JPS61273815A - 有色透明導電膜の形成方法 - Google Patents
有色透明導電膜の形成方法Info
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- JPS61273815A JPS61273815A JP11699685A JP11699685A JPS61273815A JP S61273815 A JPS61273815 A JP S61273815A JP 11699685 A JP11699685 A JP 11699685A JP 11699685 A JP11699685 A JP 11699685A JP S61273815 A JPS61273815 A JP S61273815A
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- JP
- Japan
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- transparent conductive
- conductive film
- heat treatment
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- Manufacturing Of Electric Cables (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Surface Heating Bodies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は有色ＩＴＯ（インディラム・ティン・オキサイ
ド）透明導１Ｂ膜の形成方法に関し、詳しくは、少なく
とも熱処理の処理温度を調節することによって、前記Ｉ
ＴＯ透明導電膜を、ブロンズ、ブルー、イエロー等に着
色する方法に関する。
ド）透明導１Ｂ膜の形成方法に関し、詳しくは、少なく
とも熱処理の処理温度を調節することによって、前記Ｉ
ＴＯ透明導電膜を、ブロンズ、ブルー、イエロー等に着
色する方法に関する。
本発明の方法によると、複雑な工程を要することなくＩ
ＴＯ透明導電膜（したがって、該１’ Ｔ Ｏ透明導ｍ
膜を有するガラス板）を所望の色に着色づ゛ることがで
きる。故に、本発明め方法によって形成したＩＴＯ透明
導電躾は、ヒータ、電極等として機能するとともに意匠
性に富むため有用である。
ＴＯ透明導電膜（したがって、該１’ Ｔ Ｏ透明導ｍ
膜を有するガラス板）を所望の色に着色づ゛ることがで
きる。故に、本発明め方法によって形成したＩＴＯ透明
導電躾は、ヒータ、電極等として機能するとともに意匠
性に富むため有用である。
［従来の技術］
近年、各種電子素子用の透明電極として、あるいは、各
種車両用または冷凍ショーケース用のウィンド面ヒータ
としてＩＴＯ透明導電膜を用いることが行なわれている
。
種車両用または冷凍ショーケース用のウィンド面ヒータ
としてＩＴＯ透明導電膜を用いることが行なわれている
。
一方、意匠性の見地より、あるいは直射日光の低減を目
的として、上記各種車両または冷凍ショーケースのウィ
ンドに着色を施すことが行なわれている。
的として、上記各種車両または冷凍ショーケースのウィ
ンドに着色を施すことが行なわれている。
しかし、ウィンド自体への着色は、ガラス成分に各種有
色イオンを添加したり、あるいは各種元素、化合物の微
粒子をコロイド状に分散させたり、また、放射線照射に
よる着色法も用いられているが、これらガラスの溶融か
ら発色に至る工程はかなり複雑であり、また、着色の色
あいを変える毎に：別種の色あいのガラス板を製造しな
ければならないという欠点を有する。
色イオンを添加したり、あるいは各種元素、化合物の微
粒子をコロイド状に分散させたり、また、放射線照射に
よる着色法も用いられているが、これらガラスの溶融か
ら発色に至る工程はかなり複雑であり、また、着色の色
あいを変える毎に：別種の色あいのガラス板を製造しな
ければならないという欠点を有する。
かかる欠点の除去を目的として、有色透明フィルムを用
意し、これをウィンドに貼り付けることも行なわれてい
る。
意し、これをウィンドに貼り付けることも行なわれてい
る。
しかしこれは、ウィンドの面積が大きくなると、前記フ
ィルムを均一に貼り付けることが困難であるという欠点
を有する。
ィルムを均一に貼り付けることが困難であるという欠点
を有する。
また、ウィンド面にヒータが形成されている場合は、該
ヒータの加熱時に上記フィルムが伸びたり、あるいは、
剥がれたりするという欠点をも有する。
ヒータの加熱時に上記フィルムが伸びたり、あるいは、
剥がれたりするという欠点をも有する。
［発明が解決しようとする問題点］
本発明は、上記した事情に鑑み案出されたものであり、
比較的簡単な工程によって、耐久性の良い有色ウィンド
