JPS6177016A - カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS6177016A JPS6177016A JP59199791A JP19979184A JPS6177016A JP S6177016 A JPS6177016 A JP S6177016A JP 59199791 A JP59199791 A JP 59199791A JP 19979184 A JP19979184 A JP 19979184A JP S6177016 A JPS6177016 A JP S6177016A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- agent
- exposure
- transparent
- photoresists
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
- G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はカラーテレビ、その他の表示装置に用いられ
るカラーフィルタの製造方法に関するものである。
るカラーフィルタの製造方法に関するものである。
従来のカラーフィルタの製法の一つとして、ガラス基板
上にゼラチンなどの可染性樹脂に重クロムム酸アンそニ
ウム等の感光性物質を添加したものを塗布し、架橋反応
が十分性なわれない程度に紫外線を露光するりその上に
７オトレジストを塗布し、所定のマスクを用いて部分露
光して現偉し、所定の色を染色する。同様の操作をくり
返して、必要な種類の色を染色した後最後に残っている
フォトレジストの剥離をおこなっている。
上にゼラチンなどの可染性樹脂に重クロムム酸アンそニ
ウム等の感光性物質を添加したものを塗布し、架橋反応
が十分性なわれない程度に紫外線を露光するりその上に
７オトレジストを塗布し、所定のマスクを用いて部分露
光して現偉し、所定の色を染色する。同様の操作をくり
返して、必要な種類の色を染色した後最後に残っている
フォトレジストの剥離をおこなっている。
その他の製法として、上述のように７オトレジストを剥
離する必要のない方法も提案されている（特開昭５７−
１４８７０６号）０これは透明なフォトレジストを使用
することによりフォトレジストを剥離する必要をなくし
たものである。
離する必要のない方法も提案されている（特開昭５７−
１４８７０６号）０これは透明なフォトレジストを使用
することによりフォトレジストを剥離する必要をなくし
たものである。
上記従来技術において、前者の方法では、フォトレジス
トの剥離剤は有機溶剤等よりなり、これが所定のパター
ン形成された着色層に影響−を与え、望ましい分光特性
を有するものを得るのが難かしかつ丸。またフォトレジ
ストを剥離するとそれにともなって、洗浄、乾燥の工程
も必要であった。
トの剥離剤は有機溶剤等よりなり、これが所定のパター
ン形成された着色層に影響−を与え、望ましい分光特性
を有するものを得るのが難かしかつ丸。またフォトレジ
ストを剥離するとそれにともなって、洗浄、乾燥の工程
も必要であった。
後者の方法では、透明なフォトレジストだと、現像が完
了したかどうかが非常に判り難いし、ま１とここで用い
る遠紫外線用のフォトレジストは高価なもので、露光Ｓ
置も高価なものになってしまうという欠点があった。
了したかどうかが非常に判り難いし、ま１とここで用い
る遠紫外線用のフォトレジストは高価なもので、露光Ｓ
置も高価なものになってしまうという欠点があった。
この発明はこうした従来技術における欠点を解決するも
ので、カラーフィルタの製造に２いて、露光などのある
手段により着色が消えるフォトレジストを用いる点に＠
鑓を有するものである。
ので、カラーフィルタの製造に２いて、露光などのある
手段により着色が消えるフォトレジストを用いる点に＠
鑓を有するものである。
ガラスなどの透明基板１にゼラチンなどの可染ｔ１．樹
脂に１クロム酸アンモニウム等の感光性物質を添加した
膜剤２を塗布し、架橋反応が十分性なわれない程度に紫
外線を露光し上記膜剤２を固化させる。ついで、その上
に露光などの手段によって分光特性が変化し、着色が消
えるフォトレジスト３を塗布する（第２Ａ図）っ 一般に７オトレジストは、感光剤が入って・いるために
着色していたり、あるいは現像が完了したことを適確に
判断するために着色している。いずれにせよその着色を
消すことは普通にはできない。
脂に１クロム酸アンモニウム等の感光性物質を添加した
膜剤２を塗布し、架橋反応が十分性なわれない程度に紫
外線を露光し上記膜剤２を固化させる。ついで、その上
に露光などの手段によって分光特性が変化し、着色が消
えるフォトレジスト３を塗布する（第２Ａ図）っ 一般に７オトレジストは、感光剤が入って・いるために
着色していたり、あるいは現像が完了したことを適確に
