JPS61248830A - パレツトに貼つたシ−トの剥離方法 - Google Patents
パレツトに貼つたシ−トの剥離方法Info
- Publication number
- JPS61248830A JPS61248830A JP60086811A JP8681185A JPS61248830A JP S61248830 A JPS61248830 A JP S61248830A JP 60086811 A JP60086811 A JP 60086811A JP 8681185 A JP8681185 A JP 8681185A JP S61248830 A JPS61248830 A JP S61248830A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pallet
- sheet
- tape
- vacuum chuck
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Separation, Sorting, Adjustment, Or Bending Of Sheets To Be Conveyed (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
セラミックシート等をパレット（治具）に両面テープで
貼って自動的に処理するときに、他の機械的手段により
セラミックシートを前記パレットから自動的に剥離する
方法である。
貼って自動的に処理するときに、他の機械的手段により
セラミックシートを前記パレットから自動的に剥離する
方法である。
（産業上の利用分野〕
本発明はバレッ斗に両面テープで貼ったセラミックシー
ト等（以下シートという）の剥離方法、例えばセラミッ
クパッケージの製造工程においてパレットに両面テープ
で貼ったシートを真空吸着装置および複数のピンを配置
した治具を用い簡単に剥離する方法に関する。
ト等（以下シートという）の剥離方法、例えばセラミッ
クパッケージの製造工程においてパレットに両面テープ
で貼ったシートを真空吸着装置および複数のピンを配置
した治具を用い簡単に剥離する方法に関する。
集積回路が形成された半導体チップを内蔵するセラミッ
クパッケージは知られている。それの製造方法を簡単に
説明すると、１枚の大寸法のセラミックシートフープ材
から所定の寸法のシートをプレスを用いて切り出し、次
に各シートに位置ぎめ用の穴を形成する。なお、セラミ
ックシートはグリンシートとも呼称される。
クパッケージは知られている。それの製造方法を簡単に
説明すると、１枚の大寸法のセラミックシートフープ材
から所定の寸法のシートをプレスを用いて切り出し、次
に各シートに位置ぎめ用の穴を形成する。なお、セラミ
ックシートはグリンシートとも呼称される。
次に位置ぎめピンが形成された治具上にシートを穴とピ
ンとを合致させることによって位置ぎめし、そこで印刷
、ブランク（打抜き）などの工程を行う。
ンとを合致させることによって位置ぎめし、そこで印刷
、ブランク（打抜き）などの工程を行う。
次いで位置ぎめピンが設けられた治具内に所定の数のシ
ートを積み重ね、これらのシートを押圧して積層する。
ートを積み重ね、これらのシートを押圧して積層する。
かくして得られた積層体を次に個々のセラミック体に分
割し、それらのセラミック体を焼成して半導体チップを
内蔵するための個々のセラミックパッケージが形成され
る。
割し、それらのセラミック体を焼成して半導体チップを
内蔵するための個々のセラミックパッケージが形成され
る。
上記したシートの取り扱いを例えばロボットハンドの如
き機械装置を用い自動的になす目的で、本願の発明者は
、パレットに両面テープ（以下テープという）を用いて
シートを固定し、このようなパレットをロボットハンド
を用いて取り扱う技術を開発した。そのためには、第４
図の斜視図に示される中心部が穴になった４辺をもった
構造のパレット２１を用意し、このパレットにはロボッ
トハンドの位置ぎめ用凹部２２と加工機の位置ぎめ用の
凹部２３が形成され、このパレットの接着部２４にテー
プを貼り付け、シート２５を接着部２４の上に置くこと
によってシート２５をパレット２１に固定し、パレット
２１をロボットハンドで取り扱う。
き機械装置を用い自動的になす目的で、本願の発明者は
、パレットに両面テープ（以下テープという）を用いて
シートを固定し、このようなパレットをロボットハンド
を用いて取り扱う技術を開発した。そのためには、第４
図の斜視図に示される中心部が穴になった４辺をもった
構造のパレット２１を用意し、このパレットにはロボッ
トハンドの位置ぎめ用凹部２２と加工機の位置ぎめ用の
凹部２３が形成され、このパレットの接着部２４にテー
プを貼り付け、シート２５を接着部２４の上に置くこと
によってシート２５をパレット２１に固定し、パレット
２１をロボットハンドで取り扱う。
シートの加工が終了した後に、パレットを再使用するた
めにはテープで貼ったシートの不要部をテープごと剥離
しなければならない。従来は、溶剤でテープを溶かした
