JPS61245154A - 感光性組成物 - Google Patents

感光性組成物

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JPS61245154A
JPS61245154A JP8687485A JP8687485A JPS61245154A JP S61245154 A JPS61245154 A JP S61245154A JP 8687485 A JP8687485 A JP 8687485A JP 8687485 A JP8687485 A JP 8687485A JP S61245154 A JPS61245154 A JP S61245154A
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photosensitive
quinonediazide
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compd
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野呂田 末広
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諏訪 孝昭
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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/022Quinonediazides
    • G03F7/023Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0233Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は平版印刷版及びフォトレジスト等に好適に使用
される感光性組成物に関し、更に詳しくは高感度で、且
つ、ポジ型の感光性組成物に関するものである。
〔従来の技術〕
0−キノンジアジド化合物は活性光線を照射すると、5
員環のカルボン酸を生じ、アルカリ可溶性となることが
らこのO−キノンジアジド化合物を用いた感光性組成物
は、ポジ型平版印刷版やフォトレジストとして用いられ
てきた。
この0−キノンジアジド化合物とノボラック樹脂等の如
きアルカリ可溶樹脂から成る感光性組成物が一般に用い
られておシ、この感光性組成物の感度を高める方法につ
いているいろと試みられてきた。例えば、特公昭4M−
19619号公報には、ヒダントイン類及び安息香酸の
添加が、特開昭55−73045号公報には、ヒドロキ
シベンゾフェノンとホルムアルデヒドとの縮合生成物の
添加がそれぞれ記載されている。しかし、充分に感度を
高めるには、これらの添加剤を多量に加えねばならず、
そうすると画偉形成材料に使用した際未露光部の現象液
に対する溶解性も増してしまい現像許容度が狭くなると
いう欠点を伴なっていた。
また、無水7タル酸や無水マレイン酸等の添加(特開昭
52−80022号公報)や6員環状の酸無水物の添加
(特開昭58−11932号公報)も報告されておシ、
これらはいずれも光感度の増加には比較的効果的である
が、長期保存後に画儂形成材料として用いた場合、現像
許容度が狭くなシ、更にこれらの感光性組成物を使用し
た平版印刷版は、製版作業に使用する各種薬品(例えば
、汚れ除去やガム引きに用いる薬品や、アルコールを含
んだ湿し水等)によシ画線部が侵され易いため、版とび
ゃ地汚れが生じ易く重印刷用の刷版としての使用が難し
いという欠点を有していた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明の目的は、上記欠点を改良し、高感度で、旦つ、
長期保存安定性にも優れた感光性組成物の提供にある。
本発明の他の目的は特に平版印刷版として好適に使用し
得る感光性組成物の提供にある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、(a)分子中にr−ラクトン環構造と0−キ
ノンジアジド基を有する感光性ポリウレタン化合物及び
(b)アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする
感光性組成物に関する。
上記のγ−ラクトン環構造としては、例えば下記一般式
(1)で表わされる構造を挙げることができる。
感光性ポリウレタン化合物は、例えばγ−ラクトン環を
有するポリヒドロキシ化合物とポリイソシアネート化合
