JPS61265217A - 紡糸ノズル板の製法 - Google Patents
紡糸ノズル板の製法Info
- Publication number
- JPS61265217A JPS61265217A JP61110939A JP11093986A JPS61265217A JP S61265217 A JPS61265217 A JP S61265217A JP 61110939 A JP61110939 A JP 61110939A JP 11093986 A JP11093986 A JP 11093986A JP S61265217 A JPS61265217 A JP S61265217A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- electrode
- nozzle
- plating layer
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/08—Perforated or foraminous objects, e.g. sieves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
- B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass
- B23P15/16—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass plates with holes of very small diameter, e.g. for spinning or burner nozzles
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Spinning Methods And Devices For Manufacturing Artificial Fibers (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ノズルキヤピラルを有する紡糸ノズル板を製
造する方法に関する。
造する方法に関する。
従来の技術
有機もしくは無機材料から成る繊維を大規模に製造する
際には、出発物質は流動性状態で、多数の紡糸ノズル流
路を有する紡糸ノズル流路を通して押出される。紡糸ノ
ズル流路は大抵の場合、紡糸すべき材料が流出するノズ
ルキヤピラルと、紡糸すべき材料が供給される実質的に
別の前流路とから成る。一般に円筒状もしくはホラ・ぐ
状前流路は比較的容易に穿孔又は穿刺によって設けるこ
とができ、一方大抵の場合穿孔された、例えば星形の横
断面を有するノズルキヤピラルを設けるには、高価な技
術、例えば線材腐食又は腐食侵入を必要とする。
際には、出発物質は流動性状態で、多数の紡糸ノズル流
路を有する紡糸ノズル流路を通して押出される。紡糸ノ
ズル流路は大抵の場合、紡糸すべき材料が流出するノズ
ルキヤピラルと、紡糸すべき材料が供給される実質的に
別の前流路とから成る。一般に円筒状もしくはホラ・ぐ
状前流路は比較的容易に穿孔又は穿刺によって設けるこ
とができ、一方大抵の場合穿孔された、例えば星形の横
断面を有するノズルキヤピラルを設けるには、高価な技
術、例えば線材腐食又は腐食侵入を必要とする。
紡糸ノズルは摩耗部材である。穿孔されたノズルキヤピ
ラルを有する特殊な紡糸ノズル板は、従来の製法では製
造すべき繊維製品にとって重要なコスト要因を成す。更
に、穿孔されたノズルキヤピラルのための従来の製法に
お℃・て受容できる費用でもって達成可能な臨界的寸法
の下限は一般に約３０μｍである。それによりフィラメ
ントの構造において制限が生じる。
ラルを有する特殊な紡糸ノズル板は、従来の製法では製
造すべき繊維製品にとって重要なコスト要因を成す。更
に、穿孔されたノズルキヤピラルのための従来の製法に
お℃・て受容できる費用でもって達成可能な臨界的寸法
の下限は一般に約３０μｍである。それによりフィラメ
ントの構造において制限が生じる。
発明が解決しようとする問題
前記従来技術から出発して、本発明の課題は、ノズルキ
ヤピラルの臨界的寸法を受容できる費用でもって公知方
