JPH0626019B2 - 磁気記録媒体の製造方法およびその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体の製造方法およびその実施に使用する装置に関し、さ
らに詳しくは磁気特性に優れた前記の磁気記録媒体の製
造方法およびその実施に使用する装置に関する。

〔従来の技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通
常、ポリエステルフイルムなどの基体を真空槽内に取り
つけた円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
体に強磁性材を真空蒸着するなどしてつくられており、
磁気特性を良好にするため、最低入射角を調整して斜め
に入射蒸着するとともに、最低入射角部近傍から強磁性
材の蒸気流に向かって酸素ガスを導入することが行われ
ている。（特開昭５８−４１４４３号、特開昭５８−８
３３２７号） 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、この従来の最低入射角を調整して斜め入射蒸
着を行うとともに、最低入射角部近傍から強磁性材の蒸
気流に向かって酸素ガスを導入する方法では、円筒状キ
ャンの両端エッジ側から酸素ガスが拡散するため、酸素
ガスを安定して供給することができず、酸素ガスの供給
を充分にして高保磁力を得ようとすると大量の酸素ガス
を要し、さらに幅方向に安定した磁気特性が得られない
という難点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明はかかる欠点を改善するため種々検討を行った
結果なされたもので、円筒状キャンの周側面に沿って移
動する基体から、円筒状キャンの下方に配設したガス導
入管に至る最も近い距離の１／２以上の高さを有し、か
つ円筒状キャンの半径の１／３以上の長さを有する一対
のガス拡散防止板を、円筒状キャンの両端エッジ部下端
近傍からガス導入管に向けて配設し、ガス導入管から基
体の蒸気流入射部に差し向けられる酸化性ガスが円筒状
キャンの両端エッジ側から拡散するのを効果的に防止す
ることによって、酸化性ガスを基体の幅方向に均一に導
入させ、酸化性ガスの供給を安定にして、大量の酸化性
ガスを要することなく得られる磁気記録媒体の保磁力を
充分に向上するとともに、幅方向の保磁力を均一にし、
磁気特性を充分に向上させたものである。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図はこの発明で使用する真空蒸着装置の断面図を示
したものであり、１は真空槽でこの真空槽１の内部は排
気系２により真空に保持される。３は真空槽１の中央部
に配設された円筒状キャンであり、プラスチックフイル
ム等の基体４は原反ロール５よりこの円筒状キャン３の
周側面に沿って移動し、巻き取りロール６に巻き取られ
る。この間円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基
体４に対向して真空槽１の下部に配設された強磁性材蒸
発源７で強磁性材８が加熱蒸発され、この蒸気流Ａが円
筒状キャン３の下方に配設された防着板９の作用で基体
４に斜め入射蒸着される。このとき同時に円筒状キャン
３と防着板９との間に配設されたガス導入管１０から、
酸化性ガスが円筒状キャン３の周側面にそって移動する
基体４の蒸気流入射部に直射するように吹きつけられ
る。ここで、円筒状キャン３の両端エッジ部下端近傍か
らガス導入管１０に向けて、一対のガス拡散防止板１１
が、第２図に示すように真空槽１に固定した支持板１２
にピン１３で固定して配設されており、このガス拡散防
止板１１は、円筒状キャン３の周側面に沿って移動する
基体４から下方のガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈ
の１／２以上の高さｈを有し、かつ円筒状キャン３の半
径ｒの１／３以上の長さｌを有する大きさにしてある。
しかして、ガス導入管１０から円筒状キャン３の周側面
に沿って移動する基体４の蒸気流入射部に向かって、酸
化性ガスが吹きつけられる際、ガス拡散防止板１１によ
って、酸化性ガスは円筒状キャン３の両端エッジ側から
拡散されることなく、基体４の全幅方向にわたって均一
に吹きつけられる。その結果、基体４の幅方向に均一に
酸化性ガスが導入され、安定した酸化性ガスの供給が行
われて、大量の酸化性ガスを要することなく保磁力が充
分に向上され、さらに幅方向で均一な高保磁力を有する
磁気特性に優れた磁気記録媒体が得られる。このよう
に、ガス拡散防止板１１の高さｈおよび長さｌは、円筒
状キャン３の周側面に沿って移動する基体４から下方の
ガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈの１／２以上の高
さｈとし、かつ円筒状キャン３の半径ｒの１／３以上の
長さｌにするのが好ましく、ガス拡散防止板１１の高さ
ｈおよび長さｌを、円筒状キャン３の周側面に沿って移
動する基体４から下方のガス導入管１０に至る最も近い
距離Ｈの１／２未満にしたり、円筒状キャン３の半径ｒ
の１／３未満にしたのでは、酸化性ガスを基体４の全幅
方向にわたって充分に均一に吹きつけることができず、
所期の効果が得られない。

