JPS61262744A - 電子写真感光体 - Google Patents
電子写真感光体Info
- Publication number
- JPS61262744A JPS61262744A JP10634685A JP10634685A JPS61262744A JP S61262744 A JPS61262744 A JP S61262744A JP 10634685 A JP10634685 A JP 10634685A JP 10634685 A JP10634685 A JP 10634685A JP S61262744 A JPS61262744 A JP S61262744A
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- JP
- Japan
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- layer
- aluminum
- electrophotographic photoreceptor
- support
- porous
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
- G03G5/08214—Silicon-based
- G03G5/08221—Silicon-based comprising one or two silicon based layers
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/14—Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
- G03G5/142—Inert intermediate layers
- G03G5/144—Inert intermediate layers comprising inorganic material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
抜擢立見
本発明は電子写真感光体に関し、詳しくは。
光導電層と支持体との間に特定の酸化アルミニウム層を
設けるようにしたアモルファスシリコン系電子写真感光
体に関する。
設けるようにしたアモルファスシリコン系電子写真感光
体に関する。
災来挟生
電子写真感光体における光導電材料としては従来Ｓｓ、
ＺｎＯなどの無機材料やポリ−Ｎ−ビニルカルバゾー
ル、トリニトロフルオレノンなどの有機材料が用いられ
てきたが、最近になって、アモルファスシリコン（以降
ｒ ａ−ｓｉＪと称することがある）が注目されはじめ
ている。これは、ａ−３ｉを光導電層とした電子写真感
光体が従来の電子写真感光体と比較して同様もしくはそ
れ以上の特性を有する他、人及び環境に対しても無害で
あり、耐久性が著しく大きい等の長所を有しているから
である。
ＺｎＯなどの無機材料やポリ−Ｎ−ビニルカルバゾー
ル、トリニトロフルオレノンなどの有機材料が用いられ
てきたが、最近になって、アモルファスシリコン（以降
ｒ ａ−ｓｉＪと称することがある）が注目されはじめ
ている。これは、ａ−３ｉを光導電層とした電子写真感
光体が従来の電子写真感光体と比較して同様もしくはそ
れ以上の特性を有する他、人及び環境に対しても無害で
あり、耐久性が著しく大きい等の長所を有しているから
である。
しかしながら、これまでのａ −３ｉ系電子写真感光体
においては、支持体とａ−Ｓｉ層との密着性が不十分な
ため、支持体表面からのａ −３ｉ層の浮きや剥離、亀
裂等が生じるといった大きな問題が残されている。もっ
とも、こうした問題を解決するものとして （１）支持体表面を化学構造的に水を含む酸化アルミニ
ウム層ムＩ、０．・ｎＨ，Ｏ； ｎ＝１．３）として、
支持体とａ −５ｉ層との密着性を向上させる（特開昭
５７−１０４９３８号公報） （２）支持体上に結晶性シリコン層及びａ −５ｉ層か
らなる複層の光導電層を設けて、支持体とａ−５ｉ層と
の密着性を結晶性シリコン層により向上させる（特開昭