法で達成可能な限界未満の値に低下させることができる
、特に穿孔されたノズルキヤピラルを有する、紡糸ノズ
ル板の製法を提供することであった。
ヤピラルの臨界的寸法を受容できる費用でもって公知方
法で達成可能な限界未満の値に低下させることができる
、特に穿孔されたノズルキヤピラルを有する、紡糸ノズ
ル板の製法を提供することであった。
問題点を解決するための手段
前記課題は、本発明により、ノズルキヤピラルを有する
紡糸ノズル板を製造する方法において、 ａ）高エネルギービームによって特性が可変な材料ない
しはレジスト材料から成る層１１をメッキ電極１２と結
合させ、 ｂ）露光によって生ぜしめられる異なった材料特性を利
用してし・シスト材料を部分的に露光しかつ部分的に除
去することにより、メッキ電極１２と結合されたノズル
キヤピラルの雌型２１を形成させ、 Ｃ）メッキ電極１２上にノズルキヤピラルの雌型２１を
包囲するメッキ層３１を形成させ、メッキ層３１を平坦
にしかつ雌型２１を除去し１ ｄ）メッキ電極を完全に又は部分的に除去すことを特徴
とする、ノズルキヤピラルを有する紡糸ノズル板の製法
により解決される。
紡糸ノズル板を製造する方法において、 ａ）高エネルギービームによって特性が可変な材料ない
しはレジスト材料から成る層１１をメッキ電極１２と結
合させ、 ｂ）露光によって生ぜしめられる異なった材料特性を利
用してし・シスト材料を部分的に露光しかつ部分的に除
去することにより、メッキ電極１２と結合されたノズル
キヤピラルの雌型２１を形成させ、 Ｃ）メッキ電極１２上にノズルキヤピラルの雌型２１を
包囲するメッキ層３１を形成させ、メッキ層３１を平坦
にしかつ雌型２１を除去し１ ｄ）メッキ電極を完全に又は部分的に除去すことを特徴
とする、ノズルキヤピラルを有する紡糸ノズル板の製法
により解決される。
前記方法は、以下の実施態様により有利に実施される。
１、工程Ｃ）においてまず易溶性材料から成る比較的薄
いメッキ層をかつ次いで難溶性材料から成る著しく厚い
メッキ層を析出させ、かつメッキ電極の除去な易溶性層
を溶解させることにより行う。
いメッキ層をかつ次いで難溶性材料から成る著しく厚い
メッキ層を析出させ、かつメッキ電極の除去な易溶性層
を溶解させることにより行う。
２、 メッキ電極がノズルキヤピラルのために特定され
た位置に前流路を内包し、該前流路が容易に除去可能な
充填材料で密封されており、かつ工程ｄ）においてメッ
キ電極の充填材料だけを除去する。
た位置に前流路を内包し、該前流路が容易に除去可能な
充填材料で密封されており、かつ工程ｄ）においてメッ
キ電極の充填材料だけを除去する。
３、工程ｂ）においてレジスト材料のくり返しの部分的
露光及びくり返しの部分的除去により、メッキ電極１２
と前流路の雌型な介して結合されたノズルキヤピラルの
雌型な形成させる。
露光及びくり返しの部分的除去により、メッキ電極１２
と前流路の雌型な介して結合されたノズルキヤピラルの
雌型な形成させる。
実施例
次に本発明を第１〜１１図に示した実施例につき本発明
の詳細な説明する。
の詳細な説明する。
第１図において、１２は板状メッキ電極を示し、該電極
は高エネルギービームによってその特性が可変の材料（
レジスト材料）から成る層１１と結合されている。ビー
ムによって発生ぜしめられる異なった材料特性を利用し
てレジスト材料の高エネルギービーム１３での部分的露
光及び部分的除去により、メッキ電極１２と結合された
ノズルキヤピラルの雌型２１（第２図）を作る。電気め
つき涜内でメッキ電極１２上忙、ノズルキヤピラルの雌
型２１を緊密に包囲するメッキ層３１を形成する（第３
図）。メッキ層３１を平坦にし、雌型２１及びメッキ電
極１２を除去した後に、ノズルキヤピラル４２を有する
紡糸ノズル板４１が残る（第４図）。
は高エネルギービームによってその特性が可変の材料（
レジスト材料）から成る層１１と結合されている。ビー
ムによって発生ぜしめられる異なった材料特性を利用し
てレジスト材料の高エネルギービーム１３での部分的露
光及び部分的除去により、メッキ電極１２と結合された
ノズルキヤピラルの雌型２１（第２図）を作る。電気め
つき涜内でメッキ電極１２上忙、ノズルキヤピラルの雌