物を適当な割合で反応させ、水酸基含有のポリウレタン
化合物(以下、ポリウレタン前駆体と言う。)を合成し
、このポリウレタン前駆体とハロゲノスルホニル基を有
する〇−キノンジアジド化合物を反応させることによシ
合成することができる。
前記反応で使用されるr−ラクトン環を有するポリヒド
ロキシ化合物としては、例えば、フェノールフタレイン
、チモールフタレイン、ナフトール7タレイン、0−ク
レゾールフタレイン、テトラクロロフェノールフタレイ
ン、3’、 3’、 5’、 r−テトラブロモフェノ
ールフタレイン等の7タレイン化合物が挙げられる。
ポリイソシアネート化合物としては、例えば、テトラメ
チレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、
4.4′−ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサ
メチレンジイソシアネート、ナフタリン1,5−ジイソ
シアネート、インホロンジイソシアネート、水素化した
4 、 4’ −ジフェニルメタンジインシアネート等
のジイソシアネート類:エチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、ポリエチレングリコール、ポリアルキレ
ングリコール、ポリプロピレンクリコール、とスフエノ
ールAのエチレンオキサイド付加体等のグリコール類と
前記ポリイソシアネート類の反応によシ生じたジイソシ
アネート化合物:カテコール、レゾルシン、ヒドロキノ
ン、ジオキシン、ジオキシフェニルメタン、ビスフェノ
ールA等のフェノール類ト前記ポリイソシアネート類と
の反応により生じたポリイソシアネート化合物等が挙げ
られる。
ポリウレタン前駆体は、前記のγ−ラクトン環を有する
ポリヒドロキシ化合物とポリイソシアネート化合物を適
当な溶媒(例えば、ジエチレングリコールジメチルエー
テルが挙げられる。)中で反応させることにより製造で
きる。
ラクトンmt有するポリヒドロキシ化合物とポリイソシ
アネート化合物の反応に際しては、水酸基を有するポリ
ウレタン前駆体が得られるように、ポリイソシアネート
化合物のイソシアネート基1当量に対し【水酸基1当量
以上となるように両成分の配合比を選ぶことが望ましい
ハロゲノスルホニル基を有するO−キノンジアジド化合
物は、少なくとも1つの710ゲノスルホニル基(SO
,X基;但し、Xはハロゲン原子を表わす。)を有し、
且つ、少なくとも一つのO−キノンジアジド基、好まし
くはO−ベンゾキノンジアジド基又は0−ナフトキノン
ジアジド基を有する化合物で、例えば、ベンゾキノン−
(1,2)−ジアジド−5−スルホニルクロライド又は
、ナフトキノン−(1,2)−ジアジド−5−スルホニ
ルクロライドが1゜他にも種々の公知の化合物、例えば
ジエイ・コサー著「ライトセンシテイプシステムズ」(
ジョン・ウイリイ・アンドサムズ社1965年発行)第
539〜353頁に詳細に記されている化合物が挙げら
れる。
ポリウレタン前駆体とハロゲノスルホニル基を有するO
−キノンジアジド化合物の反応は、例えば、ポリウレタ
ン前駆体を有機溶剤に溶解し、O−キノンジアジド化合
物の所定量を添加し、反応温度を40〜50℃に保ちな
がら、反応溶液が中性になるまで炭酸カリウム水溶液の
如き弱アルカリを滴加し、その後、引き続いて同温度で
攪拌させることによシ行うことができ、こののち、この
反応溶液に水を注ぎ反応物を析出させて濾過し、更にそ
の析出物をイングロビルアルコールで洗浄し、乾燥する
ことによ多感光性ポリウレタン化合物が得られる。
上記、反応に使用される有機溶媒は、前記したポリウレ
タン前駆体の製造の際に使用する溶媒を用いることがで
きる。
以上のようにして感光性ポリウレタン化合物を製造でき
るが、本発明で使用される感光性ポリウレタン化合物と
しては感光性ポリウレタン化合物ICl009に対して
γ−2クトン環構造がtO〜2.0モル含まれ、且つ、
O−キノンジアジド基が0.3〜16モル含まれるもの
が好ましい。
本発明で用いられるアルカリ可溶性樹脂としては、フェ
ノール類とアルデヒド類を酸性触媒下で縮合して得られ
るノボラック樹脂、スチレン−無水マレイン酸共重合体
、スチレン−アクリル酸共重合体、メタアクリレート−
メタアクリル酸共重合体、ポリフタル酸、ポリビニルエ
ステル等を挙げることができる。特に好ましいアルカリ
可溶性樹脂としては、ノボラック樹脂で、例えば、フェ
ノール−ホルムアルデヒド共重合体、フェノール−クレ
ゾール−ホルムアルデヒド共重合体、p−置換フエノー
