JPS61241940A - 把持装置 - Google Patents
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- JPS61241940A JPS61241940A JP8230985A JP8230985A JPS61241940A JP S61241940 A JPS61241940 A JP S61241940A JP 8230985 A JP8230985 A JP 8230985A JP 8230985 A JP8230985 A JP 8230985A JP S61241940 A JPS61241940 A JP S61241940A
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- gripped
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は把持装置に係り、特に半導ウェハのような薄板
状の被把持体の外周縁を把持対象個所として把持するに
好適な把持装置に関する。
状の被把持体の外周縁を把持対象個所として把持するに
好適な把持装置に関する。
従来、半導体ウェハのような薄板状の被把持体のハンド
リングは、ウェハへのごみ等の有害物の付着を防ぐため
に、被把持体を真空吸着によりハンドリングする方式か
ら、被把持体の外周縁を把持する方策が種々提案されて
いる。（特開昭５８−７５８４４号公報、特開昭５８−
１５５７３６号公報）この種の把持装置は被把持体を他
の場所へ載置する場合、被把持体を把持体によって把持
した後、把持体を他の所定の場所に移動させ、この所定
の場所において被把持体を着床させたのちに１把持体を
開き、被把持体の把持を開放している。このような被把
持体のハンドリングにおいては、被−把持体の着床時に
、被把持体の床部への着床時に生じる衝撃によって被把
持体に割れ目が入ったり、極端な場合には被把持体が破
損することがあった。
リングは、ウェハへのごみ等の有害物の付着を防ぐため
に、被把持体を真空吸着によりハンドリングする方式か
ら、被把持体の外周縁を把持する方策が種々提案されて
いる。（特開昭５８−７５８４４号公報、特開昭５８−
１５５７３６号公報）この種の把持装置は被把持体を他
の場所へ載置する場合、被把持体を把持体によって把持
した後、把持体を他の所定の場所に移動させ、この所定
の場所において被把持体を着床させたのちに１把持体を
開き、被把持体の把持を開放している。このような被把
持体のハンドリングにおいては、被−把持体の着床時に
、被把持体の床部への着床時に生じる衝撃によって被把
持体に割れ目が入ったり、極端な場合には被把持体が破
損することがあった。
本発明は破損を発生させずに被把持体を着床させること
ができる把持装置を提供することにある。
ができる把持装置を提供することにある。
本発明は上記の目的を達成するために、板状の被把持体
の外周縁を把持対象個所として把持する把持装置におい
て、装置の基部に把持体をそれぞれ開方向または閉方向
に付勢する弾性体によって取り付け、前記把持体間に形
状記憶合金の駆動部を設け、前記把持体の把持部に被把
持体の基部側への移動許容部を設け、基部もしくは把持
体に。
の外周縁を把持対象個所として把持する把持装置におい
て、装置の基部に把持体をそれぞれ開方向または閉方向
に付勢する弾性体によって取り付け、前記把持体間に形
状記憶合金の駆動部を設け、前記把持体の把持部に被把
持体の基部側への移動許容部を設け、基部もしくは把持
体に。
被把持体の基部周縁に押付力を与える押付手段を設けた
ものである。
ものである。
このように構成したことにより、把持体は被把持体に無
理な力を加えることなく把持することができると共に、
着床時には被把持体は把持体の移動許容部によって基部
側への移動により衝撃を受けることなく着床することが
できる。その結果、被把持体の品質向上を図るハンドリ
ングが可能である。
理な力を加えることなく把持することができると共に、
着床時には被把持体は把持体の移動許容部によって基部
側への移動により衝撃を受けることなく着床することが
できる。その結果、被把持体の品質向上を図るハンドリ
ングが可能である。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の把持装置の一実施例を示すもので、こ
の図においてＷは半導体ウェハのような薄板状の被把持
