JPS61248712A - マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ - Google Patents

マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ

Info

Publication number
JPS61248712A
JPS61248712A JP8904385A JP8904385A JPS61248712A JP S61248712 A JPS61248712 A JP S61248712A JP 8904385 A JP8904385 A JP 8904385A JP 8904385 A JP8904385 A JP 8904385A JP S61248712 A JPS61248712 A JP S61248712A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plunger
section
main body
resin
tip end
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP8904385A
Other languages
English (en)
Inventor
Michitoshi Sera
世良 通利
Kiyoshi Aoki
清 青木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP8904385A priority Critical patent/JPS61248712A/ja
Priority to US06/833,597 priority patent/US4708613A/en
Publication of JPS61248712A publication Critical patent/JPS61248712A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/46Means for plasticising or homogenising the moulding material or forcing it into the mould
    • B29C45/58Details
    • B29C45/586Injection or transfer plungers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の技術分野] この発明はマルチプランジャ型レジンモールド装置のプ
ランジャに関し、特に、従来品よりもはるかに耐摩耗性
が高いプランジャに関するものである。
[発明の技術的背景] 半導体装置など電子部品の樹脂封止に使用されるトラン
スファモールド装置では、シングルポットシングルプラ
ンジレ型が酋通であるが、最近ポットとキャビティとの
間のランナ一部分をなくしたマルチポットマルチプラン
ジャ型が採用されるようになってきた。
第6図乃至第8図を参照して本発明に関連する公知のマ
ルチプランジャ型レジンモールド装置の概略構造及び作
動について説明する。 第6図乃至第8図において、第
6図は上金型の斜視図、第7図は下金型の平面図、第8
図は成形時の状態の上金型及び下金型の横断面図である
同図において、1は上金型、2は下金型であり、両者の
相対向する面には複数のカル3、カル3に連通するゲー
ト4、及びキャビティ5が形成されている。 また、上
金型には各カル3に連通ずるシリンダ形の複数のポット
6が設けられ、この各ポット6内にはその中を昇降動す
るプランジャ7が挿入されるようになっている。 前記
金型は樹脂封止型半導体装置の樹脂製外囲器部分を成形
するだめのものであり、キャビティ5の形状は樹脂封止
型半導体装置の外囲器部分の形状となっている。
成形時には、成形用樹脂の硬化温度(たとえば180℃
程度)に上下の金型を加熱しておく一方、予め半導体チ
ップを搭載したリードフレームFを第8図の如く下金型
2の上に置い゛た後、下金型2を上昇させて型締めを行
う。 次に、第6図に示すように各ポット6の上方の口
から各ポット6内に短円柱状の樹脂タブレットTを挿入
して該樹脂タブレットTを溶融させつつ各ポットG内で
プランジャ7を降下させ、これにより溶融樹脂を該プラ
ンジせ7の圧力でカル3、ゲート4を通ってキャビティ
5内に圧入する。 キャビティ5内への溶融樹脂の充填
後、一定時間、加圧保持して樹脂を硬化させた後、プラ
ンジャ7を上昇させて圧力を除き、しかる後、型開きを
行って、リードフレームFと一体になった成形品を型内
から取り出す。
前記のごときマルチプランジャ型レジンモールド装置で
は、そのプランジャとして、焼入れ処理したダイス鋼、
高速度鋼、あるいは粉末高速度鋼などの素材で構成され
るとともにその表面に 1〜10μ園程度の硬質クロム
めっきを施したプランジャが使用されていた。
[背景技術の問題点] 前記のごときマルチプランジャ型レジンモールド装置に
おいては従来のシングルポットシングルブランジャ型レ
ジンモールド装置にくらべて4〜5倍の高速サイクル(
約60秒/サイクル)で成形が行われるため、前記のご
とき従来のプランジャでは極めて摩耗が速く、寿命が短
かったくたとえば7日から14日程度)。
このため次のような問題が生じていた。
(+)  摩耗が早いのでポットの内周面とプランジャ
の外周面との間のクリアランスが大きくなり、該クリア
