JPH074787B2 - 把持装置 - Google Patents
把持装置Info
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- JPH074787B2 JPH074787B2 JP61127950A JP12795086A JPH074787B2 JP H074787 B2 JPH074787 B2 JP H074787B2 JP 61127950 A JP61127950 A JP 61127950A JP 12795086 A JP12795086 A JP 12795086A JP H074787 B2 JPH074787 B2 JP H074787B2
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- gripping
- shape memory
- memory alloy
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は把持装置に係り、特に半導体ウエハのような薄
板状の被把持体の把持，搬送に好適な把持装置に関す
る。
板状の被把持体の把持，搬送に好適な把持装置に関す
る。
従来、半導体ウエハのような薄板状の被把持体のハンド
リングは、ウエハへのごみ等の有害物の付着を防ぐため
に、被把持体を真空吸着によりハンドリングする方式か
ら、被把持体の外周縁を把持する方策が種々提案されて
いる（特開昭58−75844号公報，特開昭58−155736号公
報）。
リングは、ウエハへのごみ等の有害物の付着を防ぐため
に、被把持体を真空吸着によりハンドリングする方式か
ら、被把持体の外周縁を把持する方策が種々提案されて
いる（特開昭58−75844号公報，特開昭58−155736号公
報）。
また、通常の雰囲気で物体を把持する把持装置として、
把持体をバイアス−スプリングとスプリング状の形状記
憶合金との組合わせによつて開閉させるものが、昭和58
年３月に（財）大阪科学技術センター・形状記憶合金用
途開発調査研究委員会より発行された「形状記憶合金の
用途開発に関する調査研究報告書」の第110頁，第111頁
に記載されている。
把持体をバイアス−スプリングとスプリング状の形状記
憶合金との組合わせによつて開閉させるものが、昭和58
年３月に（財）大阪科学技術センター・形状記憶合金用
途開発調査研究委員会より発行された「形状記憶合金の
用途開発に関する調査研究報告書」の第110頁，第111頁
に記載されている。
上記の特開昭58−75844号公報及び特開昭58−155736号
公報に記載された把持装置は発塵源となる例えばピン結
合，摺動面等の摺動部を備えているため、半導体ウエハ
の表面上の清浄度を高く維持することができないのが現
状である。
公報に記載された把持装置は発塵源となる例えばピン結
合，摺動面等の摺動部を備えているため、半導体ウエハ
の表面上の清浄度を高く維持することができないのが現
状である。
また、上記の形状記憶合金の用途開発に関する調査報告
書に述べられた把持装置はクリーンな環境での使用を配
慮していないと共に、自然空冷により形状記憶合金の冷
却を行つているため、その開閉動作が遅く、高速作業が
要求されるシステムでのハンドリングには不向きであつ
た。
書に述べられた把持装置はクリーンな環境での使用を配
慮していないと共に、自然空冷により形状記憶合金の冷
却を行つているため、その開閉動作が遅く、高速作業が
要求されるシステムでのハンドリングには不向きであつ
た。
本発明は発塵が少なく把持体の開閉動の応答性の良い把
持装置を提供することにある。
持装置を提供することにある。
本発明の上記目的は、板状の被把持体の外周縁を把持対
象個所として把持する把持装置において、装置の基部
に、前記把持体をそれぞれ開方向または閉方向に付勢す
る弾性体を設け、この弾性体の端部に前記把持体の中央
部を設け、前記把持体の反保持部側端の間に形状記憶合
金の駆動部を設け、前記把持体の先端に前記被把持体を
把持する保持部を設けることにより達成される。
象個所として把持する把持装置において、装置の基部
に、前記把持体をそれぞれ開方向または閉方向に付勢す
る弾性体を設け、この弾性体の端部に前記把持体の中央
部を設け、前記把持体の反保持部側端の間に形状記憶合
金の駆動部を設け、前記把持体の先端に前記被把持体を
把持する保持部を設けることにより達成される。
本発明の把持装置は摺動部を有しない構成とすることが
できるので、発塵の少ない把持装置を提供することがで
き、また把持体の駆動部となる形状記憶合金を把持装置
周辺の気流にあたり易い位置に配置しているので、その
冷却速度が早くなり、把持体の開閉動の応答性を向上さ
せることができる。
できるので、発塵の少ない把持装置を提供することがで
き、また把持体の駆動部となる形状記憶合金を把持装置
周辺の気流にあたり易い位置に配置しているので、その
冷却速度が早くなり、把持体の開閉動の応答性を向上さ
