JPS61214136A - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは磁気特性に優れた前記の磁気記録媒体の製
造方法およびその実施に使用する装置に関する。

〔従来の技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基体を真空槽内に取りつ
けた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基体
に強磁性材を真空蒸着するなどしてつくられており、磁
気特性を良好にするため、最低入射角を調整して斜めに
入射蒸着するとともに、最低入射角部近傍から強磁性材
の蒸気流に向かって酸素ガスを導入することが行われて
いる。（特開昭５８−４１４４３号、特開昭５８−８３
３２７号） 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、この従来の最低入射角を調整して斜め入射蒸
着を行うとともに、最低入射角部近傍から強磁性材の蒸
気流に向かって酸素ガスを導入する方法では、円筒状キ
ャンの両端エツジ側がら酸素ガスが拡散するため、酸素
ガスを安定して供給することができず、酸素ガスの供給
を充分にして高保磁力を得ようとすると大量の酸素ガス
を要し、さらに幅方向に安定した磁気特性が得られない
という難点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明はかかる欠点を改善するため種々検討を行った
結果なされたもので、円筒状キャンの周側面に沿って移
動する基体から、円筒状キャンの下方に配設したガス導
入管に至る最も近い距離の１／２以上の高さを有し、か
つ円筒状キャンの半径の１／３以上の長さを有する一対
のガス拡散防止板を、円筒状キャンの両端エツジ部下端
近傍からガス導入管に向けて配設し、ガス導入管から基
体の蒸気流入射部に差し向けられる酸化性ガスが円筒状
キャンの両端エツジ側から拡散するのを効果的に防止す
ることによって、酸化性ガスを基体の幅方向に均一に導
入させ、酸化性ガスの供給を安定にして、大量の酸化性
ガスを要することなく得られる磁気記録媒体の保磁力を
充分に向上するとともに、幅方向の保磁力を均一にし、
磁気特性を充分に向上させたものである。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図はこの発明で使用する真空蒸着装置の断面図を示
したものであり、１は真空槽でこの真空槽１の内部は排
気系２により真空に保持される。

３は真空槽１の中央部に配設された円筒状キャンであり
、プラスチックフィルム等の基体４は原反ロール５より
この円筒状キャン３の周側面に沿って移動し、巻き取り
ロール６に巻き取られる。この間円筒状キャン３の周側
面に沿って移動する基体４に対向して真空槽１の下部に
配設された強磁性材蒸発源７で強磁性材８が加熱蒸発さ
れ、この蒸気流Ａが円筒状キャン３の下方に配設された
防着板９の作用で基体４に斜め入射蒸着される。このと
き同時に円筒状キャン３と防着板９との間に配設された
ガス導入管１０から、酸化性ガスが円筒状キャン３の周
側面にそって移動する基体４の蒸気流入射部に直射する
ように吹きつけられる。

ここで、円筒状キャン３の両端エツジ部下端近傍からガ
ス導入管１０に向けて、一対のガス拡散防止板１１が、
第２図に示すように真空槽１に固定した支持板１２にピ
ン１３で固定して配設されており、このガス拡散防止板
１１は、円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基体
４がら下方のガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈの１
／２以上の高さｈを有し、かつ円筒状キャン３の半径ｒ
の１／３以上の長さβを有する大きさにしである。

しかして、ガス導入管１ｏから円筒状キャン３の周側面
に沿って移動する基体４の蒸気流入射部に向かって、酸
化性ガスが吹きつけられる際、ガス拡散防止板１１によ
って、酸化性ガスは円筒状キャン３の両端エツジ側から
拡散されることなく、基体４の全幅方向にわたって均一
に吹きつけられる。その結果、基体４の幅方向に均一に
酸化性ガスが導入され、安定した酸化性ガスの供給が行
ゎれて、大量の酸化性ガスを要することなく保磁力が充
分に向上され、さらに幅方向で均一な高保磁力を有する
磁気特性に優れた磁気記録媒体が得られる。このように
、ガス拡散防止板１１の高さｈおよび長さｌは、円筒状
キャン３の周側面に沿って移動する基体４から下方のガ
ス導入管１０に至る最も近い距離Ｈの１／２以上の高さ
ｈとし、かつ円筒状キャン３の半径ｒの１／３以上の長
さｌにするのが好ましく、ガス拡散防止板１１の高さｈ
および長さｌを、円筒状キャン３の周側面に沿って移動
する基体４から下方のガス導入管１０に至る最も近い距
離Ｉ］の１／２未満にしたり、円筒状キャン３の半径ｒ
の１／３未満にしたのでは、酸化性ガスを基体４の全幅
方向にわたって充分に均一に吹きつけることができず、
所期の効果が得られない。