５７−４４１５４号公報）（３）支持体とａ −５ｉ層
との間に窒素原子を構成原子として含有するａ −８ｉ
層の補助層を設け、この補助層により支持体とａ −Ｓ
ｉ層との密着性を向上させる（特開昭５８−１４９０５
６号公報）などの手段が提案されている。これらに共通
していることは、支持体とａ−８ｉ層との間に密着性向
上のための緩衝層（バッファ一層）を設けていることで
ある。しかしながら、このような手段によっても、バッ
ファ一層の含有分子あるいは原子がａ−３ｉ層中へ拡散
し電子写真感光体としての特性を劣化させる、また、バ
ッファ一層の作製方法が複雑である、等のいまだ改良さ
れるべき点が残されている。
においては、支持体とａ−Ｓｉ層との密着性が不十分な
ため、支持体表面からのａ −３ｉ層の浮きや剥離、亀
裂等が生じるといった大きな問題が残されている。もっ
とも、こうした問題を解決するものとして （１）支持体表面を化学構造的に水を含む酸化アルミニ
ウム層ムＩ、０．・ｎＨ，Ｏ； ｎ＝１．３）として、
支持体とａ −５ｉ層との密着性を向上させる（特開昭
５７−１０４９３８号公報） （２）支持体上に結晶性シリコン層及びａ −５ｉ層か
らなる複層の光導電層を設けて、支持体とａ−５ｉ層と
の密着性を結晶性シリコン層により向上させる（特開昭
５７−４４１５４号公報）（３）支持体とａ −５ｉ層
との間に窒素原子を構成原子として含有するａ −８ｉ
層の補助層を設け、この補助層により支持体とａ −Ｓ
ｉ層との密着性を向上させる（特開昭５８−１４９０５
６号公報）などの手段が提案されている。これらに共通
していることは、支持体とａ−８ｉ層との間に密着性向
上のための緩衝層（バッファ一層）を設けていることで
ある。しかしながら、このような手段によっても、バッ
ファ一層の含有分子あるいは原子がａ−３ｉ層中へ拡散
し電子写真感光体としての特性を劣化させる、また、バ
ッファ一層の作製方法が複雑である、等のいまだ改良さ
れるべき点が残されている。
例えば、上記（１）の手段によった場合には、酸化アル
ミニウム層に化学構造的に含まれる多量の水（以下ｒＨ
，０」と称する）からＯＨ基、酸素原子がａ−Ｓｉ層中
に拡散し、長時間にいたっては電子写真感光体としての
特性を劣化させてしまう。また、電子写真感光体が比較
的高温の雰囲気におかれた際には、酸化アルミニウム層
からＨ，Ｏが離脱して層全体に歪が生じ、剥離、亀裂等
が発生する。更に、ここでは酸化アルミニウム層をオー
トクレーブなどによる加圧水蒸気あるいは沸騰水中で封
孔処理しているので、後述のように、ボアのもつアンカ
ー効果をまったく利用していないことになり密着性向上
のためのバッファ一層としての機能も十分といえない。
ミニウム層に化学構造的に含まれる多量の水（以下ｒＨ
，０」と称する）からＯＨ基、酸素原子がａ−Ｓｉ層中
に拡散し、長時間にいたっては電子写真感光体としての
特性を劣化させてしまう。また、電子写真感光体が比較
的高温の雰囲気におかれた際には、酸化アルミニウム層
からＨ，Ｏが離脱して層全体に歪が生じ、剥離、亀裂等
が発生する。更に、ここでは酸化アルミニウム層をオー
トクレーブなどによる加圧水蒸気あるいは沸騰水中で封
孔処理しているので、後述のように、ボアのもつアンカ
ー効果をまったく利用していないことになり密着性向上
のためのバッファ一層としての機能も十分といえない。
そして、大量生産が要求される電子写真感光体材料にお
いて、オートクレーブ等の設備はその要求に反しコスト
、作製時間等の増加につながり、結局、安価な電子写真
感光体の供給が難しくなる。
いて、オートクレーブ等の設備はその要求に反しコスト
、作製時間等の増加につながり、結局、安価な電子写真
感光体の供給が難しくなる。
また、上記（２）（３）の手段によった場合には、層構
成が複雑で作製手法上装置が複雑であり、設備などのコ
スト増加につながり安価な電子写真感光体の供給がむづ
かしくなる。
成が複雑で作製手法上装置が複雑であり、設備などのコ
スト増加につながり安価な電子写真感光体の供給がむづ
かしくなる。