せることができる。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明する。
第１図は本発明の把持装置の一実施例を示すもので、こ
の図においてＷは半導体ウエハのような薄板状の被把持
体を示す。本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボツトの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ基部１の上方に延在する弾性体2,3の一端が取り付け
られている。これらの弾性体2,3の他端にはそれぞれ中
央突起4E,5Eを介して把持体4,5が取り付けられている。
この把持体4,5の一端には被把持体Ｗの下部周縁を保持
する第１の保持部4A,5Aと、被把持体Ｗの周縁平面を保
持する第２の保持部4B,4C,5B,5Cと被把持体Ｗの上方へ
の移動許容部4D,4Dとを備えている。把持体4,5の他の一
端4F,5Fの間には把持体4,5の開閉のための駆動部となる
線状の形状記憶合金６が配設されている。この形状記憶
合金６は加熱によりその長さを縮める回復力が発生する
ようにその形状を記憶している。この形状記憶合金６は
スイツチ７を通して電源８に接続している。前述した弾
性体2,3は、把持体4,5を閉方向に付勢するための初期た
わみが与えられている。
の図においてＷは半導体ウエハのような薄板状の被把持
体を示す。本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボツトの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ基部１の上方に延在する弾性体2,3の一端が取り付け
られている。これらの弾性体2,3の他端にはそれぞれ中
央突起4E,5Eを介して把持体4,5が取り付けられている。
この把持体4,5の一端には被把持体Ｗの下部周縁を保持
する第１の保持部4A,5Aと、被把持体Ｗの周縁平面を保
持する第２の保持部4B,4C,5B,5Cと被把持体Ｗの上方へ
の移動許容部4D,4Dとを備えている。把持体4,5の他の一
端4F,5Fの間には把持体4,5の開閉のための駆動部となる
線状の形状記憶合金６が配設されている。この形状記憶
合金６は加熱によりその長さを縮める回復力が発生する
ようにその形状を記憶している。この形状記憶合金６は
スイツチ７を通して電源８に接続している。前述した弾
性体2,3は、把持体4,5を閉方向に付勢するための初期た
わみが与えられている。
次に上述した本発明の把持装置の一実施例の動作を説明
する。
する。
まず、第１図の実線で示す被把持体Ｗの把持状態におい
て、被把持体Ｗを開放する動作を説明する。形状記憶合
金６を加熱すると、形状記憶合金６は弾性体2,3の変形
力に抗する回復力を発生し、把持体4,5の他の一端4F,5F
相方を引寄せる。その結果、把持体4,5は開き、被把持
体Ｗを開放する。これにより、被把持体Ｗを治具等に載
置することができる。
て、被把持体Ｗを開放する動作を説明する。形状記憶合
金６を加熱すると、形状記憶合金６は弾性体2,3の変形
力に抗する回復力を発生し、把持体4,5の他の一端4F,5F
相方を引寄せる。その結果、把持体4,5は開き、被把持
体Ｗを開放する。これにより、被把持体Ｗを治具等に載
置することができる。
次に被把持体Ｗを把持する場合には上述の動作とは逆に
形状記憶合金６を冷却する。これにより、形状記憶合金
６はその回復力が低下するので、把持体4,5は弾性体2,3
の変形力により、第１図の１点鎖線で示すように被把持
体Ｗに大きな押付力を与えず把持体4A,5Aによつて被把
持体Ｗの下方周縁を保持する形で、被把持体Ｗを挾持す
る。
形状記憶合金６を冷却する。これにより、形状記憶合金
６はその回復力が低下するので、把持体4,5は弾性体2,3
の変形力により、第１図の１点鎖線で示すように被把持
体Ｗに大きな押付力を与えず把持体4A,5Aによつて被把
持体Ｗの下方周縁を保持する形で、被把持体Ｗを挾持す
る。
このように構成したことにより、被把持体Ｗの把持動作
において、把持装置からの発塵が少ないので、被把持体
への塵付着がなく、清浄にハンドリングすることができ
る。また把持体4,5を開閉動させる形状記憶合金６は半
導体製造行程のダウンフローのような把持装置周辺の気
流Ａにより強制空冷されるため、その加熱冷却速度が早
く、把持体4,5の開閉動の応答性が良好である。
において、把持装置からの発塵が少ないので、被把持体
への塵付着がなく、清浄にハンドリングすることができ
る。また把持体4,5を開閉動させる形状記憶合金６は半
導体製造行程のダウンフローのような把持装置周辺の気
流Ａにより強制空冷されるため、その加熱冷却速度が早
く、把持体4,5の開閉動の応答性が良好である。
第２図は本発明の把持装置の変形例を示すもので、この
図において第１図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は基部９に把持体4,5の閉動作量を規制する突