判断するために着色している。いずれにせよその着色を
消すことは普通にはできない。
しかし、ある特殊なフォトレジストは、露光などの手段
によって分光特性が変化する。たとえばノボラック系の
６ナガセボジレジスト８０９”（製品名）の分光特性を
示すグラフを第３図に示す。
によって分光特性が変化する。たとえばノボラック系の
６ナガセボジレジスト８０９”（製品名）の分光特性を
示すグラフを第３図に示す。
このグラフかられかるように、このフォトレジストは露
光前は５００〜４４０ｎｍに吸収域があり、黄色である
が、高圧水銀灯で６０秒間露光することにより透明にな
る。
光前は５００〜４４０ｎｍに吸収域があり、黄色である
が、高圧水銀灯で６０秒間露光することにより透明にな
る。
第２Ａ図示の状態のものに部分露光、現像をおこなう（
第２Ｂ図）。そして膜剤２の露出した部分をたとえば赤
色Ｒに染色する（第２Ｃ図）０つぎに再びフォトレジス
ト４を塗布し、部分露光。
第２Ｂ図）。そして膜剤２の露出した部分をたとえば赤
色Ｒに染色する（第２Ｃ図）０つぎに再びフォトレジス
ト４を塗布し、部分露光。
現像をおこなった後膜剤２の露出した部分を、たとえば
緑色Ｇに染色する（ ＠ ２ Ｄ図）０さらにフォトレ
ジスト５を塗布し、部分露光、現像をおこなった後膜剤
２の露光した部分を青色Ｂに染色する（箕２也図）つこ
の状態ではフォトレジスト４゜５が部分的に残っている
が、これく、高圧水銀灯で６ａ秒露光させ、フォトレジ
スト４，５の着色を消して透明にする（第１図）。これ
は保護膜として利用することができる。
緑色Ｇに染色する（ ＠ ２ Ｄ図）０さらにフォトレ
ジスト５を塗布し、部分露光、現像をおこなった後膜剤
２の露光した部分を青色Ｂに染色する（箕２也図）つこ
の状態ではフォトレジスト４゜５が部分的に残っている
が、これく、高圧水銀灯で６ａ秒露光させ、フォトレジ
スト４，５の着色を消して透明にする（第１図）。これ
は保護膜として利用することができる。
上述の構成よりなる本発明のカラーフィルタの製造方法
によれば、フォトレジストの剥離工程が省けるので工程
が有利でちり、また着色した膜剤を剥離−夜にさらすこ
とがないので着色した膜剤の％ｉ生を損なうことがない
っ
によれば、フォトレジストの剥離工程が省けるので工程
が有利でちり、また着色した膜剤を剥離−夜にさらすこ
とがないので着色した膜剤の％ｉ生を損なうことがない
っ
１図面は本発明の詳細な説明図で、第１図は本発明によ
るカラーフィルタの断面図、第２Ａ図〜第２Ｅ図は本発
明の製ｉ貴方法の説明図、第３図は本発明の実姉列で用
いたフォトレジストの分光特性を示すグラフである。 １・・・・・・透明基板 ２・・・・・・膜剤 ３・・・・・・フォトレジスト ４・・・・・・フォトレジスト ５・・・・・・フォトレジスト 以 上
るカラーフィルタの断面図、第２Ａ図〜第２Ｅ図は本発
明の製ｉ貴方法の説明図、第３図は本発明の実姉列で用
いたフォトレジストの分光特性を示すグラフである。 １・・・・・・透明基板 ２・・・・・・膜剤 ３・・・・・・フォトレジスト ４・・・・・・フォトレジスト ５・・・・・・フォトレジスト 以 上
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 透明基板上に膜剤を塗布する工程と、 上記膜剤上に着色したフォトレジストであつてその着色
を消しうるものを塗布する工程と、上記フォトレジスト
を部分露光、現像し、上記膜剤の露出した部分を染色す
る工程と、 最終的に残つたフォトレジストを透明化する工程 とを含むカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199791A JPS6177016A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59199791A JPS6177016A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6177016A true JPS6177016A (ja) | 1986-04-19 |
Family
ID=16413671
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59199791A Pending JPS6177016A (ja) | 1984-09-25 | 1984-09-25 | カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6177016A (ja) |
-
1984
- 1984-09-25 JP JP59199791A patent/JPS6177016A/ja active Pending
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