を得る方法を提供することを目的とする。
比較的簡単な工程によって、耐久性の良い有色ウィンド
を得る方法を提供することを目的とする。
［問題点を解決するための手段及び作用］本発明は、透
明基板表面にＩＴＯ透明透明導電形成し、これに熱処理
を施すことによって着色するものである。
明基板表面にＩＴＯ透明透明導電形成し、これに熱処理
を施すことによって着色するものである。
即ち本発明は、
透明基板表面にＩＴＯ透明導電膜を被着した後、該基板
を減圧下に置き、保持温度を１５０℃〜５５０℃、保持
時間を保持温度に応じて５分以上の範囲で調節する熱処
理を施し、前記ＩＴＯ透明導電膜の透過光の分光特性を
、少なくとも前記保持温度によって調節された特性とし
て設定することを特徴とする有色透明導電膜の形成方法
である。
を減圧下に置き、保持温度を１５０℃〜５５０℃、保持
時間を保持温度に応じて５分以上の範囲で調節する熱処
理を施し、前記ＩＴＯ透明導電膜の透過光の分光特性を
、少なくとも前記保持温度によって調節された特性とし
て設定することを特徴とする有色透明導電膜の形成方法
である。
′ 上記において、透明基板の形状、大きさ等
は、車両用ウィンド、ショーケース用ウィンド、液晶セ
ル用基板等、ＩＴＯ透明導電膜を被着すべき部材の用途
に応じて定める。
は、車両用ウィンド、ショーケース用ウィンド、液晶セ
ル用基板等、ＩＴＯ透明導電膜を被着すべき部材の用途
に応じて定める。
また、ＩＴＯ透明導電膜の被着方法は、スパッタリング
法、電子ビーム蒸着法等、公知の真空成膜法を用いるこ
とができる。また、ＩＴＯ透明導電膜の厚さはその用途
に応じて定める。例えば車両用ウィンドのヒータとして
用いる場合は、シート抵抗値５Ω／口以下が望ましく、
したがって今回得られた透明導電膜の比抵抗を考慮すれ
ば厚さは１μ〜１．５μ程度でよい。
法、電子ビーム蒸着法等、公知の真空成膜法を用いるこ
とができる。また、ＩＴＯ透明導電膜の厚さはその用途
に応じて定める。例えば車両用ウィンドのヒータとして
用いる場合は、シート抵抗値５Ω／口以下が望ましく、
したがって今回得られた透明導電膜の比抵抗を考慮すれ
ば厚さは１μ〜１．５μ程度でよい。
上記ＩＴＯ透明導電膜の被着後、基板を真空槽内等の減
圧下に置く。ここに減圧の程度は、１０−唱Ｐａ〜１０
″″３ｐＢとする。
圧下に置く。ここに減圧の程度は、１０−唱Ｐａ〜１０
″″３ｐＢとする。
減圧後、ＩＴＯ透明導電膜に熱処理を施す。熱処理の方
法は、所望の時間、ＩＴＯ透明導電膜を所望の温度に保
持、し得るものであれば、特に限定されない。
法は、所望の時間、ＩＴＯ透明導電膜を所望の温度に保
持、し得るものであれば、特に限定されない。
主として、熱処理の温度の調節によって、着色の色あい
、即ち、ＩＴＯ透明導電膜を透過する透過光の分光特性
（成る特定波長の光をより多く、また、成る特定波長の
光をより少なく透過させる特性）を調節することができ
る。
、即ち、ＩＴＯ透明導電膜を透過する透過光の分光特性
（成る特定波長の光をより多く、また、成る特定波長の
光をより少なく透過させる特性）を調節することができ
る。
例えば、特許請求の範囲第２項記載の如く、２００℃程
度の温度で熱処理を行なえば、淡黄色に着色することが
できる。
度の温度で熱処理を行なえば、淡黄色に着色することが
できる。
また、特許請求の範囲第４項記載の如く、４００℃〜５
００℃の範囲内で熱処理を行なうと、淡青色に着色する
ことができる。
００℃の範囲内で熱処理を行なうと、淡青色に着色する
ことができる。
色あいのｗ４節は、熱処理時間の調節によっても行なう
ことができる。例えば、特許請求の範囲第３項記載の如
く、３００℃程度の熱処理を施すと、熱処理開始後６０
分程度までは淡黄色に着色されるが、９０分程度以後は
淡青色に着色される。
ことができる。例えば、特許請求の範囲第３項記載の如
く、３００℃程度の熱処理を施すと、熱処理開始後６０
分程度までは淡黄色に着色されるが、９０分程度以後は
淡青色に着色される。
熱処理時間は、また、ＩＴＯ透明導電膜のシート抵抗値
に影響を与える。例えば特許請求の範囲第５項記載の如
く、熱処理Ｉ１１［１を５分〜１０分とすると、比較的
低い抵抗値を得られる。
に影響を与える。例えば特許請求の範囲第５項記載の如
く、熱処理Ｉ１１［１を５分〜１０分とすると、比較的
低い抵抗値を得られる。
かかる熱処理後、室温まで冷却する。冷却の方法は自然
冷却、強制冷却を問わない。
冷却、強制冷却を問わない。
［実施例］
以下、本発明を具体的な実施例に基づいて説明する。
（１）透明導電膜の被着
高周波（ＲＦ）スパッタリング装置を用いて、厚さ５１
のガラス基板表部に、厚さ１．２μのＩＴｏの薄膜を形
成した。
のガラス基板表部に、厚さ１．２μのＩＴｏの薄膜を形
成した。
成膜条件は、
ターゲット組成−１ｎ ｔ Ｏ３−１０ｗ ｔ％３ｎ０
２： ターゲット−基板間距離・・・１００１Ｉ１．基板加熱