り、洗浄機で洗ったり、またはロボットハンドで剥離す
る方法があるが、いずれの方法においても、後処理など
で装置が大がかりになりパレットを用いる自動化による
コスト低減の利点が減殺される問題、機械的構造が複雑
になりそれの保守管理が難しくなる問題、剥離中のテー
プの切れの検出が必要になる問題があり、これらの問題
を解決しようとするとテープ剥離装置が複雑になる。
めにはテープで貼ったシートの不要部をテープごと剥離
しなければならない。従来は、溶剤でテープを溶かした
り、洗浄機で洗ったり、またはロボットハンドで剥離す
る方法があるが、いずれの方法においても、後処理など
で装置が大がかりになりパレットを用いる自動化による
コスト低減の利点が減殺される問題、機械的構造が複雑
になりそれの保守管理が難しくなる問題、剥離中のテー
プの切れの検出が必要になる問題があり、これらの問題
を解決しようとするとテープ剥離装置が複雑になる。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、上述
の諸工程をロボットハンドを用い自動的になすことを可
能にする方法を提供することを目的とする。
の諸工程をロボットハンドを用い自動的になすことを可
能にする方法を提供することを目的とする。
第１図（ａ）ないしくＣ）に本発明の詳細な説明する断
面図が示される。
面図が示される。
第１図（ａ）に示される如くシートを真空引きしながら
ピン２８を押し当て、 次に第１図（ｂｌに示される如く、パレット２１のみを
下へ押し下げ、 最後に第１図（Ｃ）に示される如く真空チャック１１に
残ったシート２５のハンドリングを行う。
ピン２８を押し当て、 次に第１図（ｂｌに示される如く、パレット２１のみを
下へ押し下げ、 最後に第１図（Ｃ）に示される如く真空チャック１１に
残ったシート２５のハンドリングを行う。
上記方法においては、真空吸引装置でシートをテープと
共にパレットから離脱させ、テープをハンドリングし易
い状態においた後に負圧を開放し、圧気を加えると真空
チャックより落ちるので剥がしたシートとテープを１カ
所に積み重ねることができる。
共にパレットから離脱させ、テープをハンドリングし易
い状態においた後に負圧を開放し、圧気を加えると真空
チャックより落ちるので剥がしたシートとテープを１カ
所に積み重ねることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第２図に本発明の方法を実施するに用いるパレット２１
が示され、このパレット２１は第７図に示すパレットを
変形したものである。パレットのテープを貼る接着部（
砂地で示す）２４には数ｒｎＩ１１から数十ｌ１ｌ１１
の間隔で穴２６があけである。なお、パレット２１には
第７図に示したものと同様のロボットハンドリング位置
ぎめ用凹部と加工機との位置ぎめ用凹部が形成されるが
、これらの凹部は第２図において図面を簡略化するため
省略した。
が示され、このパレット２１は第７図に示すパレットを
変形したものである。パレットのテープを貼る接着部（
砂地で示す）２４には数ｒｎＩ１１から数十ｌ１ｌ１１
の間隔で穴２６があけである。なお、パレット２１には
第７図に示したものと同様のロボットハンドリング位置
ぎめ用凹部と加工機との位置ぎめ用凹部が形成されるが
、これらの凹部は第２図において図面を簡略化するため
省略した。
一方、前記した穴２６と同間隔のピン２８を設けた治具
２７を用意する。ピン２８の直径は穴２６を自由に貫通
できる寸法に設定する。
２７を用意する。ピン２８の直径は穴２６を自由に貫通
できる寸法に設定する。
第１図に本発明方法の原理を断面図で示す。なお第１図
において、第２図に示す部分と同じ部分は同一符号を付
して表示する。第１図で、１１は真空チャックを示し、
シート２５の下面にテープ２９が貼り付けである。
において、第２図に示す部分と同じ部分は同一符号を付
して表示する。第１図で、１１は真空チャックを示し、
シート２５の下面にテープ２９が貼り付けである。
第１図（ａｌに示される如くパレット２１は押え板１２
によってクランプされ、押え板１２はピストン１３の駆
動によって可動である。操作においては、シート２５を
真空チャック１１で真空引きしながら治具２７のピン２
８をシート２５の下のテープ２９に押し当てる。
によってクランプされ、押え板１２はピストン１３の駆
動によって可動である。操作においては、シート２５を
真空チャック１１で真空引きしながら治具２７のピン２
８をシート２５の下のテープ２９に押し当てる。
次に、第１図（ｂ）に示される如く、パレット２１のみ
下へ押し下げる。なお、第１図（ｂｌと次の（Ｃ１で押
え板１２は図を簡略化するため省略する。このとき、テ
ープが貼り付けられたままのシート２５は真空チャック
１１に吸引されたままである。
下へ押し下げる。なお、第１図（ｂｌと次の（Ｃ１で押
え板１２は図を簡略化するため省略する。このとき、テ
ープが貼り付けられたままのシート２５は真空チャック
１１に吸引されたままである。
次に、第１図（Ｃ）に示される如く真空チャック１１を