このようなガス拡散防止板１１は、ステンレスあるいは
銅などの金属板で形成され、内部に冷媒を循環させて冷
却できるようにしたものが好ましく使用される。

また、酸化性ガスとしては、酸素ガスが良好なものとし
て使用され、この他酸素ガスに他のガスを混合したもの
も好適に使用される。

基体としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフィルムおよび銅などの非磁性金属からなる金属フ
ィルムが使用され、また、強磁性金属薄膜層を形成する
強磁性材料としては、Ｃ０１Ｎｉ、Ｆｅなどの強磁性金
属単体の他、これらの強磁性金属単体を少なくとも１種
含む合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎ１
−Ｐの如き強磁性金属との化合物など、一般に真空蒸着
に使用される強磁性材料がいずれも使用される。

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフィルム、
ポリイミドフィルムなどのプラスチックフィルムを基体
とする磁気テープ、プラスチックフィルム、アルミニウ
ム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを基体とす
る磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接す
る構造の種々の形態を包含する。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図および第２図に示す真空蒸着装置を使用し、２０
μ厚のポリエステルフィルム４を、原反ロール５より円
筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、巻き取りロー
ル６に巻き取るようにセットするとともに、強磁性材蒸
発源７内にコバルト−ニッケル合金（重量比８：２）８
をセットした。次いで、ガス拡散防止板１１を、長さｅ
が円筒状キャン３の半径ｒの２／３で一定で、高さｈが
基体４からガス導入管１０に至る最も近い距％１ｌｔＨ
と同じもの、距離Ｈの１／２のもの、および距離Ｉ（の
１／４のものにそれぞれ取り替えて使用し、排気系２で
真空槽１内を約５Ｘ１０−’）−ルにまで真空排気する
とともに、ガス導入管１０から酸素ガスを１００〜３０
０ｍｌ／ｍｉｎの範囲の種々の流量で導入して、真空度
を７Ｘ１０−５〜１．５Ｘ１０−４トールとし、コバル
ト−ニッケル合金８　ヲ加熱藤発させて、ポリエステル
フィルム４の走行速度１０ｍ／ｌｌｌ１ｎ、最低入射角
５０度で斜め入射蒸着ヲ行い、ポリエステルフィルム４
上にコバルト−ニッケル合金からなる厚さ１０００人の
強磁性金属薄膜層を形成した。しかる後、所定の幅に裁
断して多数の磁気テープをつくった。

このようにして得られた各磁気テープについて、保磁力
を測定し、酸素ガスの導入量と保磁力の関係を、ガス拡
散防止板１１の高さｈをパラメータとして調べた。第３
図はその結果をグラフに表したもので、グラフＡは高さ
ｈが基体４からガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈと
同じガス拡散防止板１１を用いて得られたものを示し、
グラフＢは同高さｈが距離Ｈの１／２のガス拡散防止板
１１を用いて得られたもの、グラフＣは同高さｈが距離
Ｈの１／４のガス拡散防止板１１を用いて得られたもの
を示す。この第３図から明らかなように、酸素ガスの流
れおよび導入量が磁気テープの保磁力の大小に影響し、
ガス拡散防止板の高さｈが、基体４からガス導入管１０
に至る最も近い距離Ｈの１／２より低くては充分に高い
保磁力が得られないが、基体４からガス導入管１０に至
る最も近い距離Ｈの１／２以上であると良好な保磁力が
得られるのがわかる。

実施例２ 実施例１において酸素ガスの流量を２００ｍ１／ｍｉｎ
と一定にした以外は実施例１と同様にして磁気テープを
つくった。

このようにして得られた各磁気テープについて、幅方向
の各点における保磁力を測定し、磁気テープの幅方向に
おける保磁力の分布を、ガス拡散防止板１１の高さｈを
パラメータとして調べた。