は実施せず； 到達真空度・２．６ｘ１０−３ Ｐａ ；導入Ａｒガス
圧・２．６Ｘ１０−３ Ｐａ ：印加電力・・・３．２
１７ｃｍ２ ； とした。また、スパッタリングに先だち、２０分間、タ
ーゲット表面を清浄にするためのプリスパッタリングを
行なった。
２： ターゲット−基板間距離・・・１００１Ｉ１．基板加熱
は実施せず； 到達真空度・２．６ｘ１０−３ Ｐａ ；導入Ａｒガス
圧・２．６Ｘ１０−３ Ｐａ ：印加電力・・・３．２
１７ｃｍ２ ； とした。また、スパッタリングに先だち、２０分間、タ
ーゲット表面を清浄にするためのプリスパッタリングを
行なった。
（２）減圧
前記ＩＴＯ透明導電膜を被着したガラス基板１を第２図
に示す真空熱処理炉２内のガラス支持台 □２５
上に置き、油拡散ポンプ３１、油回転ポンプ 。
に示す真空熱処理炉２内のガラス支持台 □２５
上に置き、油拡散ポンプ３１、油回転ポンプ 。
３２を用いて５．２ｘ１０−３Ｐａまで減圧した・
′（３）熱処理 上記減圧（５，２Ｘ１０””３Ｐａ）下で、シー
゛スヒータ２１によってＩＴＯ透明透明導電熱処理を
行なった。
′（３）熱処理 上記減圧（５，２Ｘ１０””３Ｐａ）下で、シー
゛スヒータ２１によってＩＴＯ透明透明導電熱処理を
行なった。
熱処理の昇温、保持、降温パターンを第１図に示す。即
ち、昇温は急速（２０℃／ｍ１ｎ）に、 □また
、降温は炉内での自然放冷とした。
ち、昇温は急速（２０℃／ｍ１ｎ）に、 □また
、降温は炉内での自然放冷とした。
また、熱処理の保持濃度は、２００℃、３００℃、４０
０℃、５００℃の４種類とし、熱電対２−′２を用いて
温度を制御した。
０℃、５００℃の４種類とし、熱電対２−′２を用いて
温度を制御した。
（評価）
上記各保持温度における保持時間と可視光透過率との関
係を第３図に、また、該保持時間と抵抗変化率との関係
を第４図にそれぞれ示す。また第５図°は、透明導電膜
被着後、熱処理を行なわなかったサンプル、２００℃で
１０分間熱処理を行なったサンプル、５００℃で１０分
間熱処理を行なたサンプルの分光特性を表わすグラフで
ある。
係を第３図に、また、該保持時間と抵抗変化率との関係
を第４図にそれぞれ示す。また第５図°は、透明導電膜
被着後、熱処理を行なわなかったサンプル、２００℃で
１０分間熱処理を行なったサンプル、５００℃で１０分
間熱処理を行なたサンプルの分光特性を表わすグラフで
ある。
第３図かられかるように、熱処理開始後数分で透過率は
一旦低下し、その後上昇して極大値に至り、以後、漸次
減少して一定値に至る。
一旦低下し、その後上昇して極大値に至り、以後、漸次
減少して一定値に至る。
各保持温度における色あいは、当初すべてのサンプルに
おいてブロンズ色であったものが、２００℃のサンプル
では淡黄色に、３００℃のサンプルでは淡黄色から淡青
色に、４００℃及び５００℃のサンプルでは淡青色にそ
れぞれ変化する。尚、成膜時の酸素導入量により、成膜
後イエロー色を帯びるサンプルもあるが、その後の熱処
理により上記結果とほぼ同様な傾向を示す。
おいてブロンズ色であったものが、２００℃のサンプル
では淡黄色に、３００℃のサンプルでは淡黄色から淡青
色に、４００℃及び５００℃のサンプルでは淡青色にそ
れぞれ変化する。尚、成膜時の酸素導入量により、成膜
後イエロー色を帯びるサンプルもあるが、その後の熱処
理により上記結果とほぼ同様な傾向を示す。
なお、いづれのサンプルにおいても、自動車用ウィンド
のＪＩＳＡＩ格値（透光率７０％以上）を′ 満足し
ている。
のＪＩＳＡＩ格値（透光率７０％以上）を′ 満足し
ている。
第４図かられかるように、前処１１開始後５〜１０分で
抵抗値は極小値に至り、その後一旦増加し、２００℃の
サンプル以外は以慢漸次減少して一定値に至る。
抵抗値は極小値に至り、その後一旦増加し、２００℃の
サンプル以外は以慢漸次減少して一定値に至る。
なお、減圧の程度を１０−’Ｐａ 〜１Ｏ−３Ｐａの範
囲で変えて透明導電膜の抵抗値及び透光率の評価を行な
ったところ、上記範ｉ内では、はとんど差は認められな
かった。
囲で変えて透明導電膜の抵抗値及び透光率の評価を行な
ったところ、上記範ｉ内では、はとんど差は認められな
かった。
［効果］
以上、要するに本発明は、ＩＴＯ透明導電膜形成後に、
保持温度及び保持時間を調節して熱処理を行なうもので
ある。
保持温度及び保持時間を調節して熱処理を行なうもので
ある。
実施例に述べたところからも明らかなように、本発明の
方法によると、複雑な工程を要することなくＩＴＯ透明
導電膜（したがうて、該透明導電膜を有するガラス板）
を所望の色に着色することができる。
方法によると、複雑な工程を要することなくＩＴＯ透明
導電膜（したがうて、該透明導電膜を有するガラス板）
を所望の色に着色することができる。
また、本発明の方法によって形成した透明導電膜は、ヒ
ータ、電極等として機能するばかりでなく、意匠性に富