目的の場所まで移動させ真空チャック１１の負圧を開放
し、圧気を加えるとテープは真空チャックより離れ落ち
る。こうして剥がしたシートを集める。
目的の場所まで移動させ真空チャック１１の負圧を開放
し、圧気を加えるとテープは真空チャックより離れ落ち
る。こうして剥がしたシートを集める。
かかる方法においては、テープがパレットに貼り付けら
れたままでおかれることがないので従来の問題は解決さ
れ、またテープはシートから剥離するのであるから剥離
が簡単になされる利点がある。
れたままでおかれることがないので従来の問題は解決さ
れ、またテープはシートから剥離するのであるから剥離
が簡単になされる利点がある。
なお、治具のピン４８の先端に、テープとの接触面積が
小になるように溝を形成しまたはテフロンコーティング
を施すと、ピンの先端がテープに粘着しなくなり、作業
がより効率良〈実施される。
小になるように溝を形成しまたはテフロンコーティング
を施すと、ピンの先端がテープに粘着しなくなり、作業
がより効率良〈実施される。
次に、第１図に概略的に示した機構をより詳細に説明す
る。第３図と第４図に本発明の方法を実施するシート剥
がし機の要部が一部切欠正面図と側断面図で示され、図
で１１．１２．１３は第１図の場合と同様に真空チャッ
ク、押え板、シリンダをそれぞれ示し、更に、１４は受
は板、１５は服送部、１Ｂはコンベア、１７．１８．１
９はシリンダ、２０はプーリー、３０はベルトを示す。
る。第３図と第４図に本発明の方法を実施するシート剥
がし機の要部が一部切欠正面図と側断面図で示され、図
で１１．１２．１３は第１図の場合と同様に真空チャッ
ク、押え板、シリンダをそれぞれ示し、更に、１４は受
は板、１５は服送部、１Ｂはコンベア、１７．１８．１
９はシリンダ、２０はプーリー、３０はベルトを示す。
上記のセラミックシート剥がし機の操作は、第５図に示
す順序で行う。先ず第５図（ａ）に示される如く剥がし
機にパレット２１が供給されると、それはコンベア１６
によって第３図に■で示す位置まで送られ、ストッパに
よって所定の位置に止る。なお第５図において、■、■
と示した部分は第３図の位置■、■に対応する。搬送部
１５は、■の位置から■の位置へシリンダ１７により矢
印Ｉで示す如く移動する。
す順序で行う。先ず第５図（ａ）に示される如く剥がし
機にパレット２１が供給されると、それはコンベア１６
によって第３図に■で示す位置まで送られ、ストッパに
よって所定の位置に止る。なお第５図において、■、■
と示した部分は第３図の位置■、■に対応する。搬送部
１５は、■の位置から■の位置へシリンダ１７により矢
印Ｉで示す如く移動する。
搬送部１５は次に第５図（ｂ）に矢印■で示す如くシリ
ンダ１８により上昇しパレット２１を乗せる。
ンダ１８により上昇しパレット２１を乗せる。
次に第５図（Ｃ１に矢印■で示す如く、パレット２１を
乗せた搬送部１５はシリンダ１７により■の位置へ戻り
、第５図（ｄ）に矢印ｔＶで示す如く下降する。この位
置でパレット２１は受は板１４に乗る。
乗せた搬送部１５はシリンダ１７により■の位置へ戻り
、第５図（ｄ）に矢印ｔＶで示す如く下降する。この位
置でパレット２１は受は板１４に乗る。
次にシート剥がしを第６図を参照してｉ党明する。
同図（ａ）に示される如く押え板１２がシリンダ１３に
よって矢印方向に押し出され、受は板１４と押え板１２
によってパレット２１がクランプされる。
よって矢印方向に押し出され、受は板１４と押え板１２
によってパレット２１がクランプされる。
次に、第６図（ｂ）に示される如く、真空チャック１１
が矢印方向に下りてきてパレット２１の上のシートに負
圧を加える。
が矢印方向に下りてきてパレット２１の上のシートに負
圧を加える。
次に、第６図（Ｃ）に示される如くシリンダ１９によっ
て受は板１４、押え板１２が下降し、治具のピン２８に
よってシート２５とテープ２９が剥がされる。このとき
、真空チャック１１はストロークの余量によりピン２８
に当るまで同時に下降する。
て受は板１４、押え板１２が下降し、治具のピン２８に
よってシート２５とテープ２９が剥がされる。このとき
、真空チャック１１はストロークの余量によりピン２８
に当るまで同時に下降する。
吸引されたシート２５は次に真空チャックにょうて排出
され、パレット２１は再び上昇し、次のパレットが運ば
れてくるとき、搬送部１５の端部で後の工程のコンベア
に押し出される。
され、パレット２１は再び上昇し、次のパレットが運ば
れてくるとき、搬送部１５の端部で後の工程のコンベア
に押し出される。
以上述べてきたように、本発明によれば、装置は簡単な
真空吸着装置付ハンドラー、治具などで構成され、工程
数も少ないので、従来に比べ価格が安く構造が簡単にな
る分保守管理が容易になり、維持費用が安価ですみ、処
理速度も早められる効果がある。なお本発明の方法はセ
ラミックシートの場合に限定されるものでなく、高分子
シート等信の材料にも適用可能である。
真空吸着装置付ハンドラー、治具などで構成され、工程
数も少ないので、従来に比べ価格が安く構造が簡単にな