起部9A,9Bを形成したものである。
図において第１図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は基部９に把持体4,5の閉動作量を規制する突
起部9A,9Bを形成したものである。
このように構成したことにより、把持体4,5による被把
持体Ｗの把持時に、把持体4,5間の間隔を形状記憶合金
６の回復力によらず一定に決めることができる。その結
果、把持体4,5は被把持体Ｗに対して一定のすきまをも
つて把持することができ、把持体Ｗに無用な把持力を与
えることがない。
持体Ｗの把持時に、把持体4,5間の間隔を形状記憶合金
６の回復力によらず一定に決めることができる。その結
果、把持体4,5は被把持体Ｗに対して一定のすきまをも
つて把持することができ、把持体Ｗに無用な把持力を与
えることがない。
第３図は第２図の把持装置の変形例を示すもので、この
図において第２図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は基部９の突起部9A,9Bの端面に弾性部材10,11
を設けたものである。
図において第２図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は基部９の突起部9A,9Bの端面に弾性部材10,11
を設けたものである。
このように構成したことにより、把持体4,5による被把
持体Ｗの把持部、把持体4,5は弾性部材11との衝突によ
りこの衝突時の塵の発生を低減できる。
持体Ｗの把持部、把持体4,5は弾性部材11との衝突によ
りこの衝突時の塵の発生を低減できる。
第４図は本発明の把持装置の他の実施例を示すもので、
この図において第１図と同符号のものは同一部分を示
す。この実施例は基部12に形成した突起部12Aと一方の
把持体５との間にもう１つの形状記憶合金13を設けたも
のである。
この図において第１図と同符号のものは同一部分を示
す。この実施例は基部12に形成した突起部12Aと一方の
把持体５との間にもう１つの形状記憶合金13を設けたも
のである。
このように構成したことにより、形状記憶合金13の加熱
冷却により、弾性体2,3のばね特性が製作上の点で異な
つている場合には、把持体2,3によつて把持された被把
持体Ｗの把持位置のずれすなわち第２図の紙面内でのず
れを生じるが、このずれを修正することができる。また
ばね特性がほぼ同様な場合には形状記憶合金13の加熱冷
却により把持体4,5によつて把持された被把持体Ｗを第
２図の紙面上左右方向に移動させることができる。
冷却により、弾性体2,3のばね特性が製作上の点で異な
つている場合には、把持体2,3によつて把持された被把
持体Ｗの把持位置のずれすなわち第２図の紙面内でのず
れを生じるが、このずれを修正することができる。また
ばね特性がほぼ同様な場合には形状記憶合金13の加熱冷
却により把持体4,5によつて把持された被把持体Ｗを第
２図の紙面上左右方向に移動させることができる。
なお、上述の実施例において、弾性体2,3の初期たわみ
を、把持体4,5の閉じ方向に与え、形状記憶合金６の引
張性回復力で把持体4,5を開き動作させたが、上述とは
逆の特性すなわち、弾性体2,3の初期たわみを、把持体
4,5の開き方向に与え、形状記憶合金６の圧縮性回復力
で把持体4,5を閉じ動作させることも可能である。
を、把持体4,5の閉じ方向に与え、形状記憶合金６の引
張性回復力で把持体4,5を開き動作させたが、上述とは
逆の特性すなわち、弾性体2,3の初期たわみを、把持体
4,5の開き方向に与え、形状記憶合金６の圧縮性回復力
で把持体4,5を閉じ動作させることも可能である。
また前述した形状記憶合金6,9は１つの線状体に限られ
るものでなく、板状体，コイル状体，パイプ状体でもよ
く、また複数の線状体を平行して配置する構成としても
よい。
るものでなく、板状体，コイル状体，パイプ状体でもよ
く、また複数の線状体を平行して配置する構成としても
よい。
さらに、形状記憶合金の加熱手段はそれへの通電加熱の
他に、誘導加熱，熱流体による加熱，レーザ光，熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
他に、誘導加熱，熱流体による加熱，レーザ光，熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
以上述べた本発明の実施例は発塵が少ないので、半導体
製造工程でのウエハハンドリングに好適である。
製造工程でのウエハハンドリングに好適である。
第５図は本発明の把持装置の一実施例を示すもので、こ
の図においてＷは半導体ウエハのような薄板状の被把持
体を示す。本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボツトの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ基部１の上方に延在する弾性体2,3の一端が取り付け
