JPS61207011A - 自動薬液処理装置 - Google Patents
自動薬液処理装置Info
- Publication number
- JPS61207011A JPS61207011A JP4788185A JP4788185A JPS61207011A JP S61207011 A JPS61207011 A JP S61207011A JP 4788185 A JP4788185 A JP 4788185A JP 4788185 A JP4788185 A JP 4788185A JP S61207011 A JPS61207011 A JP S61207011A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chemical liquid
- conveyor
- products
- transferred
- workroom
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体製造工程に用いられる自動薬液処理装
置に関するものである。
置に関するものである。
従来の自動薬液処理装置は、第３図に示すように列状に
配列した複数の薬液処理槽１５．１５・・・・・・から
なる処理ラインを有し、ローダ一部１３に載置された被
処理製品１１は、搬送機構１７にょシ可動範囲１８内で
順次各薬液槽１５において処理され、遠心乾燥機１６に
より乾燥され、処理後の製品１２はアンローダ一部１４
に搬出される構造となっていた。
配列した複数の薬液処理槽１５．１５・・・・・・から
なる処理ラインを有し、ローダ一部１３に載置された被
処理製品１１は、搬送機構１７にょシ可動範囲１８内で
順次各薬液槽１５において処理され、遠心乾燥機１６に
より乾燥され、処理後の製品１２はアンローダ一部１４
に搬出される構造となっていた。
この様な構造の装置においては、各薬液槽が直線的に配
列されておシ、ローダ一部１３に載置された被処理製品
１１は処理ラインの反対側に位置するアンローダ一部１
４に搬出されるために、作業領域が２ケ所に分散され、
作業の負担が大きいとともに、装置の前面が作業領域と
なるために、装置全体を作業室内に設置しなければなら
ず、設置のための制約条件が課され、及び作業室内の汚
染が発生するという欠点があった。
列されておシ、ローダ一部１３に載置された被処理製品
１１は処理ラインの反対側に位置するアンローダ一部１
４に搬出されるために、作業領域が２ケ所に分散され、
作業の負担が大きいとともに、装置の前面が作業領域と
なるために、装置全体を作業室内に設置しなければなら
ず、設置のための制約条件が課され、及び作業室内の汚
染が発生するという欠点があった。
本発明は作業領域を集中させることＫよシ、前記問題点
を解消した装置を提供するものである。
を解消した装置を提供するものである。
本発明は列状に配列した複数の薬液槽からなる処理ライ
ンに製品を搬送機構にょシ搬入、搬出させ、６槽にて製
品の処理を連続的に行う装置において、搬送機構に対し
て処理前の製品の授受を行うローダ一部と、搬送機構に
対して処理後の製品の授受を行うアンローダ一部とを処
理ラインの一端に並設したことを特徴とする自動薬液処
理装置である〜 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を図によって説明する。
ンに製品を搬送機構にょシ搬入、搬出させ、６槽にて製
品の処理を連続的に行う装置において、搬送機構に対し
て処理前の製品の授受を行うローダ一部と、搬送機構に
対して処理後の製品の授受を行うアンローダ一部とを処
理ラインの一端に並設したことを特徴とする自動薬液処
理装置である〜 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を図によって説明する。
第１図において、列状に配列した複数の薬液槽４、・・
・・・・からなる処理ライン２１に沿って薬液処理用搬
送機６と戻り用搬送機８とをそれぞれ可動範囲７と９内
に設置し、搬送機６に対する製品１の搬入口６ａと、搬
送機８に対する製品１２の搬出口１２ａとを処理ライン
２１の図中左端２１ａに向けて配設し、処理前の製品の
授受を行うローダ一部３を搬送機６の搬入口６ａに向き
合せ、かつ処理後の製品の授受を行うアンローダ一部１
０を搬送機８の搬出口１２ａに向き合せて、ローダ一部
３とアンローダ一部１０とを処理ライン２１の左端２１
ａに並設する。５は遠心乾燥機である。
・・・・からなる処理ライン２１に沿って薬液処理用搬
送機６と戻り用搬送機８とをそれぞれ可動範囲７と９内
に設置し、搬送機６に対する製品１の搬入口６ａと、搬
送機８に対する製品１２の搬出口１２ａとを処理ライン
２１の図中左端２１ａに向けて配設し、処理前の製品の
授受を行うローダ一部３を搬送機６の搬入口６ａに向き
合せ、かつ処理後の製品の授受を行うアンローダ一部１
０を搬送機８の搬出口１２ａに向き合せて、ローダ一部
