JPH0272959A - 発熱抵抗体装置 - Google Patents
発熱抵抗体装置Info
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- JPH0272959A JPH0272959A JP22384088A JP22384088A JPH0272959A JP H0272959 A JPH0272959 A JP H0272959A JP 22384088 A JP22384088 A JP 22384088A JP 22384088 A JP22384088 A JP 22384088A JP H0272959 A JPH0272959 A JP H0272959A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
- B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は、インクシエンドヘッド内に発熱素子を有し、
インクジェットヘッドの側部からインク液滴をバブル形
成により飛翔させ、印字するインクシエンド用発熱抵抗
体装置に関する。
インクジェットヘッドの側部からインク液滴をバブル形
成により飛翔させ、印字するインクシエンド用発熱抵抗
体装置に関する。
（従来の技術）
第５．６．７図は従来のインクジェットヘッドにおける
発熱抵抗体装置を示す図で、５．６は電極、７は発熱抵
抗体を示す。
発熱抵抗体装置を示す図で、５．６は電極、７は発熱抵
抗体を示す。
従来、インクジェットヘッドの側部よりインクを吐出す
る、所謂サイドシュータ−型インクシエンドヘッドにお
いては、その発熱抵抗体に接続される電極は、第５．６
．７図に示すようにノズル面と反対方向、または裏面方
向に折り返されて配設され、この発熱抵抗体装置を継ぎ
合わせて紙幅の長尺ヘッドを作製している。
る、所謂サイドシュータ−型インクシエンドヘッドにお
いては、その発熱抵抗体に接続される電極は、第５．６
．７図に示すようにノズル面と反対方向、または裏面方
向に折り返されて配設され、この発熱抵抗体装置を継ぎ
合わせて紙幅の長尺ヘッドを作製している。
即ち第５図、第６図に示すように、共通帰路電極６がノ
ズル前面で折り返され、基板の側部、または裏面を経由
するもの（特開昭６１−１６９６５９号公９１）１また
第７図に示すように電極６がノズル面と反対方向へ配設
されるもの（特開昭５８−１５６９号公報第６図）、さ
らに共通電極幅を見込んでノズルピッチの整数倍の間隔
を開けてヘッドを継ぎ合わせ、キャリッジの移動や駆動
法で工夫するもの（特開昭６０−２１２５７号公報）が
知られている。
ズル前面で折り返され、基板の側部、または裏面を経由
するもの（特開昭６１−１６９６５９号公９１）１また
第７図に示すように電極６がノズル面と反対方向へ配設
されるもの（特開昭５８−１５６９号公報第６図）、さ
らに共通電極幅を見込んでノズルピッチの整数倍の間隔
を開けてヘッドを継ぎ合わせ、キャリッジの移動や駆動
法で工夫するもの（特開昭６０−２１２５７号公報）が
知られている。
しかしながらノズルを等ピッチに配置接続する場合、従
来の方法では共通帰路電極が障害となり完全な紙幅化は
できず、高密度化を犠牲にするものであり、また裏面に
折り返すものはノズル面に共通帰路電極を形成するため
に、その作製に高度の技術を要する等の問題があった。
来の方法では共通帰路電極が障害となり完全な紙幅化は
できず、高密度化を犠牲にするものであり、また裏面に
折り返すものはノズル面に共通帰路電極を形成するため
に、その作製に高度の技術を要する等の問題があった。
本発明はこのような問題を改良することを目的とし、新
規な技術、または特別の駆動方式を必要としない紙幅ヘ
ッドの製造を課題とするものである。
規な技術、または特別の駆動方式を必要としない紙幅ヘ
ッドの製造を課題とするものである。
［課題を解決するための手段］
そのため本発明の発熱抵抗体装置は、共通帰路電極であ