ル−フェノールもシくハクレゾール−ホルムアルデヒド
共重合体、ヒス7xノール−ホルムアルデヒド共重合体
等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、感光性ポリウレタン化合物を
全固形分に対して好ましくは1〜60i!f%、更に好
ましくは3〜40重−t%金含有、且つ、アルカリ可溶
性樹脂が全固形分に対して好ましくは40〜99重t%
、更に好ましくは60〜97重景%含有するものが望ま
しい。
本発明の感光性組成物は、現像性や感度等を改良する目
的で、更に感光性ポリウレタン化合物とは異なるポジ型
感光性組成物に用いられる種々の0−キノンジアジド化
合物を加えて使用することができる。
本発明で使用する感光性ポリウレタン化合物とは異なる
0−キノンジアジド化合物(以下、単Ko−キノンジア
ジド化合物という。)としては、例えば、ベンゾキノン
−(1,2)−ジアジドスルホン酸またはナフトキノン
−(1,2)−ジアジドスルホン酸とフェノールホルム
アルデヒド樹脂とのエステル、米国特許第363570
9号明細書に記載されているナフトキノン−(1,2)
−ジアジドスルホン酸とピロガロール−アセトン樹脂の
エステル、特開昭55−76346号公報に記載されて
いるナフトキノン−(1,2)−ジアジド−(2) −
5−スルホン酸とレゾルシン−ピロガロール−アセトン
共重縮合物トのエステル等が挙げられる。その他の有用
な0−キノンジアジド化合物としては、特開昭50−1
17503号公報に記載されている末端にヒドロキシル
基を有するポリエステルに0−ナフトキノンジアジドス
ルホニルフロライドをエステル化させたもの、特開昭5
0−113305号公報に記載されているp−ヒドロキ
シスチレンのホモポリマーまたは他の共重合し得るモノ
マーとの共重合体に0−ナフトキノンジアジドスルホニ
ルクロライドをエステル化させたもの、特開昭54−2
9922号公報に記載されているビスフェノール・ホル
ムアルデヒド樹脂と0−キノンジアジドスルホン酸との
エステル、米国特許第3859099号明細書に記載さ
れているアクリレート・アクリロイルアルキルカーボネ
ート、ヒドロキシアルキルアクリレートの共重合体と0
−キノンジアジドスルホニルクロライドとの縮合物、特
開昭49−17481号公報記載のスチレンと7工ノー
ル誘導体との重合生成物と0−キノンジアジドスルホン
酸との反応生成物、米国特許第3759711号明細書
に記載されているよりなp−アミノスチレンと他の共重
合しうるモノマーとの共重合体とナフトキノンジアジド
スルホン酸又は0−ナフトキノンジアジドカルボン酸と
のアミド、ポリヒドロキシベンゾフェノンと■−ナフト
キノンジアジドスルホニルクロライドとのエステル化物
等が挙げられる。
前記の0−キノンジアジド化合物の含有量は、感光性組
成物の全固形分に対して5〜50重量%、更には5〜3
0重量%が好ましい。
本発明の感光性組成物には、前記した物質の他に、必要
に応じて、感脂化剤、界面活性剤、可塑剤、接着良化剤
、耐摩耗性改良剤、充てん剤等を添加してもさしつかえ
ない。
感脂化剤としては例えば、特公昭50−5083号公報
記載のフェノールホルムアルデヒド樹脂、特開昭50−
36206号公報記載の7エノールホルムアルデヒドW
、米国特許第4123279号明細書記載の7エノール
ホルムアルデヒド樹脂等の如き親油性のフェノール−ホ
ルムアルデヒド樹脂が挙げられる。
界面活性剤は、感光性樹脂組成物の塗布性を改良するた
めに添加されるもので、セルロース系、アルキルエーテ
ル系、エチレンオキサイド系、含フッ素系等の種々の界
面活性剤が挙げられる。
可塑剤としては、例えば、7タル酸ブチル、フタル酸ジ
オクチル等の7タル酸エステル類、ブチルグリコレート
、エチルフタリールエチルグリコレート等のグリコール
エステル類、トリフェニルフォスフェート、トリクレジ
ルホスフェート等の燐酸エステル類、アジピン酸ジオク
チルの如き脂肪族二塙基酸エステル類等が挙げられる。
本発明の感光性組成物は、適当な溶媒、例えばエチルセ
ロソルブ、エチルセロソルブ、メチルセロソルブアセテ
ート、エチルセロソルブアセテート、シクロヘキサノン
、メチルエチルケトン、エチレンジクロリド、酢酸エチ
ル、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホオキシド等
に溶解し、適当な支持体上に塗布される。その際、塗布
溶液の濃度は2〜50重量%のものが望ましい。塗布量
は、平版印刷版を作成する場合、0.5〜59/が、好
ましくは15〜39/m”である。
