JPS61218308A - 磁気浮上案内方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は永久磁石の反発力と制御磁石力によって可動体
を非接触に支持する磁気浮上案内に関するものである。

〔従来の技術〕

第６図、第７図は先に提案した磁気浮上案内装置（特願
昭５９−１６９２１８）の実施例であって、説明を容易
にするために一部を省略して描かれている。移動径路と
なる基盤１上には移動方向に永久磁石３，４が配設され
ており、可動体２の底面には永久磁石３．４と反発する
ように同極同士が対向された永久磁石５，６が取り付け
られており、可動体２の一方の側方には間隔ｄをもって
対向する制御電磁石７ａ、７ｂが上下２段に配設され、
他方の側方には間隔りをもって対向する固定側壁として
の鉄板１３が固定されている。制御電磁石７ａ、７ｂは
、磁気力により可動体２を吸引している。また可動体２
の鉄板１３側の側面には永久磁石８ａ、８ｂ、８ｃ、８
ｄが付けられており、すきまを隔てて鉄板１３と対向し
ている。

鉄板１３と永久磁石８ａ〜８ｄとの間に作用する吸引力
と制御電磁石７ａ、７ｂと可動体２との間に作用する吸
引力とが平衡して、可動体２を中間位置へ支持する。

磁石は元来不安定であり、間隔ｄが変動しやすいので、
次のようにして間隔ｄを一定に制御する。

まず可動体２に備えられた変位センサ９ａ、９ｂ、９ｃ
によって間隔りを検出し、同時に位置センサ１４と基盤
１上に付けられたマーク１０との組合せ等適当な手段に
よって可動体２の径路上の位置を検知する。これらのセ
ンサの信号は、電波伝播、光学的信号伝送または静電容
量結合等の非接触伝送手段によって伝送される。次に移
動方向に複数設けられた制御電磁石７ａ、７ｂのうち可
動体２に対向するものを選択し、選択された制御電磁石
を上記センサの信号により制御して制御電磁石７ａ、７
ｂと可動体２との間隔ｄを一定に保つ。

変位センサ９ａ〜９Ｃを３個備えるのは、可動体２の垂
直、水平方向の運動のみならず、垂直軸１１まわりの回
転運動１２と水平軸１５まわりの回転運動１６とを制御
するためである。

変位センサ９ａ〜９ｃ、位置センサ１４から出力される
信号を伝送する回路の電力は、可動体２内に設けた電池
（図示されない）によって供給できる。

以上説明した技術によって可動体２は非接触に支持され
、その移動に際し固定側とを結ぶ配線を伴う必要もない
。このため塵埃発生がなく、半導体素子製造用のクリー
ンルーム内等高い清浄度を要求される場所での移送装置
として有用である。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし第６図、第７図に示す装置においては、移動のた
めにリニアモータ等信の推進手段を必要とする欠点があ
り、リニアモータ等を使用せずに簡易に可動体２を移動
できる案内方法の提供が要請されていた。

〔問題点を解決するための手段〕

このような問題点を解決するために本発明は、制御電磁
石のうち可動体と対向する直前もしくは直後の制御電磁
石を励磁し、可動体を前進あるいは後退させるようにし
たものである。

〔作用〕

本発明においては、制御電磁石の吸引力により可動体を
移動させる。

〔実施例〕

本発明に係わる磁気浮上案内方法の一実施例を説明する
ための説明図を第１図〜第５図に示す。

第１図〜第５図は第６図、第７図に示す磁気浮上案内装
置を上から見た図である。第１図において１７〜２５は
第６図に示す上段の制御電磁石７ａの内の一部の制御電
磁石である。図面中その上につけられた白丸、黒丸の印
は、黒丸については励磁した制御電磁石を、白丸につい
ては非励磁の制御電磁石を表わす。すなわち第１図にお
いて１７は非励磁の制御電磁石、１９は励磁した制御電
磁石である。

次に本実施例における動作について第１図〜第３図を用
いて説明する。第１図に示す制御電磁石１９．２０は変
位センサ９ａからの信号によって、制御電磁石２２．２
３は変位センサ９ｂからの信号によって制御される。こ
の状態から第２図に示すように制御電磁石１９．２２の
励磁を絶ち、制御電磁石２１および２４を変位センサ９
ａおよび９ｂの信号によって励磁すると、可動体２は制
御電磁石２４の方へ吸引され、第３図に示すように右側
へ進むこととなる。従って、可動体２に対向している制
御電磁石のみならず、その前あるいは後の制御電磁石を
励磁することによって可動体２を前進あるいは後退させ
ることができる。

第４図、第５図は上段の制御電磁石１７〜２５のみなら
ず、下段の制御電磁石７ｂの内の一部の制御電磁石２６
〜３３　（図中ハツチングされている）をも励磁した場
合を示す。第４図、第５図においてハツチングされた丸
は、励磁された下段の制御電磁石を示す。すなわち２６
は非励磁の制御電磁石、２９は励磁した制御電磁石であ
る。第４図においては制御電磁石２９．３０が変位セン
サ９Ｃの信号によって励磁されているが、第５図ではこ
れらに加えて制御電磁石３２が励磁され、可動体２を右
側へ移動させることができる。第４図の例に示すように
、制御電磁石１９から２３までの長さを可動体２の長さ
に等しくとることにより、可動体２の停止状態での位置
決め精度を高くできる。またそのような長さの条件であ
っても、第５図で制御電磁石３２を励磁し、制御電磁石
Ｉ９の励磁を絶つことにより、円滑に可動体２を進行さ
せることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、制御電磁石のうち可動体
と対向する直前もしくは直後の制御電磁石を励磁し、可
動体を前進あるいは後退させることにより、リニアモー
タ等の部品を使用せずに移動の目的を達成することがで
き、装置を経済的なものとすることができる効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明に係わる磁気浮上案内方法の一
実施例を説明するための説明図、第６図は従来の磁気浮
上案内方法を説明するための斜視図、第７図はその正面
図である。 ■・・・・基盤、２・・・・可動体、３．４゜５．６．
８ａ　〜８ｄ　−−・−永久磁石、７ａ、７ｂ、１７〜
３３・・・・制御電磁石、９ａ〜９Ｃ・・・・変位セン
サ、１０・・・・マーク、１３・・・・鉄板、１４・・
・・位置センサ。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 固定側壁との距離が制御電磁石により一定に制御されて
   磁気浮上する可動体を案内する磁気浮上案内方法におい
   て、前記制御電磁石のうち前記可動体と対向する直前も
   しくは直後の制御電磁石を励磁し、可動体を前進あるい
   は後退させることを特徴とする磁気浮上案内方法。