亘−一旗
本発明の第１の目的は、ａ −３ｉ層と支持体とノ密着
性を向上させたことにより高品質、高耐久性を有する電
子写真感光体を提供するものである。本発明の第２の目
的は、比較的容易な手段で製造しうる高品質、高耐久性
を有する電子写真感光体を提供するものである。
性を向上させたことにより高品質、高耐久性を有する電
子写真感光体を提供するものである。本発明の第２の目
的は、比較的容易な手段で製造しうる高品質、高耐久性
を有する電子写真感光体を提供するものである。
青−一衷
本発明は導電性支持体上に水素原子を含むａ−５ｉ層か
らなる光導電層を形成した電子写真感光体において、そ
れら支持体と光導電層との間に、多孔質でかつ封孔処理
されていない酸化アルミニウム層を設けたことを特徴と
している。
らなる光導電層を形成した電子写真感光体において、そ
れら支持体と光導電層との間に、多孔質でかつ封孔処理
されていない酸化アルミニウム層を設けたことを特徴と
している。
ちなみに、本発明者らはａ −５ｉ系電子写真感光体に
ついての研究を行なってきたが、支持体と水素原子を含
むａ −３ｉ層からなる光導電層との間に多孔質酸化ア
ルミニウム層を設けるようにすれば、長時間にわたって
望ましい特性が維持されることを確めた１本発明はかか
る知見に基づいて完成されたものである。
ついての研究を行なってきたが、支持体と水素原子を含
むａ −３ｉ層からなる光導電層との間に多孔質酸化ア
ルミニウム層を設けるようにすれば、長時間にわたって
望ましい特性が維持されることを確めた１本発明はかか
る知見に基づいて完成されたものである。
以下に本発明を添付の図面に従がいながら更に詳細に説
明する。第１図は本発明に係る電子写真感光体の基本的
な層構成を示す断面図であり、１は導電性支持体、２は
多孔質酸化アルミニウム層、３はａ−５ｉ層である。
明する。第１図は本発明に係る電子写真感光体の基本的
な層構成を示す断面図であり、１は導電性支持体、２は
多孔質酸化アルミニウム層、３はａ−５ｉ層である。
ここで、本発明における酸化アルミニウム層２−多孔質
でかつ封孔処理されていない酸化アルミニウム層−の生
成とその構造について簡単に触れることとする。
でかつ封孔処理されていない酸化アルミニウム層−の生
成とその構造について簡単に触れることとする。
アルミニウムを陽極にしである種の電解浴中で電気分解
すると、アルミニウム上に酸化皮膜が形成されるが、電
解浴の種類のちがいにより、バリヤー型皮膜と多孔質型
皮膜（アルマイト）とが形成される。前者は酸化アルミ
ニウムを化学的に溶解する力が小さい酸性の電解浴例え
ば硼酸／硼酸ナトリウム水溶液中で形成し、後者は酸化
アルミニウムを化学的に溶解する力が大きい酸性の電解
浴例えば硫酸水溶液中で形成する。多孔質型皮膜（アル
マイト）の酸化皮膜構造としてはｒ６角柱モデル」が提
案されており、これのポアサイズ（ｐａｒｅ ５ｉｚｅ
）は表−１のとおりであるＣ Ｆ 、ｋｅｌｌｅｒ、Ｍ
、 Ｓ 、Ｈｕｎｔｅｒ ａｎｄ Ｄ 、 Ｌ 。
すると、アルミニウム上に酸化皮膜が形成されるが、電
解浴の種類のちがいにより、バリヤー型皮膜と多孔質型
皮膜（アルマイト）とが形成される。前者は酸化アルミ
ニウムを化学的に溶解する力が小さい酸性の電解浴例え
ば硼酸／硼酸ナトリウム水溶液中で形成し、後者は酸化
アルミニウムを化学的に溶解する力が大きい酸性の電解
浴例えば硫酸水溶液中で形成する。多孔質型皮膜（アル
マイト）の酸化皮膜構造としてはｒ６角柱モデル」が提
案されており、これのポアサイズ（ｐａｒｅ ５ｉｚｅ
）は表−１のとおりであるＣ Ｆ 、ｋｅｌｌｅｒ、Ｍ
、 Ｓ 、Ｈｕｎｔｅｒ ａｎｄ Ｄ 、 Ｌ 。
Ｒｏｂｉｎｓｏｎ ；Ｊ 、 Ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｅｍ
、 Ｓｏｃ 、 、里、４１１（１９５３））。
、 Ｓｏｃ 、 、里、４１１（１９５３））。
なお、多孔質型皮膜（アルマイト皮膜）を水蒸気又は沸
騰水により封孔処理すれば、皮膜表面及びボア壁面に水
