JPS639014A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒
体およびその製造方法に関し、さらに詳しくは走行性お
よび耐食性に優れた前記の磁気記録媒体およびその製造
方法に関する。

〔従来の技術〕

強磁性金属薄膜層を記録層とする磁気記録媒体は、通常
、ポリエステルフィルムなどの基体フィルムを真空雰囲
気内で円筒状キャンの周側面に沿って移動させ、この基
体フィルム上に金属もしくはそれらの合金などを斜め入
射蒸着するなどの方法でつくられ、高密度記録に適した
特性を有するが、反面磁気ヘッドとの摩擦係数が大きく
て摩耗や損傷を受けやすく、走行性や耐久性に劣るとい
う難点があり、また空気中で徐々に酸化を受けて最大磁
束密度などの磁気特性が劣化しやすく、耐食性に劣ると
いう難点がある。

このため、近年、走行性および耐食性を改善する目的で
、突起を有する基体フィルムを使用して、突起を有する
基体フィルム上に強磁性金属薄膜層を形成したり、さら
に強磁性金属薄膜層上に非磁性材からなる保護膜層を形
成することが行われている。（特開昭５９−４８８２５
号、特開昭５８−２６３２０号） 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、この突起を有する基体フィルムを使用し、こ
の基体フィルム上に強磁性金属薄膜層を形成する方法で
は、強磁性材を斜め入射蒸着する場合に特有のシャドー
効果により、基体フィルムの突起に隣接して空隙が生じ
るため、磁気記録媒体の表面からの腐食を充分に抑制す
ることができず、耐食性に欠けるという難点があり、保
護膜層を設けてもいまひとつ充分に良好な耐食性が得ら
れない。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明はかかる欠点を解消するため種々検討を行った
結果なされたもので、真空雰囲気内で、円筒状キャンの
周側面に沿って突起を有する基体フィルムを移動させ、
この基体フィルムに強磁性材を加熱蒸発させて得た蒸気
流を斜め入射蒸着して、長手方向に傾斜した強磁性材柱
状粒子の集合体からなる強磁性金属薄膜層を形成し、し
かる後、基体フィルムを円筒状キャンの周側面に沿って
前記強磁性材を蒸着させた場合と逆方向に移動させ、強
磁性金属薄膜層を被着形成した基体フィルム上に、非磁
性材を加熱蒸発させて得た蒸気流を斜め入射蒸着して、
強磁性金属薄膜層の強磁性材柱状粒子の傾斜方向と反対
方向に傾斜した非磁性材の柱状粒子の集合体からなる保
護膜層を設けることによって、強磁性材を斜め入射蒸着
する際のシャドー効果により基体フィルムの突起に隣接
して生じる空隙を、強磁性金属薄膜層の強磁性材柱状粒
子の傾斜方向と反対方向に傾斜した非磁性材の柱状粒子
の集合体からなる保護膜層で封鎖し、磁気記録媒体の表
面からの腐食を抑制して、耐食性および走行性を充分に
向上させたものである。

以下、図面を参照しながらこの発明について説明する。

第１図はこの発明で使用する真空蒸着装置の１例を示し
たもので、１は真空槽でありこの真空槽１の内部は排気
系２により真空に保持される。３は真空槽１の中央部に
配設された円筒状キャンであり、凹凸を有するポリエス
テルフィルム等の基体フィルム４は原反ロール５よりこ
の円筒状キャン３の周側面に沿って移動し、巻き取りロ
ール６に巻き取られる。この間、円筒状キャン３の周側
面に沿って移動する基体フィルム４に対向して真空槽１
の下部に配設された強磁性材蒸発源７で、まず強磁性材
８が加熱蒸発され、蒸気流Ａが基体フィルム４に差し向
けられると同時に、ガス導入管９から酸素ガスが吹きつ
けられて強磁性材の斜め入射蒸着が行われる。この強磁
性材の斜め入射蒸着によって、第２図に示すように凹凸
を有する基体フィルム４の突起４１に隣接する部分に、
シャドー効果による空隙１０が生じ、強磁性材の柱状粒
子１１の集合体からなる強磁性金属薄膜層１２が形成さ
れる。１３および１４は強磁性材を加熱蒸発して得た蒸
気流Ａの円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基体
フィルム４に対する入射角を調整するため、円筒状キャ
ン３の下部および側部に配設された防着板であり、この
防着板１３および１４によって蒸気流Ａの入射角が調整
される。

