JPS6129549A - 液体噴射記録ヘツドの製造方法 - Google Patents
液体噴射記録ヘツドの製造方法Info
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- JPS6129549A JPS6129549A JP14962984A JP14962984A JPS6129549A JP S6129549 A JPS6129549 A JP S6129549A JP 14962984 A JP14962984 A JP 14962984A JP 14962984 A JP14962984 A JP 14962984A JP S6129549 A JPS6129549 A JP S6129549A
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔技術分野〕
本発明は、液体噴射記録ヘッド９製造方法に関し、詳し
くは基板上に設けた熱エネルギ発生素子により液滴を形
成し噴射させて記録がなされる記録装置の記録ヘッドの
製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来のこの種液体噴射記録ヘッド、すなわちドロップオ
ンデマンド記録法に使用される記録ヘッドの製造過程で
は、その電気信号を供給する信号線および電気信号を熱
エネルギに変換させるエネルギ発生素子としての抵抗体
を配設するにあたり、基板上にこれらを蒸着させる技法
等が主とし゛ ヰ笈 で採用されてきたことから、その生産工程が煩雑になる
という欠点があった。
くは基板上に設けた熱エネルギ発生素子により液滴を形
成し噴射させて記録がなされる記録装置の記録ヘッドの
製造方法に関する。 〔従来技術〕 従来のこの種液体噴射記録ヘッド、すなわちドロップオ
ンデマンド記録法に使用される記録ヘッドの製造過程で
は、その電気信号を供給する信号線および電気信号を熱
エネルギに変換させるエネルギ発生素子としての抵抗体
を配設するにあたり、基板上にこれらを蒸着させる技法
等が主とし゛ ヰ笈 で採用されてきたことから、その生産工程が煩雑になる
という欠点があった。
本発明の目的は５、卑述した欠点を除去し、線や膜体形
成用のペーストを使用する印刷法によって基板上に熱エ
ネルギ発生素子および信号線とその電極を順次に形成す
るという簡単な方法で、高密度の配線を形成することが
できて、量産に適し、しかも廉価で精密印刷に好適な液
体噴射記録ヘッドの部層方法を提案することにある。 （実施例１ 以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第１図および第２図は本発明の基本的な一実施例を示す
もので、本例では基板体としての製造工程を終えた状態
が示されている。すなわち、ここで、１は例えばシリカ
５ｉ０２やアルミナで形成した基板、２は熱エネルギ発
生素子としての抵抗体であり、３および４は抵抗体２に
電気的に接続した導体の信号線である。 しかして、本発明ではこのような基板体を作成するにあ
たり、まず、抵抗体２を後述するような材料のペースト
を用いた印刷法によって基板ｌ上に印刷して形成し、次
いで、導体信号線３および４を同様な印刷法によって゛
形成するもので、以下にその製造方法の具体例を第３図
および第４図によって説明する。 本例では純度が８６．８％の酸化アルミニウムｌλＯＡ
で形成した基板１１を研磨して約１’ｍｍ厚さとなし、
その上に厚さ１５鉢閣幅が約１００ｇｍの抵抗体１２を
スクリーン印刷によって形成した。なお、この場合のペ
ーストには酸化ルテニウム（ＩＶ ） ＲｕＯ２のペ
ース、トを使用し、８５０℃で１時間焼成を行った。 次いで、この抵抗体１２上に−・部が積重されるように
して個別電極１３・Ａ −４３Ｉおよび共通電極１４を
第３図に示したようなパターンとしてスクリーン印刷し
た。なお、この場合のペーストは銅を主成分とするＣｕ
ペーストを使用し、その厚さを約１５川ｍ、幅を約１０
０ ｔｔ、 １１として、更に個別電極ｉ３Ａ〜１３Ｉ
間にはそれぞれ約１００ ＪＬ ｍの間隔を置くように
なし、窒素ガス中６００℃の焼成温度で１時間焼成した
。 かくして得られた基板体上に例えばガラス等により周囲
を囲うようにして形成した第５図に示すような天蓋１５
を覆蓋し接合したが、天蓋１５の天板には基板体上に形
成した抵抗体１２と電極１３および１４との接合位置と
対応する位置に、あらかじめ半径５０鉢閣の円形孔１１
１Ａ〜１ｆｉＩを液体噴射用オリフィスとして穿設して
おいた。 このような製造工程を経て得られた記録ヘッドに水が６
０％、ＮＭＰ （Ｎ−メチルピロリドン）が１０％、Ｄ
ＥＣ（ジエチレングリコール）が３０％の組成率からな