ランスに樹脂が入り込んでプランジャの摩擦抵抗が急増
し、その結果、キャビティ内への樹脂充填圧力が低下し
、充填不足による成形不良や巣の発生による成形不良が
発生し、半導体装置の製品歩留りを悪化させていた。
(11)  ポットとプランジャとの間に生じたクリア
ランスに入り込んだ樹脂が剥がれて大量の「樹脂かす」
となり、この「樹脂かす」が金型内や装置内に設置した
センサ等に付着したりして該センサ等の正常な作動を妨
害し、その結果該装置の故障を誘発して該装置の稼働率
を低下させていた。
(iii )  プランジャの交換頻度が高いため、予
備プランジャを大口に製作しておかなければならないの
で装置のランニングコストが高いものとなっていた。 
また、プランジャの交換の度毎に装置の運転を中止する
ので該装置の稼働率が低く、これも装置のランニングコ
ストを高くする原因となっていた。
(iv)  従来のプランジャを装備したマルチプラン
ジャ型レジンモールド装置では、前記のように稼働率が
低いうえ、製品歩留りが悪いので生産性が低く、このた
め、半導体装置製造における生産性の向上を阻害する一
要因となっていた。
[発明の目的] この発明の目的は前記のごとき問題を解消しうる、従来
のプランジャよりもはるかに耐久性の高い、改良された
プランジャを提供することである。
[発明の概要コ この発明により改良されたプランジャは、その先端部が
ジルコニアセラミック材(第一発明)又は炭化珪素セラ
ミック材(第二発明)で構成されていることを特徴とす
る。 本発明者らは、種々の実験の結果からジルコニア
セラミック及び炭化珪素セラミックが耐摩耗性に浸れて
いることを確認し、この事実を利用して本発明のプラン
ジャを完成した。 本発明のプランジャはマルチプラン
ジャ型レジンモールド装置に最適であり、該装置の性能
や稼働率を大幅に向上させることが明らかとなった。
なお、本発明者らは、既に本発明に関連する発明として
、先端部が窒化珪素セラミック材から構成されるプラン
ジャを提案しているが(特願昭59−180424号)
、本発明によってジルコニアセラミンク材及び炭化珪素
セラミック材のプランジャもまた窒化珪素セラミック材
のプランジャと同様の効果のあることを明らかにしたの
である。
[発明の実施例] 第1図乃至第5図を参照して本発明の実施例について説
明する。
第1図は本発明の第一実施例のプランジャを示したもの
であり、本発明のプランジャは、ジルコニアセラミック
月又は炭化珪素セラミック材らる先端部8と、金属製の
本体部9とからなっている。
先端部8は図に示すようにプランジャヘッドとなる大径
の頭部8Aと該頭部8Aの後面に突設された小径の挿入
部8Bとからなり、該挿入部8Bは本体部9の先端面に
貫設された孔9A内に嵌入され、この部分において先端
部8と本体部9とが一体に結合されている。
該挿入部8Bと該本体部9との結合は、第1図のように
、焼嵌めもしくは圧入などの手段で行うことができるほ
か、第2図のように、プランジャの軸線に対して放射方
向に該本9体部9の孔壁に止めビン孔9Bを貫設し、一
方該挿入部8Bの外周部に止めビン溝8Cを設けて、該
止めビン孔9Bと該止めビン溝8Cに止めピン18を打
ち込むことにより該本体部9と該先端部8とを結合させ
てもよい。
第3図は本発明の第二実施例のプランジャを示したもの
であり、この実施例のプランジャも、ジルコニアセラミ
ック材製又は炭化珪素セラミック材製の先端部10と、
金属製の本体部11とからなっている。 先端部10は
プランジャヘッドとなる大径の頭部10Aとその後端面
に突設されたねじ部10Bとから成っており、該ねじ部
10Bは本体部11の先端面に開孔されたねじ孔11A
にねじ込まれている。 この結合方法では本体部11か
ら先端部10を取り外すことができるが、取外し不可能
に一体化される場合には、結合前に本体部11のねじ孔
11Aの内面に熱硬化性樹脂を塗布しておき、ねじ孔1
1Aにねじ部10Bをねじ込んだ後、加熱して該樹脂を
硬化させてもよい。
第4図は本発明の第三実施例のプランジャを示したもの
であり、この実施例のプランジャもジルコニアセラミッ
ク材製又は炭化珪素セラミック材製の先端部12と金I
7!tJの本体部13とによって構成されている。 先
端部12は、プランジャヘッドとなる大径の頭部12A
と、該頭部12Aの12端面に突設された小径の軸部1
2Bとを有しており、ざらに該軸部12Bの後端には扱
は止め用のつば部12Gが設けられている。 一方、本
体部13は該軸部12B及びつば部12Cに嵌合する孔
を先端側に有するとともに軸線方向の線りに沿って二つ
の部分に分割された割型に構成されており、その後方部
分には該二つの部分を軸線に直交する方向に貫通したボ
ルト挿入孔が形成され、該ボルト挿入孔に挿入したボル
ト13Aによって前記二つの部分が一体化されている。
 また、該ボルト13Aの頭部と該ボルト13Aに嵌装
されるナツト13Bとを本体部13の外周面に突出させ
ぬように、前記二つの部分の外周面にはボルト13Aの
頭部とナツト13Bとを沈める座ぐり部分13Gが形成
されている。
第4図のごとぎ構造のプランジャでは、本体部13が割
型であるうえ、ボルト13Aによる締結組立構造となっ
ているため、先端部12と本体部13との取り外しが可
能であり、また、先端部12と本体部13との結合時に
も焼嵌め等の面倒な作業は必要としない。
第5図に示す本発明の第四実施例のプランジャは、ジル
コニアセラミック材製又は炭化珪素セラミック材製の先