られている。これらの弾性体2,3の他端にはそれぞれ中
央突起4E,5Eを介して把持体4,5が取り付けられている。
この把持体4,5の一端には被把持体Ｗの下部周縁を保持
する第１の保持部4A,5Aと、被把持体Ｗの周縁平面を保
持する第２の保持部4B,4C,5B,5Cと被把持体Ｗの上方へ
の移動許容部4D,5Dとを備えている。把持体4,5の他の一
端4F,5Fの間には把持体4,5の開閉のための駆動部となる
線状の形状記憶合金６が配設されている。この形状記憶
合金６は加熱によりその長さを縮める回復力が発生する
ようにその形状を記憶している。この形状記憶合金６は
スイツチ７を通して電源８に接続している。前述した弾
性体2,3は把持体4,5を閉方向に付勢するための初期たわ
みが与えられている。基部１に形成された突起部1Aの両
側にはそれぞれ弾性体9,10の一端が取り付けられてい
る。これらの弾性体9,10の他端にはそれぞれ中央突起11
B,12Bを介して保持体11,12が取り付けられている。この
保持体11,12の一端には被把持体Ｗの上部周縁を保持す
る保持部11A,12Aを備えている。保持体11,12の他の一端
11C,12Cの間には保持体11,12の開閉のための駆動部とな
る線状の形状記憶合金13が配設されている。この形状記
憶合金13は加熱によりその長さを縮める回復力が発生す
るようにその形状を記憶している。この形状記憶合金13
はスイツチ14を通して電源８に接続している。前述した
弾性体9,10は保持体11,12を閉方向に付勢するための初
期たわみが与えられている。
の図においてＷは半導体ウエハのような薄板状の被把持
体を示す。本発明の把持装置を構成する基部１は例えば
ロボツトの腕端に装設される。基部１の両側にはそれぞ
れ基部１の上方に延在する弾性体2,3の一端が取り付け
られている。これらの弾性体2,3の他端にはそれぞれ中
央突起4E,5Eを介して把持体4,5が取り付けられている。
この把持体4,5の一端には被把持体Ｗの下部周縁を保持
する第１の保持部4A,5Aと、被把持体Ｗの周縁平面を保
持する第２の保持部4B,4C,5B,5Cと被把持体Ｗの上方へ
の移動許容部4D,5Dとを備えている。把持体4,5の他の一
端4F,5Fの間には把持体4,5の開閉のための駆動部となる
線状の形状記憶合金６が配設されている。この形状記憶
合金６は加熱によりその長さを縮める回復力が発生する
ようにその形状を記憶している。この形状記憶合金６は
スイツチ７を通して電源８に接続している。前述した弾
性体2,3は把持体4,5を閉方向に付勢するための初期たわ
みが与えられている。基部１に形成された突起部1Aの両
側にはそれぞれ弾性体9,10の一端が取り付けられてい
る。これらの弾性体9,10の他端にはそれぞれ中央突起11
B,12Bを介して保持体11,12が取り付けられている。この
保持体11,12の一端には被把持体Ｗの上部周縁を保持す
る保持部11A,12Aを備えている。保持体11,12の他の一端
11C,12Cの間には保持体11,12の開閉のための駆動部とな
る線状の形状記憶合金13が配設されている。この形状記
憶合金13は加熱によりその長さを縮める回復力が発生す
るようにその形状を記憶している。この形状記憶合金13
はスイツチ14を通して電源８に接続している。前述した
弾性体9,10は保持体11,12を閉方向に付勢するための初
期たわみが与えられている。
次に上述した本発明の把持装置の一実施例の動作を説明
する。
する。
まず、第５図の１点鎖線で示す被把持体Ｗの把持開始状
態において、被把持体Ｗを把持する動作を説明する。こ
のとき、形状記憶合金13は加熱されており、弾性体9,10
の変形力に抗する回復力を発生し、保持体11,12の一端1
1C,12Cを相互に引寄せ、保持部11A,12Aは被把持体Ｗか
ら離れている。この状態において、スイツチ７をしや断
し加熱を停止すると、形状記憶合金６が、たとえば半導
体製造環境に使用するダウンフロー等の装置周辺の気流
Ａにより強制空冷され、形状記憶合金６の回復力が低下
するので、把持体4,5は弾性体2,3の変形力により閉じ
る。その結果、把持体4,5は第５図の実線で示すように
被把持体Ｗに大きな押付力を与えず、第１の把持体4A,5
Aによつて被把持体Ｗの下方周縁を保持する形で、被把
持体Ｗを挾持する。次にスイツチ14をしや断し加熱を停
止すると、形状記憶合金13が、気流Ａにより強制空冷さ
れ、形状記憶合金13の回復力が低下するので、保持体1
1,12は弾性体9,10の変形力により閉じ、被把持体Ｗを把
持体4,5の先端に向かつて押し付ける。これにより、被
把持体Ｗは把持体4,5内に確実に挾持されるので、ロボ
ツトの腕の移動により被把持体Ｗを垂直，水平等の任意
の姿勢を保つて所望の位置に移送させることができる。
態において、被把持体Ｗを把持する動作を説明する。こ
のとき、形状記憶合金13は加熱されており、弾性体9,10