むため自動車用ウィンド、冷凍ショーケース等として有
用である。
ータ、電極等として機能するばかりでなく、意匠性に富
むため自動車用ウィンド、冷凍ショーケース等として有
用である。
第１図は熱処理の温度パターンを示すグラフで、
ある。第２図は熱処理炉の模式図である。第３図、、
］、 は熱処理時間と可視光透過率との関係を
表わすグラフであり、第４図は熱処理時間と抵抗変化率
との関係を表わすグラフである・また第５図は・透明導
電゛膜被着後、熱処理を行なわなかったサンプル、２０
０℃で１０分間熱処理を行なったサンプル、５００℃で
１０分間熱処理を行なたサンプルの分光特性を表わすグ
ラフである。
ある。第２図は熱処理炉の模式図である。第３図、、
］、 は熱処理時間と可視光透過率との関係を
表わすグラフであり、第４図は熱処理時間と抵抗変化率
との関係を表わすグラフである・また第５図は・透明導
電゛膜被着後、熱処理を行なわなかったサンプル、２０
０℃で１０分間熱処理を行なったサンプル、５００℃で
１０分間熱処理を行なたサンプルの分光特性を表わすグ
ラフである。
Claims (5)
- （１）透明基板表面にＩＴＯ透明導電膜を被着した後、
該基板を減圧下に置き、保持温度を１５０℃〜５５０℃
、保持時間を保持温度に応じて５分以上の範囲で調節す
る熱処理を施し、前記ＩＴＯ透明導電膜の透過光の分光
特性を、少なくとも前記保持温度によって調節された特
性として設定することを特徴とする有色透明導電膜の形
成方法。 - （２）前記保持温度は２００℃程度であり、前記熱処理
時間は２０分〜１８０分である特許請求の範囲第１項記
載の有色透明導電膜の形成方法。 - （３）前記保持温度は３００℃程度であり、前記熱処理
時間は１２０分以上である特許請求の範囲第１項記載の
有色透明導電膜の形成方法。 - （４）前記保持温度は４００℃〜５００℃の範囲内であ
り、前記熱処理時間は３０分以上である特許請求の範囲
第１項記載の有色透明導電膜の形成方法。 - （５）前記熱処理時間は５分〜１０分である特許請求の
範囲第１項記載の有色透明導電膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11699685A JPS61273815A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 有色透明導電膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11699685A JPS61273815A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 有色透明導電膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61273815A true JPS61273815A (ja) | 1986-12-04 |
Family
ID=14700889
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11699685A Pending JPS61273815A (ja) | 1985-05-30 | 1985-05-30 | 有色透明導電膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61273815A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005181670A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Ulvac Japan Ltd | 極薄ｉｔｏ膜の製造方法 |
| WO2020174845A1 (ja) * | 2019-02-25 | 2020-09-03 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
-
1985
- 1985-05-30 JP JP11699685A patent/JPS61273815A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005181670A (ja) * | 2003-12-19 | 2005-07-07 | Ulvac Japan Ltd | 極薄ｉｔｏ膜の製造方法 |
| WO2020174845A1 (ja) * | 2019-02-25 | 2020-09-03 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
| JPWO2020174845A1 (ja) * | 2019-02-25 | 2021-03-11 | 株式会社アルバック | 成膜装置 |
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