KR950703788A - 웨이퍼 매거진 운반장치 - Google Patents

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KR950703788A
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magazine
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linear drive
clean room
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KR1019950701229A
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아들러 에리히
마게스 마아리스
Original Assignee
훨커 윔케
옌옵틱 게엠베하
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    • H01L21/67772—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving removal of lid, door, cover
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Abstract

웨이퍼 매거진 운반장치에 있어서, 하나의 핸들링 장치로 두 개의 서로 분리 가능하거나 또는 선택적으로 복합 영역에 걸쳐서 작동해야하는 해결에 대한 과제는 핸들링에 의하여 발생할수도 있는 분자 임자의 발생과 청정실의 충류 흐름의 장애를 핸들링 장치에 의해서 전반적으로 배제 시키는데 있다. 발명에 따라 매거진으 정지위치로부터 승강구동부에 이르는 간격이 공기 관통홈으로 제시된 지지카럼의 가공장까지 전환시켜주기 위하여 승강기의 이동 방향으로 견고한 후크암의 높이 조정이 가능한 선형구동부가 고정되고 그의 작동 영역은 정지위치에 있는 매거진의 상부가 되며 승강기의 이동 방향에 수직이다. 모든 구동부품들은 방진캡슐에 의해서 청정실과 분리되어 있으며 홈을 통하여 운반요소들이 청정실로 돌출이되고 집진장치와 인접되어 있다. 본 발명은 반도체 가동 시설에 SMIF-시스템의 설치와 사후 설치를 가능하게 한다.

Description

웨이퍼 매거진 운반장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 발명에 의한 장치의 전면 개관도.

Claims (6)

  1. 매거진 용기내의 폴리는 베이스에 세워져 수용판의 덮개와 함께 승강구동부와 수용부로된 승강기의 운바체가 상부의 로딩 위치와 하부의 정지 위치를 형성하고 이로부터 최소한 한 개의 가공장에로 전환이 행해지는 웨이퍼 매거진들을 운반하기 위한 장치에 있어서, 승강기 구동을 위한 간격이 공기 관통구를 보이는지지 카럼에서 매거진 전환을 위하여 승강기의 이동 방향으로 견고한 후크암의 높이조정이 가능한 선형구동부가 고정되어 있으며 그의 작동 범위는 로딩위치에 있는 매거진 상부에 있는 승강기의 이동 방향에 수직이며, 선형구동부, 승강기 구동부 및 후크암이 후크요소와 운반체를 수용하기 위한 요소가 청정실내로 돌출해 있으며 집진장치와 인접해 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 매거진에서 돌출해 있는 디스크형 물체의 자리를 잡아주기 위하여 웨이퍼 회송장치가 감안되어 있으며 그의 작동은 크랫쉬센서의 센서 신호에 결부되고 그의 계측빔속은 디스크형 물체에 평행하며 매거진 이동시 그의 로딩 및 이송역할을 하는 측면은 직접 인접해 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 하우싱에 의해서 반도체 가공기와의 연결요소의 역할을 하는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제3항에 있어서, 하우싱 내부에는 추가로 충류공기를 발생시켜주기 위한 공기-필터-유닛트가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제4항에 있어서, 공류공기의 흐름 방향은 선형구동부의 이동 방향에 대하여 수직인 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제4항에 있어서, 충류공기흐름은 선형구동부의 이동 방향에 평행한 것을 특징으로 하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950701229A 1993-08-05 1994-07-25 웨이퍼 매거진 운반장치 KR950703788A (ko)

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