の変形力に抗する回復力を発生し、保持体11,12の一端1
1C,12Cを相互に引寄せ、保持部11A,12Aは被把持体Ｗか
ら離れている。この状態において、スイツチ７をしや断
し加熱を停止すると、形状記憶合金６が、たとえば半導
体製造環境に使用するダウンフロー等の装置周辺の気流
Ａにより強制空冷され、形状記憶合金６の回復力が低下
するので、把持体4,5は弾性体2,3の変形力により閉じ
る。その結果、把持体4,5は第５図の実線で示すように
被把持体Ｗに大きな押付力を与えず、第１の把持体4A,5
Aによつて被把持体Ｗの下方周縁を保持する形で、被把
持体Ｗを挾持する。次にスイツチ14をしや断し加熱を停
止すると、形状記憶合金13が、気流Ａにより強制空冷さ
れ、形状記憶合金13の回復力が低下するので、保持体1
1,12は弾性体9,10の変形力により閉じ、被把持体Ｗを把
持体4,5の先端に向かつて押し付ける。これにより、被
把持体Ｗは把持体4,5内に確実に挾持されるので、ロボ
ツトの腕の移動により被把持体Ｗを垂直，水平等の任意
の姿勢を保つて所望の位置に移送させることができる。
次に所望の位置に移送した被把持体Ｗを治具等の上に載
置する場合には、上述の動作とは逆にまず、スイツチ14
を接続し形状記憶合金13を通電加熱する。これにより、
形状記憶合金13は弾性体9,10の変形力に抗する回復力を
発生して保持体11,12の一端11C,12Cを相互に引寄せ保持
体11,12を開くので、被把持体Ｗの把持体4,5先端への押
付力が解除され、被把持体4,5の移動許容部4D,5Dに沿つ
て上方への移動が可能となる。そして把持装置を被把持
体Ｗと治具との衝突速度を考慮して降下させ、被把持体
Ｗを治具に着床させる。このとき、被把持体Ｗは把持体
4,5の移動許容部4D,5Dに沿つて移動し大きな衝撃を受け
ることなく着床することができる。その後、スイツチ７
を接続し形状記憶合金６を通電加熱すると、形状記憶合
金６の回復力により把持体4,5は開き、被把持体Ｗを開
放する。これにより被把持体Ｗを治具等に載置すること
ができる。
置する場合には、上述の動作とは逆にまず、スイツチ14
を接続し形状記憶合金13を通電加熱する。これにより、
形状記憶合金13は弾性体9,10の変形力に抗する回復力を
発生して保持体11,12の一端11C,12Cを相互に引寄せ保持
体11,12を開くので、被把持体Ｗの把持体4,5先端への押
付力が解除され、被把持体4,5の移動許容部4D,5Dに沿つ
て上方への移動が可能となる。そして把持装置を被把持
体Ｗと治具との衝突速度を考慮して降下させ、被把持体
Ｗを治具に着床させる。このとき、被把持体Ｗは把持体
4,5の移動許容部4D,5Dに沿つて移動し大きな衝撃を受け
ることなく着床することができる。その後、スイツチ７
を接続し形状記憶合金６を通電加熱すると、形状記憶合
金６の回復力により把持体4,5は開き、被把持体Ｗを開
放する。これにより被把持体Ｗを治具等に載置すること
ができる。
このように構成したことにより、被把持体に無理な力を
加えずに被把持体Ｗを把持することができ、しかも被把
持体Ｗを任意の姿勢で移送することができる。また被把
持体Ｗの着床時の衝撃も小さくし安定して着床させるこ
とができる。さらに形状記憶合金6,11が装置周辺の気流
Ａにより効率よく空冷されるので把持動作の応答性をよ
くすることができる。
加えずに被把持体Ｗを把持することができ、しかも被把
持体Ｗを任意の姿勢で移送することができる。また被把
持体Ｗの着床時の衝撃も小さくし安定して着床させるこ
とができる。さらに形状記憶合金6,11が装置周辺の気流
Ａにより効率よく空冷されるので把持動作の応答性をよ
くすることができる。
第６図は本発明の把持装置の他の実施例を示すもので、
この図において第５図と同符号のものは同一部分であ
る。この実施例は被把持体Ｗの保持部を被把持体Ｗの上
方周縁の１個所に接触する保持体18と、保持体18を基部
15に支持する弾性体17、弾性体17に抗して保持体18を駆
動させる形状記憶合金16とで構成したものである。
この図において第５図と同符号のものは同一部分であ
る。この実施例は被把持体Ｗの保持部を被把持体Ｗの上
方周縁の１個所に接触する保持体18と、保持体18を基部
15に支持する弾性体17、弾性体17に抗して保持体18を駆
動させる形状記憶合金16とで構成したものである。
このように構成したことにより、形状記憶合金16の加熱
もしくは冷却により保持体18は把持体4,5に把持された
被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくはその押付力を解
除することができ、前述した実施例と同様に、被把持体
Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗを衝撃を与え
ることなく着床させることができる。さらに、この実施
例によれば、前述した第５図に示す実施例にくらべて被
把持体Ｗの押付け機構を簡素にすることができる。