るインクを供給し、更に個別電極１３Ａ−１３１と共通
電極１４との間に周波数１００Ｈｚ：、電圧３０Ｖ、パ
ルス幅１０ ＩＬｓｅｃの短形電圧を印加した結果、個
々のオリフィス１Ｂから半径が約７０ＪＬ厘の球状液滴
を１０ ｔｍ／ｓｅａの速度で吐出させることができた
。 第６図は本発明により別の形態とした例を示し、本例は
オリフィス２８Ａ〜２８Ｉを天蓋１５の側壁に形設した
例であり、更に本例では隣接するオリフィス２６間の相
互干渉を防止するために、個々のオリフィス２６と連通
ずる流路間に仕切壁２７Ａ〜２７Ｈを設けた。 更に本例の場合、図示はしないが第３図で示したような
抵抗体１２および電極１３Ａ−１３Ｉ 、 １４の印刷
法による形設上に厚さが２ＪＬ１１のガラスによる゛保
護被膜をあらかじめ同様な印刷法によって形成し、以て
インクにより抵抗体１２や電極１３Ａ−１３Ｉおよび１
４が犯されるのを防止するようにしたが、第５図に示し
た例と同様な液滴な発生させ吐出させることができた。 なお、このような被膜形成を実施した場合は、使用可能
なインク種の範囲を拡げることができるので、カラー記
録などに好適である。 〔効果〕 以上説明したように、本発明によれば、プリンＥ用の基
板」−に熱エネルギ発生素子としての抵抗体をペースト
による印刷法を用いて形成し、更にこの抵抗体に電気的
に接続させる信号線電極を導体ペーストによる印刷法を
用いて形成して、得られた基板体−Ｅにオリフィスを設
けた天蓋を装設するので、量産に好適な記録ヘッドの製
造方法であるのみならず、高精密記録が得られる液体噴
射記録ヘッドを廉価に製造することが可能となった。
成用のペーストを使用する印刷法によって基板上に熱エ
ネルギ発生素子および信号線とその電極を順次に形成す
るという簡単な方法で、高密度の配線を形成することが
できて、量産に適し、しかも廉価で精密印刷に好適な液
体噴射記録ヘッドの部層方法を提案することにある。 （実施例１ 以下に、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明す
る。 第１図および第２図は本発明の基本的な一実施例を示す
もので、本例では基板体としての製造工程を終えた状態
が示されている。すなわち、ここで、１は例えばシリカ
５ｉ０２やアルミナで形成した基板、２は熱エネルギ発
生素子としての抵抗体であり、３および４は抵抗体２に
電気的に接続した導体の信号線である。 しかして、本発明ではこのような基板体を作成するにあ
たり、まず、抵抗体２を後述するような材料のペースト
を用いた印刷法によって基板ｌ上に印刷して形成し、次
いで、導体信号線３および４を同様な印刷法によって゛
形成するもので、以下にその製造方法の具体例を第３図
および第４図によって説明する。 本例では純度が８６．８％の酸化アルミニウムｌλＯＡ
で形成した基板１１を研磨して約１’ｍｍ厚さとなし、
その上に厚さ１５鉢閣幅が約１００ｇｍの抵抗体１２を
スクリーン印刷によって形成した。なお、この場合のペ
ーストには酸化ルテニウム（ＩＶ ） ＲｕＯ２のペ
ース、トを使用し、８５０℃で１時間焼成を行った。 次いで、この抵抗体１２上に−・部が積重されるように
して個別電極１３・Ａ −４３Ｉおよび共通電極１４を
第３図に示したようなパターンとしてスクリーン印刷し
た。なお、この場合のペーストは銅を主成分とするＣｕ
ペーストを使用し、その厚さを約１５川ｍ、幅を約１０
０ ｔｔ、 １１として、更に個別電極ｉ３Ａ〜１３Ｉ
間にはそれぞれ約１００ ＪＬ ｍの間隔を置くように
なし、窒素ガス中６００℃の焼成温度で１時間焼成した
。 かくして得られた基板体上に例えばガラス等により周囲
を囲うようにして形成した第５図に示すような天蓋１５
を覆蓋し接合したが、天蓋１５の天板には基板体上に形
成した抵抗体１２と電極１３および１４との接合位置と
対応する位置に、あらかじめ半径５０鉢閣の円形孔１１
１Ａ〜１ｆｉＩを液体噴射用オリフィスとして穿設して
おいた。 このような製造工程を経て得られた記録ヘッドに水が６
０％、ＮＭＰ （Ｎ−メチルピロリドン）が１０％、Ｄ
ＥＣ（ジエチレングリコール）が３０％の組成率からな
るインクを供給し、更に個別電極１３Ａ−１３１と共通
電極１４との間に周波数１００Ｈｚ：、電圧３０Ｖ、パ
ルス幅１０ ＩＬｓｅｃの短形電圧を印加した結果、個
々のオリフィス１Ｂから半径が約７０ＪＬ厘の球状液滴
を１０ ｔｍ／ｓｅａの速度で吐出させることができた
。 第６図は本発明により別の形態とした例を示し、本例は
オリフィス２８Ａ〜２８Ｉを天蓋１５の側壁に形設した
例であり、更に本例では隣接するオリフィス２６間の相
互干渉を防止するために、個々のオリフィス２６と連通
