JPS6123592A - Ｃｏ↓２レ−ザ加工方法 - Google Patents
Ｃｏ↓２レ−ザ加工方法Info
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- JPS6123592A JPS6123592A JP14560584A JP14560584A JPS6123592A JP S6123592 A JPS6123592 A JP S6123592A JP 14560584 A JP14560584 A JP 14560584A JP 14560584 A JP14560584 A JP 14560584A JP S6123592 A JPS6123592 A JP S6123592A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- workpiece
- laser
- cutting
- reflected
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- Pending
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/067—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing
- B23K26/0673—Dividing the beam into multiple beams, e.g. multifocusing into independently operating sub-beams, e.g. beam multiplexing to provide laser beams for several stations
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/352—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring for surface treatment
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＣＯｚレーザ加工方法に関し、特にＣＯｚレー
ザビームを利用して被加工物の切断とその切断面の熱処
理とを平行しく行なうＣＯｚレーザ加工方法に係るもの
である。
ザビームを利用して被加工物の切断とその切断面の熱処
理とを平行しく行なうＣＯｚレーザ加工方法に係るもの
である。
ＣＯｚレーザ発振機は例えば第２図のＳＤ弐ＭＬ−ｔＰ
Ｅ形レーザ（三菱）の基本構成に示すように補体（１１
）内に設けられた金属管（１３）と誘電体（１４）より
なる一対の誘電体電極（１２）、（１２’ ）により所
定波長のレーザビーム（Ｌ）を発振するもので、（１５
）は全反射鏡、（１６）は放電空間、（１７）はアパー
チャ、り１８）は部分反射鏡であり、（１９）はファン
熱交換器、（２０）はガス流、（２１）は冷却水を示す
。
Ｅ形レーザ（三菱）の基本構成に示すように補体（１１
）内に設けられた金属管（１３）と誘電体（１４）より
なる一対の誘電体電極（１２）、（１２’ ）により所
定波長のレーザビーム（Ｌ）を発振するもので、（１５
）は全反射鏡、（１６）は放電空間、（１７）はアパー
チャ、り１８）は部分反射鏡であり、（１９）はファン
熱交換器、（２０）はガス流、（２１）は冷却水を示す
。
従来例えば鋼材のような被加工物をＣ○２レーザビーム
を利用して切断する場合、第３図に示すようにＣＯ２レ
ーザ発振機〈１）からレーザビーム（Ｌ）を発生させ、
これを全反射鏡（４）で反射させて集光レンズ（６〉を
介して載置台〈１０）上の被加工物（８）に集光照射し
て切断している。
を利用して切断する場合、第３図に示すようにＣＯ２レ
ーザ発振機〈１）からレーザビーム（Ｌ）を発生させ、
これを全反射鏡（４）で反射させて集光レンズ（６〉を
介して載置台〈１０）上の被加工物（８）に集光照射し
て切断している。
しかしながらこのようなレーザ切断を行なうと、被加工
物の切断面近傍の硬さはその母材の２〜１倍にも達する
。被加工物例えば鋼材はレーザ切断後一般に成形加工を
行なうが、このような切断個所に非常に硬い表層部が存
在することは、鋼板の成形性に悪影響を及ぼし好ましく
ない。したがって、これを是正するためレーザ切断後通
常の方法で熱処理（焼なまし）を行なっているが、この
結果被加工物母材の材質変化（軟化）及び外形変化（ひ
ずみの発生）を生ずるという欠点があった。
物の切断面近傍の硬さはその母材の２〜１倍にも達する
。被加工物例えば鋼材はレーザ切断後一般に成形加工を
行なうが、このような切断個所に非常に硬い表層部が存
在することは、鋼板の成形性に悪影響を及ぼし好ましく
ない。したがって、これを是正するためレーザ切断後通
常の方法で熱処理（焼なまし）を行なっているが、この
結果被加工物母材の材質変化（軟化）及び外形変化（ひ
ずみの発生）を生ずるという欠点があった。
本発明はこのような問題に対処してなされたもので、Ｃ
Ｏｚレーザ発振機から発振したレーザビームを光路上で
分割し、分割されて併進するこれら二本のレーザビーム
を所定の水平距離を隔てて設置された二個の全反射鏡に
より夫々反射し、集光レンズを介して夫々被加工物に集