もしくは冷却により保持体18は把持体4,5に把持された
被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくはその押付力を解
除することができ、前述した実施例と同様に、被把持体
Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗを衝撃を与え
ることなく着床させることができる。さらに、この実施
例によれば、前述した第５図に示す実施例にくらべて被
把持体Ｗの押付け機構を簡素にすることができる。
第７図は第６図の把持装置の変形例を示すもので、この
図において第２図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は保持体18をニツケルチタン（NiTi）合金等の
２方向特性を有する形状記憶合金19を介して基部２に支
持して構成し、形状記憶合金19に記憶させるたある温度
よりも高い温度での記憶形状と低い温度での記憶形状と
の変形により、保持体18を被把持体Ｗへの押付けまたは
その押付けを解放させるようにしたものである。
図において第２図と同符号のものは同一部分を示す。こ
の実施例は保持体18をニツケルチタン（NiTi）合金等の
２方向特性を有する形状記憶合金19を介して基部２に支
持して構成し、形状記憶合金19に記憶させるたある温度
よりも高い温度での記憶形状と低い温度での記憶形状と
の変形により、保持体18を被把持体Ｗへの押付けまたは
その押付けを解放させるようにしたものである。
このように構成したことにより、前述した実施例と同様
に、被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗ
を衝撃を与えることなく着床させることができる。さら
に、この実施例によれば、前述した第６図に示す実施例
にくらべて保持体18の駆動機構を簡素にすることができ
る。
に、被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被把持体Ｗ
を衝撃を与えることなく着床させることができる。さら
に、この実施例によれば、前述した第６図に示す実施例
にくらべて保持体18の駆動機構を簡素にすることができ
る。
第８図は本発明の把持装置のさらに他の実施例を示すも
ので、この図において第５図と同符号のものは同一部分
である。この実施例は被把持体Ｗの上方周縁の２個所に
接触する保持体22,23と、これらの保持体22,23をそれぞ
れ把持体4,5に支持する弾性体24,25と、弾性体24,25に
抗して保持体22,23を駆動させる形状記憶合金26,27とで
構成したものである。
ので、この図において第５図と同符号のものは同一部分
である。この実施例は被把持体Ｗの上方周縁の２個所に
接触する保持体22,23と、これらの保持体22,23をそれぞ
れ把持体4,5に支持する弾性体24,25と、弾性体24,25に
抗して保持体22,23を駆動させる形状記憶合金26,27とで
構成したものである。
このように構成したことにより、形状記憶合金26,27の
加熱もしくは冷却により、保持体22,23は把持体4,5に把
持された被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくはその押
付力を解除することができる。しかも保持体22,23は把
持された被把持体Ｗの中心部に向かつて押付力を与える
ので、把持体4,5内での被把持体Ｗの位置ずれを抑える
ことができる。さらにこの実施例においても前述した実
施例と同様に被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被
把持体Ｗを衝撃を与えることなく着床させることができ
る。
加熱もしくは冷却により、保持体22,23は把持体4,5に把
持された被把持体Ｗに押付力を与えるかもしくはその押
付力を解除することができる。しかも保持体22,23は把
持された被把持体Ｗの中心部に向かつて押付力を与える
ので、把持体4,5内での被把持体Ｗの位置ずれを抑える
ことができる。さらにこの実施例においても前述した実
施例と同様に被把持体Ｗを無理なく把持し得ると共に被
把持体Ｗを衝撃を与えることなく着床させることができ
る。
第９図は第８図の把持装置の変形例を示すもので、この
図において第５図および第８図と同符号のものは同一部
分である。この実施例は保持体22,23をそれぞれニツケ
ルチタン（NiTi）合金の２方向特性を有する形状記憶合
金28,29を介して把持体4,5に支持して構成し、形状記憶
合金28,29に記憶させたある温度よりも高い温度での記
憶形状と低い温度での記憶形状との変形により、保持体
22,23を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
図において第５図および第８図と同符号のものは同一部
分である。この実施例は保持体22,23をそれぞれニツケ
ルチタン（NiTi）合金の２方向特性を有する形状記憶合