端部14と金属製の本体部15とを有している点は他の
実施例と同じであるが、先端部1゛4の構造と本体部と
の結合構造などが他の実施例と(らべて異なっている。
 すなわち、この実施例の先端部14は段付孔を有した
筒形部材として構成されており、先端面に開口する大径
の第一孔部14A及び後端面に開口する大径の第二孔部
14B並びに該第−及び第二孔部の間に延在する小径の
第三孔部14Cを有するとともに該第一孔部14Aと第
三孔部14Gとの接続部分には第一の段部が形成され、
第二孔部14Bと第三孔部14Gとの接続部分には第二
の段部が形成されている。
一方、本体部15にはその先端側に該第二孔部14Bに
嵌入される小径の挿入部15△が設けられるとともに該
挿入部15Aにはねじ孔(図示せず)が形成されている
。 また、該挿入部15Aの後端面に連なって該先端部
14の後端面に当接される大径のつば部15Bが形成さ
れている。
先端部14と本体部15とは該先端部の第一孔部14A
から該挿入部15Aのねじ孔にねじ込まれたボルト16
によって相互に結合され、ボルト16の頭部と挿入部1
5Aの先端面とを先端部14内の第−及び第二の段部に
それぞれ圧接することによって一体化されている。 先
端部14と本体部15とを前記のようにボルト16で一
体化した後、先端部14の第一孔部14A内にはセラミ
ックフィラーと熱硬化性樹脂とからなる充填材17を充
填して加熱硬化させた後、先端面を平坦に研磨してプラ
ンジャとして完成させるこの第5図のごときプランジャ
は摩耗部分が主として先端外周面であることを考慮して
構成されたものである。
[発明の効果] 第1表に本発明のプランジャと従来のプランジャとの使
用結果を示す。
第1表 *1 :使用に洪したプランジャのうち、この段1(1
万シヨツト後)に43いて使用不可能になったプランジ
Vがでたことを表す*2:BQ用に洪したプランジャの
全部が使用不可能になったことを表す第1表の結果から
、本発明のプランジャによればプランジャの必要交換頻
度が大幅に低下して成形装置の稼働率が向上するととも
に製品の成形歩留りも向上し、その結果、成形装置のラ
ンニングコストが大幅に低下することがわかる。
なお、以上は上金型にポットがあり、ポットの上方から
プランジャを挿入して樹脂を注入するアッパープランジ
ャ方式の場合であるが、本発明は下金型にポットがあり
ポットの下方からプランジャを突き上げて樹脂を注入す
るいわゆるロワアブランジャ方式の場合にも適用される
ことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
第1図乃至第5図は本発明(第−発明及び第二発明いず
れの場合をも含む)のプランジψの実施例を示す一部破
断側面図、第6図は本発明のプランジャを装備すること
のできるマルチプランジャ型レジンモールド装置の上金
型部分の概略斜視図、第7図はマルチプランジャ型レジ
ンモールド装置の下金型の概略平面図、第8図はマルチ
プランジャ型レジンモールド装置の上下の金型を第7図
の■−■線で切断した状態の拡大断面図である。 1・・・上金型、 2・・・下金型、 3・・・カル、
 4・・・ゲート、  5・・・キャビティ、  6・
・・ポット、7・・・プランジャ、 T・・・樹脂タブ
レット、 F・・・リードフレーム、 8,10,12
.14・・・先端部、 9.11,13.15・・・本
体部。 特許出願人 株式会社 東  芝 第1図      第2FIl 第3図       第4図 第5図 第6図        #r7図 第8図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 マルチプランジャ型レジンモールド装置のプランジ
    ャにおいて、樹脂と接触する先端部分をジルコニアセラ
    ミック材で構成したことを特徴とするマルチプランジャ
    型レジンモールド装置のプランジャ。 2 マルチプランジャ型レジンモールド装置のプランジ
    ャにおいて、樹脂と接触する先端部分を炭化珪素セラミ
    ック材で構成したことを特徴とするマルチプランジャ型
    レジンモールド装置のプランジャ。
JP8904385A 1985-03-27 1985-04-26 マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ Pending JPS61248712A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8904385A JPS61248712A (ja) 1985-04-26 1985-04-26 マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ
US06/833,597 US4708613A (en) 1985-03-27 1986-02-27 Plunger for a multi-plunger type resin mold device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8904385A JPS61248712A (ja) 1985-04-26 1985-04-26 マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61248712A true JPS61248712A (ja) 1986-11-06