和物が生成し、ボアの外側の１口が塞がれる。この水和
物はベーマイトと称せられ８０℃以上で生成する。次に
反応式を示す。
騰水により封孔処理すれば、皮膜表面及びボア壁面に水
和物が生成し、ボアの外側の１口が塞がれる。この水和
物はベーマイトと称せられ８０℃以上で生成する。次に
反応式を示す。
Ａｌ、０３＋）１，０→Ａ１□０３・Ｈ２Ｏ（ベーマイ
ト）本発明においては、このような多孔質の酸化アルミ
ニウム層を未封孔の状態で支持体１とａ−３ｉ層３との
間にバッファ一層として用いるものである＊ａ−５ｉ層
３が水素原子を含むａ −Ｓｉからなっていることは容
易に推察されるところである。
ト）本発明においては、このような多孔質の酸化アルミ
ニウム層を未封孔の状態で支持体１とａ−３ｉ層３との
間にバッファ一層として用いるものである＊ａ−５ｉ層
３が水素原子を含むａ −Ｓｉからなっていることは容
易に推察されるところである。
本発明のバッファ一層として未封孔の状態の多孔質酸化
アルミニウム層２を用いた電子写真感光体は従来の封孔
処理した酸化アルミニウム層を用いた電子写真感光体に
比較して次のごとき有利さが認められる。
アルミニウム層２を用いた電子写真感光体は従来の封孔
処理した酸化アルミニウム層を用いた電子写真感光体に
比較して次のごとき有利さが認められる。
イ）酸化アルミニウム層２中に化学構造的に含まれてい
るＨ、Ｏはボア壁内だけに存在するので、その含有量は
極めて微量である。このため、Ｈ，ＯがＯＨ基、酸素原
子となってａ −３ｉ層３へと拡散する量はほとんど無
視しうるので。
るＨ、Ｏはボア壁内だけに存在するので、その含有量は
極めて微量である。このため、Ｈ，ＯがＯＨ基、酸素原
子となってａ −３ｉ層３へと拡散する量はほとんど無
視しうるので。
電子写真感光体としての特性は長期間にわたって安定で
ある。また、酸化アルミニウム層２からのＨ，Ｏの離脱
は高温においても非常に少ない（６００℃以下なら安定
）ので、歪によるピンホール、クラック等の発生がない
。
ある。また、酸化アルミニウム層２からのＨ，Ｏの離脱
は高温においても非常に少ない（６００℃以下なら安定
）ので、歪によるピンホール、クラック等の発生がない
。
口）未封孔なのでボアの中にもａ −５ｉが入り込み、
アンカー効果により支持体１とａ −５ｉ層３との間の
密着性は著しく向上したものとなる。単位面積当りのボ
アの数は、表−１から推察できるように、非常に多いの
でアンカー効果は顕著である。
アンカー効果により支持体１とａ −５ｉ層３との間の
密着性は著しく向上したものとなる。単位面積当りのボ
アの数は、表−１から推察できるように、非常に多いの
でアンカー効果は顕著である。
本発明電子写真感光体での導電性支持体１とシテハアル
ミニウム、アルミニウム合金の使用が望ましい。ａ−Ｓ
ｉ層３（水素原子を含む）は１〜１００μ腸好ましくは
２〜５０μｍ程度であり、これはグロー放電法、スパッ
タリング法、イオンブレーティング法など公知の手段に
よって形成される。
ミニウム、アルミニウム合金の使用が望ましい。ａ−Ｓ
ｉ層３（水素原子を含む）は１〜１００μ腸好ましくは
２〜５０μｍ程度であり、これはグロー放電法、スパッ
タリング法、イオンブレーティング法など公知の手段に
よって形成される。
次に実施例を示す。
実施例１
下記（ｉ）から（Ｘｉｕ）の工程を経て電子写真感光体
を作成した。
を作成した。
（ｉ ） Ａ ３００３アルミニウム（以下ＡＩと称す
る）を材料とする円筒形導電性支持体（以下ｒＡｌドラ
ム」と称する）の表面を研摩後、十分に洗浄し、室温の
もと１０％ＮａＯＨ水溶液に浸漬し、続いて３０％ＨＮ
Ｏ，水溶液に浸漬し、Ａ１ドラムの表面を脱脂処理した
。
る）を材料とする円筒形導電性支持体（以下ｒＡｌドラ
ム」と称する）の表面を研摩後、十分に洗浄し、室温の
もと１０％ＮａＯＨ水溶液に浸漬し、続いて３０％ＨＮ
Ｏ，水溶液に浸漬し、Ａ１ドラムの表面を脱脂処理した
。
（ｉｉ ）第２図に示す様に、溶槽４に入った電解液５
に上記脱脂処理したＡ１ドラム６を浸漬する。電解液と
しては１５ｗｔ％Ｈ２ＳＯ４水溶液を用いた。
