KR900002610B1 - 고내식성 자성층을 갖는 자기기록 매체 및 그 자성층 형성방법 - Google Patents
고내식성 자성층을 갖는 자기기록 매체 및 그 자성층 형성방법 Download PDFInfo
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내용 없음.
Description
제 1 도는 종래의 증착방식에 의한 자기기록 테이프 제조 장치의 일예를 보인 개략 측면도.
제 2 도는 본 발명 형성방법에 사용되는 노즐가열 방법의 일 실시예를 보인 부분 사시도.
제 3 도는 (a)(b)는 종래 방식과 본 발명 형성방법에 의하여 제조된 자기기록 매체의 단면도.
제 4 도는 종래 방식 및 본 발명 자기기록 매체의 부식성 측정 그래프.
본 발명은 내식성이 우수한 자성층을 갖는 자기기록 매체와 그 자성층 형성방법에 관한 것이다.
강자성 금속을 비자성 지지체에 진공증착시켜 제조되는 비디오 테이프 및 플로피 디스크 등의 자기기록매체는 공기중에서 부식되는 본질적인 문제점을 안고 있다. 따라서 증착형 자기기록 매체의 부식현상을 어느정도 방지하고 항자력을 향상시키기 위하여 진공증착 공정중 노즐을 통하여 산소가스를 불어 넣음으로써 표면산화를 일으키는 기술이 종래에도 이용되고 있다.
그러나, 이러한 종래기술은 자성층의 부식을 방지하기에 충분하지 못하다.
제 1 도는 통상의 자기기록 테이프를 진공증착하기 위한 제조장치의 전형적인 예를 보인 것으로, 진공조(1)의 내부에 공급롤(2)과 회수롤(3)이 설치되고 다수개의 가이드롤(4)과 중간부에 냉각캔(5)이 설치되어 공급롤(2)에서 공급되는 비자성 지지체인 소재필름(6)이 냉각캔(5)의 외주면 일부에 감기면서 회수롤(3)에 회수되게 되어 있으며, 하부에는 도가니(7)가 설치되고 그 내부에 담긴 강자성 금속(예를 들면 Co)(8)이 전자총(E/B gun)(9)에 의하여가열 증발되어 냉각캔(5)의 외주면에 접촉 이송하는 소재필름(6)에 증착되도록 되어 있다. 또한 진공조(1)의 일측벽에는 산소분사용노즐(10)이 설치되어 있다.
이러한 제조장치를 이용한 제조공정은 진공조(1)의 진공도를 5 X10-=Torr이하로 유지시킨 상태에서 두께 12μm의 소재필름(6)을 공급릴(2)에서 회수롤(3)로 이송시키면서 두께 0.1μm정도의 강자성 박막층을 형성시키게 되며 강자성 금속 입자들의 입사방향은 마스크(11)에 의하여 40˚이상으로 조절하고 증착이 완료되는 근방에 위치시킨 노즐(10)을 통하여 산소가스를 0.3SLM(Standard Liter per Minute)불어 넣어 준다.
산소가스의 도입목적은 자성박막층의 항자력을 높여 고밀도 기록에 적합토록 하기 위한 것이며, 표면의 일부를 산화시켜 부식방지에도 약간의 도움을 주게되는 것이다.
그러나, 이러한 종래기술은 노즐(10)을 통하여 산소가스(O2)를 불어넣어주면 자성층 표면부근에 형성되는 산화피막은 CaO 산화물이므로 내식성이 충분하지 못한 문제점이 있었다.
본 발명은 이러한 종래의 문제점을 감안하여 창안한것으로, 산소노즐을 유도가열이나 저항가열등에 의해 가열하고 산소가스를 불어넣어줌으로써 내식성이 우수한 표면이 형성되게 한 자기기록 매체를 제공하기 위한 것이다.