このようなガス拡散防止板１１は、ステンレスあるいは
銅などの金属板で形成され、内部に冷媒を循環させて冷
却できるようにしたものが好ましく使用される。

また、酸化性ガスとしては、酸素ガスが良好なものとし
て使用され、この他酸素ガスに他のガスを混合したもの
も好適に使用される。

基体としては、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミド
等一般に使用されている高分子成形物からなるプラスチ
ックフイルムおよび銅などの非磁性金属からなる金属フ
イルムが使用され、また、強磁性金属薄膜層を形成する
強磁性材料としては、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅなどの強磁性金
属単体の他、これらの強磁性金属単体を少なくとも１種
含む合金あるいは酸化物、およびＣｏ−Ｐ、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｐの如き強磁性金属との化合物など、一般に真空蒸着
に使用される強磁性材料がいずれも使用される。

また、磁気記録媒体としては、ポリエステルフイルム、
ポリイミドフイルムなどのプラスチックフイルムを基体
とする磁気テープ、プラスチックフイルム、アルミニウ
ム板およびガラス板等からなる円盤やドラムを基体とす
る磁気ディスクや磁気ドラムなど、磁気ヘッドと摺接す
る構造の種々の形態を包含する。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図および第２図に示す真空蒸着装置を使用し、２０
μ厚のポリエステルフイルム４を、原反ロール５より円
筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、巻き取りロー
ル６に巻き取るようにセットするとともに、強磁性材蒸
発源７内にコバルト−ニッケル合金（重量比８：２）８
をセットした。次いで、ガス拡散防止板１１を、長さｌ
が円筒状キャン３の半径ｒの２／３で一定で、高さｈが
基体４からガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈと同じ
もの、距離Ｈの１／２のもの、および距離Ｈの１／４の
ものにそれぞれ取り替えて使用し、排気系２で真空槽１
内を約５×１０^-6トールにまで真空排気するとともに、
ガス導入管１０から酸素ガスを１００〜３００ml／min
の範囲の種々の流量で導入して、真空度を７×１０^-5〜
１．５×１０^-4トールとし、コバルト−ニッケル合金８
を加熱蒸発させて、ポリエステルフイルム４の走行速度
１０ｍ／min、最低入射角５０度で斜め入射蒸着を行
い、ポリエステルフイルム４上にコバルト−ニッケル合
金からなる厚さ１０００Åの強磁性金属薄膜層を形成し
た。しかる後、所定の幅に裁断して多数の磁気テープを
つくった。

このようにして得られた各磁気テープについて、保磁力
を測定し、酸素ガスの導入量と保磁力の関係を、ガス拡
散防止板１１の高さｈをパラメータとして調べた。第３
図はその結果をグラフに表したもので、グラフＡは高さ
ｈが基体４からガス導入管１０に至る最も近い距離Ｈと
同じガス拡散防止板１１を用いて得られたものを示し、
グラフＢは同高さｈが距離Ｈの１／２のガス拡散防止板
１１を用いて得られたもの、グラフＣは同高さｈが距離
Ｈの１／４のガス拡散防止板１１を用いて得られたもの
を示す。この第３図から明らかなように、酸素ガスの流
れおよび導入量が磁気テープの保磁力の大小に影響し、
ガス拡散防止板の高さｈが、基体４からガス導入管１０
に至る最も近い距離Ｈの１／２より低くては充分に高い
保磁力が得られないが、基体４からガス導入管１０に至
る最も近い距離Ｈの１／２以上であると良好な保磁力が
得られるのがわかる。