型２１を緊密に包囲するメッキ層３１を形成する（第３
図）。メッキ層３１を平坦にし、雌型２１及びメッキ電
極１２を除去した後に、ノズルキヤピラル４２を有する
紡糸ノズル板４１が残る（第４図）。
メッキ電極１２は、それを製造するためにメッキ層３１
を侵食しない溶剤中に溶解する材料を使用した場合には
、溶解により除去することができる。また、メッキ電極
１２の除去は、メッキ層３１の接着強度を公知形式で例
えばメッキ電極１２の不動態化により相応して前処理す
ることにより低下させれば、分解させることなくメッキ
電極１２からのメッキ層３１の早期の剥離により達成す
ることができる。
を侵食しない溶剤中に溶解する材料を使用した場合には
、溶解により除去することができる。また、メッキ電極
１２の除去は、メッキ層３１の接着強度を公知形式で例
えばメッキ電極１２の不動態化により相応して前処理す
ることにより低下させれば、分解させることなくメッキ
電極１２からのメッキ層３１の早期の剥離により達成す
ることができる。
前記の特許請求の範囲第２項記載の有利な実施態様によ
れば、工程Ｃ）においてまず易溶性材料から成る比較的
薄いメッキ層５１（第５図）を、引続き難溶性材料から
成る著しく厚いメッキ層５２を析出させる。次いで、メ
ッキ電極１２の除去は、それを分解させずにかつ紡糸ノ
ズル板として特定されたメッキ層５２を害することなく
易溶性メッキ層５１を溶解させることにより行うことが
できる。この有利な実施態様のも５１つの利点は、ノズ
ルキヤピラルの雌型２１の直接的に隣接した薄いメッキ
層５１がその他の領域内におけるよりも急速に成長する
と〜・う事実に基づく。それにより、メッキ層５１の溶
解後にノズルキヤピラル４２の片面側の拡大部６１（第
６図）が生じ、該拡大部は紡糸すべき材料のための流入
ホラ・ぞとして適当である。
れば、工程Ｃ）においてまず易溶性材料から成る比較的
薄いメッキ層５１（第５図）を、引続き難溶性材料から
成る著しく厚いメッキ層５２を析出させる。次いで、メ
ッキ電極１２の除去は、それを分解させずにかつ紡糸ノ
ズル板として特定されたメッキ層５２を害することなく
易溶性メッキ層５１を溶解させることにより行うことが
できる。この有利な実施態様のも５１つの利点は、ノズ
ルキヤピラルの雌型２１の直接的に隣接した薄いメッキ
層５１がその他の領域内におけるよりも急速に成長する
と〜・う事実に基づく。それにより、メッキ層５１の溶
解後にノズルキヤピラル４２の片面側の拡大部６１（第
６図）が生じ、該拡大部は紡糸すべき材料のための流入
ホラ・ぞとして適当である。
より大きな流入ホツノぞ又はノズルキヤピラルと接続さ
れる前流路が所望であれば、これらは第４図に示した紡
糸ノズル板におけると同様に後から、例えば機械的に又
は放電加工的に設けることができる。この場合には、例
えば前流路を機械的に設ける際にノズルキヤピラル４２
がなお雌型２１で充填されているよ５ＩＣ１工程Ｃ）と
ｄ）の部分の順序を変化させるのが有利な場合もある。
れる前流路が所望であれば、これらは第４図に示した紡
糸ノズル板におけると同様に後から、例えば機械的に又
は放電加工的に設けることができる。この場合には、例
えば前流路を機械的に設ける際にノズルキヤピラル４２
がなお雌型２１で充填されているよ５ＩＣ１工程Ｃ）と
ｄ）の部分の順序を変化させるのが有利な場合もある。
紡糸ノズル板が使用状態で比較的高い圧力に曝されるべ
き場合には、特許請求の範囲第１項又は２項に基づき製
造された紡糸ノズル板を後から前流路を内包する板と固
定結合するのが有利な場合がある、その場合には前流路
はその形及び位置に関して、それらがノズルキヤピラル
に引続くように形成すべきである。固定結合は例えばは
んだ付は又は拡散溶接によって達成することができる。
き場合には、特許請求の範囲第１項又は２項に基づき製
造された紡糸ノズル板を後から前流路を内包する板と固
定結合するのが有利な場合がある、その場合には前流路
はその形及び位置に関して、それらがノズルキヤピラル
に引続くように形成すべきである。固定結合は例えばは
んだ付は又は拡散溶接によって達成することができる。
ノズルキヤピラルを内包するメッキ層と前流路を内包す