る分保守管理が容易になり、維持費用が安価ですみ、処
理速度も早められる効果がある。なお本発明の方法はセ
ラミックシートの場合に限定されるものでなく、高分子
シート等信の材料にも適用可能である。
第１図は本発明の原理を示す断面図、
第２図は本発明に用いるパレットと治具の斜視図、
第３図はシート剥がし機要部の一部切欠正面図、第４図
はシート剥がし機要部の側断面図、第５図はシート剥が
し機の搬送機構を示す断面図、 第６図はシート剥がしを示す断面図、 第７図は従来のパレットの平面図、 第１図ないし第７図において、 １１は真空チャック、 １２は押え坂、 １３、１７． １８．１９はシリンダ、１４は受は板、 １５は搬送部、 １６はコンベア、 ２０はプーリー、 ２１はパレット、 ２２はロボットハンドリング位置ぎめ用凹部、２３は加
工機との位置ぎめ用凹部、 ２４は接着部、 ２５はセラミックシート、 ２６は穴、 ２７は治具１ ．２Ｂはピン、 ２９は両面テープ、 ３０はベルトである。 本勢明摩理を示１眸面田 第１図 本４９８ ＋−Ｊ’Ｆ！いるパレ・ットＬ泊臭の柩図第
２図
はシート剥がし機要部の側断面図、第５図はシート剥が
し機の搬送機構を示す断面図、 第６図はシート剥がしを示す断面図、 第７図は従来のパレットの平面図、 第１図ないし第７図において、 １１は真空チャック、 １２は押え坂、 １３、１７． １８．１９はシリンダ、１４は受は板、 １５は搬送部、 １６はコンベア、 ２０はプーリー、 ２１はパレット、 ２２はロボットハンドリング位置ぎめ用凹部、２３は加
工機との位置ぎめ用凹部、 ２４は接着部、 ２５はセラミックシート、 ２６は穴、 ２７は治具１ ．２Ｂはピン、 ２９は両面テープ、 ３０はベルトである。 本勢明摩理を示１眸面田 第１図 本４９８ ＋−Ｊ’Ｆ！いるパレ・ットＬ泊臭の柩図第
２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 被加工シートの接着部（２４）に複数の穴（２６）を
設けたパレット（２１）に貼りつけられたシートの剥離
方法であって、被加工シート（２５）の接着面とは反対
側を真空チャック（１１）により真空吸引して被加工シ
ート（２５）をパレット（２１）と共に保持した状態で
パレット（２１）の穴（２６）の位置に対応する位置に
設けた治具（２７）のピン（２８）を押し当て、 しかる後にパレット（２１）のみを真空吸引状態から引
き離し、 次いで真空吸引された被加工シート（２５）の下が開放
された状態で剥離することを特徴とするパレットに貼っ
たシートの剥離方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60086811A JPS61248830A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | パレツトに貼つたシ−トの剥離方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60086811A JPS61248830A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | パレツトに貼つたシ−トの剥離方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61248830A true JPS61248830A (ja) | 1986-11-06 |
| JPH0353223B2 JPH0353223B2 (ja) | 1991-08-14 |
Family
ID=13897193
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60086811A Granted JPS61248830A (ja) | 1985-04-23 | 1985-04-23 | パレツトに貼つたシ−トの剥離方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61248830A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030094445A (ko) * | 2002-06-04 | 2003-12-12 | 주식회사 신기원 | 유연회로기판 제조 장치 및 그 방법 |
-
1985
- 1985-04-23 JP JP60086811A patent/JPS61248830A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030094445A (ko) * | 2002-06-04 | 2003-12-12 | 주식회사 신기원 | 유연회로기판 제조 장치 및 그 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0353223B2 (ja) | 1991-08-14 |
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