JPS61230331A - オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 - Google Patents
オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61230331A JPS61230331A JP7095385A JP7095385A JPS61230331A JP S61230331 A JPS61230331 A JP S61230331A JP 7095385 A JP7095385 A JP 7095385A JP 7095385 A JP7095385 A JP 7095385A JP S61230331 A JPS61230331 A JP S61230331A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- orientation flat
- stopper
- sample
- belt
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、オリエンテーションフラット位置決め装置に
係り、特に半導体素子基板（以下、基媒と略）等の試料
のオリエンテーションフラットを所定の位置に位置決め
するオリエンテーションフラット位置決め装置に関する
ものである。
係り、特に半導体素子基板（以下、基媒と略）等の試料
のオリエンテーションフラットを所定の位置に位置決め
するオリエンテーションフラット位置決め装置に関する
ものである。
基板等の試料のオリエンテーションフラット（以下、オ
リフラと略）を所定の位置に位置決めする装置としては
、例えば、特開昭５８−１７８５３４号公報に記載のよ
うなものが知られている。
リフラと略）を所定の位置に位置決めする装置としては
、例えば、特開昭５８−１７８５３４号公報に記載のよ
うなものが知られている。
この装置では、試料が載置されるテーブルとオリフラ位
置決め面を有するストッパとをそれぞれ別の駆動手段に
て昇降させるようになっているため、装置構造が複雑と
なり装置価格が増大すると □いった問題がある。
置決め面を有するストッパとをそれぞれ別の駆動手段に
て昇降させるようになっているため、装置構造が複雑と
なり装置価格が増大すると □いった問題がある。
本発明の目的は、試料が載置されるテーブルとストッパ
とを同一の駆動手段で昇降させるようにすることで、装
置構造を簡素化でき装置価格を低減できるオリフラ位置
決め装置を提供することにある。
とを同一の駆動手段で昇降させるようにすることで、装
置構造を簡素化でき装置価格を低減できるオリフラ位置
決め装置を提供することにある。
本発明は、搬送されてきた試料が載置されるテーブルと
、前記試料を前記テーブルに同心状に載置させる停止面
と前記試料のオリエンテーションフラットの位置決め面
とを有するストッパと、前記オリエンテーションフラッ
トを検出する検出手段と、Ｗ記テーブルを昇降させる昇
降駆動手段と、前記テーブルを回動させる回動駆動手段
と、前記テーブルの昇降に伴って前記ストッパを昇降さ
せる昇降手段と、前記試料の側面を前記停止面に当接さ
せ前記試料の側面並びにオリエンテーションフラットを
前記位置決め面に当接させる押付手段とを具備したこと
を特徴とするもので、テーブルとストッパとを同一の駆
動手段で昇降させるようにしたものである。
、前記試料を前記テーブルに同心状に載置させる停止面
と前記試料のオリエンテーションフラットの位置決め面
とを有するストッパと、前記オリエンテーションフラッ
トを検出する検出手段と、Ｗ記テーブルを昇降させる昇
降駆動手段と、前記テーブルを回動させる回動駆動手段
と、前記テーブルの昇降に伴って前記ストッパを昇降さ
せる昇降手段と、前記試料の側面を前記停止面に当接さ
せ前記試料の側面並びにオリエンテーションフラットを
前記位置決め面に当接させる押付手段とを具備したこと
を特徴とするもので、テーブルとストッパとを同一の駆
動手段で昇降させるようにしたものである。
本発明の一実施例を第１図、第２因により説明する。
第１図、第２因で、試料搬送手段、例えば、搬送ベルト
のベルトｌＯの下方位置には、ストッパ支持具加が昇降
可能に設けられている。ストッパ支持具加は中空構造で
あり、軸ガがベアリングを介し昇降並びに回動可能に挿
設されている。テープル鉢は、軸２１の上端に略水平に
設けられている。
のベルトｌＯの下方位置には、ストッパ支持具加が昇降
可能に設けられている。ストッパ支持具加は中空構造で
あり、軸ガがベアリングを介し昇降並びに回動可能に挿
設されている。テープル鉢は、軸２１の上端に略水平に
設けられている。