に上記脱脂処理したＡ１ドラム６を浸漬する。電解液と
しては１５ｗｔ％Ｈ２ＳＯ４水溶液を用いた。
（ｉｉｉ）Ａｌドラム６の外周側面と同等もしくはそれ
以上の面積をもった陰極板７を上記電解液５に、浸漬し
、Ａ１ドラムと向かい合うようにする。陰極板７として
ｐｔ板を用いた。
以上の面積をもった陰極板７を上記電解液５に、浸漬し
、Ａ１ドラムと向かい合うようにする。陰極板７として
ｐｔ板を用いた。
（ｉｖ）上記Ａ１ドラム６および陰極板７が各々陽極お
よび陰極になるように電源８を接続する。
よび陰極になるように電源８を接続する。
電源８としては直流電源を用いた。
（ｖ）室温のもとで、Ａ１ドラム６を（数分間）陽極酸
化した。この時、電流密度が約１０ｍＡ／ａＪで一定と
なるように電流計９の表示を見ながら電源８の電圧を調
節する。なお、アルミニウムの酸化反応によって発熱お
よび気体の発生を伴うので、電解液５の冷却および攪拌
を行なった。ここでの攪拌は均一な皮膜を形成するため
にも必要である６ （ｖｉ）陽極酸化終了後、電解液５からＡ１ドラムを引
き上げ、流純水で少なくとも１０分間洗浄した。ボアの
中に電解液が残留すると、電子写真感光体の特性に悪影
響を与えるので、洗浄は十分に行なう必要がある。
化した。この時、電流密度が約１０ｍＡ／ａＪで一定と
なるように電流計９の表示を見ながら電源８の電圧を調
節する。なお、アルミニウムの酸化反応によって発熱お
よび気体の発生を伴うので、電解液５の冷却および攪拌
を行なった。ここでの攪拌は均一な皮膜を形成するため
にも必要である６ （ｖｉ）陽極酸化終了後、電解液５からＡ１ドラムを引
き上げ、流純水で少なくとも１０分間洗浄した。ボアの
中に電解液が残留すると、電子写真感光体の特性に悪影
響を与えるので、洗浄は十分に行なう必要がある。
（ｖｆｉ）洗浄後、Ａ１ドラム表面に生成した多孔質陽
極酸化アルミニウム層（アルマイト層）を乾燥した。ア
ルマイト厚の膜厚は約０．５μ腸であった。
極酸化アルミニウム層（アルマイト層）を乾燥した。ア
ルマイト厚の膜厚は約０．５μ腸であった。
（４）多孔質陽極酸化アルミニウム層（アルマイト層）
を形成したＡｌドラム１０をチャンバー１１内の支持治
具１２に固定し、ドラム回転用モーター１３により回転
させる。
を形成したＡｌドラム１０をチャンバー１１内の支持治
具１２に固定し、ドラム回転用モーター１３により回転
させる。
（汰）ヒーター１４および温度調節器１５により、ドラ
ム表面温度を２００℃で一定に加熱する。
ム表面温度を２００℃で一定に加熱する。
（Ｘ）ガスボンベ元栓１６．１７及び１８、メインバル
ブ１９、バルブ２０を閉じ、粗引きバルブ２１を開き、
ロータリーポンプ２２によりチャンバー１１内の空気を
排気する。
ブ１９、バルブ２０を閉じ、粗引きバルブ２１を開き、
ロータリーポンプ２２によりチャンバー１１内の空気を
排気する。
（ｘｉ ）チャンバー１１内が所定の真空度に到達した
ことを確認したら、粗引きバルブ２１を閉じ、バルブ２
０およびメインバルブ１９を開き、油拡散ポンプ２３に
よりさらに排気する。
ことを確認したら、粗引きバルブ２１を閉じ、バルブ２
０およびメインバルブ１９を開き、油拡散ポンプ２３に
よりさらに排気する。
（鋪）所定の真空度に到達したことを確認したら、各ガ
スボンベ２７．２８．２９の元栓１６．１７，１８を開
き、マスフローメーター２４．２５．２６を見ながら各
ガス成分を所定の流量に調整しバルブ３２を開けてチャ
ンバー内に導入する。ここで用いるガスの種類は、表−
２の通りである。
スボンベ２７．２８．２９の元栓１６．１７，１８を開
き、マスフローメーター２４．２５．２６を見ながら各
ガス成分を所定の流量に調整しバルブ３２を開けてチャ
ンバー内に導入する。ここで用いるガスの種類は、表−
２の通りである。
表−２
（ｘｉｕ）真空度をＩ Ｔｏｒｒ、ドラム表面温度を２
００℃に保ちながら、高周波電源３０により高周波電力
を電極３１に印加し、 Ａｌドラム１０表面に下記表−
３の条件でａ −３ｉ層（水素原子を含む）をたい積し