本発明の感光性組成物は、ホワラー塗布、ディップ塗布
、カーテン塗布、ロール塗布、スプレー塗布、エアナイ
フ塗布、ドクターナイフ塗布、スピナー塗布、等周知の
塗布方法によって支持体に塗布される。
支持体の具体例としては、アルミニウム板、亜鉛板、銅
板、ステンレス鋼板、その他の金属板;ポリエチレンテ
レフタレート、ポリカーボネート、セルロース誘導体等
の合成樹脂を溶融塗布あるいは合成樹脂溶液を塗布した
紙、合成樹脂に金属層を真空蒸着、ラミネートなどの技
術により設けた複合材料;シリコンウェハー等が挙げら
れる。
印刷板の支持体としては1機械的、化学的、1気化学的
に粗面化したアルミニウム、銅、亜鉛等の金属板等が使
用される。
かくして得られ九感光性画像形成材料の感光層にポジ画
像による像露光を行ない、現像液で現儂して露光部分を
溶解除去すれば、支持体上に対応する画像を形成させる
仁とができる。
その際、現像液としては、水を主成分としてケイ酸ナト
リウム、ケイ酸カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、水酸化リチウム、第三リン酸ナトリウム、第ニ
リン酸ナトリウム、第三リン酸アンモニウム、第ニリン
酸アンモニウム、重炭酸ナトリウム等のアルカリ剤を添
加したものであ)、場合によシ、さらに有機溶媒、界面
活性剤等の添加剤を含むものが使用できる。
露光(使用される適当な光源としては、カーボンアーク
灯、水銀灯、キセノン灯、メタルハライドランプ、レー
ザー等が挙けられる。
以下、本発明を実施例により、具体的に説明するが、本
発明はその要旨を越えない限り、以下の実施例に限定さ
れるものではない。
各例中の「部J¥iすべて、ことわ夛のない限シ「重量
部Jを示す。
〔実施例〕
第1表に記載した配合組成をもつr−ラクトン環化合物
とジイソシアネート化合物を第1表に記載した量の溶剤
(ジエチレングリコールジメチルエーテル)と共に攪拌
装置、温度計を備えた反応器に仕込み、攪拌しつつ15
0℃に加温して反応を開始した。その後、8時間に亘っ
て。
150℃で攪拌を続け、(&)ポリウレタン化合物前駆
体を得た。次いで、50℃までに冷却し、第1表の[感
光性ポリウレタンの製造」の欄に記載した量の溶剤(ジ
エチレングリコールジメチルエーテル)を加え、さらに
ハロゲノスルホニル基を有するO−キノンジアジド化合
物として第1表に記載した量のナフトキノン−(1,2
)−ジアジド−(2)−5−スルホニルクロライドを加
えて溶解し、40〜50℃に保ちつつ、反応液が中性を
示すまで、炭酸カリウム水溶液(40%水溶液)を加え
た。
中性にした後、約5時間攪拌し反応させたのち、反応溶
媒の10倍の水を注ぎ、反応物を沈殿させP別した。こ
れを少量のイソプロピルアルコールで洗浄し、常温で真
空乾燥し、(a)ポリウレタン化合物を得た。
前記〔1〕で製造した感光性ポリウレタン化合物を使用
し、第3表に記載の配合で、感光性ポリウレタン化合物
、アルカリ可溶性樹脂としてノボラック型フェノール樹
脂PSF2807(郡栄化学社製)、及び場合により第
2表に記載した配合組成から成るO−キノンジアジド化
合物、種々の添加剤等を溶剤に溶解せしめ感光性組成物
を調整した。
前記〔2〕で調整した組成物を砂目立てしたアルミニウ
ム板(厚さ3冨諺)にホワラー塗布し、これを乾燥して
感光板を作成した。乾燥後の塗布重量は2.097がで
あった。
前記(3)−1で得られ次感光板に、濃度段差0.15
のグレースケール(濃度段数0〜15)を密着させ、感
光板から1m離れた位置に設けた出力1klのメタルハ
ライドランプ〔岩崎電気■[アイドルフィン1000J
]を用いて露光した。
その後、この感光板を市販のポジ型平版印刷版用現像液
[DP−4J (富士写真フィルム■社製)の9倍希釈
水溶液で20℃において60秒間現像した。感度はこの
60秒間現像における適正無光時間をもって表わした。
但し、この際の適正露光時間とは、グレースケールで3
段目が完全に現像される(クリアーとなる)露光時間と
し念。
現像許容性は前記(3]−1で作成した感光板を前記と
同様の露光装置を用いて60秒間現像における適正露光
時間で露光し、引き続いて前記と同様の現像方法で24
0秒間現像し、グレースケールのクリアーとなる段数(
以下、クリア一段数という。)を測定し、60秒間現像
の時のクリア一段数(3段)と比較し、その段差をもっ
て示した。
〔4〕 印刷版の作製と印刷適性の評価前記(3”l−
1と同様の方法で作製した感光板にテストパターンのポ
ジフィルムを密着させ、これから1m離れた位置に設け