テーブルｎの大きさは、ベル８１０間を支障な（上下方
向に通過可能な大きさである。ストッパ支持具■の上面
には、テーブル４を収容可能な形状。
向に通過可能な大きさである。ストッパ支持具■の上面
には、テーブル４を収容可能な形状。
寸法の凹コが形成されている。停止面２４ ａ −２４
ｃと位置決め面２５ａｘ２５ｃとを有するストッパ３５
ａ〜２６ｃがストッパ支持具（９）に設けられている。
ｃと位置決め面２５ａｘ２５ｃとを有するストッパ３５
ａ〜２６ｃがストッパ支持具（９）に設けられている。
二の場合、ストッパ２６ａ、２６ｂは、ベルトｌＯの外
側に設けられ、ストッパ２６ｃは、ベル８１０間に位置
するように設けられている。ストッパ２６ａ−２６ｃは
、３段の段差を有しており、最下段の段差と中間段の段
差との間の垂直面が停止面２４ａ−２４ｃとなり、中間
段の段差と最上段の段差との間の垂直面が位置決め面２
５ａ−２５ｃとなる。最下段面はスト啼パ支持真夏の上
面と略同−面である。ストッパ２６ａ−ｆｆ５ｃの停止
面２４ ａ −２４ｃ並びにストッパ２６ａ、２６ｂの
位置決め面２５ａ、２５ｂは試料荀の側面に対応した曲
面となっており、ストッパ２６ｃの位置決め面２５ｃは
試料荀のオリフラ４１に対応した平面となっている。ス
トッパ２６ａ−２６ｃは、試料菊が停止面２４ａ−２４
ｃに当接してとまった状態でテーブルｎに同心状に載置
可能な位置に配設されている。ストッパ２６ａ、２６ｂ
の位置決め面２５ａ。
側に設けられ、ストッパ２６ｃは、ベル８１０間に位置
するように設けられている。ストッパ２６ａ−２６ｃは
、３段の段差を有しており、最下段の段差と中間段の段
差との間の垂直面が停止面２４ａ−２４ｃとなり、中間
段の段差と最上段の段差との間の垂直面が位置決め面２
５ａ−２５ｃとなる。最下段面はスト啼パ支持真夏の上
面と略同−面である。ストッパ２６ａ−ｆｆ５ｃの停止
面２４ ａ −２４ｃ並びにストッパ２６ａ、２６ｂの
位置決め面２５ａ、２５ｂは試料荀の側面に対応した曲
面となっており、ストッパ２６ｃの位置決め面２５ｃは
試料荀のオリフラ４１に対応した平面となっている。ス
トッパ２６ａ−２６ｃは、試料菊が停止面２４ａ−２４
ｃに当接してとまった状態でテーブルｎに同心状に載置
可能な位置に配設されている。ストッパ２６ａ、２６ｂ
の位置決め面２５ａ。
２５ｂは、停止面２４ ａ ４２４ ｃと同心状であり
、ストッパ２６Ｃの位置決め面２５ｃにオリフラ４１が
当接した状態で試料切の側面にそれぞれ当接するように
なっている。ストッパ支持具圓外に出た軸乙の下端は、
昇降駆動手段、例えば、シリンダｎのピストン塾にカッ
プリング四を介して連接されている。
、ストッパ２６Ｃの位置決め面２５ｃにオリフラ４１が
当接した状態で試料切の側面にそれぞれ当接するように
なっている。ストッパ支持具圓外に出た軸乙の下端は、
昇降駆動手段、例えば、シリンダｎのピストン塾にカッ
プリング四を介して連接されている。
軸４の下端部には、歯車Ｉが設けられている。回動手段
、例えば、ステリビングモータ３１には、駆動歯車ｎが
設けられている。歯車Ｉと駆動歯車！とは噛合させられ
ている。ブラケットおは、軸この外側にあるベースあに
ストッパ支持具頷の外側で固定し設けられている。スト
ッパ支持具ｍの下端には、上昇時にブラケットおと係合
する鍔あが形成されている。ストッパ支持真夏の下面と
ベーススとの間には、ばね蕊が軸２の外側で、かつ、ブ
ラケットあの内側で張設されている。この場合、昇降手
段は、ばねあとテーブルｎとで構成されている。ばねあ
のばね力によるストッパ支持真夏の上昇ストローク量は
、停止面ｕ ａ ＝ ２４ ｃがベルト１０のレベル以
上の高さレベルとなり、これにより試料荀の側面が停止
面２４ ａ −２４ｃに確実に当接するのを満足する量
である。下降するテーブルｎによるストッパ支持具ｍの
ばね蕊のばね力に抗した下降ストローク量は、ストッパ
２６ ａ −２６ｃの最上段の段差面がベルト１０のレ
ベル以下の高さレベルとねるのを満足する量である。オ
リフラ４１を検出する検出手段は、この場合、発光素子
と受光素子とを有するフォトセンサー訂である。フォト
センサーｒは、テーブル蔗に載置された試料荀のオリフ
ラ４１を検出可能に設けられている。シリンダｎとステ
プピングモータ３１とフォトセンサーごとは、制御装置
蕊に電気的に接続されている。なお、試料荀の側面を停
止面２４ａ−２４ｃに当接させ試料菊の側面並びにオリ
フラ４１を位置決め面２５ａ−２５ｃに当接させる押付
手段は、この場合、搬送ベルトである。
、例えば、ステリビングモータ３１には、駆動歯車ｎが
設けられている。歯車Ｉと駆動歯車！とは噛合させられ
ている。ブラケットおは、軸この外側にあるベースあに
ストッパ支持具頷の外側で固定し設けられている。スト