た。
００℃に保ちながら、高周波電源３０により高周波電力
を電極３１に印加し、 Ａｌドラム１０表面に下記表−
３の条件でａ −３ｉ層（水素原子を含む）をたい積し
た。
表−３
ａ−５ｉ層（水素原子を含む）は約６時間にわたりたい
積させた。生成したａ−Ｓｉ層（水素原子を含む）の厚
さは約２０μｍであった・このようにしてつくった電子
写真感光体を実装試験によりその特性を評価した。即ち
、（ａ）暗中において電源電圧６ＫＶで正コロナ放電を
施す、（ｂ）９５ルツクスの光量で画像露光を行ない静
電像を形成する、更に（ｃ）負の電荷をもつトナーで現
像し、転写紙（普通紙）上に転写定着する、という画像
形成プロセスを繰り返し施して、１枚目の転写紙上の画
像と５万枚目の転写紙上の画像とを比較した。
積させた。生成したａ−Ｓｉ層（水素原子を含む）の厚
さは約２０μｍであった・このようにしてつくった電子
写真感光体を実装試験によりその特性を評価した。即ち
、（ａ）暗中において電源電圧６ＫＶで正コロナ放電を
施す、（ｂ）９５ルツクスの光量で画像露光を行ない静
電像を形成する、更に（ｃ）負の電荷をもつトナーで現
像し、転写紙（普通紙）上に転写定着する、という画像
形成プロセスを繰り返し施して、１枚目の転写紙上の画
像と５万枚目の転写紙上の画像とを比較した。
その結果、両者の間に濃度差はほとんど認められず、ま
た白ヌケ、ゴーストなどの異常画像の発生もみられなか
った。実装試験終了後の電子写真感光体を観察したとこ
ろ、ａ −Ｓｉ層（水素原子を含む）の剥離や亀裂など
の発生もまったく認められなかった。
た白ヌケ、ゴーストなどの異常画像の発生もみられなか
った。実装試験終了後の電子写真感光体を観察したとこ
ろ、ａ −Ｓｉ層（水素原子を含む）の剥離や亀裂など
の発生もまったく認められなかった。
なお、上記プロセスにおいてＡ１ドラム６の電解浴とし
ては上記硫酸浴以外に、燐酸浴、クロム酸浴等の無機酸
浴、あるいは蓚酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いる
ことができる。そして、陰極材料としては、カーボンや
ステンレス材をも用いることができる。また、陽極酸化
の電解波形としては、直流以外に、パルスやバイアスの
のった交流等も利用できる。
ては上記硫酸浴以外に、燐酸浴、クロム酸浴等の無機酸
浴、あるいは蓚酸浴、マロン酸浴等の有機酸浴を用いる
ことができる。そして、陰極材料としては、カーボンや
ステンレス材をも用いることができる。また、陽極酸化
の電解波形としては、直流以外に、パルスやバイアスの
のった交流等も利用できる。
実施例２
実施例１のプロセス（ｉ）〜（報）で多孔質陽極酸化ア
ルミニウム層（アルマイト層）を形成したＡｌドラム表
面の上に、反応性スパッタリング法によりａ−５ｉ層（
水素原子を含む、厚さ約２０μ、）をたい積した。ａ
−３ｉ層（水素原子を含む）の生成条件は表−４のとお
りである。
ルミニウム層（アルマイト層）を形成したＡｌドラム表
面の上に、反応性スパッタリング法によりａ−５ｉ層（
水素原子を含む、厚さ約２０μ、）をたい積した。ａ
−３ｉ層（水素原子を含む）の生成条件は表−４のとお
りである。
こうして作製された電子写真感光体を実施例１と同じ実
装試験に供したところ、実施例１と同様良好な結果が得
られた。
装試験に供したところ、実施例１と同様良好な結果が得
られた。
効 果
本発明によって得られた電子写真感光体は、実施例の記
載から明らかなように、高品質、高耐久性を有する非常
に信頼性の高いものとなっている。また、本発明の電子
写真感光体はその作製過程で封孔処理をしていないので
製造が容易であり低コストで作製できる。
載から明らかなように、高品質、高耐久性を有する非常
に信頼性の高いものとなっている。また、本発明の電子
写真感光体はその作製過程で封孔処理をしていないので
製造が容易であり低コストで作製できる。
第１図は本発明に係る電子写真感光体の断面図、第１図
は本発明の電子写真感光体を製造する際のアルミニウム
ドラムのアルマイト処理を表わす図、第３図は本発明電