体を示す６本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボットの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ弾性体２．３の一端が取り付けられている。これらの
弾性体２，３の他端にはそれぞれ把持体４，５が取り付
けられている。この把持体４，５の先端には被把持体Ｗ
の下部周縁を保持する第１の保持部４Ａ、５Ａと、被把
持体Ｗの周縁平面を保持する第２の保持部４Ｂ、４Ｇ、
５Ｂ、５Ｇと被把持体Ｗの上方への移動許容部４Ｄ、５
Ｄとを備えている０把持体４゜５間には把持体４，５の
開閉のための駆動部となる線状の形状記憶合金６が配設
されている。この形状記憶合金６は加熱によりその長さ
を縮める回復力が発生するようにその形状を記憶してい
る。
の図においてＷは半導体ウェハのような薄板状の被把持
体を示す６本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボットの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ弾性体２．３の一端が取り付けられている。これらの
弾性体２，３の他端にはそれぞれ把持体４，５が取り付
けられている。この把持体４，５の先端には被把持体Ｗ
の下部周縁を保持する第１の保持部４Ａ、５Ａと、被把
持体Ｗの周縁平面を保持する第２の保持部４Ｂ、４Ｇ、
５Ｂ、５Ｇと被把持体Ｗの上方への移動許容部４Ｄ、５
Ｄとを備えている０把持体４゜５間には把持体４，５の
開閉のための駆動部となる線状の形状記憶合金６が配設
されている。この形状記憶合金６は加熱によりその長さ
を縮める回復力が発生するようにその形状を記憶してい
る。
この形状記憶合金６はスイッチ７を通して電源８に接続
している。前述した弾性体２，３は把持体４．５を開方
向に付勢するための初期たわみが与えられている。把持
体４，５間の基部１の下方には被把持体Ｗの上方周縁を
保持する第３の保持部となる保持体９が配設される。こ
の保持体９は弾性体１０によって基部１に支持されてい
る。保持体９と基部１との間には被把持体Ｗを把持体４
゜５の先端側に押付けるための線状の形記憶合金１１が
設けられている。この形状記憶合金１１は加熱によりそ
の長さを縮める回復力が発生するようにその形状を記憶
している。この形状記憶合金１１はスイッチ１２を通し
て電源８に接続している０弾性体１０には保持体９を被
把持体Ｗに押付ける方向に初期たわみが与えられている
。
している。前述した弾性体２，３は把持体４．５を開方
向に付勢するための初期たわみが与えられている。把持
体４，５間の基部１の下方には被把持体Ｗの上方周縁を
保持する第３の保持部となる保持体９が配設される。こ
の保持体９は弾性体１０によって基部１に支持されてい
る。保持体９と基部１との間には被把持体Ｗを把持体４
゜５の先端側に押付けるための線状の形記憶合金１１が
設けられている。この形状記憶合金１１は加熱によりそ
の長さを縮める回復力が発生するようにその形状を記憶
している。この形状記憶合金１１はスイッチ１２を通し
て電源８に接続している０弾性体１０には保持体９を被
把持体Ｗに押付ける方向に初期たわみが与えられている
。
次に上述した本発明の把持装置の一実施例の動作を説明
する。
する。
まず、第１図の実線で示す被把持体Ｗの把持開放状態に
おいて、被把持体Ｗを把持する動作を説明する。このと
き、形状記憶合金１１は加熱されており、弾性体１０の
変形力に抗する回復力を発生し、保持体９を基部１側に
引寄せている。この状態において、形状記憶合金６を加
熱すると、形状記憶合金６は弾性体２，３の変形力に抗
する回復力を発生し１把持体４，５の相方を引寄せる。
おいて、被把持体Ｗを把持する動作を説明する。このと
き、形状記憶合金１１は加熱されており、弾性体１０の
変形力に抗する回復力を発生し、保持体９を基部１側に
引寄せている。この状態において、形状記憶合金６を加
熱すると、形状記憶合金６は弾性体２，３の変形力に抗
する回復力を発生し１把持体４，５の相方を引寄せる。
その結果１把持体４，５は第１図の１点鎖線で示すよう
に被把持体Ｗに大きな押付力を与えず、第１の保持体４
Ａ、５Ａによって被把持体Ｗの下方周縁を保持する形で
、被把持体Ｗを挾持する。次に形状記憶合金１１を冷却
すると、形状記憶合金１１の回復力が低下するので、保
持体９は弾性体１０の変形力により、被把持体Ｗの上方
周縁に接触して、被把持体Ｗを把持体４，５の先端に向
かって押し付ける。これにより、被把持体Ｗは把持体４
，５内に確実に挾持されるので、ロボットの腕の移動に
より被把持体Ｗを垂直、水平等の任意の姿勢を保って所