第４図は基体４の全幅を百分率で表して得られた結果を
グラフで示したもので、グラフＡは高さｈが基体４から
ガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈと同じガス拡散防
止板１１を用いて得られたものを示し、グラフＢは同高
さｈが距離Ｈの１／２のガス拡散防止板１１を用いて得
られたもの、グラフＣは同高さｈが距離Ｈの１／４のガ
ス拡散防止板１１を用いて得られたものを示す。この第
４図から明らかなように、酸素ガスの流れが磁気テープ
の幅方向の保磁力の分布に影響し、ガス拡散防止板の高
さｈが基体４からガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈ
の１／２以上であると幅方向で均一な高保磁力が得られ
のがわかる。

Ｃ発明の効果〕 第３図および第４図から明らかなように、酸素ガスの流
れおよび導入量が保磁力の大小、および磁気テープの幅
方向の保磁力の分布に影響し、所定のガス拡散防止板を
円筒状キャンの両端エツジ部下端近傍からガス導入管に
向けて配設したこの発明の装置および方法によれば、幅
方向で均一な高保磁力を有し、磁気特性が充分に向上さ
れた磁気記録媒体が得られることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の磁気記録媒体製造装置の概略断面図
、第２図は同要部拡大斜視図、第３図はこの発明の製造
方法で得られた磁気テープの保磁力と酸素ガス導入量と
の関係を、ガス拡散防止板の高さをパラメータとして示
した関係図、第４図はこの発明の製造方法で得られた磁
気テープの幅方向の保磁力の分布を、ガス拡散防止板の
高さをパラメータとして示した関係図である。 ■・・・真空槽、３・・・円筒状キャン、４・・・基体
、７・・・強磁性材蒸発源、８・・・強磁性材、９・・
・防着板、１０・・・ガス導入管、１１・・・ガス拡散
防止板、Ａ・・・蒸気流、Ｈ・・・距離、ｈ・・・高さ
、ｒ・・・半径、２・・・長さ 第１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空雰囲気内で、強磁性材蒸発源から蒸発せしめら
   れた強磁性材の蒸気流を、円筒状キャンの周側面に沿っ
   て高入射角部から低入射角部へ移動する基体に斜めに入
   射すると同時に、円筒状キャンの下方に配設したガス導
   入管から基体の蒸気流入射部に酸化性ガスを導入しつつ
   蒸着する磁気記録媒体の製造方法において、円筒状キャ
   ンの周側面に沿って移動する基体から下方のガス導入管
   に至る最も近い距離の１／２以上の高さを有し、かつ円
   筒状キャンの半径の１／３以上の長さを有する一対のガ
   ス拡散防止板を、円筒状キャンの両端エッジ部下端近傍
   からガス導入管に向けて配設し、ガス導入管から基体の
   蒸気流入射部に差し向けられる酸化性ガスが円筒状キャ
   ンの両端エッジ側から拡散するのを防止して、酸化性ガ
   スを基体の幅方向に均一に導入させるようにしたことを
   特徴とする磁気記録媒体の製造方法 ２、真空槽内に、円筒状キャンと、この円筒状キャンの
   周側面に沿って高入射角部から低入射角部へ移動する基
   体と、この円筒状キャンの周側面に沿って移動する基体
   と対向する強磁性材蒸発源と、強磁性材蒸発源から基体
   に至る強磁性材の蒸気流を部分的に遮断する防着板と、
   防着板先端部寄り上側から移動する基体の蒸気流入射部
   に酸化性ガスを導入するガス導入管とを配設してなる磁
   気記録媒体製造装置において、円筒状キャンの周側面に
   沿って移動する基体から下方のガス導入管に至る最も近
   い距離の１／２以上の高さを有し、かつ円筒状キャンの
   半径の１／３以上の長さを有する一対のガス拡散防止板
   を、円筒状キャンの両端エッジ部下端近傍からガス導入
   管に向けて配設し、ガス導入管から基体の蒸気流入射部
   に差し向けられる酸化性ガスが円筒状キャンの両端エッ
   ジ側から拡散するのを防止して、酸化性ガスを基体の幅
   方向に均一に導入させるようにしたことを特徴とする磁
   気記録媒体製造装置