JPS61290406A - カラ−フイルタの形成方法 - Google Patents
カラ−フイルタの形成方法Info
- Publication number
- JPS61290406A JPS61290406A JP60132349A JP13234985A JPS61290406A JP S61290406 A JPS61290406 A JP S61290406A JP 60132349 A JP60132349 A JP 60132349A JP 13234985 A JP13234985 A JP 13234985A JP S61290406 A JPS61290406 A JP S61290406A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dyed
- film
- color
- gelatin
- transparent resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラーフィルタの形成方法に関するものであ
る。
る。
従来の技術
従来のカラーフィルタの形成方法は、例えば特公昭５２
−１７３７５ 号公報に記載されるような形成方法が広
く採用されている。
−１７３７５ 号公報に記載されるような形成方法が広
く採用されている。
以下に、図面を参照しながらこの従来のカラーフィルタ
の形成方法について説明する。第２図は従来の形成方法
により作成されたカラーフィルタの断面図である。ガラ
ス基板１上にカゼイン、ゼラチンなどに感光性を付与し
た感光液を均一に塗布乾燥させ染色性の感光膜を形成す
る。その後マスク露光法で染色しようとする部分２だけ
光硬化させ、現像により不必要な部分を除去する。次に
所定の第１色目の分光特性を有する染料で上記部分２を
染色する。染色の終えた後、透明な中間層３で被覆する
。次に、この中間層３の上に前記と同様に染色性感光膜
を形成し、前記と同じ方法により第２の色に染色された
部分４を形成する。そしてより多色が必要であれば、上
記工程を繰り返す。そして、最後に透明な保護膜５を形
成する。
の形成方法について説明する。第２図は従来の形成方法
により作成されたカラーフィルタの断面図である。ガラ
ス基板１上にカゼイン、ゼラチンなどに感光性を付与し
た感光液を均一に塗布乾燥させ染色性の感光膜を形成す
る。その後マスク露光法で染色しようとする部分２だけ
光硬化させ、現像により不必要な部分を除去する。次に
所定の第１色目の分光特性を有する染料で上記部分２を
染色する。染色の終えた後、透明な中間層３で被覆する
。次に、この中間層３の上に前記と同様に染色性感光膜
を形成し、前記と同じ方法により第２の色に染色された
部分４を形成する。そしてより多色が必要であれば、上
記工程を繰り返す。そして、最後に透明な保護膜５を形
成する。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような方法では製造コストの高い
マスク工程を多数回必要とし、しかも各色の間に中間膜
が必要なため、カラーフィルタの厚みが厚くなり、光の
まわり込みが生じるという欠点を有していた。
マスク工程を多数回必要とし、しかも各色の間に中間膜
が必要なため、カラーフィルタの厚みが厚くなり、光の
まわり込みが生じるという欠点を有していた。
本発明は、これらの欠点を解決するためになされたもの
で、従来方法に比べ簡便で低コスト化を実現し、しかも
特性上は、従来方法にまさるカラ−フィルタの形成方法
を提供することを目的としている。
で、従来方法に比べ簡便で低コスト化を実現し、しかも
特性上は、従来方法にまさるカラ−フィルタの形成方法
を提供することを目的としている。
問題点を解決するための手段
本発明のカラーフィルタの形成方法は、染色済有機薄膜
上に、透明レジストパターンを設ける工程と前記透明レ
ジストパターンをマスクとして前記染色済有機薄膜を除
去する工程とを含んで構成されている。
上に、透明レジストパターンを設ける工程と前記透明レ
ジストパターンをマスクとして前記染色済有機薄膜を除
去する工程とを含んで構成されている。
作 用
本方法では、染色済有機薄膜の染色パターンを必要とす
る部分に透明レジストパターンを設けたのちこれをマス
クとして不必要部分を除去する。
る部分に透明レジストパターンを設けたのちこれをマス
クとして不必要部分を除去する。
そののち、第２色目として必要な分光特性を有する染色
済有機薄膜を形成し、同様に第２色目を必要とする部分
のみを透明レジストパターンでおおい、不必要部分を同
様に除去する。したがって、本発明では、中間膜を必要
とすることなく、カラーフィルタを形成することができ
る。
済有機薄膜を形成し、同様に第２色目を必要とする部分
のみを透明レジストパターンでおおい、不必要部分を同
様に除去する。したがって、本発明では、中間膜を必要
とすることなく、カラーフィルタを形成することができ
る。
実施例
以下に、本発明の一実施例について図面を参照しながら
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例のカラーフィルタの形成方
法を段階的に示すものである。
法を段階的に示すものである。
ガラス等の透明基板１ｏ上に染色性有機薄膜としてゼラ
チンを均一に塗布し、所定の分光特性を有する染色液に
より染色を施し、染色膜１１を形成する。次に、透明レ
ジストとしてアクリル系樹脂を用い、フォトリソグラフ