ッパ支持具ｍの下端には、上昇時にブラケットおと係合
する鍔あが形成されている。ストッパ支持真夏の下面と
ベーススとの間には、ばね蕊が軸２の外側で、かつ、ブ
ラケットあの内側で張設されている。この場合、昇降手
段は、ばねあとテーブルｎとで構成されている。ばねあ
のばね力によるストッパ支持真夏の上昇ストローク量は
、停止面ｕ ａ ＝ ２４ ｃがベルト１０のレベル以
上の高さレベルとなり、これにより試料荀の側面が停止
面２４ ａ −２４ｃに確実に当接するのを満足する量
である。下降するテーブルｎによるストッパ支持具ｍの
ばね蕊のばね力に抗した下降ストローク量は、ストッパ
２６ ａ −２６ｃの最上段の段差面がベルト１０のレ
ベル以下の高さレベルとねるのを満足する量である。オ
リフラ４１を検出する検出手段は、この場合、発光素子
と受光素子とを有するフォトセンサー訂である。フォト
センサーｒは、テーブル蔗に載置された試料荀のオリフ
ラ４１を検出可能に設けられている。シリンダｎとステ
プピングモータ３１とフォトセンサーごとは、制御装置
蕊に電気的に接続されている。なお、試料荀の側面を停
止面２４ａ−２４ｃに当接させ試料菊の側面並びにオリ
フラ４１を位置決め面２５ａ−２５ｃに当接させる押付
手段は、この場合、搬送ベルトである。
の
＄１図、第２図で、テーブルｎはベルト１ＯＡＬ／べル
以下に下降させられ、ストッパ２６ａ−ｐｃは、停止面
２４ａ〜２４Ｃがベルト１０のレベル以上になるよう盛
こ上昇させられる。この状態で、ベル・トｌＯによりス
トッパ２６ ａ ｍ ２６ ｃ方向に搬送されてきた試
料旬は側面をストッパｆｆ１ａ−２６ｃの停止面２４ａ
〜２４Ｃに当接させることで停止される。これと共に、
ベルト１０の駆動も停止される。その後、シリンダーの
作動によりテーブル四が上昇させられ、この過程で、試
料荀はテーブルｎに同心状に載置される。このテーブル
ｎの上昇は、試料のがストッパ２６ ｇ ＝ ２６ ｃ
の停止面２４ａ〜２４Ｃに接触しな鳴なるまで持続され
る。試料荀がストッパ２６ａ〜２６ｃの停止面２４ ｇ
−２４Ｃに接触しなくなった時点でテーブル四の上昇
は停止され、その後、この状態でテーブルｎは、ステプ
ピングモータｍの作動により回動させられる。この過程
で、試料荀のオリフラ４１はフォトセンサー算により検
出される。この検出により、テーブルｎの回動は、オリ
フラ４１をストッパ２６ｃの位置決め面２５ｃに対応さ
せた状態で停止される。その後、テーブルｎは、シリン
ダυの作動により下降させられる。この過程で、試料荀
はベルト１０に渡され、更にスト、パ２６ａ−２６ｃの
位置決め面２５ａ−２５ｃのみがベルト１０のレベル以
上となるように、ばねあのばね力に抗してスト雫パ支持
具頷は下降させられる。その後、ベルトｌＯが再駆動さ
れ、これにより試料菊はストプパ謳１〜２６Ｃの位置決
め面’２５ｍ−２５ｃに向って搬送される。これにより
、オリフラ４１は、ストッパ２６Ｃの位置決め面２５Ｃ
に当接させられてオリフラ位置決めが完了する。
以下に下降させられ、ストッパ２６ａ−ｐｃは、停止面
２４ａ〜２４Ｃがベルト１０のレベル以上になるよう盛
こ上昇させられる。この状態で、ベル・トｌＯによりス
トッパ２６ ａ ｍ ２６ ｃ方向に搬送されてきた試
料旬は側面をストッパｆｆ１ａ−２６ｃの停止面２４ａ
〜２４Ｃに当接させることで停止される。これと共に、
ベルト１０の駆動も停止される。その後、シリンダーの
作動によりテーブル四が上昇させられ、この過程で、試
料荀はテーブルｎに同心状に載置される。このテーブル
ｎの上昇は、試料のがストッパ２６ ｇ ＝ ２６ ｃ
の停止面２４ａ〜２４Ｃに接触しな鳴なるまで持続され
る。試料荀がストッパ２６ａ〜２６ｃの停止面２４ ｇ
−２４Ｃに接触しなくなった時点でテーブル四の上昇
は停止され、その後、この状態でテーブルｎは、ステプ
ピングモータｍの作動により回動させられる。この過程
で、試料荀のオリフラ４１はフォトセンサー算により検
出される。この検出により、テーブルｎの回動は、オリ
フラ４１をストッパ２６ｃの位置決め面２５ｃに対応さ
せた状態で停止される。その後、テーブルｎは、シリン
ダυの作動により下降させられる。この過程で、試料荀
はベルト１０に渡され、更にスト、パ２６ａ−２６ｃの
位置決め面２５ａ−２５ｃのみがベルト１０のレベル以
上となるように、ばねあのばね力に抗してスト雫パ支持
具頷は下降させられる。その後、ベルトｌＯが再駆動さ
れ、これにより試料菊はストプパ謳１〜２６Ｃの位置決
め面’２５ｍ−２５ｃに向って搬送される。これにより
、オリフラ４１は、ストッパ２６Ｃの位置決め面２５Ｃ
に当接させられてオリフラ位置決めが完了する。
本実施例では、次のような効果を得ることができる。