子写真感光体を製造するためのプラズマＣＶＤ装置を表
わす図である。 １・・・支持体 ２・・・多孔質酸化アルミニウム層 ３・・・ａ −３Ｌ層 ４・・・浴槽 ５・・・電解液６・
・・ＡＩドラム ７・・・陰極板８・
・・電源 ９・・・電流計１０・・
・アルマイト処理 １１−１．チャンバー後の
Ａ１ドラム １２・・・支持治具 １３・・・ドラム回転用モーター １４・・・ヒーター １５・・・温度調
節器１６．１７，１８・・・ガスボンベ元栓１９・・・
メインバルブ ２０・・・バルブ ２１・・・粗引バ
ルブ２２・・・ロータリーポンプ ２３・・・油
拡散ポンプ２４．２５．２６・・・マスフロメーター２
７．２８．２９・・・ガスボンベ ３０・・・高周波電源 ３１・・・電極３
２・・・バルブ 篤３図 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 昭和６０年特許願第１０６３４６号 補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 （６７４）株式会社リコー （外１名）代表者浜 １）
広
は本発明の電子写真感光体を製造する際のアルミニウム
ドラムのアルマイト処理を表わす図、第３図は本発明電
子写真感光体を製造するためのプラズマＣＶＤ装置を表
わす図である。 １・・・支持体 ２・・・多孔質酸化アルミニウム層 ３・・・ａ −３Ｌ層 ４・・・浴槽 ５・・・電解液６・
・・ＡＩドラム ７・・・陰極板８・
・・電源 ９・・・電流計１０・・
・アルマイト処理 １１−１．チャンバー後の
Ａ１ドラム １２・・・支持治具 １３・・・ドラム回転用モーター １４・・・ヒーター １５・・・温度調
節器１６．１７，１８・・・ガスボンベ元栓１９・・・
メインバルブ ２０・・・バルブ ２１・・・粗引バ
ルブ２２・・・ロータリーポンプ ２３・・・油
拡散ポンプ２４．２５．２６・・・マスフロメーター２
７．２８．２９・・・ガスボンベ ３０・・・高周波電源 ３１・・・電極３
２・・・バルブ 篤３図 手続補正書 （方式） ％式％ 事件の表示 昭和６０年特許願第１０６３４６号 補正をする者 事件との関係 特許出願人 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 （６７４）株式会社リコー （外１名）代表者浜 １）
広
Claims (1)
- １、導電性支持体上に水素原子を含むアモルファスシリ
コンからなる光導電層を形成した電子写真感光体におい
て、前記支持体と光導電層との間に、多孔質でかつ封孔
処理されていない酸化アルミニウム層を設けたことを特
徴とする電子写真感光体。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10634685A JPS61262744A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 電子写真感光体 |
| DE19863616607 DE3616607A1 (de) | 1985-05-17 | 1986-05-16 | Lichtempfindliches material fuer die elektrophotographie |
| US07/142,286 US4792510A (en) | 1985-05-17 | 1987-12-30 | Electrophotographic element with silicide treated porous Al2 O3 sublayer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10634685A JPS61262744A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 電子写真感光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61262744A true JPS61262744A (ja) | 1986-11-20 |