このようにして突起４１に隣接する部分に空隙１０を有
する強磁性金属薄膜層１２が被着形成された基体フィル
ム４は、一旦巻き取りロール６に巻き取られた後、今度
は逆方向に巻き取りロール６から円筒状キャン３の周側
面に沿って移動し、原反ロール５に巻き取られる。そし
てこの間に円筒状キャン３の周側面に沿って移動する基
体フィルム４に対向して真空槽１の下部に配設された非
磁性材蒸発源１５で非磁性材１６が加熱蒸発され、蒸気
流Ｂが基体フィルム４に差し向けられると同時に、ガス
導入管９から酸素ガスが吹きつけられて非磁性材の斜め
入射蒸着が行われる。この際蒸気流Ｂは円筒状キャン３
の下部および側部に配設された防着板１７および１８に
よって所定の範囲内の角度で円筒状キャン３の周側面に
沿って移動する基体フィルム４７７、差し向けられて、
斜め入射蒸着が行われる。この非磁性材の斜め入射蒸着
によって、第２図に示すように強磁性金属薄膜層１２上
に、強磁性材柱状粒子１１間に生じた空隙１０を封鎖す
るように、非磁性材の柱状粒子１９の集合体からなる保
護膜層２０が形成される。

このようにして凹凸を有する基体フィルム４の突起４１
に隣接する部分に空隙１０が生じて、長手方向に傾斜し
た強磁性材柱状粒子１１の集合体からなる強磁性金属薄
膜層１２が被着形成され、次いで、この上に強磁性材柱
状粒子１１の傾斜方向と反対方向に傾斜した非磁性材の
柱状粒子１９の集合体からなる保護膜層２０が形成され
ると、強磁性材の斜め入射蒸着に特有のシャドー効果に
よって突起４１に隣接して生じる空隙１０が、非磁性材
の柱状粒子１９の集合体からなる保護膜層２０で封鎖さ
れるため、斜め入射蒸着特有のシャドー効果によって生
じた空隙１０に外気が浸入することもなく、磁気記録媒
体の表面からの腐食が　　、充分に抑制される。また凹
凸を有する基体フィルム４を使用しているため、良好な
走行性が得られ、耐食性および走行性がともに向上され
る。

このような凹凸を有する基体フィルム４上に、被着形成
する強磁性金属薄膜層の形成材料ととしては、Ｃｏ、、
Ｆｅ５Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃ。

−Ｃｒ合金、Ｃｏ−Ｐ合金、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｃ。

−Ｍｎ合金、Ｃｏ−Ｔｉ合金など一般に真空貫着に使用
される強磁性材が使用される。

また、強磁性金属薄膜層上に被着形成する非磁性材とし
ては、Ｔｉ、、Ｃｒ、ＡＩ、Ｓ　Ｌ　Ｔａなどの金属、
およびこれらの金属の金属酸化物などが好適なものとし
て使用される。

基体フィルムとしては、ポリエステル、ポリイミド、ポ
リアミド等の一般に使用されている高分子成形物からな
るプラスチックフィルムに突起形成処理を施して突起を
形成したもの、あるいはこれらのプラスチックフィルム
上に有機物、無機物等により突起を形成したものなどが
使用される。

なお、凹凸を有する基体フィルム４上に形成される強磁
性金属薄膜層１２および保護膜層２０は、第３図に示す
ように交互に２層積層してもよく、さらに第４図に示す
ように保護膜層のみ２層積層してもよい。

〔実施例〕

次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 厚さが１０μｍで表面に粒径３００人の突起４１を１．
５Ｘ　１０８個／　ｃｎ！有するポリエステルフィルム
４を第１図に示す真空蒸着装置に談議し、原反ロール５
から円筒状キャン３の周側面に沿って移動し、巻き取り
ロール６に巻き取るようにセットした。次いで、排気系
２で真空槽１内を１×１０４トールに真空排気して、強
磁性材蒸発源７内にセットしたコバルト−ニッケル合金
（重量比８０：２０）８を１０００人／ｓｅｃの速度で
加熱蒸発させ、防着板１３．１４で入射角を５０度にセ
ットしてガス導入管９から酸素ガスを吹きつけながら真
空蒸着し、ポリエステルフィルム４上の突起４１に隣接
する部分に空隙１０が生じた厚さ１５００人のコバルト
−ニッケル合金からなる強磁性金属薄膜層■２を形成し
た。次いで、真空槽ｌ内をｌＸｌ０−’トールに真空排
気し、一旦巻き取りロール６に巻き取ったポリエステル
フィルム４をコバルト−ニッケル合金を被着した場合と
は逆方向に円筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、
非磁性材蒸発源１５にセットしたチタン１６を１００人
／ｓｅｃの速度で加熱蒸発させ、防着板１７．１８で入
射角を５０度にセットしてガス導入管９から酸素ガスを
吹きつけながら真空蒸着し、強磁性金属薄膜層１２を被
着形成したポリエステルフィルム４上に厚さ２００人の
チタンからなる保護膜層２０を形成した。しかる後、所
定の巾に裁断して第２図に示すようにポリエステルフィ
ルム４の突起４１に隣接する部分に空隙１０を有する強
磁性金属薄１１１１層１２および保護膜層２０を被着形
成した磁気テープＡをつくった。