る導電性基板と、該導電性基板の表面に設けた絶縁層と
、該絶縁層上に設けた、引き出し電極を有する発熱抵抗
体とを具備すると共に、前記絶縁層に開口部を設け、該
開口部を介して導電性基板と発熱抵抗体とを接続したこ
とを特徴とするものである。
る導電性基板と、該導電性基板の表面に設けた絶縁層と
、該絶縁層上に設けた、引き出し電極を有する発熱抵抗
体とを具備すると共に、前記絶縁層に開口部を設け、該
開口部を介して導電性基板と発熱抵抗体とを接続したこ
とを特徴とするものである。
本発明における共通帰路電極は、アルミニラｌ、等の金
属をコアとし、表面が絶縁層であるホーロー基板、また
アルミニウム基板の表面に窒化被膜を着膜した窒化アル
ミニウム基板等を用いるとよまた開口部は、導電性基板
と発熱抵抗体とを接続するための開口部と共に、外部へ
の信号取り出しのための開口部を適宜形状に形成される
が、その形成にあたってはレジストを用いた選択エツチ
ングにより開口させるとよい。
属をコアとし、表面が絶縁層であるホーロー基板、また
アルミニウム基板の表面に窒化被膜を着膜した窒化アル
ミニウム基板等を用いるとよまた開口部は、導電性基板
と発熱抵抗体とを接続するための開口部と共に、外部へ
の信号取り出しのための開口部を適宜形状に形成される
が、その形成にあたってはレジストを用いた選択エツチ
ングにより開口させるとよい。
発熱抵抗体は、ランタンナイトライド ＬａＮ、ランタ
ンシリカ Ｌａ５ｉＯ□等をメツキ、印刷等の厚膜法、
また蒸着、スパッタリングによる薄膜法いずれにより形
成されてもよいが、ルテニウム、ビスマス、珪素からな
る金属有機物？８液を、焼成後の原子数比が各々ｌ・ｏ
、ｓ：ｏ、５となるように混合し、塗布、焼成により形
成するＭＯＤ （Ｍｅｔａｌｌｏ−Ｏｒｇａｎｉｃ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により形成するのが好ましい。
ンシリカ Ｌａ５ｉＯ□等をメツキ、印刷等の厚膜法、
また蒸着、スパッタリングによる薄膜法いずれにより形
成されてもよいが、ルテニウム、ビスマス、珪素からな
る金属有機物？８液を、焼成後の原子数比が各々ｌ・ｏ
、ｓ：ｏ、５となるように混合し、塗布、焼成により形
成するＭＯＤ （Ｍｅｔａｌｌｏ−Ｏｒｇａｎｉｃ Ｄ
ｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法により形成するのが好ましい。
金属有機物溶液は、下記−触式で示される金属錯体を使
用するとよい。
用するとよい。
（ａ）ルテニウム錯体
Ｒｕ （Ｓ Ｒ）３
（ｂ）シリコン錯体
（ＲＯ） ｚ Ｓｉ （ＯＣｚ Ｈｓ ）ｓ（ｃ）ビ
スマス錯体 Ｂｉ（ＯＲ）ｚ （上記各式におけるＲはアルキル基を示す。）また引き
出し電極、共通帰路電極は、アルミニウム等の金属をス
パッタリングすることにより形成するとよいが、蒸着法
、メツキ、印刷法により形成してもよい。
スマス錯体 Ｂｉ（ＯＲ）ｚ （上記各式におけるＲはアルキル基を示す。）また引き
出し電極、共通帰路電極は、アルミニウム等の金属をス
パッタリングすることにより形成するとよいが、蒸着法
、メツキ、印刷法により形成してもよい。
本発明は、アルミニウム等の金属をコアとし、表面を絶
縁層とした発熱抵抗体支持体を共通帰路電極とし、その
絶縁層上に発熱抵抗体を設けることにより、インクジェ
ットヘッドにおけるノズル孔の高密度化を可能とし、ま
た紙幅化を容易になしうるものである。
縁層とした発熱抵抗体支持体を共通帰路電極とし、その
絶縁層上に発熱抵抗体を設けることにより、インクジェ
ットヘッドにおけるノズル孔の高密度化を可能とし、ま
た紙幅化を容易になしうるものである。
第１図は発熱抵抗体支持体を示す図で、第１図（ａ）は
その平面図、第１図（ｂ）はその断面図、第２図は本発
明の発熱抵抗体装置を示す図で、第３図（ａ）は引き出
し電極への配線の一実施例を示す平面図、第２図（ｂ）