る金属板との間の固定結合は、特に簡単なかつ経済的に
は、メッキ電極１２がノズルキヤピラルのために特定さ
れた位置にフロントチャンチャンネル７１を有し、該フ
ロントチャンネルに容易に除去可能な充填材料が充填さ
れており、かつ工程ｄ）でメッキ電極１２の充填材料を
除去することにより達成することができる。そのために
は第７図に基づき、容易に除去可能な充填材料７２で緊
密に充填された前流路７１をノズルキヤピラルのために
特定された位置に内包する金属板をメッキ電極１２とし
て使用することができる。工程ａ）〜Ｃ）を実施しかつ
充填材料７２を除去した後に、メッキ層８３内のノズル
キヤピラル８２及び前流路７１を有する紡糸ノズル板８
１（第８図）かのこる。
る金属板との間の固定結合は、特に簡単なかつ経済的に
は、メッキ電極１２がノズルキヤピラルのために特定さ
れた位置にフロントチャンチャンネル７１を有し、該フ
ロントチャンネルに容易に除去可能な充填材料が充填さ
れており、かつ工程ｄ）でメッキ電極１２の充填材料を
除去することにより達成することができる。そのために
は第７図に基づき、容易に除去可能な充填材料７２で緊
密に充填された前流路７１をノズルキヤピラルのために
特定された位置に内包する金属板をメッキ電極１２とし
て使用することができる。工程ａ）〜Ｃ）を実施しかつ
充填材料７２を除去した後に、メッキ層８３内のノズル
キヤピラル８２及び前流路７１を有する紡糸ノズル板８
１（第８図）かのこる。
充填材料としては、導電性物質或はまた電気絶縁性物質
を使用することができる。導電性充填材料を用いると、
ノズルキヤピラル８２と前流路７１との間に比較的鋭利
な移行部が生じる。
を使用することができる。導電性充填材料を用いると、
ノズルキヤピラル８２と前流路７１との間に比較的鋭利
な移行部が生じる。
電気絶縁材料を用いると、連続的移行部が得られ、この
場合にはこの実地の用途のために一般に有利な効果は、
前流路の最小直径をノズルチャンネルの直径よりも明ら
かに太き（選択することにより一層強化することができ
る。
場合にはこの実地の用途のために一般に有利な効果は、
前流路の最小直径をノズルチャンネルの直径よりも明ら
かに太き（選択することにより一層強化することができ
る。
ノズルキヤピラルが前流路と接続された紡糸ノズル板は
、特に高い品質におい【特許請求の範囲第４項記載に基
づき製造することができる。
、特に高い品質におい【特許請求の範囲第４項記載に基
づき製造することができる。
この場合には、第９図に基づき、レジスト材料の部分的
露光及び部分的除去によりまずメッキ電極１２と結合さ
れた、その直径が前流路の所望の直径に一致するレジス
ト円筒体９１を形成する。引続きレジスト材料の侵入深
さを減小させた部分的露光及び部分的除去により、上記
円筒体から、メッキ電極１２と前流路の雌型１０２の介
在で結合されたノズルキヤピラルの雌型１ｏ１（第１０
図）を形成させる。工程Ｃ）においては、前流路の雌型
１０２だけでなく、またそれと結合された著しく細いノ
ズルキヤピラルの雌型１０１も緊密にメッキ層によって
包囲されることは自明である。この場合には、電気メッ
キ浴のスローイング・ξワー（均一電着性）を合せるこ
とにより、実際的用途のために好ましい、ノズルキヤピ
ラル１１２と前流路１１３との間の連続的移行部１１１
が形成される（第１１図）。
露光及び部分的除去によりまずメッキ電極１２と結合さ
れた、その直径が前流路の所望の直径に一致するレジス
ト円筒体９１を形成する。引続きレジスト材料の侵入深
さを減小させた部分的露光及び部分的除去により、上記
円筒体から、メッキ電極１２と前流路の雌型１０２の介
在で結合されたノズルキヤピラルの雌型１ｏ１（第１０
図）を形成させる。工程Ｃ）においては、前流路の雌型
１０２だけでなく、またそれと結合された著しく細いノ
ズルキヤピラルの雌型１０１も緊密にメッキ層によって
包囲されることは自明である。この場合には、電気メッ
キ浴のスローイング・ξワー（均一電着性）を合せるこ
とにより、実際的用途のために好ましい、ノズルキヤピ
ラル１１２と前流路１１３との間の連続的移行部１１１
が形成される（第１１図）。
高エネルギービームとしては、粒子線並びにまた電磁波