た出力1kWのメタルハライドランプ(岩崎電気−社製
「アイドルフィン1000J)を用いて、前記〔3〕−
2における60秒間現像における適正露光時間で露光し
、引き続いて前と同様に60秒間現像して印刷版を製作
した。
このようにして製作された印刷版を4色平版印刷機に取
p付け、平版印刷用標準インキを用いて実際の平版印刷
と同様の条件下で印刷を行い、5万枚印刷した時点で印
刷適性の評価を行ったところ、いずれの印刷版において
も網点穴シ、版とび、かすれ等の印刷不良がなく原画に
忠実で鮮明な画像が得られた。
前記(:3)−1と同様の方法で作製し、引き続いて促
進試験として恒温恒湿機(60℃、60%RH)に10
0時間保存した感光板と、促進試験を行わない感光板を
準備し、各々前記〔4〕と同様の方法で印刷版を作製し
、印刷を行い。
促進試験を行った場合と促進試験を行わない場合で、現
像性、光感度、印刷適性等において相違が有るか否かを
もって感光板の保存安定性を評価した。
〔発明の効果〕
本発明の感光性組成物は、5員環のγ−ラクトン環構造
を有し、且つO−キノンジアジド基を有するポリウレタ
ン化合物を含有することによシ、高感度であシ、且つ、
現僚許容性、長期保存安定性等にも何ら問題のない良好
な感光材料である。
本発明の感光性組成物は、特にポジ型感光性印刷版用の
感光材料として適したものであるが、必ずしも感光性平
版印刷版に限定されるも′のでなく、例えば、IC,リ
ードフレーム、コネクター等の電子部品を製造する際に
必要とされる微細加工の為の感光材料としても使用し得
るものである。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、(a)分子中にγ−ラクトン環構造とo−キノンジ
    アジド基を有する感光性ポリウレタン化合物及び(b)
    アルカリ可溶性樹脂を含有することを特徴とする感光性
    組成物。 2、γ−ラクトン環構造が 一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ で表わされる構造である特許請求の範囲第1項記載の感
    光性組成物。 3、(a)分子中にγ−ラクトン環構造とo−キノンジ
    アジド基を有する感光性ポリウレタン化合物が、分子中
    にγ−ラクトン環構造を有するポリヒドロキシ化合物と
    ポリイソシアネート化合物を反応させて得られる水酸基
    含有ポリウレタン前駆体にハロゲノスルホニル基を有す
    るo−キノンジアジド化合物を反応させて得られるもの
    である特許請求の範囲第1項又は第2項記載の感光性組
    成物。 4、分子中にγ−ラクトン環構造を有するポリヒドロキ
    シ化合物がフェノールフタレイン、チモールフタレイン
    、ナフトールプタレイン、o−クレゾールプタレイン、
    テトラクロロフェノールプタレイン及びテトラブロモフ
    ェノールフタレインより成る群から選ばれる1種もしく
    は2種以上の化合物である特許請求の範囲第3項記載の
    感光性組成物。
JP8687485A 1985-04-23 1985-04-23 感光性組成物 Granted JPS61245154A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0358194A2 (en) * 1988-09-07 1990-03-14 Fuji Photo Film Co., Ltd. Positive-type photoresist composition
US5248582A (en) * 1988-09-07 1993-09-28 Fuji Photo Film Co., Ltd. Positive-type photoresist composition
US5348842A (en) * 1992-03-06 1994-09-20 Hoechst Celanese Corporation Method for producing positive photoresist image utilizing diazo ester of benzolactone ring compound and diazo sulfonyl chloride

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JPH0588467B2 (ja) 1993-12-22

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