光照射して、被加工物の切断とレーザ切断直後の被加工
物の切断面の熱処理を平行して行なうことを特徴とする
ものである。
Ｏｚレーザ発振機から発振したレーザビームを光路上で
分割し、分割されて併進するこれら二本のレーザビーム
を所定の水平距離を隔てて設置された二個の全反射鏡に
より夫々反射し、集光レンズを介して夫々被加工物に集
光照射して、被加工物の切断とレーザ切断直後の被加工
物の切断面の熱処理を平行して行なうことを特徴とする
ものである。
〔実施例］
以下その一例を図によって説明する。
第１図に示すようにＣＯｚレーザ発振機（１）から発振
されたレーザビーム（Ｌ）は光路上で二分割される。分
割の方法はいずれでもよいが、本実施例では部分反射鏡
（２）を利用して分割する。部分反射鏡（２）はレーザ
ビーム（Ｌ）の一部を反射し、残りを透過するもので、
所定の適正な透過率で用いる。部分反射鏡（２）で反射
したレーザビーム（Ｌｌ）は全反射鏡（３）で反射され
、部分反射鏡（２）を透過したレーザビーム（Ｌｌ）と
併進して、所定の水平距離を隔てて設置された全反射鏡
（４）、（５）の夫々で反射し、夫々集光レンズ（６）
、（７） ）により集光されて載置台（１０
）上に置かれた被加工物の鋼材（８）、（９）に照射さ
れる。このレーザ加工においで鋼材（８）は切断加工さ
れるが、一方の鋼材（９）は直前にレーザ切断されたも
ので、主とじでその切断面にレーザビーム（Ｌｚ ）を
照射してその硬化部分の熱処理（焼なまし）を行なうも
のである。このような鋼材の加工処理においては、前記
全反射鏡（４）、（５）間の水平距離を所定距離に調節
することにより、レーザビーム（Ｌｌ）、（Ｌｚ）間の
間隔を調節して鋼材（９）の熱処理条件を適性に保持す
ることができる。
されたレーザビーム（Ｌ）は光路上で二分割される。分
割の方法はいずれでもよいが、本実施例では部分反射鏡
（２）を利用して分割する。部分反射鏡（２）はレーザ
ビーム（Ｌ）の一部を反射し、残りを透過するもので、
所定の適正な透過率で用いる。部分反射鏡（２）で反射
したレーザビーム（Ｌｌ）は全反射鏡（３）で反射され
、部分反射鏡（２）を透過したレーザビーム（Ｌｌ）と
併進して、所定の水平距離を隔てて設置された全反射鏡
（４）、（５）の夫々で反射し、夫々集光レンズ（６）
、（７） ）により集光されて載置台（１０
）上に置かれた被加工物の鋼材（８）、（９）に照射さ
れる。このレーザ加工においで鋼材（８）は切断加工さ
れるが、一方の鋼材（９）は直前にレーザ切断されたも
ので、主とじでその切断面にレーザビーム（Ｌｚ ）を
照射してその硬化部分の熱処理（焼なまし）を行なうも
のである。このような鋼材の加工処理においては、前記
全反射鏡（４）、（５）間の水平距離を所定距離に調節
することにより、レーザビーム（Ｌｌ）、（Ｌｚ）間の
間隔を調節して鋼材（９）の熱処理条件を適性に保持す
ることができる。
以上のように本発明においては一台のＣＯｚレーザ発振
機から発振したレーザビームを２つに分割して集光照射
し、被加工物の切断と切断直後の被加工物の切断面の硬
化部分の熱処理（焼なまし）を平行的に行なうことによ
り、何ら被加工物の母材に悪影響を及ぼすことなく熱処
理を行なうことができたものである。
機から発振したレーザビームを２つに分割して集光照射
し、被加工物の切断と切断直後の被加工物の切断面の硬
化部分の熱処理（焼なまし）を平行的に行なうことによ
り、何ら被加工物の母材に悪影響を及ぼすことなく熱処
理を行なうことができたものである。
第１図は本発明のＣＯｚレーザ加工方法の実施例の説明
図、第２図はＣＯｚレーザ発振機の一例の基本構成図、
第３図は従来のＣＯ２レーザ加工方法の説明図である。 １・・・ＣＯｚレーザ発振機、２・・・部分反射鏡、３
．４； ５・・・全反射鏡、６，７・・・集光レンズ、
８．９・・・被加工物、 Ｌ、Ｌ＋ 、Ｌｚ・・・レーザビーム 第１図 第２図 第３図
図、第２図はＣＯｚレーザ発振機の一例の基本構成図、
第３図は従来のＣＯ２レーザ加工方法の説明図である。 １・・・ＣＯｚレーザ発振機、２・・・部分反射鏡、３
．４； ５・・・全反射鏡、６，７・・・集光レンズ、
８．９・・・被加工物、 Ｌ、Ｌ＋ 、Ｌｚ・・・レーザビーム 第１図 第２図 第３図
Claims (3)
- （１）ＣＯ＿２レーザ発振機から発振したレーザビーム
を光路上で分割し、分割されて併進するこれら二本のレ
ーザビームを所定し水平距離を隔てて設置された二個の
全反射鏡の夫々により反射し、集光レンズを介して夫々
被加工物に集光照射して、被加工物の切断と切断直後の
被加工物の切断面の熱処理とを平行して行なうことを特
徴とするＣＯ＿２レーザ加工方法。 - （２）レーザビームの分割を部分反射鏡を利用して行な
う特許請求の範囲第（１）項記載の ＣＯ＿２レーザ加工方法。 - （３）全反射鏡間の水平距離を所定距離に調節すること
により、熱処理を調節する特許請求の範囲第（１）項又