、特に電子シンクロトロンによって発生されるＸ線（シ
ンクロトロンビーム）が該当する。電磁波を使用する際
には所望の構造を形成するために公知方法でマスクを用
いて操作されるが、粒子線を使用する際には該構造な電
磁的制御によって形成させることもできる。
、特に電子シンクロトロンによって発生されるＸ線（シ
ンクロトロンビーム）が該当する。電磁波を使用する際
には所望の構造を形成するために公知方法でマスクを用
いて操作されるが、粒子線を使用する際には該構造な電
磁的制御によって形成させることもできる。
第１〜４図に示した特許請求の範囲第１項記載の方法で
は、メッキ電極１２としてはステンレススチール（材料
ｍ１．４３０１）から成る板を使用する。レジスト層１
１は、メタクリレートベースノ注型樹脂（Ｐｌｅｘｉｔ
７４． Ｒａｈｍ ＧｍｂＨ。
は、メッキ電極１２としてはステンレススチール（材料
ｍ１．４３０１）から成る板を使用する。レジスト層１
１は、メタクリレートベースノ注型樹脂（Ｐｌｅｘｉｔ
７４． Ｒａｈｍ ＧｍｂＨ。
ダルムシュタット在〉をキャストし、引続き硬化させる
ことにより製造する。ＰＭＭＡから成るレジスト層１１
の接着強度を高めるには、メッキ電極１２の表面を平均
粒度１０μｍを有するコランダムを用いたサンドブラス
トにより粗面化する。露光したレジスト材料の現偉は公
知方法で液状現像剤を用いて行う。メッキ層３１は塩化
物不含のスルフアミノ酸ニッケル浴内でメンキ電極１２
上にニッケルを析出させることにより製造する。前記の
薄いメッキ層５１のための材料としては、アルカリ性エ
ツチングにおいて選択的に溶解される銅を使用する。
ことにより製造する。ＰＭＭＡから成るレジスト層１１
の接着強度を高めるには、メッキ電極１２の表面を平均
粒度１０μｍを有するコランダムを用いたサンドブラス
トにより粗面化する。露光したレジスト材料の現偉は公
知方法で液状現像剤を用いて行う。メッキ層３１は塩化
物不含のスルフアミノ酸ニッケル浴内でメンキ電極１２
上にニッケルを析出させることにより製造する。前記の
薄いメッキ層５１のための材料としては、アルカリ性エ
ツチングにおいて選択的に溶解される銅を使用する。
前流路７１を充填するには、メタクリレートベースの非
架橋性の注型用樹脂（Ｐｌｅｘｉｔ Ｍ２Ｏ。
架橋性の注型用樹脂（Ｐｌｅｘｉｔ Ｍ２Ｏ。
Ｒ６ｈｍ ＧｍｂＨ、ダルムシュタット在）を使用し、
該樹脂を工程ａ）〜Ｃ）の実施後にジクロルメタン中で
溶解させる。
該樹脂を工程ａ）〜Ｃ）の実施後にジクロルメタン中で
溶解させる。
特性波長λ。＝０．２ｎｍを有するシンクロトンビーム
を用いて照射する際には、ベリリウム約２０μｍから成
るＸ線に対して十分に透過性のマスク支持体と、厚さ約
１５μｍの金から成るＸ線に対して十分に非透過性の吸
収体から成るＸ線マスクを使用する。
を用いて照射する際には、ベリリウム約２０μｍから成
るＸ線に対して十分に透過性のマスク支持体と、厚さ約
１５μｍの金から成るＸ線に対して十分に非透過性の吸
収体から成るＸ線マスクを使用する。
第１図〜第１１図は、本発明方法の種々の実施例に基づ
き得られた各工程毎の紡糸ノズル板の断面図である。 １１・・・レジスト材料層、１２・・・メッキ電極、２
１・・・雌型、３１・・・メッキ層、５１・・・薄いメ
ッキ層（易溶性）５２・・・厚いメッキ層（難溶性）、
７１・・・前流路、７２・・・充填材料、１０１・・・
ノズルキヤピラルの雌型、１ｏ２・・・前流路の雌型−
一〜の −へ 曽 ぐ Ｌｎ ■Ｌ
Ｌ Ｌ−へ
き得られた各工程毎の紡糸ノズル板の断面図である。 １１・・・レジスト材料層、１２・・・メッキ電極、２
１・・・雌型、３１・・・メッキ層、５１・・・薄いメ
ッキ層（易溶性）５２・・・厚いメッキ層（難溶性）、
７１・・・前流路、７２・・・充填材料、１０１・・・
ノズルキヤピラルの雌型、１ｏ２・・・前流路の雌型−
一〜の −へ 曽 ぐ Ｌｎ ■Ｌ
Ｌ Ｌ−へ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、ノズルキヤピラルを有する紡糸ノズル板を製造する
方法において、 ａ）高エネルギービームによつて特性が可変な材料ない