は引き出し電極への配線への他の実施例を示す平面図、
第４図は発熱抵抗体装置の継ぎ合わせの際の切断例を示
す平面図である。
その平面図、第１図（ｂ）はその断面図、第２図は本発
明の発熱抵抗体装置を示す図で、第３図（ａ）は引き出
し電極への配線の一実施例を示す平面図、第２図（ｂ）
は引き出し電極への配線への他の実施例を示す平面図、
第４図は発熱抵抗体装置の継ぎ合わせの際の切断例を示
す平面図である。
■は金属コア、２は絶縁膜、３．４は開口部、５は引き
出し電極、６は共通帰路電極、７は発熱抵抗体、８は発
熱抵抗体支持体、Ｘ−ｘ″はノズル面、Ｂ−Ｂ’線は切
断面を示す。
出し電極、６は共通帰路電極、７は発熱抵抗体、８は発
熱抵抗体支持体、Ｘ−ｘ″はノズル面、Ｂ−Ｂ’線は切
断面を示す。
第１図（ａ）、同図（ｂ）に示すように、まずアルミニ
ウム等の金属コア１を有し、その表面に絶縁層を有する
ホーロー基板を使用し、その一方の表面にレジストを使
用した選択エツチングにより開口部３．４を形成し、金
属コア部を露出させ、発熱抵抗体支持体８とする。一方
の開口部３は、共通帰路電極６と金属コアｌとの接続用
開口部であり、長方形状にエツチングされ、また他方の
開口部４は外部への信号接続用の開口部として、後述す
る第３図に示すように形成する。
ウム等の金属コア１を有し、その表面に絶縁層を有する
ホーロー基板を使用し、その一方の表面にレジストを使
用した選択エツチングにより開口部３．４を形成し、金
属コア部を露出させ、発熱抵抗体支持体８とする。一方
の開口部３は、共通帰路電極６と金属コアｌとの接続用
開口部であり、長方形状にエツチングされ、また他方の
開口部４は外部への信号接続用の開口部として、後述す
る第３図に示すように形成する。
次に本発明の発熱抵抗体装置の作製方法を、第２図によ
り説明する。
り説明する。
まず発熱抵抗体７を、発熱抵抗体支持体８上で、閉［コ
部３．４間に、発熱抵抗体材料をスパックリングにより
着膜させ、次いでエツチングして形成する。そして共通
帰路電極６は、アルミニウム等の金属を着膜し、選択エ
ツチングにより形成するが、その一端部を発熱抵抗体７
端部上にオーバーラツプさせ、他端部を開口部３から金
属コア１に接続させて形成する。また引き出し電極５は
、同様に一端を発熱抵抗体７の端部上にオーバーラツプ
させ、他端はヘッドの駆動回路に接続しうるように形成
する。
部３．４間に、発熱抵抗体材料をスパックリングにより
着膜させ、次いでエツチングして形成する。そして共通
帰路電極６は、アルミニウム等の金属を着膜し、選択エ
ツチングにより形成するが、その一端部を発熱抵抗体７
端部上にオーバーラツプさせ、他端部を開口部３から金
属コア１に接続させて形成する。また引き出し電極５は
、同様に一端を発熱抵抗体７の端部上にオーバーラツプ
させ、他端はヘッドの駆動回路に接続しうるように形成
する。
共通帰路電極６と金属コアｌとの接続用開口部３の開口
位置、および寸法は、構成する配線回路や寸法によって
適宜設定され、例えば各引き出し電極５への信号線がマ
トリックス回路を形成していれば、基板上の空白領域に
開口部３を配置すればよく、またノズル面切断位置、ま
た切断しるも考慮して、第２図に示す位置ａ、開口部の
大きさｂの各距離を決めるとよい。
位置、および寸法は、構成する配線回路や寸法によって
適宜設定され、例えば各引き出し電極５への信号線がマ
トリックス回路を形成していれば、基板上の空白領域に
開口部３を配置すればよく、またノズル面切断位置、ま
た切断しるも考慮して、第２図に示す位置ａ、開口部の
大きさｂの各距離を決めるとよい。
またアドレスを選択する手段を設けないヘット構成の場
合には、開口部４は、第３図（ａ）に示すようにノズル
ピンチより配線ピッチを密にし、その余白部に配置した
り、また第３図（ｂ）に示すように信号線の電気接続端
子より端部に配置される。
合には、開口部４は、第３図（ａ）に示すようにノズル
ピンチより配線ピッチを密にし、その余白部に配置した