이하, 이러한 본 발명을 첨부한 도면 제 2 도 내지 제 4 도에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
제 2 도는 본 발명 자성층 형성방법에 사용되는 노즐 가열방법의 일 실시예를 보인 것으로, 본 발명의 자성층 형성 방법에는 상술한 제 1 도에 도시된 제조장치가 작용되며, 산소 가스 주입단계에서 노즐(10)을 고주파 유도가열 등의 방법으로 100˚-300℃정도로 가열하는 것을 특징으로 포함한다.
본 발명의 자성층 형성방법에 의하여 온도 100˚-300℃정도로 가열된 노즐(10)을 통하여 산소가스를 도입시키면 산소분자들의 활성화 에너지가 증가하여 자성층의 표면에는 CoO 산화물 및 Co3O4산화물이 생성되어진다. 즉 CoO 보다 산화가 좀더 진전되어서 화학적으로 매우 안정한 화합물인 Co3O4산화물 피막을 형성시켜줌으로써 더 이상의 부식이 산화물 피막 내부로 침투되는 현상이 방지되는 것이 본 발명 자성층 형성방법의 핵심이다.
이러한 본 발명 방법에 의하여 형성된 자성층에는 전자선 회절분석 및 X선 분석법에 의하여 Co3O4산화물 피막이 형성됨을 확인할 수 있었다.
제 3 도의 (a)(b)는 종래방식과 본 발명 형성방법에 의하여 제조된 자기기록매체의 단면도로서, (a)는 종래 방식에 의하여 제조된 자기테이프이며, (b)는 본 발명의 방식에 의한 자기 테이프를 보인 것이다.
(a)에 도시한 바와같이 종래의 자기 테이프는 비자성 지지체(6)위에 증착 형성된 자성층(8')의 표면에 CoO 산화물 (a)이 피막(11')을 형성하고 있고, (b)에 도시한 바와같이 본 발명의 자기 테이프는 비자성 지지체(6'')위에 증착된 자성층(8'')의 표면에 CoO 산화물(a)과 Co3O4산화물(b)이 피막(11'')을 형성하고 있다. 따라서 본 발명의 자기테이프는 자성층(8'')의 표면 부위에 Co3O4산화물이 밀집되어 있으므로 화학적으로 안정하여 내부층으로의 부식 침투가 어려운 반면에 종래의 자기테이프는 부식침투가 충분히 방지되지 못한다.
제 4 도는 종래방식의 자기테이프 (a)와 본 발명에 의한 자기 테이프(b)를 온도 60℃, 습도 90%RH에서 10일간 방지하면서 포화지속을 VSM(진동시료형 Magneto meter)으로 측정하여 보인 비교 그래프로서, 가로축은 방치일, 세로축에는 측정값과 초기치의 백분율을 표시한 것이다.
제 4 도에서 알 수 있는 바와같이, 방치일 10일 후 포화 자속 밀도의 감소는 종래방식의 자기 테이프 (a)가 9% 본 발명에 따른 자기테이프 (b) 가 4%정도로서 본 발명 자기 테이프(b)의 내부식성이 월등히 향상되어 있다.
상술한 바와같이 본 발명은 가열된 노즐을 통하여 산소가스를 불어넣어주면서 자성층 증착을 행함으로써, 화학적으로 보다 안정된 Co3O4산화물 피막을 형성할 수 있게되어 내부식성이 매우 우수한 자기기록 매체를 별도의 보호층 없이 제조할 수 있는 장점이 있다.
Claims (2)
- 진공조의 일측에 노즐을 설치하여 소재필름에 증착되는 자성층 위에 산소를 분사하는 방법에 있어서, 상기 노즐을 유도가열이나 저항가열등에 의하여 100˚-300℃로 가열하여 산소가스를 활성화시켜 분사함을 특징으로 하는 고내식성 자성층을 갖는 자기기록 매체의 자성층 형성방법.
- 활성화된 산소가스 분위기에서 비자성 지지체의 표면에 강자성 금속을 증착하여 그 박막상 자성층의 표면에 Co3O4산화물 피막을 형성한 것을 특징으로 하는 고내식성 자성층을 갖는 자기기록매체.
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