しはレジスト材料から成る層 （１１）をメッキ電極（１２）と結合させ、ｂ）露光に
よつて生ぜしめられる異なつた材料特性を利用してレジ
スト材料を部分的に 露光しかつ部分的に除去することにより、 メッキ電極（１２）と結合されたノズルキ ヤピラルの雌型（２１）を形成させ、 ｃ）メッキ電極（１２）上にノズルキヤピラルの雌型（
２１）を包囲するメッキ層（３１）を形成させ、メッキ
層（３１）を平坦にし かつ雌型（２１）を除去し、 ｄ）メッキ電極を完全に又は部分的に除去すことを特徴
とする、ノズルキヤピラルを有する紡糸ノズル板の製法
。 ２、工程ｃ）においてまず易溶性材料から成る比較的薄
いメッキ層（５１）をかつ次いで難溶性材料から成る著
しく厚いメッキ層（５２）を析出させ、かつメッキ電極
（１２）の除去を易溶性層（５１）を溶解させることに
より行う特許請求の範囲第１項記載の方法。 ３、メッキ電極（１２）がノズルキヤピラルのために特
定された位置に前流路（７１）を内包し、該前流路が容
易に除去可能な充填材料（７２）で密封されており、か
つ工程ｄ）においてメッキ電極（１２）の充填材料（７
２）だけを除去する特許請求の範囲第１項記載の方法。 ４、工程ｂ）においてレジスト材料のくり返しの部分的
露光及びくり返しの部分的除去により、メッキ電極（１
２）と前流路の雌型（１０２）を介して結合されたノズ
ルキヤピラルの雌型（１０１）を形成させる特許請求の
範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19853517730 DE3517730A1 (de) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | Verfahren zum herstellen von spinnduesenplatten |
| DE3517730.6 | 1985-05-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61265217A true JPS61265217A (ja) | 1986-11-25 |
| JPH0739061B2 JPH0739061B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=6270934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61110939A Expired - Lifetime JPH0739061B2 (ja) | 1985-05-17 | 1986-05-16 | 紡糸ノズル板の製法 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4705605A (ja) |
| EP (1) | EP0202416B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0739061B2 (ja) |
| AT (1) | ATE36260T1 (ja) |
| AU (1) | AU581987B2 (ja) |
| CA (1) | CA1293950C (ja) |
| DE (1) | DE3517730A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3841621A1 (de) * | 1988-12-10 | 1990-07-12 | Draegerwerk Ag | Elektrochemische messzelle mit mikrostrukturierten kapillaroeffnungen in der messelektrode |
| US5189777A (en) * | 1990-12-07 | 1993-03-02 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Method of producing micromachined differential pressure transducers |
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