読込書込切替入力に
は後退トリガ信号１０６が印加されており、後退
トリガ信号１０６によつてシフトレジスタ７８の
内容が読出される。
速度指令回路２６は接触経路速度記憶回路７６を
含み、接触時の経路が直線でない場合に該接触経
路速度をそのまま記憶し、これに基づいて後退速
度信号を出力することができる。接触経路速度記
憶回路７６はシフトレジスタ７８を含み、該シフ
トレジスタ７８はクロツク入力８０からのクロツ
ク信号によつて速度信号１０２を一定量読込むこ
とができ順次この読込内容が更新されている。そ
して、シフトレジスタ７８の読込書込切替入力に
は後退トリガ信号１０６が印加されており、後退
トリガ信号１０６によつてシフトレジスタ７８の
内容が読出される。
第３実施例においては、シフトレジスタ７８に
プローブ接触時の接触経路速度が順次読込まれ、
また後退トリガ信号１０６によつてシフトレジス
タ７８の内容はその読込側から順次切替回路５２
へ後退速度信号として読出される。従つて、この
後退速度信号はプローブ接触時から順次接触経路
を逆に読出す後退速度信号となり接触経路と全く
同一の後退経路を得ることが可能となる。
プローブ接触時の接触経路速度が順次読込まれ、
また後退トリガ信号１０６によつてシフトレジス
タ７８の内容はその読込側から順次切替回路５２
へ後退速度信号として読出される。従つて、この
後退速度信号はプローブ接触時から順次接触経路
を逆に読出す後退速度信号となり接触経路と全く
同一の後退経路を得ることが可能となる。
第３実施例によれば、以上のように、後退経路
を接触経路と全く同一に設定することができるの
で、複雑な被測定物形状に対しても任意の測定点
を設定することが可能となる。
を接触経路と全く同一に設定することができるの
で、複雑な被測定物形状に対しても任意の測定点
を設定することが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、プロー
ブ接触後の後退経路を接触経路とほぼ実質的に同
一の経路とすることができ、自動的にプローブを
被測定物から安全に後退移動させることができ、
プローブの破損その他を確実に防止することが可
能となる。
ブ接触後の後退経路を接触経路とほぼ実質的に同
一の経路とすることができ、自動的にプローブを
被測定物から安全に後退移動させることができ、
プローブの破損その他を確実に防止することが可
能となる。
第１図は一般的な三次元座標測定機を示す概略
構成図、第２図は本発明に係るプローブ移動装置
の好適な第１実施例を示す回路図、第３図は本発
明の第２実施例を示す回路図、第４，５図はそれ
ぞれ第３図の接触時速度指令記憶回路の他の実施
例を示す回路図、第６図は本発明の第３実施例を
示す回路図である。 １２…被測定物、１４…タツチプローブ、２２
…移動指令装置、２６…後退速度指令回路、２８
…反転回路、４４…後退トリガ回路、５０…接触
時速度指令記憶回路、７６…接触経路速度記憶回
路、１００…タツチ信号、１０２…速度信号、１
０４…方向信号、１０６…後退トリガ信号。
構成図、第２図は本発明に係るプローブ移動装置
の好適な第１実施例を示す回路図、第３図は本発
明の第２実施例を示す回路図、第４，５図はそれ
ぞれ第３図の接触時速度指令記憶回路の他の実施
例を示す回路図、第６図は本発明の第３実施例を
示す回路図である。 １２…被測定物、１４…タツチプローブ、２２
…移動指令装置、２６…後退速度指令回路、２８
…反転回路、４４…後退トリガ回路、５０…接触
時速度指令記憶回路、７６…接触経路速度記憶回
路、１００…タツチ信号、１０２…速度信号、１
０４…方向信号、１０６…後退トリガ信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ それぞれ速度信号及び方向信号を有する少く
とも二次元以上の前進移動制御信号をプローブ移
動装置に印加してプローブを被測定物に接触する
まで移動制御し該接触時の座標を測定する座標測
定機のプローブ移動方法において、プローブが被
測定物に接触した時に接触時の速度信号と実質的
に同一の速度信号であつて接触時と反対方向の方
向信号を有する後退移動制御信号を前記前進移動
信号に代えてプローブ移動装置に印加してプロー
ブが被測定物に接触した直後に接触経路とほぼ同
一の経路に沿つてプローブが被測定物から後退す
ることを特徴とする座標測定機のプローブ移動方
法。 ２ それぞれ速度信号及び方向信号を有する少く
とも二次元以上の前進移動制御信号を出力する移
動指令装置と、前進移動制御信号に基づいてプロ
ーブを各軸毎に移動するモータを有するプローブ
移動装置と、を含む座標測定機のプローブ移動装
置において、プローブが被測定物に接触した時の
速度信号と実質的に同一の速度信号を後退速度信
号として所定後退量出力する後退速度指令回路
と、プローブ接触時の方向信号を反転する反転回
路と、プローブのタツチ信号に基づいて前記後退
速度指令回路及び反転回路に後退トリガ信号を供
給する後退トリガ回路と、を含み、プローブが被
測定物に接触した直後に前記後退トリガ回路の後
退トリガ信号に基づいて後退速度指令回路及び反
転回路を作動させ前記前進移動制御信号に代えて
後退移動制御信号をプローブ移動装置に印加し
て、接触経路とほぼ同一の経路に沿つてプローブ
を被測定物から後退移動させることを特徴とする
座標測定機のプローブ移動装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8615780A JPS5712310A (en) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | Method and device for shifting probe of coordinate measuring instrument |
| US06/269,888 US4406068A (en) | 1980-06-25 | 1981-06-03 | Probe tracing method and means for coordinate measuring machine |
| DE3123801A DE3123801C2 (de) | 1980-06-25 | 1981-06-16 | Vorrichtung zur Koordinatenvermessung von Werkstücken |
