JPS5975427A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空雰囲気内で、強磁性材料を加熱蒸発させて
得る蒸気流を支持体に対して斜め方向から入射させて強
磁性結晶柱を支持体に対して斜めに形成したいわゆる斜
方蒸着型磁性層を有する磁気記録媒体の改良に関する。

近年、情報量の増大とともに、高密度磁気記録媒体の出
現が望まれており、特に、理想的な高密度磁気記録媒体
として、金属薄膜型磁気記録媒体の開発が盛んに進めら
れている。

薄膜化技術としては、真空類漕法、イオンブレーティン
グ法、スパッタリング法、湿式メッキ等の各棟方法が挙
げられるが、高密度記録に適した高保磁力媒体を安定に
得るには、特公昭４１−１９，３８９号に開示された、
いわゆる斜方蒸着方法がすぐれた方法である。

斜方蒸着方法とは、真空雰囲気内で、Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ
等の強磁性材料を加熱蒸発せしめて得る蒸気流を、高分
子等から成る非磁性支持体に対して蒸気流の方向と支持
体上に立てた法線とのなす角度が、通常４０度以上の角
度で支持体に入射せしめて、強磁性結晶柱を支持体に対
して斜めに形成する真空蒸層方塙である。この斜方蒸着
方法の一種として、単なる熱蒸着以外に、蒸気流の一部
を強制的にイオン化させて支持体に対して斜め入射せし
める、いわゆるイオンブレーティング型の斜方蒸着方法
が知られている。このような斜方蒸着方法により形成さ
れた磁性層は斜方蒸着型磁性層と呼ばれる。

強磁性材料としては、通常ＣＯ１又はＣｏ　−歯合金等
のＣｏを主成分とする合金材料或いは、これにば累を添
加した合金組成が用いられる。しかし、これらの斜方蒸
着型磁性層は経時安定性かまだまだ不十分であり、実用
化への大きな障害となっていた。本発明者等は、Ｃ０１
Ｃｏ　−Ｎｉ　、　Ｃｏ−０、又はＣｏ　−Ｎｉ　−０
等に微量のＣｒ等を添加したり、或いは更に、斜すぐれ
た斜方蒸着型磁性層を有する磁気記録媒体を提案した。

しかしながら、電特については必ずしも十分とは言えず
更°に特性の向上が望まれていた。

本発明は、このような実状に鑑みてなされたもので、耐
錆性及び電荷の双方に優れた斜方蒸着型磁性層を有する
磁気記録媒体を提供することを目的とする。

本発明者等は、Ｃｏ　−Ｃｒ　−０又はＣｏ　−Ｎｉ−
Ｃｒ−０を主成分とする斜方蒸着型磁性層を複数層重す
る磁気記録媒体の改良に関し、鋭意研究を重ねた結果、
最上層の保磁力（以後Ｈｃと記す）が支持体に接した磁
性層のＨｃより大ぎくした場合に、耐錆性を劣化させず
に電荷が改善できることを見出し本発明に到ったもので
ある。

本発明は、非磁性支持体上に少なくとも２層の磁性ｊ−
を有する磁気記録媒体において最上層の磁性層の１−ｆ
ｃが支持体に接した磁性層のＨｃより犬なることを特徴
とする磁気記録媒体を提供するものである。

磁性層の組成としては、Ｃｏが９０〜５５原子数係（以
下ａｔ％と記す）、Ｎｉが０〜２５ａｔ係、Ｃｒが２〜
８ａｔ％、Ｏが５〜３０ａｔ％が好ましい。又、Ｃｏ−
Ｃｒ　−０又はＣｏ　−１’Ｊｉ　−Ｃｒ−０を主成分
とする磁性層に、所望の特性を損なわない範囲で不純物
元素を含めても良い。

本発明の磁気記録媒体の磁性層は、斜方蒸着法により作
成されるが、又蒸発粒子の一部をイオン化する斜方蒸着
法を利用することもできる。斜方蒸着を行う際のθｍｉ
ｎは通常３０〜７０°であるが、５０°以下が好ましい
。

本発明における磁性層は、蒸発材料としてＣｏ−Ｃｒ又
はＣｏ　−Ｎｉ　−Ｃｒ　ノ合金を用１１１元的な蒸着
法により作成しても良いし、蒸発材料としてＣｏ−Ｎｉ
合金とＣｒを用いこれらを別個の蒸発源にチャージする
２元同時蒸着法等の多元同時蒸着法で作成しても良い。