金28,29を介して把持体4,5に支持して構成し、形状記憶
合金28,29に記憶させたある温度よりも高い温度での記
憶形状と低い温度での記憶形状との変形により、保持体
22,23を被把持体Ｗへの押付けまたはその押付けを解放
させるようにしたものである。
このように構成したことにより、前述した実施例と同様
な効果が得られると共に、第４図に示す実施例にくらべ
て保持体22,23の駆動機構を簡素にすることができる。
な効果が得られると共に、第４図に示す実施例にくらべ
て保持体22,23の駆動機構を簡素にすることができる。
なお、第５図に示す実施例においては、弾性体2,3の初
期たわみを、把持体4,5の閉じ方向に与え、形状記憶合
金６の引張性回復力で把持体4,5を開き動作させ、また
弾性体9,10の初期たわみを、保持体９の閉じ方向に与
え、形状記憶合金13の引張性回復力で保持体11,12を開
き方向に動作させたが、この弾性体2,3,9,10の初期たわ
み設定および形状記憶合金6,13の形状記憶は第８図およ
び第９図に示す実施例にも適用することができる。ま
た、上述とは逆の特性、すなわち、弾性体2,3の初期た
わみを、把持体4,5の開き方向に与え、形状記憶合金６
の圧縮性回復力で把持体4,5を閉じ動作させ、また弾性
体9,10の初期たわみを保持体11,12の開き方向に与え、
形状記憶合金13の圧縮性回復力で保持体11,12を閉じる
ように設定することも可能である。
期たわみを、把持体4,5の閉じ方向に与え、形状記憶合
金６の引張性回復力で把持体4,5を開き動作させ、また
弾性体9,10の初期たわみを、保持体９の閉じ方向に与
え、形状記憶合金13の引張性回復力で保持体11,12を開
き方向に動作させたが、この弾性体2,3,9,10の初期たわ
み設定および形状記憶合金6,13の形状記憶は第８図およ
び第９図に示す実施例にも適用することができる。ま
た、上述とは逆の特性、すなわち、弾性体2,3の初期た
わみを、把持体4,5の開き方向に与え、形状記憶合金６
の圧縮性回復力で把持体4,5を閉じ動作させ、また弾性
体9,10の初期たわみを保持体11,12の開き方向に与え、
形状記憶合金13の圧縮性回復力で保持体11,12を閉じる
ように設定することも可能である。
また前述した形状記憶合金6,13,16,19,26,27,28,29は１
つの線状体に限られるものでなく、コイル状，板状，パ
イプ状でもよく、線状体の形状記憶合金を複数本用いて
もよい。
つの線状体に限られるものでなく、コイル状，板状，パ
イプ状でもよく、線状体の形状記憶合金を複数本用いて
もよい。
さらに、形状記憶合金の加熱手段はそれへの通電加熱の
他に、誘導加熱，熱流体による加熱，レーザ光，熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
他に、誘導加熱，熱流体による加熱，レーザ光，熱赤外
線等による輻射加熱等を用いることもできる。
以上述べた本発明の実施例は発塵が少なく動作の応答性
がよいので、半導体製造工程でのウエハハンドリングに
好適である。
がよいので、半導体製造工程でのウエハハンドリングに
好適である。
〔発明の効果〕 以上述べたように、本発明によれば、機械的摺動部を全
く含まない構成としたので、把持動作時においても発塵
が少なく、また形状記憶合金に効率よく装置周囲の気流
があたる構成としたので、応答性がよい。その結果、半
導体ウエハの如き被把持体のハンドリングに好適な把持
装置を提供することができる。
く含まない構成としたので、把持動作時においても発塵
が少なく、また形状記憶合金に効率よく装置周囲の気流
があたる構成としたので、応答性がよい。その結果、半
導体ウエハの如き被把持体のハンドリングに好適な把持
装置を提供することができる。
第１図，第２図，第３図，第４図，第５図，第６図，第
７図，第８図，第９図はそれぞれ本発明の把持装置の各
実施例を示す正面図である。 Ｗ……被把持体、1,9……基部、2,3……弾性体、4,5…
…把持体、6,13……形状記憶合金。
７図，第８図，第９図はそれぞれ本発明の把持装置の各
実施例を示す正面図である。 Ｗ……被把持体、1,9……基部、2,3……弾性体、4,5…
…把持体、6,13……形状記憶合金。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 酒井 昭彦 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (56)参考文献 特開 昭59−695（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−172694（ＪＰ，Ｕ)
Claims (3)
- 【請求項１】形状記憶合金によって作動される把持体に
よって、発塵を嫌う板状の被把持体の外周縁を把持対象
個所として把持する把持装置において、前記把持体間に
基部を配置し、この基部の両端にそれぞれ上方に延在す
る板状の弾性体の一方端を固定し、この弾性体の他方端