| GB8119352A GB2078399B (en) | 1980-06-25 | 1981-06-23 | Coordinate measuring machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8615780A JPS5712310A (en) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | Method and device for shifting probe of coordinate measuring instrument |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5712310A JPS5712310A (en) | 1982-01-22 |
| JPS6133444B2 true JPS6133444B2 (ja) | 1986-08-02 |
Family
ID=13878897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8615780A Granted JPS5712310A (en) | 1980-06-25 | 1980-06-25 | Method and device for shifting probe of coordinate measuring instrument |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5712310A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63249358A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311291A (en) * | 1976-07-16 | 1978-02-01 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Method and device of positional control |
| JPS5355059A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-19 | Mitsutoyo Seisakusho | Multiidirectional measuring method |
-
1980
- 1980-06-25 JP JP8615780A patent/JPS5712310A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311291A (en) * | 1976-07-16 | 1978-02-01 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | Method and device of positional control |
| JPS5355059A (en) * | 1976-10-27 | 1978-05-19 | Mitsutoyo Seisakusho | Multiidirectional measuring method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63249358A (ja) * | 1987-04-06 | 1988-10-17 | Hitachi Ltd | 樹脂封止型半導体装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5712310A (en) | 1982-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4281385A (en) | Control system for a machine tool | |
| US3805393A (en) | Automatic inspection machine | |
| JPS6161124B2 (ja) | ||
| US4406068A (en) | Probe tracing method and means for coordinate measuring machine | |
| US4115859A (en) | Back gauge controller | |
| CN113532343B (zh) | 钥匙齿位数据的获取方法、装置、钥匙切割机和存储介质 | |
| JPS6133444B2 (ja) | ||
| JP3062412B2 (ja) | 倣い測定制御方法 | |
| JP3168334B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
| JPS6018001B2 (ja) | 座標測定機のプロ−ブ移動装置 | |
| JPS6118763B2 (ja) | ||
| JPS5837505A (ja) | 計測方法および計測装置 | |
| JPS6220564B2 (ja) | ||
| JP3208198B2 (ja) | 測定装置と内径測定方法 | |
| JPH0233128Y2 (ja) | ||
| US3700993A (en) | Apparatus for controlling relative motion between gage jaws on a contacting gage | |
| JP2591057B2 (ja) | ロボットによる精密測定方法 | |
| JPH0379645B2 (ja) | ||
| JPH0233123Y2 (ja) | ||
| JPS6017309A (ja) | 繰返し測定機能付測定機 | |
| JPH0233125Y2 (ja) | ||
| JPH0233126Y2 (ja) | ||
| JPH0436438Y2 (ja) | ||
| JPS6042611A (ja) | 接触検出装置を用いた寸法測定装置 | |
| JPS6036603B2 (ja) | 数値制御装置 |