Family
ID=14431245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10634685A Pending JPS61262744A (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 | 電子写真感光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61262744A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243066A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| JPH05210245A (ja) * | 1990-12-15 | 1993-08-20 | Fuji Xerox Co Ltd | アルミニウムまたはアルミニウム合金の陽極酸化皮膜の封孔処理方法および静電荷像担持用誘電体部材 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4914270A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-02-07 | ||
| JPS5022637A (ja) * | 1973-06-26 | 1975-03-11 | ||
| JPS585749A (ja) * | 1981-07-01 | 1983-01-13 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
| JPS58219565A (ja) * | 1982-06-15 | 1983-12-21 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 感光体 |
| JPS61140947A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-28 | Komatsu Ltd | 電子写真用感光体の製造方法 |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP10634685A patent/JPS61262744A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4914270A (ja) * | 1972-03-20 | 1974-02-07 | ||
| JPS5022637A (ja) * | 1973-06-26 | 1975-03-11 | ||
| JPS585749A (ja) * | 1981-07-01 | 1983-01-13 | Minolta Camera Co Ltd | 感光体 |
| JPS58219565A (ja) * | 1982-06-15 | 1983-12-21 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 感光体 |
| JPS61140947A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-28 | Komatsu Ltd | 電子写真用感光体の製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01243066A (ja) * | 1988-03-25 | 1989-09-27 | Fuji Xerox Co Ltd | 電子写真用感光体 |
| JPH05210245A (ja) * | 1990-12-15 | 1993-08-20 | Fuji Xerox Co Ltd | アルミニウムまたはアルミニウム合金の陽極酸化皮膜の封孔処理方法および静電荷像担持用誘電体部材 |
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