を前記把持体の内側中間部に固定し、前記弾性体に抗し
て把持体を開方向または閉方向に力を加える前記形状記
憶合金を、前記把持体の上方端間に設けたことを特徴と
する把持装置。 - 【請求項２】形状記憶合金によって作動される把持体に
よって、発塵を嫌う板状の被把持体の外周縁を把持対象
個所として把持する把持装置において、前記把持体間に
基部を配置し、この基部の両端にそれぞれ上方に延在す
る板状の弾性体の一方端を固定し、この弾性体の他方端
を前記把持体の内側中間部に固定し、前記弾性体に抗し
て把持体を開方向または閉方向に力を加える前記形状記
憶合金を、前記把持体の上方端間に設け、前記被把持体
の外周縁の少なくとも１個所に接触する保持体に、形状
記憶合金の一方を連結し、この形状記憶合金の他方を前
記基部もしくは把持体の内側に固定したことを特徴とす
る把持装置。 - 【請求項３】形状記憶合金によって作動される把持体に
よって、発塵を嫌う板状の被把持体の外周縁を把持対象
個所として把持する把持装置において、前記把持体間に
基部を配置し、この基部の両端にそれぞれ上方に延在す
る板状の弾性体の一方端を固定し、この弾性体の他方端
を前記把持体の内側中間部に固定し、前記弾性体に抗し
て把持体を開方向または閉方向に力を加える前記形状記
憶合金を、前記把持体の上方端間に設け、前記被把持体
の外周縁の少なくとも１個所に接触する保持体に、弾性
体の一方を連結し、この弾性体の他方を前記基部もしく
は把持体の内側に固定し、この弾性体に抗して前記保持
体を駆動する形状記憶合金の一方を前記保持体に、その
他方を基部もしくは把持体の内側に固定したことを特徴
とする把持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61127950A JPH074787B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 把持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61127950A JPH074787B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 把持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62287989A JPS62287989A (ja) | 1987-12-14 |
| JPH074787B2 true JPH074787B2 (ja) | 1995-01-25 |
Family
ID=14972649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61127950A Expired - Lifetime JPH074787B2 (ja) | 1986-06-04 | 1986-06-04 | 把持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH074787B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017005169A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | ウエハ搬送用ハンド |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6354315B2 (ja) * | 2014-05-16 | 2018-07-11 | 日産自動車株式会社 | ロボットハンド及びこれを備えた自動組立ロボット |
| JP6868651B2 (ja) * | 2019-01-30 | 2021-05-12 | 矢崎総業株式会社 | コネクタ嵌合装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59695A (ja) * | 1982-06-26 | 1984-01-05 | 原子燃料工業株式会社 | 異物回収装置 |
| JPS60172694U (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-15 | トキコ株式会社 | つかみ装置 |
-
1986
- 1986-06-04 JP JP61127950A patent/JPH074787B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017005169A (ja) * | 2015-06-12 | 2017-01-05 | トヨタ自動車株式会社 | ウエハ搬送用ハンド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62287989A (ja) | 1987-12-14 |
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