望の位置に移送させることができる。
に被把持体Ｗに大きな押付力を与えず、第１の保持体４
Ａ、５Ａによって被把持体Ｗの下方周縁を保持する形で
、被把持体Ｗを挾持する。次に形状記憶合金１１を冷却
すると、形状記憶合金１１の回復力が低下するので、保
持体９は弾性体１０の変形力により、被把持体Ｗの上方
周縁に接触して、被把持体Ｗを把持体４，５の先端に向
かって押し付ける。これにより、被把持体Ｗは把持体４
，５内に確実に挾持されるので、ロボットの腕の移動に
より被把持体Ｗを垂直、水平等の任意の姿勢を保って所
望の位置に移送させることができる。
次に所望の位置に移送した被把持体Ｗを治具等の上に載
置する場合には、上述の動作とは逆にまず、形状記憶合
金１１を加熱する。これにより、形状記憶合金１１は弾
性体１０の変形力に抗する回復力を発生して保持体９を
基部１側に引寄せるので、被把持体Ｗの把持体４，５先
端への押付力が解除され、被把持体Ｗは把持体４，５の
移動許容部４Ｄ、５Ｄに沿って上方への移動が可能とな
る。そして把持装置を被把持体Ｗと治具との衝突速度を
考慮して降下させ、被把持体Ｗを治具Ｗに着床させる。
置する場合には、上述の動作とは逆にまず、形状記憶合
金１１を加熱する。これにより、形状記憶合金１１は弾
性体１０の変形力に抗する回復力を発生して保持体９を
基部１側に引寄せるので、被把持体Ｗの把持体４，５先
端への押付力が解除され、被把持体Ｗは把持体４，５の
移動許容部４Ｄ、５Ｄに沿って上方への移動が可能とな
る。そして把持装置を被把持体Ｗと治具との衝突速度を
考慮して降下させ、被把持体Ｗを治具Ｗに着床させる。
このとき、被把持体Ｗは把持体４゜５の移動許容部４Ｄ
、５Ｄに沿って移動し大きな衝突を受けることなく着床
することができる。その後、形状記憶合金６を冷却すれ
ば、把持体４゜５は弾性体２，３の変形力により、開き
、被把持体Ｗを開放するにれにより、被把持体Ｗを治具
等に載置することができる。
、５Ｄに沿って移動し大きな衝突を受けることなく着床
することができる。その後、形状記憶合金６を冷却すれ
ば、把持体４゜５は弾性体２，３の変形力により、開き
、被把持体Ｗを開放するにれにより、被把持体Ｗを治具
等に載置することができる。
このように構成したことにより、被把持体Ｗに無理な力
を加えずに被把持体Ｗを把持することができ、しかも被
把持体Ｗを任意の姿勢で移送することができる。さらに
被把持体Ｗの着床時の衝撃も小さく安定して着床させる
ことができる。
を加えずに被把持体Ｗを把持することができ、しかも被
把持体Ｗを任意の姿勢で移送することができる。さらに
被把持体Ｗの着床時の衝撃も小さく安定して着床させる
ことができる。
第２図は本発明の把持装置の他の実施例を示すもので、
この図において第１図と同符号のものは同一部分を示す
。この実施例は第３保持部となる保持体９をニッケルチ
タン（Ｎ ｉ Ｔ ｉ ）合金等の２方向特性を有する
形状記憶合金１３を介して基部１に支持して構成し、形
状記憶合金１３に記憶させたある温度よりも高い温度で
の記憶形状と低い温度での記憶形状との変形により、保
持体９を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
この図において第１図と同符号のものは同一部分を示す
。この実施例は第３保持部となる保持体９をニッケルチ
タン（Ｎ ｉ Ｔ ｉ ）合金等の２方向特性を有する
形状記憶合金１３を介して基部１に支持して構成し、形
状記憶合金１３に記憶させたある温度よりも高い温度で
の記憶形状と低い温度での記憶形状との変形により、保
持体９を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
このように構成したことにより、前述した実施例と同様
に、被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗ
を衝撃を与えることなく着床させることができる。さら
に、この実施例によれば、前述した第１図に示す実施例
にくらべて保持体９の駆動機構を簡素にすることができ
る。
に、被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗ
を衝撃を与えることなく着床させることができる。さら
に、この実施例によれば、前述した第１図に示す実施例
にくらべて保持体９の駆動機構を簡素にすることができ
る。
第３図は本発明の把持装置のさらに他の実施例を示すも
ので、この図において第１図と同符号のものは同一部分
である。この実施例は第３の保持部を被把持体Ｗの上方