実施例２ 実施例１において酸素ガスの流量を２００ml／minと一
定にした以外は実施例１と同様にして磁気テープをつく
った。

このようにして得られた各磁気テープについて、幅方向
の各点における保磁力を測定し、磁気テープの幅方向に
おける保磁力の分布を、ガス拡散防止板１１の高さｈを
パラメータとして調べた。第４図は基体４の全幅を百分
率で表して得られた結果をグラフで示したもので、グラ
フＡは高さｈが基体４からガス導入管１０に至る最も近
い距離Ｈと同じガス拡散防止板１１を用いて得られたも
のを示し、グラフＢは同高さｈが距離Ｈの１／２のガス
拡散防止板１１を用いて得られたもの、グラフＣは同高
さｈが距離Ｈの１／４のガス拡散防止板１１を用いて得
られたものを示す。この第４図から明らかなように、酸
素ガスの流れが磁気テープの幅方向の保磁力の分布に影
響し、ガス拡散防止板の高さｈが基体４からガス導入管
１０に至る最も近い距離Ｈの１／２以上であると幅方向
で均一な高保磁力が得られのがわかる。

〔発明の効果〕

第３図および第４図から明らかなように、酸素ガスの流
れおよび導入量が保磁力の大小、および磁気テープの幅
方向の保磁力の分布に影響し、所定のガス拡散防止板を
円筒状キャンの両端エッジ部下端近傍からガス導入管に
向けて配設したこの発明の装置および方法によれば、幅
方向で均一な高保磁力を有し、磁気特性が充分に向上さ
れた磁気記録媒体が得られることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の磁気記録媒体製造装置の概略断面
図、第２図は同要部拡大斜視図、第３図はこの発明の製
造方法で得られた磁気テープの保磁力と酸素ガス導入量
との関係を、ガス拡散防止板の高さをパラメータとして
示した関係図、第４図はこの発明の製造方法で得られた
磁気テープの幅方向の保磁力の分布を、ガス拡散防止板
の高さをパラメータとして示した関係図である。 １……真空槽、３……円筒状キャン、４……基体、７…
…強磁性材蒸発源、８……強磁性材、９……防着板、１
０……ガス導入管、１１……ガス拡散防止板、Ａ……蒸
気流、Ｈ……距離、ｈ……高さ、ｒ……半径、ｌ……長
さ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】真空雰囲気内で、強磁性材蒸発源から蒸発
   せしめられた強磁性材の蒸気流を、円筒状キャンの周側
   面に沿って高入射角部から低入射角部へ移動する基体に
   斜めに入射すると同時に、円筒状キャンの下方に配設し
   たガス導入管から基体の蒸気流入射部に酸化性ガスを導
   入しつつ蒸着する磁気記録媒体の製造方法において、円
   筒状キャンの周側面に沿って移動する基体から下方のガ
   ス導入管に至る最も近い距離の１／２以上の高さを有
   し、かつ円筒状キャンの半径の１／３以上の長さを有す
   る一対のガス拡散防止板を、円筒状キャンの両端エッジ
   部下端近傍からガス導入管に向けて配設し、ガス導入管
   から基体の蒸気流入射部に差し向けられる酸化性ガスが
   円筒状キャンの両端エッジ側から拡散するのを防止し
   て、酸化性ガスを基体の幅方向に均一に導入させるよう
   にしたことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
2. 【請求項２】真空槽内に、円筒状キャンと、この円筒状
   キャンの周側面に沿って高入射角部から低入射角部へ移
   動する基体と、この円筒状キャンの周側面に沿って移動
   する基体と対向する強磁性材蒸発源と、強磁性材蒸発源
   から基体に至る強磁性材の蒸気流を部分的に遮断する防
   着板と、防着板先端部寄り上側から移動する基体の蒸気
   流入射部に酸化性ガスを導入するガス導入管とを配設し
   てなる磁気記録媒体製造装置において、円筒状キャンの
   周側面に沿って移動する基体から下方のガス導入管に至
   る最も近い距離の１／２以上の高さを有し、かつ円筒状
   キャンの半径の１／３以上の長さを有する一対のガス拡
   散防止板を、円筒状キャンの両端エッジ部下端近傍から
   ガス導入管に向けて配設し、ガス導入管から基体の蒸気
   流入射部に差し向けられる酸化性ガスが円筒状キャンの
   両端エッジ側から拡散するのを防止して、酸化性ガスを
   基体の幅方向に均一に導入させるようにしたことを特徴
   とする磁気記録媒体製造装置