JPS61218933A - 酸素濃度センサの製造法 - Google Patents
酸素濃度センサの製造法Info
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- JPS61218933A JPS61218933A JP60059932A JP5993285A JPS61218933A JP S61218933 A JPS61218933 A JP S61218933A JP 60059932 A JP60059932 A JP 60059932A JP 5993285 A JP5993285 A JP 5993285A JP S61218933 A JPS61218933 A JP S61218933A
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- JP
- Japan
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- platinum
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- electrode
- outside
- sensor
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は酸素イオン伝導性固体電解質焼結体を用いた酸
素濃度センサの製造法に関するものである。
素濃度センサの製造法に関するものである。
従来の技術
従来、この種の酸素濃度センサは第２図ａ、第２図すに
断面図、斜視図を示す様に構成されていた。第２図ａに
おいて、パイプ状のジルコニア焼結体７の内外面に白金
の電極８，９を形成し、さらに、開口部の一端は絶縁セ
ラミック１ｏによって封止されている。
断面図、斜視図を示す様に構成されていた。第２図ａに
おいて、パイプ状のジルコニア焼結体７の内外面に白金
の電極８，９を形成し、さらに、開口部の一端は絶縁セ
ラミック１ｏによって封止されている。
この構成は、パイプ状のジルコニア焼結体を、メッキの
核付けとなるパラジウムや白金を溶かした溶液の中にデ
ィップした後、無電解メッキにより多孔質白金電極を前
記焼結体の全面に形成し、その後焼結体の外側と内側の
絶縁をとるため不必要な部分の電極を研磨、削除する方
法で行われている。
核付けとなるパラジウムや白金を溶かした溶液の中にデ
ィップした後、無電解メッキにより多孔質白金電極を前
記焼結体の全面に形成し、その後焼結体の外側と内側の
絶縁をとるため不必要な部分の電極を研磨、削除する方
法で行われている。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の方法では、高価な白金を焼結体の全面
に付着させることになり必要以上の白金が用いられる。
に付着させることになり必要以上の白金が用いられる。
また、焼結体の表面積を小さくするため、焼結体を細く
すると、焼結体の内側に白金メッキが形成されにくくな
る。さらに、メッキ後一部の白金を研磨削除している。
すると、焼結体の内側に白金メッキが形成されにくくな
る。さらに、メッキ後一部の白金を研磨削除している。
このような要因により、非常に高価な酸素濃度センサに
なっていた。
なっていた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、安価な酸
素濃度センサを提供するものである。
素濃度センサを提供するものである。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、焼結体の外側の
電極をメッキの核付けとなるパラジウムや白金を溶かし
たペーストを焼結体の外側の一部一分に印刷した後に、
また内側の電極をメッキの核付けとなるパラジウムや白
金を溶かした溶液を焼結体の内側の全面に塗布した後に
、無電解メッキにより形成したものである。
電極をメッキの核付けとなるパラジウムや白金を溶かし
たペーストを焼結体の外側の一部一分に印刷した後に、
また内側の電極をメッキの核付けとなるパラジウムや白
金を溶かした溶液を焼結体の内側の全面に塗布した後に
、無電解メッキにより形成したものである。
作用
この製造法により、焼結体の外側に部分白金電極を形成
することができ、安価な酸素濃度センサを提供すること
ができる。
することができ、安価な酸素濃度センサを提供すること
ができる。
実施例
第１図ａ、第１図すは本発明の方法を用いた酸素濃度セ
ンサの一実施例の斜視図、断面図であり、１はパイプ状
のジルコニア焼結体で、外側の一部分に短冊状に白金電
極２、内側には全面に白金電極３が設けられている。４
，６は、これらの白金電極、２，３を外部に引出すため
のバネ端子板で、ステンレス板等で作られている。６は
パイプ状の固体電解質の端面を封じるためのセラミック
キャップで、熱膨張係数を考慮すると、１の固体電解質
と同じジルコニアを用いるのが良い。
ンサの一実施例の斜視図、断面図であり、１はパイプ状
のジルコニア焼結体で、外側の一部分に短冊状に白金電
極２、内側には全面に白金電極３が設けられている。４
，６は、これらの白金電極、２，３を外部に引出すため
のバネ端子板で、ステンレス板等で作られている。６は
パイプ状の固体電解質の端面を封じるためのセラミック
キャップで、熱膨張係数を考慮すると、１の固体電解質
と同じジルコニアを用いるのが良い。
上記の様な構成を行う方法として、本発明においては次
の様な方法で行った。
の様な方法で行った。
まず、パイプ状のジルコニア素子１の内側に例えば１％
の塩化白金酸のエチルアルコール溶液を。
の塩化白金酸のエチルアルコール溶液を。
例えば綿棒により塗布し、４５０’Ｃの空気中で焼付け
、素子内側を活性処理を行った後、ジルコニア素子１の
外側に、例えば大所化学工業（株）製ペースト状活性材
、１９８０Ｐ４０ムを例えばスクリーン印刷により、白
金を付着させたい部分に印刷し、４６０℃の空気中で焼
付け、素子外側の活性処理を行う。
、素子内側を活性処理を行った後、ジルコニア素子１の
外側に、例えば大所化学工業（株）製ペースト状活性材
、１９８０Ｐ４０ムを例えばスクリーン印刷により、白
金を付着させたい部分に印刷し、４６０℃の空気中で焼
付け、素子外側の活性処理を行う。