周縁の２個所に接触する保持体１４，１５と、これらの
保持体１４．１５をそれぞれ把持体４，５に支持する弾
性体１６゜１７と、弾性体１６．１７に抗して保持体１
６゜１７を駆動させる形状記憶合金１８．１９とで構成
したものである。
ので、この図において第１図と同符号のものは同一部分
である。この実施例は第３の保持部を被把持体Ｗの上方
周縁の２個所に接触する保持体１４，１５と、これらの
保持体１４．１５をそれぞれ把持体４，５に支持する弾
性体１６゜１７と、弾性体１６．１７に抗して保持体１
６゜１７を駆動させる形状記憶合金１８．１９とで構成
したものである。
このように構成したことにより、形状記憶合金１８．１
９の加熱もしくは冷却により、保持体１６．１７は把持
体４，５に把持された被把持体Ｗに押付力を与えるかも
しくはその押付力を解除することができる。しかも保持
体１６．１７は把持された被把持体Ｗの中心部に向かっ
て押付力を与えるので、把持体４，５内での被把持体Ｗ
の位置ずれを抑えることができる。さらにこの実施例に
おいても前述した実施例と同様に被把持体Ｗを無理なく
把持し得ると共に被把持体Ｗを衝撃を与えることなく着
床させることができる。
９の加熱もしくは冷却により、保持体１６．１７は把持
体４，５に把持された被把持体Ｗに押付力を与えるかも
しくはその押付力を解除することができる。しかも保持
体１６．１７は把持された被把持体Ｗの中心部に向かっ
て押付力を与えるので、把持体４，５内での被把持体Ｗ
の位置ずれを抑えることができる。さらにこの実施例に
おいても前述した実施例と同様に被把持体Ｗを無理なく
把持し得ると共に被把持体Ｗを衝撃を与えることなく着
床させることができる。
第４図は本発明の把持装置の他の実施例を示すもので、
この図において第１図および第３図と同符号のものは同
一部分である。この実施例は第３の保持部を構成する保
持体１４．１５をそれぞれニッケルチタン（ＮｉＴｉ）
合金の２方向特性を有する形状記憶合金２０．２１を介
して把持体４゜５に支持して構成し、形状記憶合金２０
．２１に記憶させたある温度よりも高い温度での記憶形
状と低い温度での記憶形状との変形により、保持体１４
．１５を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
この図において第１図および第３図と同符号のものは同
一部分である。この実施例は第３の保持部を構成する保
持体１４．１５をそれぞれニッケルチタン（ＮｉＴｉ）
合金の２方向特性を有する形状記憶合金２０．２１を介
して把持体４゜５に支持して構成し、形状記憶合金２０
．２１に記憶させたある温度よりも高い温度での記憶形
状と低い温度での記憶形状との変形により、保持体１４
．１５を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
このように構成したことにより、前述した実施例と同様
な効果が得られると共に、第３図に示す実施例にくらべ
て保持体１４．１５の駆動機構を簡素にすることができ
る。
な効果が得られると共に、第３図に示す実施例にくらべ
て保持体１４．１５の駆動機構を簡素にすることができ
る。
第５図は本発明の把持装置のさらに他の実施例を示すも
ので、この図において第１と同符号のものは同一部分で
ある。この実施例は第３の保持部を被把持体Ｗの上方周
縁の２個所に接触する保持体２２．２３と、これらの保
持体２２．２３をそれぞれ基部１に支持する弾性体２４
．２５と、保持体２２．２３間に設けた形状記憶合金２
６とで構成されている。
ので、この図において第１と同符号のものは同一部分で
ある。この実施例は第３の保持部を被把持体Ｗの上方周
縁の２個所に接触する保持体２２．２３と、これらの保
持体２２．２３をそれぞれ基部１に支持する弾性体２４
．２５と、保持体２２．２３間に設けた形状記憶合金２
６とで構成されている。
このように構成したことにより、形状記憶合金２６の加
熱もしくは冷却により、保持体２２゜２３は把持体４，
５に把持された被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくは
その押付力を解除することができる。しかも、保持体２
２．２３は把持された被把持体Ｗの中心部に向かって押
付力を与えるので１把持体４，５内での被把持体Ｗの位
置ずれを抑えることができる。さらに、被把持体Ｗを無
理なく把持し得ると共に、被把持体Ｗを衝撃を与えるこ
となく着床させることができる。
熱もしくは冷却により、保持体２２゜２３は把持体４，