り、また第３図（ｂ）に示すように信号線の電気接続端
子より端部に配置される。
次に発熱抵抗体７をＭＯＤ法により形成する方法につい
て述べる。
て述べる。
ルテニウム、ビスマス、珪素からなる金属有機物？８ｍ
を、焼成後の原子数比が各々ｌ：０．５＋０．５となる
ように、α−タービオスオール等の有機溶剤を使用しで
混合し、粘度を５０００〜３０００ｃｐｓに調整する。
を、焼成後の原子数比が各々ｌ：０．５＋０．５となる
ように、α−タービオスオール等の有機溶剤を使用しで
混合し、粘度を５０００〜３０００ｃｐｓに調整する。
次いでこの金属有機物ｉ８Ｍヲ４００メソンユの２、テ
ンレススクリーンによりホーロー絶縁層２上に印刷塗布
し、約１０分間放置、レヘリングした後、１３０ ’Ｃ
で乾燥し、さらに赤外線焼成炉において８００ ’Ｃの
ピーク温度で約２０分間焼成して膜厚０．５μｍの発熱
抵抗体膜を形成する。そしてレジストの塗布、露光、現
像、選択エツチング、レジスト剥離、全印刷、焼成、レ
ジスト塗布、露光、現像、金エツチング、レジスト剥離
の各工程を経て、発熱抵抗体パターンを同様に形成する
ことができる。
ンレススクリーンによりホーロー絶縁層２上に印刷塗布
し、約１０分間放置、レヘリングした後、１３０ ’Ｃ
で乾燥し、さらに赤外線焼成炉において８００ ’Ｃの
ピーク温度で約２０分間焼成して膜厚０．５μｍの発熱
抵抗体膜を形成する。そしてレジストの塗布、露光、現
像、選択エツチング、レジスト剥離、全印刷、焼成、レ
ジスト塗布、露光、現像、金エツチング、レジスト剥離
の各工程を経て、発熱抵抗体パターンを同様に形成する
ことができる。
なおＭＯＤ法により発熱抵抗体７を形成すると、ＣＶＤ
法（Ｃｈｅｎ＋１ｃａｌνａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ：化学気相成長法）に比べて、高価な装置を必要と
せずに印刷工程により薄膜形成できるという利点がある
。
法（Ｃｈｅｎ＋１ｃａｌνａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉ
ｏｎ：化学気相成長法）に比べて、高価な装置を必要と
せずに印刷工程により薄膜形成できるという利点がある
。
なお紙幅化のために、発熱抵抗体装置はグイサー等によ
る切断工程、および研磨工程を経て互いに継ぎ合わされ
るが、第４図に示すようにＢ−Ｂ 線から発熱抵抗体装
置を切断し、継ぎ合わせると、各発熱抵抗体装置におけ
るノズル面（ＸＸ 線）の調整を簡単に行うことができ
る。その際引き出し電極５への信号線はその端部を内側
に寄せて形成しておくとよい。
る切断工程、および研磨工程を経て互いに継ぎ合わされ
るが、第４図に示すようにＢ−Ｂ 線から発熱抵抗体装
置を切断し、継ぎ合わせると、各発熱抵抗体装置におけ
るノズル面（ＸＸ 線）の調整を簡単に行うことができ
る。その際引き出し電極５への信号線はその端部を内側
に寄せて形成しておくとよい。
本発明の発熱抵抗体装置を使用して熱インクシェントヘ
ンドを作製するには、異方エンチングにより発熱抵抗体
ピッチと同ピツチで設けられたインク吐出口を有する基
板を、発熱抵抗体装置上に重ねて接着することにより作
製される。
ンドを作製するには、異方エンチングにより発熱抵抗体
ピッチと同ピツチで設けられたインク吐出口を有する基
板を、発熱抵抗体装置上に重ねて接着することにより作
製される。
本発明の発熱抵抗体装置は、共通帰路電極である導電性
基板と、該導電性基板の裏面に設けた絶縁層と、該絶縁
層上に設けた、引き出し電極を有する発熱抵抗体とを具
備すると共に、前記絶縁層に開口部を設け、該開口部を
介して導電性基板と発熱抵抗体とを接続したことにより
、インクジェットヘッド装置における主走査方向に共通
帰路電極、および配線を設ける必要がなく、またノズル
孔を一定ピッチで配列することができるので、紙幅のへ
ンド作製を容易に作製することができ、また高密度のノ
ズル孔を有する熱インクジェットヘッドとすることがで