比較例１ 実施例１において、突起４１を有するポリエステルフィ
ルム４に代えて、突起のない厚さ１０μｍの平滑なポリ
エステルフィルムを使用した以外は実施例１と同様にし
て磁気テープをつくった。

比較例２ ・比較例１において、非磁性材蒸発源１５にセントした
チタン１６の加熱蒸発を省き、強磁性材蒸発源７にチタ
ン１６をセットし、１００人／ｓｅｃの速度で加熱蒸発
させて、強磁性金属薄膜層１２の柱状粒子１１の傾斜方
向と同じ方向に傾斜した非磁性材の柱状粒子からなる保
護膜層２０を形成した以外は、実施例１と同様にして磁
気テープをつくった。

各実施例および比較例で１４られた磁気テープについて
、耐食性および走行性を試験した。耐食性試験は、６０
℃、９０％ＲＨの雰囲気下に得られた磁気テープを１週
間静置して、静置後の飽和磁化を測定し、初期の飽和磁
化からの劣化率を算出して行った。また走行性試験は、
市販のＶＴＲ用デツキを用いてエンベロープを観察して
行った。

下表はその結果である。

表 〔発明の効果〕 上表から明らかなように、実施例１で得られた磁気テー
プは、比較例１および２で得られた磁気テープに比し、
エンベロープが良好で、劣化率が小さく、このことから
この発明の方法で得られる磁気記録媒体は耐食性および
走行性に優れていることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の製造方法で使用される真空蒸着装置
の概略断面図、第２図はこの発明の製造方法によって得
られた磁気記録媒体の部分拡大断面図、第３図および第
４図はこの発明の製造方法によって得られた磁気記録媒
体の他の例を示す部分拡大断面図である。 １・・・真空槽、３・・・円筒状キャン、４・・・ポリ
エステルフィルム（基体フィルム）、７・・・強磁性材
蒸発源、８・・・強磁性材、１０・・・空隙、１１・・
・強磁性材柱状粒子、１２・・・強磁性金属薄膜層、１
３，１４．１７．１８・・・防着板、１５・・・非磁性
材蒸発源、１６・・・非磁性材、１９・・・非磁性材の
柱状粒子、２０・・・保護膜層、４１・・・突起、、Ａ
−・・磁気テープ（磁気記録媒体） 特許出願人　　日立マクセル株式会社 第１図 第２図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、突起を有する基体フィルム上に長手方向に傾斜した
   強磁性材柱状粒子の集合体からなる強磁性金属薄膜層を
   形成し、さらにその上に強磁性材柱状粒子の傾斜方向と
   反対方向に傾斜した非磁性材の柱状粒子の集合体からな
   る保護膜層を設けたことを特徴とする磁気記録媒体 ２、真空雰囲気内で、円筒状キャンの周側面に沿って突
   起を有する基体フィルムを移動させ、この基体フィルム
   に強磁性材を加熱蒸発させて得た蒸気流を斜め入射蒸着
   して、長手方向に傾斜した強磁性材柱状粒子の集合体か
   らなる強磁性金属薄膜層を形成し、しかる後、基体フィ
   ルムを円筒状キャンの周側面に沿って前記強磁性材を蒸
   着させた場合と逆方向に移動させ、強磁性金属薄膜層を
   被着形成した基体フィルム上に、非磁性材を加熱蒸発さ
   せて得た蒸気流を斜め入射蒸着して、強磁性金属薄膜層
   の強磁性材柱状粒子の傾斜方向と反対方向に傾斜した非
   磁性材の柱状粒子の集合体からなる保護膜層を形成する
   ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法