５に把持された被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくは
その押付力を解除することができる。しかも、保持体２
２．２３は把持された被把持体Ｗの中心部に向かって押
付力を与えるので１把持体４，５内での被把持体Ｗの位
置ずれを抑えることができる。さらに、被把持体Ｗを無
理なく把持し得ると共に、被把持体Ｗを衝撃を与えるこ
となく着床させることができる。
第６図は本発明の把持装置の他の実施例を示すもので、
この図において第１図と同符号のものは同一部分である
。この実施例は把持体４，５の閉動作量を規制するスト
ッパ２７を基部１に設けたものである。
この図において第１図と同符号のものは同一部分である
。この実施例は把持体４，５の閉動作量を規制するスト
ッパ２７を基部１に設けたものである。
このように構成したことにより、把持体４，５による被
把持体Ｗの把持時に１把持体４，５間の間隔を形状記憶
合金６の回復力によらず一定に決めることができる。そ
の結果１把持体４，５は被把持体Ｗに対して一定のすき
まをもって把持することができ、被把持体Ｗに無用な把
持力を与えることかない。
把持体Ｗの把持時に１把持体４，５間の間隔を形状記憶
合金６の回復力によらず一定に決めることができる。そ
の結果１把持体４，５は被把持体Ｗに対して一定のすき
まをもって把持することができ、被把持体Ｗに無用な把
持力を与えることかない。
この第６図に示すストッパ手段は前述した第２図〜第５
図に示した実施例にも適用することができる。
図に示した実施例にも適用することができる。
なお、第１図に示す実施例においては１弾性体２．３の
初期たわみを１把持体４，５の開き方向に与え、形状記
憶合金６の引張性回復力で把持体４．５を閉じ動作させ
、また弾性体１０の初期たわみを、保持体９の閉じ方向
に与え、形状記憶合金１１の引張性回復力で保持体９を
開き方向に動作させたが、この弾性体２，３．１０の初
期たわみ設定および形状記憶合金６，１１の形状記憶は
第３図および第５図に示す実施例にも適用することがで
きる。また、上述とは逆の特性、すなわち、弾性体２．
３の初期たわみを、把持体４，５の閉じ方向に与え、形
状記憶合金６の圧縮性回復力で把持体４，５を開き動作
させ、また弾性体１０の初期たわみを保持体９の開き方
向に与え、形状記憶合金１１の圧縮性回復力で保持体９
を閉じるように設定することも可能である。
初期たわみを１把持体４，５の開き方向に与え、形状記
憶合金６の引張性回復力で把持体４．５を閉じ動作させ
、また弾性体１０の初期たわみを、保持体９の閉じ方向
に与え、形状記憶合金１１の引張性回復力で保持体９を
開き方向に動作させたが、この弾性体２，３．１０の初
期たわみ設定および形状記憶合金６，１１の形状記憶は
第３図および第５図に示す実施例にも適用することがで
きる。また、上述とは逆の特性、すなわち、弾性体２．
３の初期たわみを、把持体４，５の閉じ方向に与え、形
状記憶合金６の圧縮性回復力で把持体４，５を開き動作
させ、また弾性体１０の初期たわみを保持体９の開き方
向に与え、形状記憶合金１１の圧縮性回復力で保持体９
を閉じるように設定することも可能である。
また前述した形状記憶合金６，１１，１８゜１９．２４
．２６は１つの線状体に限られるものでなく、例えば、
第７図に示すように線状体の形状記憶合金２８を複数本
用いてもよいし、また第８図に示すように冷却を考慮し
てパイプ状の形状記憶合金２９を用いてもよいし、さら
に第９図および第１０図に示すように板状の形状記憶合
金３０を水平または垂直に配置して使用してもよい。
．２６は１つの線状体に限られるものでなく、例えば、
第７図に示すように線状体の形状記憶合金２８を複数本
用いてもよいし、また第８図に示すように冷却を考慮し
てパイプ状の形状記憶合金２９を用いてもよいし、さら
に第９図および第１０図に示すように板状の形状記憶合
金３０を水平または垂直に配置して使用してもよい。
また形状記憶合金による把持体４，５または第３の保持
部の移動量を大きくするために、第１１図に示すように
湾曲した板状の形状記憶合金３１、また第１２図に示す
ように波板状の形状記憶合金３２、さらに第１３図また
は第１４図に示すように１つまたは２つのループ部を有
する線状の形状記憶合金３３．３４を用いることも可能
である。
部の移動量を大きくするために、第１１図に示すように
湾曲した板状の形状記憶合金３１、また第１２図に示す
ように波板状の形状記憶合金３２、さらに第１３図また
は第１４図に示すように１つまたは２つのループ部を有
する線状の形状記憶合金３３．３４を用いることも可能