又、酸素を磁性層中に含有させるには、蒸着中に微量の
酸素或いは水蒸気等を蒸着室内に導入して斜方蒸着中に
含ませてもよいし、又蒸着後に磁性層を酸素又は水蒸気
等にふれさせることで磁性層中に酸素を取り込ませても
良い。

膜厚は磁性層全体で６００から５００　ＯＡ、各層の膜
厚は３００から３００ＯＡが望ましい。

又、必ずしも２層構成でなく、数層重ねた構成でも良い
。各層の厚みは異なっていても良い。各磁性層内の柱状
粒子の成長方向は磁性層間で異なっていても良いし、又
は同じでも良い。更に、磁性層間に非磁性の中間層を設
けても良い。

非磁性支持体としては、ポリエチレンテレフタレート（
以後ＰＥＴと記す）やポリイミド等の非磁性支持体フィ
ルムが望ましいが、必要に応じて表面処理を施としたも
のでも、下地層を設けたものでも良い。更に実用上の緒
特性を更に向上させる為に磁性層側又は支持体側に各種
処理を施こしても良い。

以下、本発明を図面及び東施例により説明する。

図面は、本発明の磁気記録媒体を製造するための好まし
い蒸着装置の概略断面図である。

図面に示される蒸着装置は真空ポンプ９によりその内部
が真空にされる蒸着室ｌＯ１この蒸着室１０内部に設け
られた送出コア６から送り出されたテープ状の支持体８
を巻取コア７まで案内、支持するクーリングキャン５０
間に設けられたマスク４からなる。ここでマスク４は支
持体８の表面に立てた法線の方向と蒸発源からの蒸気流
の方向となす角度θの内、最小斜入射角θｍｉｎを規定
する。さらに蒸着室１０内へ酸素を供給するぽ素の吹き
出し口３が蒸着室１０内部へ開口している。

また蒸着室１０中央付近には搬送系と蒸着部との分離を
兼ねた防着板１１が設けられている。

以上のように構成された蒸着装置において、本発明の磁
気記録媒体は例えば次のようにして製造される。

蒸着室１０は、真空ポンプ９によりその内部が真空にさ
れる。蒸発源１，２には蒸発材料Ｃｏ　−Ｎｉ　、　Ｃ
ｒがそれぞれチャージされる。

チャージされた蒸発材料は従来公知の加熱手段により加
熱される。この加熱手段としては例えば電子ビーム加熱
、誘導加熱、抵抗加熱等を用いることができる。加熱さ
れた蒸発材料は融解気化し、蒸気流となって蒸着室１０
内部上方へ上昇し、支持体８上に蒸着する。

この際酸素の吹き出し口３からは酸素が蒸着室１０内に
導入され、適度な酸素雰囲気中で蒸着が行なわれるよう
になっており、形成される磁性層に所望の含有率で酸素
が含有せしめられる。送出コア６がら送り出された支持
体８はクーリングキャン５に案内される際に斜入射角度
θが高角度（はぼ９０Ｋ）から低角度へと変化しながら
、斜方蒸着が行なわれ最小斜入射角θｍｉｎをすぎると
蒸着を終了し、巻取コア７に巻き取られる。このように
して非磁性支持体５上に第１層目の磁性層が形成された
のちは、この第１層目の磁性層のＨＣよりも大きなＨｃ
を有するように第２層目の磁性層を上述と同様にして形
成する。Ｈｃを変化せしめる方法としては、磁性層の組
成を変化させるものおよび、斜入射角度を変化せしめる
方法等を使用することができる。

なお、本発明の磁気記録媒体を製造するためには必ずし
も上述の装置及び方法に限定されるものではな（、本発
明の磁気記録媒体を製造しうるものであれば、いかなる
装置及び方法を使用し得ることは言うまでもない。

次に、本発明を実施例により説明する。

〔実施例〕

非磁性支持体として１０μ厚のｌ）　ＥＴ、蒸発材料と
してはＣｏａｏＮｉｚｏ及びＣｒ、２つの蒸発源の加熱
手段として２台の１６ＫＷの電子ビーム加熱手段を用い
、図面に示される蒸着装置でθｍｉｎを４７°に設定し
、約７５ＯＡの厚みの第１層目の磁性層を蒸着した。真
空度は４　ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒ　ＰＥＴ支持体の搬
送速度はＬｏｆｎ／ｍｉｎであった。