Family

ID=13959861

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8904385A Pending JPS61248712A (ja) 1985-03-27 1985-04-26 マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS61248712A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7913369B2 (en) 2002-04-11 2011-03-29 Blue Sky Vision Partners, Llc Ceramic center pin for compaction tooling and method for making same
US8312612B2 (en) 2002-04-11 2012-11-20 Blue Sky Vision Partners, Llc Refurbished punch tip and method for manufacture and refurbishing

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5993315A (ja) * 1982-11-19 1984-05-29 Hitachi Ltd モ−ルド型

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5993315A (ja) * 1982-11-19 1984-05-29 Hitachi Ltd モ−ルド型

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7913369B2 (en) 2002-04-11 2011-03-29 Blue Sky Vision Partners, Llc Ceramic center pin for compaction tooling and method for making same
US8312612B2 (en) 2002-04-11 2012-11-20 Blue Sky Vision Partners, Llc Refurbished punch tip and method for manufacture and refurbishing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4708613A (en) Plunger for a multi-plunger type resin mold device
JPH11216754A (ja) 熱硬化性樹脂の射出成形機
JPS61248712A (ja) マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ
JPS6158707A (ja) マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ
JPS622456B2 (ja)
JPS6141515A (ja) トランスフア−成形機用プランジヤ−
JPH0456729B2 (ja)
JPS61167515A (ja) モ−ルド装置
JP2597010B2 (ja) モールド用金型
JP3296619B2 (ja) 電子部品の樹脂封止成形方法及び成形用金型
JPS6237120A (ja) モ−ルド金型およびモ−ルド方法
JPH05124057A (ja) トランスフア成形機
JPS6255112A (ja) マルチプランジヤ型レジンモ−ルド装置のプランジヤ
JPH0647705Y2 (ja) 成形型
JPH0314332Y2 (ja)
JPH058102Y2 (ja)
JP3457574B2 (ja) 封止型プランジャーヘッド接合方法
JPS6010630A (ja) 半導体樹脂封止装置のプランジヤ
JPH06224240A (ja) 樹脂モールド成形品及び金型
JPS629216B2 (ja)
JPH0447971B2 (ja)
JPH087632Y2 (ja) 半導体装置用樹脂封止金型
JPH043770Y2 (ja)
JPH11105087A (ja) 射出成形機
JPH1119979A (ja) ディスク基板成形金型