により、染色パターンを必要とする部分だけ透明レジス
ト１２をのこす。（第１図（ａ）） その後、酸素プラズマを用いて、ゼラチンを灰化し、除
去する。このとき、染色パターンを必要する部分１３は
透明レジスト１２により除去されない。ゼラチン膜厚０
．５μｍ、透明レジスト膜厚０．３ ｐｍで酸素流量１
．５１７ｃｄ 、放電電力１５０Ｗ、放電周波数１３．
５６Ｗｈでゼラチンと透明レジストとのエツチング比は
約４倍であった。（第１図（ｂ）） 次に、ゼラチンを均一に塗布し、第２色目として必要な
分光特性を有する染色液によシ染色を施し、染色膜１４
を形成する。次に、透明レジストとしてアクリル系樹脂
を用い、７オトリソグラフにより、第２色目を必要とす
る部分だけ透明レジスト１６を残す。（第１図（Ｃ）） その後、酸素プラズマを用いて、ゼラチンを灰化し、除
去し、第２色目の染色パターン１６を形成する。（第１
図（ｄ）） 以後、目的とする色数となるよう上記の工程を繰り返し
簡単にカラーフィルタを形成することができる。
チンを均一に塗布し、所定の分光特性を有する染色液に
より染色を施し、染色膜１１を形成する。次に、透明レ
ジストとしてアクリル系樹脂を用い、フォトリソグラフ
により、染色パターンを必要とする部分だけ透明レジス
ト１２をのこす。（第１図（ａ）） その後、酸素プラズマを用いて、ゼラチンを灰化し、除
去する。このとき、染色パターンを必要する部分１３は
透明レジスト１２により除去されない。ゼラチン膜厚０
．５μｍ、透明レジスト膜厚０．３ ｐｍで酸素流量１
．５１７ｃｄ 、放電電力１５０Ｗ、放電周波数１３．
５６Ｗｈでゼラチンと透明レジストとのエツチング比は
約４倍であった。（第１図（ｂ）） 次に、ゼラチンを均一に塗布し、第２色目として必要な
分光特性を有する染色液によシ染色を施し、染色膜１４
を形成する。次に、透明レジストとしてアクリル系樹脂
を用い、７オトリソグラフにより、第２色目を必要とす
る部分だけ透明レジスト１６を残す。（第１図（Ｃ）） その後、酸素プラズマを用いて、ゼラチンを灰化し、除
去し、第２色目の染色パターン１６を形成する。（第１
図（ｄ）） 以後、目的とする色数となるよう上記の工程を繰り返し
簡単にカラーフィルタを形成することができる。
発明の効果
以上のように本発明は、中間膜の形成を省略することが
できるため、フォトリソグラフ工程を少なくでき、カラ
ーフィルタを安価にできる。また、各色の位置が、同じ
高さにあることから光のまわり込みを抑えられる。この
ように本発明の効果は犬なるものがある。
できるため、フォトリソグラフ工程を少なくでき、カラ
ーフィルタを安価にできる。また、各色の位置が、同じ
高さにあることから光のまわり込みを抑えられる。この
ように本発明の効果は犬なるものがある。
第１図は本発明の実施例におけるカラーフィルタの形成
方法を工程順に示した断面・図、第２図は従来方法によ
り作成されたカラーフィルタの断面図である。 １ｏ・・・・・・透明基板、１１．１４・パ・・・染色
膜、１２゜１６・・・・・・透明レジスト、１３．１６
・・・・・・染色パターンを必要とする部分。 代理人の氏名 弁理士 中尾 敏 男 ほか１名Ｃｑ ズづ −珠
方法を工程順に示した断面・図、第２図は従来方法によ
り作成されたカラーフィルタの断面図である。 １ｏ・・・・・・透明基板、１１．１４・パ・・・染色
膜、１２゜１６・・・・・・透明レジスト、１３．１６
・・・・・・染色パターンを必要とする部分。 代理人の氏名 弁理士 中尾 敏 男 ほか１名Ｃｑ ズづ −珠
Claims (1)
- 染色済有機薄膜上に透明レジストパターンを設ける工程
と、前記透明レジストパターンをマスクとして前記染色
済有機薄膜を除去する工程を含むことを特徴とするカラ
ーフィルタの形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60132349A JPS61290406A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | カラ−フイルタの形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60132349A JPS61290406A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | カラ−フイルタの形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61290406A true JPS61290406A (ja) | 1986-12-20 |
Family
ID=15079273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60132349A Pending JPS61290406A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | カラ−フイルタの形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61290406A (ja) |
-
1985
- 1985-06-18 JP JP60132349A patent/JPS61290406A/ja active Pending
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