次に磁性層を設けたＰＥＴ支持体を巻き戻した後、Ｃｒ
への電子ビームの電流を減らした以外は上述した方法で
その上に７５ＯＡの厚みの第２層目の磁性層を蒸着した
。これをサンプル／Ｉ６１とした。オージェ電子分析法
で組成分析を行ったところ第１層目は（ＣｏｓｏＮｉｔ
ｏ）ｓ＋Ｃｒ５Ｏｘｏ、第２層目は（ＣｏａｏＮｉｚｏ
　）　ａ９ｃｒ　３０ｓであった。Ｈｃを試料撮動型磁
化測定装置で求めた。

第１層目の磁性層のＨｃは８　’０００ｅ　Ｓ第２層目
の磁性層のＨｃは１２０００ｅであった。

次にＣｒへの電子ビーム電流を変化させ８００Ａの厚み
の第１層目の磁性層をＰＥＴ上に設けた後、この第１層
目の磁性層を設けたＰＥ′ｒを巻き戻しθｍ初を５０’
に設定し、その上に、７００Ａの厚みの第２層目の磁性
層を設けた。

これをサンプル７ｇ６２とした。測定の行ったところ、
第１層目の磁性層において組成は（ＣｏｇｏＮｉ２す８
８Ｃｒ４０８、Ｈｃは８０００ｅ、第２層目の磁性層に
おいて組成は（ＣｏｓｏＮｉｚｏ　）　５７ｃｒ４０９
、Ｈｃは１２０００ｅであツタ。

さらに、θｍｉｎを４７°とし、上述した方法で７５Ｏ
Ａ厚みの磁性層を２層設けた。これをサンプル／１６３
とした。測定の結果第１層目の磁性層は（ＣｏａｏＮｉ
ｚｏ）ｓ６ｃｒ４０ｘｏ　、Ｈｃは１００００ｅ、第２
層目の磁性層は（ＣｏｇｏＮｉｚｏ　）ｓ５Ｃｒ４０１
１、Ｈ，ｃは１００００ｅであった。

耐錆性は、温度６０℃、相対湿度９０チの恒温恒湿雰囲
気中で２週間放置試験を行い、光学顕微鏡で磁性層表面
を観察しサビ（局所的腐蝕）の有無で判定を下した。

テープ状にスリットしＶＨ８方式小型ビデオカセットに
組ろ込み６　ＭＨｚの信号を記録し６Ｍｌ−１，ｚの再
生出力（シグナルＳとした）と４．５ＭＨｚの変調ノイ
ス（ノイスＮとした）の比を求めることにより行なった
。

表１に作成しｒ０サンプル況の１−Ｉｃ、膜厚及びＳ／
Ｎとサビのテスト結果を示す。本サンプルはすべてサビ
は認められなかった。Ｓ／ＮはサンプルＡ３を基準にと
り表示を行った。

表１から最上層（第２層目）のＨｃが高いと出力が高い
結果が得られることがわかった。

上記実施例では、０昭ｉが約２０　ａｔ　％のものを記
載したが、０〜２５ａｔ％で同様な結果を得ている。

以上のように本発明は耐錆性・型持共に優れた磁気記録
媒体を提供できるものであり、蒸着テープの実用化に大
きく貢献するものである。

【図面の簡単な説明】

図面は、本発明の磁気記録媒体を製造するために使用す
る蒸着装置の概略断面図である。 １．２・・・蒸　　発　　源　　３・・・酸素の吹き出
し口４・・・・・・・・・マ　　ス　　り　　５・・・
クーリングキャン６・・・・・・・・・送出コア　　７
・・・巻　取　コ　ア８・・・・・・・・・支　持　体
　９・・・真空ポンプ１０・・・・・・・・・蒸　　着
　　室　　１１・・・防　　着　　板（自　発）手続ン
１ｎ正円 昭和５８年５月１２日 １、事件の表示 特願昭５７−１８５２２１号 ２、発明の名称 磁気記録媒体 ３、補正をづる者 事イ′１との関係　　　　　特許出願人４、代理人 東京都港区六本木５丁目２番１月 ８、補正の内容 １）明細書第１０頁第３行 「減らした」を１増やした」に訂正覆る。 ２）同頁第７行 「第１層目」を１第２層目」に訂正づる。 ３）同頁第８行 「第２層目」を１第１層目」に訂正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上にＣｏ　−Ｃｒ　−０又はＣｏ　−Ｎｉ
   　−Ｃｒ　−０を主成分とする斜方蒸着型磁性層を少な
   くとも２層有する磁気記録媒体において、最上層の磁性
   層の保磁力が支持体に接した磁性層の保磁力より犬なる
   ことを特徴とする磁気記録媒体。