３とアンローダ一部１０とを処理ライン２１の左端２１
ａに並設する。５は遠心乾燥機である。
実施例において、ローダ一部３に載置された処理前の製
品１は薬液処理用搬送機６により可動範囲７に沿って複
数の薬液処理槽４．・・・・・・により順次処理された
後に、遠心乾燥機５によって処理を終了する、その後、
処理後の製品１２は搬送機６から戻り用搬送機８に移し
替えられ、該搬送機８により可動範囲９に沿ってアンロ
ーダ一部１０に搬出する。
品１は薬液処理用搬送機６により可動範囲７に沿って複
数の薬液処理槽４．・・・・・・により順次処理された
後に、遠心乾燥機５によって処理を終了する、その後、
処理後の製品１２は搬送機６から戻り用搬送機８に移し
替えられ、該搬送機８により可動範囲９に沿ってアンロ
ーダ一部１０に搬出する。
ここで、ローグ一部３及びアンローダ一部１０は複数の
製品の載置可能な構造、例えばコンベア式のものであれ
ば、複数の製品を連続して自動処理が可能である。また
、薬液処理用搬送機６に戻シ用搬送機８の機能を付加す
れば、搬送機構はひとつでも同等の機能を得ることがで
きる。第２図は本装置の設置例を示すものである。図に
示すように、本装置によれば、間支切り壁１９により２
室に仕切り、ローダ−・アンローダ一部３．１０は作業
室側２０に、また処理ライン２１は開力機械室側２２に
隔離して設置することができるものである。
製品の載置可能な構造、例えばコンベア式のものであれ
ば、複数の製品を連続して自動処理が可能である。また
、薬液処理用搬送機６に戻シ用搬送機８の機能を付加す
れば、搬送機構はひとつでも同等の機能を得ることがで
きる。第２図は本装置の設置例を示すものである。図に
示すように、本装置によれば、間支切り壁１９により２
室に仕切り、ローダ−・アンローダ一部３．１０は作業
室側２０に、また処理ライン２１は開力機械室側２２に
隔離して設置することができるものである。
以上説明したように本発明は、装置の同一場所において
製品の着脱作業が可能となり、前後工程との連結が容易
となると同時に作業の負担を大巾に低減できる。また清
浄度が要求される作業室内には、ローダ−・アンローダ
一部のみを設置し、処理ラインの各種における薬液の給
・排液作業および保守は、全て開力機械室側で行うよう
な構造に設置が可能となシ、作業室内の清浄度の向上と
面積を低減できる効果がある。
製品の着脱作業が可能となり、前後工程との連結が容易
となると同時に作業の負担を大巾に低減できる。また清
浄度が要求される作業室内には、ローダ−・アンローダ
一部のみを設置し、処理ラインの各種における薬液の給
・排液作業および保守は、全て開力機械室側で行うよう
な構造に設置が可能となシ、作業室内の清浄度の向上と
面積を低減できる効果がある。
第１図は本発明の自動薬液処理装置の概略断面図、第２
図は本発明による装置の設置例を示す図、第３図は従来
の自動薬液処理装置の概略断面図である。
図は本発明による装置の設置例を示す図、第３図は従来
の自動薬液処理装置の概略断面図である。
Claims (1)
- （１）列状に配列した複数の薬液槽からなる処理ライン
に製品を搬送機構により搬入、搬出させ、各槽にて製品
の処理を連続的に行う装置において、搬送機構に対して
処理前の製品の授受を行うローダ部と、自動搬送機構に
対して処理後の製品の授受を行うアンローダ部とを処理
ラインの一端に並設したことを特徴とする自動薬液処理
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4788185A JPS61207011A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | 自動薬液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4788185A JPS61207011A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | 自動薬液処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61207011A true JPS61207011A (ja) | 1986-09-13 |
Family
ID=12787729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4788185A Pending JPS61207011A (ja) | 1985-03-11 | 1985-03-11 | 自動薬液処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61207011A (ja) |
-
1985
- 1985-03-11 JP JP4788185A patent/JPS61207011A/ja active Pending
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