ずる流路間に仕切壁２７Ａ〜２７Ｈを設けた。 更に本例の場合、図示はしないが第３図で示したような
抵抗体１２および電極１３Ａ−１３Ｉ 、 １４の印刷
法による形設上に厚さが２ＪＬ１１のガラスによる゛保
護被膜をあらかじめ同様な印刷法によって形成し、以て
インクにより抵抗体１２や電極１３Ａ−１３Ｉおよび１
４が犯されるのを防止するようにしたが、第５図に示し
た例と同様な液滴な発生させ吐出させることができた。 なお、このような被膜形成を実施した場合は、使用可能
なインク種の範囲を拡げることができるので、カラー記
録などに好適である。 〔効果〕 以上説明したように、本発明によれば、プリンＥ用の基
板」−に熱エネルギ発生素子としての抵抗体をペースト
による印刷法を用いて形成し、更にこの抵抗体に電気的
に接続させる信号線電極を導体ペーストによる印刷法を
用いて形成して、得られた基板体−Ｅにオリフィスを設
けた天蓋を装設するので、量産に好適な記録ヘッドの製
造方法であるのみならず、高精密記録が得られる液体噴
射記録ヘッドを廉価に製造することが可能となった。
第１図は本発明液体噴射記録ヘッドの製造方法によって
得られる記録へラドの基本的構成を−・例として示す上
面図、 第２図はそのＡ−Ａ線断面図、 、 第３図は本発明の−・実施例によって得られた記録へラ
ドの基板体の構成を示す上面図。 第４図はそのＢ−Ｂ線断面図、 第５図はその仕上った記録ヘッドの形態を一部破砕して
示す斜視図、 第６図は本発明によって得られた別形態の記録ヘッドの
外観を示す斜視図であるー １．１１・・・基板、 ２．１２・・・抵抗体、 ３ 、１３．１３Ａ−１３Ｉ・・・信号線（個別電極）
、４．１４・・・信号線（共通電極）、 １５・・・天蓋、 ！８Ａ〜ＩｆｉＩ、２８Ａ〜２８Ｉ・・・オリフィス、
２７Ａ〜２７Ｈ・・・仕切壁。 第１図 ！ 第２図 ！ 第３図 第５図
得られる記録へラドの基本的構成を−・例として示す上
面図、 第２図はそのＡ−Ａ線断面図、 、 第３図は本発明の−・実施例によって得られた記録へラ
ドの基板体の構成を示す上面図。 第４図はそのＢ−Ｂ線断面図、 第５図はその仕上った記録ヘッドの形態を一部破砕して
示す斜視図、 第６図は本発明によって得られた別形態の記録ヘッドの
外観を示す斜視図であるー １．１１・・・基板、 ２．１２・・・抵抗体、 ３ 、１３．１３Ａ−１３Ｉ・・・信号線（個別電極）
、４．１４・・・信号線（共通電極）、 １５・・・天蓋、 ！８Ａ〜ＩｆｉＩ、２８Ａ〜２８Ｉ・・・オリフィス、
２７Ａ〜２７Ｈ・・・仕切壁。 第１図 ！ 第２図 ！ 第３図 第５図
Claims (1)
- 熱エネルギ発生素子を形成するための抵抗体および該抵
抗体に電気信号を供給する配線を基板上に設けるにあた
り、前記基板上に前記抵抗体を構成する材料のペースト
により前記抵抗体のパターンを印刷し、その印刷パター
ンを焼成して前記抵抗体を形成し、次いで前記基板上に
導体のペーストにより前記配線のパターンを印刷し、そ
の印刷パターンを焼成して前記配線を形成することを特
徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14962984A JPS6129549A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14962984A JPS6129549A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6129549A true JPS6129549A (ja) | 1986-02-10 |
Family
ID=15479399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14962984A Pending JPS6129549A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6129549A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479641U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-10 |
-
1984
- 1984-07-20 JP JP14962984A patent/JPS6129549A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479641U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-10 |
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