きるものである。
基板と、該導電性基板の裏面に設けた絶縁層と、該絶縁
層上に設けた、引き出し電極を有する発熱抵抗体とを具
備すると共に、前記絶縁層に開口部を設け、該開口部を
介して導電性基板と発熱抵抗体とを接続したことにより
、インクジェットヘッド装置における主走査方向に共通
帰路電極、および配線を設ける必要がなく、またノズル
孔を一定ピッチで配列することができるので、紙幅のへ
ンド作製を容易に作製することができ、また高密度のノ
ズル孔を有する熱インクジェットヘッドとすることがで
きるものである。
第１図は本発明の発熱抵抗体支持体を示す図で、第１図
（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）はその断面図、第２
図は本発明の発熱抵抗体装置を示す図で、第３図（ａ）
は引き出し電極への配線の一実施例を示す平面図、第３
図（ｂ）は引き出し電極への配線への他の実施例を示す
平面図、第４図はノズルヘッド継ぎ合わせの際の切断例
を示す平面図、第５図、第６図、第７図は従来例を示す
図である。 １は金属コア、２は絶縁膜、３．４は開口部、５は引き
出し電極、６は共通帰路電極、７は発熱抵抗体、８は発
熱抵抗体支持体、Ｘ−χ°はノズル面、Ｂ−Ｂ’線は切
断面を示す。 出 願 人 富士ゼロ・ノクス株式会社代理人
弁理士 内１）亘彦（外４名）（ａ） （ｂ）
（ａ）はその平面図、第１図（ｂ）はその断面図、第２
図は本発明の発熱抵抗体装置を示す図で、第３図（ａ）
は引き出し電極への配線の一実施例を示す平面図、第３
図（ｂ）は引き出し電極への配線への他の実施例を示す
平面図、第４図はノズルヘッド継ぎ合わせの際の切断例
を示す平面図、第５図、第６図、第７図は従来例を示す
図である。 １は金属コア、２は絶縁膜、３．４は開口部、５は引き
出し電極、６は共通帰路電極、７は発熱抵抗体、８は発
熱抵抗体支持体、Ｘ−χ°はノズル面、Ｂ−Ｂ’線は切
断面を示す。 出 願 人 富士ゼロ・ノクス株式会社代理人
弁理士 内１）亘彦（外４名）（ａ） （ｂ）
Claims (1)
- 共通帰路電極である導電性基板と、該導電性基板の表面
に設けた絶縁層と、該絶縁層上に設けた、引き出し電極
を有する発熱抵抗体とを具備すると共に、前記絶縁層に
開口部を設け、該開口部を介して導電性基板と発熱抵抗
体とを接続したことを特徴とする発熱抵抗体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22384088A JPH0272959A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 発熱抵抗体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22384088A JPH0272959A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 発熱抵抗体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0272959A true JPH0272959A (ja) | 1990-03-13 |
Family
ID=16804549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22384088A Pending JPH0272959A (ja) | 1988-09-07 | 1988-09-07 | 発熱抵抗体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0272959A (ja) |
-
1988
- 1988-09-07 JP JP22384088A patent/JPH0272959A/ja active Pending
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