である。
さらに、形状記憶合金の加熱手段はそれへの通電加熱の
他に、誘導加熱、熱流体による加熱、レーザ光、熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
他に、誘導加熱、熱流体による加熱、レーザ光、熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
以上述べた本発明の実施例は発塵が少ないので。
半導体製造工程でのウェハハンドリングに好適である。
以上述べたように、本発明によれば、被把持体に無理な
力を加えずに把持することができると共に着床時にも大
きな衝撃力を与えることがないので、被把持体の損傷を
低減できる。その結果、被把持体の品質管理を向上し得
るハンドリングが可能である。
力を加えずに把持することができると共に着床時にも大
きな衝撃力を与えることがないので、被把持体の損傷を
低減できる。その結果、被把持体の品質管理を向上し得
るハンドリングが可能である。
第１図〜第６図はそれぞれ本発明の把持装置の各実施例
を示す正面図、第７図〜第１４図はそれぞれ本発明の装
置に用いられる形状記憶合金の他の例を示す斜視図であ
る。 Ｗ・・・被把持体、１・・・基部、２，３，１０，１６
゜１７．２４．２５・・・弾性体、４．５・・・Ｊεε
棒体６゜１１．１３，１８，１９，２０，２１．２６・
・・形状記憶合金。 、／−７ｙ。
を示す正面図、第７図〜第１４図はそれぞれ本発明の装
置に用いられる形状記憶合金の他の例を示す斜視図であ
る。 Ｗ・・・被把持体、１・・・基部、２，３，１０，１６
゜１７．２４．２５・・・弾性体、４．５・・・Ｊεε
棒体６゜１１．１３，１８，１９，２０，２１．２６・
・・形状記憶合金。 、／−７ｙ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、板状の被把持体の外周縁を把持対象個所として把持
する把持装置において、装置の基部に把持体をそれぞれ
開方向または閉方向に付勢する弾性体によつて取り付け
、前記把持体間に形状記憶合金の駆動部を設け、前記把
持体の把持部に被把持体の基部側への移動許容部を設け
、基部もしくは把持体に、被把持体を把持体の先端に押
付ける手段を設けたことを特徴とする把持装置。 ２、特許請求の範囲第１項記載の把持装置において、前
記押付手段は被把持体の外周縁の少なくとも１個所に接
触する保持体と、この保持体を被把持体に押圧させる駆
動部とを備えたことを特徴とする把持装置。 ３、特許請求の範囲第２項記載の把持装置において、駆
動部は、保持体を付勢移動させる弾性体と、この弾性体
に抗して作動する形状記憶合金とで構成されたことを特
徴とする把持装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8230985A JPS61241940A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 把持装置 |
| US06/853,450 US4715637A (en) | 1985-04-17 | 1986-04-17 | Grip device for sheet-like objects |
| EP86105342A EP0198501B1 (en) | 1985-04-17 | 1986-04-17 | Gripping device |
| DE8686105342T DE3685835T2 (de) | 1985-04-17 | 1986-04-17 | Greiferwerkzeug. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8230985A JPS61241940A (ja) | 1985-04-19 | 1985-04-19 | 把持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61241940A true JPS61241940A (ja) | 1986-10-28 |
| JPH0577180B2 JPH0577180B2 (ja) | 1993-10-26 |
Family
ID=13770953
