JPS613097A - Ｘ線コリメ−タの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、Ｘ線、特に軟Ｘ線のひろがりを抑え平行化す
るための部材（以降、Ｘ線コリメータと称する）の製造
方法に関するものである。

〔従来技術〕

従来、ｘＩＩコリメータはｘ＃Ｊ分析装置等の分野で使
用されているが、最近サブミクロン線幅のバターニング
技術分野、いわゆるＸ線リングラフィ用の露光装置にお
いてもＸ線コリメータを平行化手段として用いる提案が
なされている（例えば、特願昭５８−１４４１２６号）
。ここでは、多数の微細貫通孔を有するガラス製の部材
を具備したＸ線ソーラースリットおよびそれを使ったＸ
線露光装置が提案されている。

しかしながら、上述の提案によるＸ線ソーラースリット
は、ガラスファイバー技術を用いるので貫通孔の直径ｄ
Ｋ対するスリットの長手方向の寸法ｌ（以後、）／ｄを
開口比と称する。）を比較的太き（取ることができ平行
化度は高いが、その反面、製造工程が長くしかも複雑な
ためコストおよび製作期間的に問題があった。

〔目　的〕

本発明の目的は、上述の問題点を除去すると同時に、短
期間で量産性の高い、安価なＸ線コリメータを提供する
ことにある。

〔構　成〕

本発明は、上述の目的を達成するために、感光性材料を
選択的に露光させる工程とこの露光された感光性材料を
エツチングさせる工程とで構成されている。

一般に、ある種のガラスに紫外線を照射すると照射され
た部分だけが変質し、照射しない部分よりずつと早く酸
・１例えばフッ化水素溶液等によりエツチングされるこ
とは知られている。その種のガラスは「感光性ガラス」
あるいは硼珪酸ガラスと呼ばれて市販されており１例え
ばダウコーニング社の「フォトフオーム」、「フオトセ
ラム」の如きものがある。本発明はこの感光性ガラスを
用いてＸ線、特に軟Ｘ線用の平行化手段として応用した
ものである。

〔実施例〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第１図は本発明の一実施例によるＸ線コリメータの概略
斜視図である。感光性ガラス１のコリメータ部分４には
多数の微細貫通孔５が互いに平行かつ規則的に明けられ
ており、図示しないＸ線源から発せられた放射Ｘ線２の
うち、この微細貫通孔５を通過し得たビームはほぼ平行
化されたＸ線３となる。

第２図〜第４図は、第１図に示すコリメータの加工手順
を示す図である。

第２図は紫外光による露光工程を示す図で、図示されな
い手段で平行化された紫外光６は、あらかじめ所望の個
所だけ該紫外光６を選択的に遮光するようなパターン７
を該紫外光６側と反対の面上に有するフォトマスク８に
入射する。このパターン７には、フォトリングラフィ技
術等により容易に等間隔で同一形状のものが形成されて
いる。

フォトマスク８の下方には感光性ガラス１が配置されて
いる。上記の紫外光６のうち、パターン７でさえぎられ
なかった平行紫外光６ａだけが感光性ガラス１に入射す
るので、選択的に露光された部分１０と露光されない部
分９が形成される。つづいて、選択露光された部分１０
を酸に溶は易い結晶にするために、図示しない熱処理装
置により多結晶化熱処理を行う。

次に、第３図に示す如くエツチングを行う。エツチング
容器１１には５％のフッ化水素等のエツチング溶液１２
が満してあり、図示しない加熱制御手段により温度制御
され、更にエツチングの速度を増すために図示しない超
音波振動手段によりエツチング溶液１２に振動が加えら
れる。選択露光された感光性ガラス１ａが上述のエツチ
ング溶液１２中にすっぽり浸されると、前述の酸に溶は
易い結晶化した部分、すなわち選択露光された部分１０
はエツチングされる。この時、エツチング溶液は選択露
光された感光性ガラス１ａの両面に作用するが、露光さ
れなかった部分９も多少エツチングされるので開口部ｉ
近い所では孔の径が大きくなる。

第４図は、両面エツチングされて完成した微細貫通孔５
を有するコリメータ４の断面図である。

図から明らかなように、中心付近の孔径ｄに対し開口部
にかけ工あるテーパー角度α（α＝２〜３０）を有する
。この角度αは、エツチング溶液の種類。

濃度あるいは感光性材料等の種々の条件を変えれば１°
くらいまで小さくすることは可能である。開口比Ｉｔ／
ｄがほぼ１０〜２０（らいであれば、テーパー角度αの
、コリメータとしての機能（平行化度）Ｋ与える影響は
無視し得る。

以上の説明は両面エツチングを行なった場合の実施例で
あるが、第５図に示すように片面からのみエツチングす
ることも可能である。これは、第３図に示すエツチング
工程において、選択露光された感光性ガラス１ａのエツ
チング溶液１２中における位置を適宜調整することによ
り行なわれ得る。また、感光性ガラスの種類によっては
孔明はエツチング後、適切な熱処理を更に施すことによ
りガラス・セラミック化し、強度を高める事も可能であ
る。

さらに、孔明はエツチング後、コリメータを複数枚正確
に位置合わせして重ね合わせた後、適切な熱処理により
結晶化と同時に一体化することも容易である。片面エツ
チングしたコリメータを２枚対向させて重ね合わせた後
、一体化した例を第６図に示す。重ね合せ面１３を境に
貫通孔５は対向しており、開口部付近ではその径が小さ
く内部では大きいので、容易に開口比を太き（すること
ができ、したがってコリメータとしての機能を向上させ
ることができる。

〔効　果〕

本発明は以上説明したように、感光性材料を使用し簡単
な工程でソーラースリットを構成出来るので、短時間で
安価なＸ線コリメータを提供することができ、必要罠応
じて高精度のコリメータも製造可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例によるＸ線コリメータの概略
斜視図、第２図〜第４図は第１図に示すコリメータの加
工手順を示す図、第５図および第６図は他のエツチング
の例を示し、それぞれ片面エツチングを施した例、それ
を対向させて２枚重ね合わせた例を示す。 」・・・感光性ガラス＋１ａ・・・選択露光された感光
性ガラス、４・・・コリメータ（部分）、５・・・微細
貫通孔、９・・・露光されない部分、１０・・・露光部
分。 １２・・・エツチング溶液。 特許出願人　　キャノン株式会社 第６図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 感光性材料を選択的に露光させる工程と前記露光された
   感光性材料をエッチングさせる工程から成ることを特徴
   とするＸ線コリメータの製造方法。