（１） テーブルとストッパとを昇降させる駆動手段
が１台のシリンダのみですむため、装置構造を簡素化で
き装置価格を低減できる。
が１台のシリンダのみですむため、装置構造を簡素化で
き装置価格を低減できる。
（２） オリフラ位置決め時における試料とベルトと
の摺動機会を抑制できるため、要項の発生な抑制できる
。
の摺動機会を抑制できるため、要項の発生な抑制できる
。
なお、本実施例では、試料を搬送する手段を搬送ベルト
としているが、この他に、この手段は。
としているが、この他に、この手段は。
メカニカルチャック、真空チャック、電磁チャック等を
有するものであっても良い。また、押付手段としては、
この他に、ばね力、気体圧力、油圧力、電磁力等を利用
したものであっても良い。
有するものであっても良い。また、押付手段としては、
この他に、ばね力、気体圧力、油圧力、電磁力等を利用
したものであっても良い。
本発明は１以上説明したようξこ、試料が載置されるテ
ーブルとストッパとを同一の駆動手段で昇降させること
ができるので、装置構造を簡素化でき装置価格を低減で
きるという効果がある。
ーブルとストッパとを同一の駆動手段で昇降させること
ができるので、装置構造を簡素化でき装置価格を低減で
きるという効果がある。
第１図は、本発明によりオリフラ位置決め装置の一実施
例を示す正面断面図、第２図は、同じく平面図である。
例を示す正面断面図、第２図は、同じく平面図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、搬送されてきた試料が載置されるテーブルと、前記
試料を前記テーブルに同心状 に載置させる停止面と前記試料のオリエンテーションフ
ラットの位置決め面とを有するストッパと、前記オリエ
ンテーションフラットを検出する検出手段と、前記テー
ブルを昇降させる昇降駆動手段と、前記テーブルを回動
させる回動駆動手段と、前記テーブルの昇降に伴って前
記ストッパを昇降させる昇降手段と、前記試料の側面を
前記停止面に当接させ前記試料の側面並びにオリエンテ
ーションフラットを前記位置決め面に当接させる押付手
段とを具備したことを特徴とするオリエンテーションフ
ラット位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095385A JPS61230331A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7095385A JPS61230331A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61230331A true JPS61230331A (ja) | 1986-10-14 |
Family
ID=13446381
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7095385A Pending JPS61230331A (ja) | 1985-04-05 | 1985-04-05 | オリエンテ−シヨンフラツト位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61230331A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012112789A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Sony Computer Entertainment Inc | キャリブレーション装置、キャリブレーション方法、及び電子機器の製造方法 |
-
1985
- 1985-04-05 JP JP7095385A patent/JPS61230331A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012112789A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Sony Computer Entertainment Inc | キャリブレーション装置、キャリブレーション方法、及び電子機器の製造方法 |
| US9476709B2 (en) | 2010-11-24 | 2016-10-25 | Sony Corporation | Calibration apparatus, calibration method, and manufacturing method for an electronic device |
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