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8230985A Granted JPS61241940A (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-19 | 把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61241940A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001024052A (ja) * | 1999-05-15 | 2001-01-26 | Applied Materials Inc | 基板を縦向きに支持するグリッパ |
| FR2932272A1 (fr) * | 2008-06-09 | 2009-12-11 | Stago Diagnostica | Dispositif de prehension d'une cuvette de reaction |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5278200U (ja) * | 1975-12-10 | 1977-06-10 | ||
| JPS59695A (ja) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | 原子燃料工業株式会社 | 異物回収装置 |
| JPS591583U (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-07 | オムロン株式会社 | 産業用ロボツト腕 |
| JPS59156763U (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-20 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置用ピンセツト |
| JPS6044270A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置製造用の円形基板の取扱い治具 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS591583B2 (ja) * | 1979-10-05 | 1984-01-12 | 河西工業株式会社 | 自動車用内装部品の製造方法 |
-
1985
- 1985-04-19 JP JP8230985A patent/JPS61241940A/ja active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5278200U (ja) * | 1975-12-10 | 1977-06-10 | ||
| JPS59695A (ja) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | 原子燃料工業株式会社 | 異物回収装置 |
| JPS591583U (ja) * | 1982-06-28 | 1984-01-07 | オムロン株式会社 | 産業用ロボツト腕 |
| JPS59156763U (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-20 | 三洋電機株式会社 | 半導体装置用ピンセツト |
| JPS6044270A (ja) * | 1983-08-15 | 1985-03-09 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置製造用の円形基板の取扱い治具 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001024052A (ja) * | 1999-05-15 | 2001-01-26 | Applied Materials Inc | 基板を縦向きに支持するグリッパ |
| FR2932272A1 (fr) * | 2008-06-09 | 2009-12-11 | Stago Diagnostica | Dispositif de prehension d'une cuvette de reaction |
| WO2010000955A1 (fr) * | 2008-06-09 | 2010-01-07 | Diagnostica Stago | Dispositif de prehension d'une cuvette de reaction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0577180B2 (ja) | 1993-10-26 |
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