次に、活性処理を施したジルコニア素子を、無電解メッ
キ液に浸し、ジルコニア素子の活性処理を行った場所に
約１０Ｍｇの白金を付着させた後、１２００’Ｃで白金
を凝集させ、多孔質白金電極２゜３を形成さす。
キ液に浸し、ジルコニア素子の活性処理を行った場所に
約１０Ｍｇの白金を付着させた後、１２００’Ｃで白金
を凝集させ、多孔質白金電極２゜３を形成さす。
最後に、ジルコニアキャップ６にて端面を封じ、板
バネ端子１．６を取付け、酸素濃度上／すとする。
発明の効果
以上の様な製造法を用いた本発明は、白金メッキの質を
かえることなく、ジルコニア素子外側の白金電極の付着
面積を任意に変えることができるため、必要最小限の面
積の白金電極を付着させることが可能とし、安価な酸素
濃度センサを提供できるという効果が得られる。
かえることなく、ジルコニア素子外側の白金電極の付着
面積を任意に変えることができるため、必要最小限の面
積の白金電極を付着させることが可能とし、安価な酸素
濃度センサを提供できるという効果が得られる。
第１図は本発明の一実施例を示し、第１図ａは本発明に
用いる固体電解質の斜視図、第１図すは本発明の実施例
の断面図、第２図は従来例を示し、第２図１は従来例の
断面図、第２図すは斜視図である。 １・・・・・・ジルコニア焼結体、２・・・・・・外側
白金電極、３・・・・・・内側白金電極、４・・・・・
・バネ端子、６・・・・・・バネ端子、６・・・・・・
ジルコニアキャップ。
用いる固体電解質の斜視図、第１図すは本発明の実施例
の断面図、第２図は従来例を示し、第２図１は従来例の
断面図、第２図すは斜視図である。 １・・・・・・ジルコニア焼結体、２・・・・・・外側
白金電極、３・・・・・・内側白金電極、４・・・・・
・バネ端子、６・・・・・・バネ端子、６・・・・・・
ジルコニアキャップ。
Claims (2)
- （１）断面がほぼ一様な形状のパイプ状の酸素イオン伝
導性固体電解質焼結体からなる素体の外側の一部、内側
の全面に、多孔質電極を設けた後、前記素体の一方の先
端を封じ、前記外側の検出ガスにさらされる側と前記内
側の基準ガスにさらされる側の酸素濃度差を、前記両電
極間で起電力を取り出す様に構成した酸素濃度センサを
製造するに際し、前記外側の電極をパラジウム又は白金
を溶かしたペーストを前記外側の一部分に印刷し、かつ
前記内側の電極をメッキの核付けとなるパラジウムや白
金を溶かした溶液を前記内側の全面に塗布した後に、無
電解メッキにより形成した酸素濃度センサの製造法。 - （２）外側および内側の電極を白金又は白金を主成分と
する物質とした特許請求の範囲第１項記載の酸素濃度セ
ンサの製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60059932A JPS61218933A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 酸素濃度センサの製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60059932A JPS61218933A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 酸素濃度センサの製造法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218933A true JPS61218933A (ja) | 1986-09-29 |
Family
ID=13127391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60059932A Pending JPS61218933A (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 酸素濃度センサの製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61218933A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996005512A1 (de) * | 1994-08-06 | 1996-02-22 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Chemische sensoren, insbesondere biosensoren auf siliciumbasis |
| JP2000105213A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-04-11 | Robert Bosch Gmbh | 導電性ベ―ス層及び多孔質被覆層を有する層系及びその製造方法並びにその使用 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP60059932A patent/JPS61218933A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996005512A1 (de) * | 1994-08-06 | 1996-02-22 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Chemische sensoren, insbesondere biosensoren auf siliciumbasis |
| US5874047A (en) * | 1994-08-06 | 1999-02-23 | Forschungszentrum Julich Gmbh | Chemical sensors, in particular silicon-based biosensors |
| JP2000105213A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-04-11 | Robert Bosch Gmbh | 導電性ベ―ス層及び多孔質被覆層を有する層系及びその製造方法並びにその使用 |
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