は第（２）項記載のＣＯ＿２レーザ加工方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560584A JPS6123592A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Ｃｏ↓２レ−ザ加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560584A JPS6123592A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Ｃｏ↓２レ−ザ加工方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6123592A true JPS6123592A (ja) | 1986-02-01 |
Family
ID=15388906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14560584A Pending JPS6123592A (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | Ｃｏ↓２レ−ザ加工方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6123592A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0454152A2 (en) * | 1990-04-27 | 1991-10-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing nozzle plate for ink jet printer |
| US5841101A (en) * | 1994-12-27 | 1998-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method used in manufacturing a workpiece using a plurality of spaced apart mask patterns |
| US6228311B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-05-08 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
| EA012311B1 (ru) * | 2006-08-16 | 2009-08-28 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Лазтекс" | Способ лазерной резки хрупких прозрачных неметаллических материалов |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP14560584A patent/JPS6123592A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0454152A2 (en) * | 1990-04-27 | 1991-10-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing nozzle plate for ink jet printer |
| US5263250A (en) * | 1990-04-27 | 1993-11-23 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing nozzle plate for ink jet printer |
| US5517000A (en) * | 1990-04-27 | 1996-05-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for forming a workpiece using plural light beams |
| US5841101A (en) * | 1994-12-27 | 1998-11-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method used in manufacturing a workpiece using a plurality of spaced apart mask patterns |
| US6228311B1 (en) | 1996-01-18 | 2001-05-08 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
| US7473387B2 (en) | 1996-01-18 | 2009-01-06 | Xaar Technology Limited | Method of and apparatus for forming nozzles |
| EA012311B1 (ru) * | 2006-08-16 | 2009-08-28 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Лазтекс" | Способ лазерной резки хрупких прозрачных неметаллических материалов |
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