JP3271206B2 - 自動処理装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば、処理開始時
間が異なる複数の半導体ウエハなどを複数の洗浄装置を
用いて次々に洗浄する複数の洗浄装置で構成された自動
洗浄装置などの自動処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】自動処理装置の一具体例として、現在、
一般的に使用されている自動洗浄装置を取り挙げ、この
自動洗浄装置を用いて製品である半導体ウエハを洗浄す
る方法を図２及び図３を用いて説明する。図２は現在、
一般的に使用されている自動洗浄装置の概略の平面図で
あり、図３は図２の自動洗浄装置の内の処理槽部の配列
と、その処理方法を説明するためのシステム図ある。

【０００３】図２において、符号Ｗは全体として自動洗
浄装置を示す。この自動洗浄装置Ｗでの製品の流れとし
ては、製品投入、払出部１０から製品である複数枚の半
導体ウエハを収納したキャリヤＫを投入し、ストッカー
部２０で製品を蓄え、キャリヤ交換部３０で薬液処理に
適したキャリヤＫａへ交換し、搬送部４０でローダー部
５０へキャリヤＫａを送り、そのローダー部５０で製品
処理開始のタイミングをコントロールし、薬液などの入
った処理槽部６０で洗浄及び乾燥し、その後アンローダ
ー部７０へ運ばれ、前記キャリヤ交換部３０で処理前の
キャリヤＫへ交換し、そして前記ストッカー部２０に蓄
え、適切なタイミングで前記製品投入、払出部１０から
払い出される。

【０００４】前記処理槽部６０は複数の処理槽から構成
されていて、図３には処理槽部６０が５個の処理槽６
１、６２、６３、６４、６５で構成され、これらがロー
ダー部５０と直線的に配列された例を挙げた。これらの
処理槽６１、６２、６３、６４、６５は使用する薬液や
処理方法により異なるが、製品である半導体ウエハの表
面に付着している不要な物質を除去するものである。

【０００５】製品の搬送は、図示していないがロボット
で行われ、そのロボットの動きは、これも図示していな
いが、自動洗浄装置Ｗに内蔵されている制御部により制
御されている。その制御部では、製品の処理が適切にな
るように、また各処理槽６１、６２、６３、６４、６５
で投入時間の異なる製品を同時処理しないように、更に
また、製品の投入順番と処理終了順番が一致するように
ロボットの動きを制御する。

【０００６】図３には、処理槽の数が異なる製品Ａ（処
理槽６１、６２、６３、６４、６５で処理）と製品Ｂ
（処理槽６１及び６５のみで処理）の流れを示した。ま
た、〔表１〕は現行の方式でそれら製品Ａ及び製品Ｂを
交互に処理した場合の処理槽部６０内の処理状況を表し
た。この図３及び〔表１〕を参照しながら、製品Ａと製
品Ｂとを交互に処理した場合の動作を時系列的に説明す
ると、下記のようになる。

【０００７】１）ロボットが製品Ａ−１（製品Ａの一個
目）をローダー部５０から取り、処理槽６１に入れる。 ２）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ａ−１を
処理槽６１から出し、処理槽６２に入れる。 ３）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ａ−１を
処理槽６２から出し、処理槽６３に入れる。 ４）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ａ−１を
処理槽６３から出し、処理槽６４に入れる。 ５）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ａ−１を
処理槽６４から出し、処理槽６５に入れる。 ６）ロボットが製品Ｂ−１（製品Ｂの一個目）をローダ
ー部５０から取り、処理槽６１に入れる。 ７）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ａ−１を
処理槽６５から出し、アンローダー部７０へ置く。 ８）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ｂ−１を
処理槽６１から出し、処理槽６５に入れる。 ９）ロボットが製品Ａ−２（製品Ａの二個目）をローダ
ー部５０から取り、処理槽６１に入れる。 １０）処理の規定時間になると、ロボットが製品Ｂ−１
を処理槽６５から出し、アンローダー部７０へ置く。 １１）以下は前記２）〜１０）の繰り返しとなる。

【０００８】

【表１】

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】〔表１〕に示したよう
に、製品により各処理槽での処理時間及び次処理までの
時間が決まっており、そして製品の追越しができないた
め、ローダー部５０から処理槽６１へ製品を送るタイミ
ングを遅らせる必要がある（製品Ａ→Ｂへの移り変わり
時点）。そのため、製品Ａと製品Ｂの作業終了の間隔が
製品Ａ→製品Ｂの場合と、製品Ｂ→製品Ａの場合で変わ
る。

【００１０】そのため、使用する処理槽の数が異なる製
品を連続して処理する場合、同じ処理内容の製品を連続
して処理する場合と比較して、下記のような欠点があっ
た。 １）単位時間当たりの製品処理数が少なくなる。 ２）製品の投入順により製品の処理完了時間のピッチが
変動するため、生産計画と実績で差が生じやすい。 ３）前記１）、２）による損失を最小限に抑えるために
は、作業者が製品投入の順番や製品の種類の切り換えタ
イミングを管理する必要がある。 この発明はこのような問題点を解決することを課題とす
るものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】それ故、この発明の自動
処理装置は、順次配列された複数の処理装置から構成さ
れ、この複数の処理装置に対して使用する処理装置の数
が異なる複数種の被処理物を、処理開始時間（時刻）を
異ならしめて一定時間間隔で順次投入し、複数種の被処
理物を連続的に処理する自動処理装置において、前記複
数の処理装置間に少なくとも一個のバッファー装置を設
置し、使用する処理装置の数が異なることに基づく複数
種の被処理物の処理時間差を、当該被処理物を前記バッ
ファー装置に一時保管して調整し、被処理物の処理時間
を一致させて投入順に順次処理終了するよう構成して、
前記課題を解決した。

【００１２】

【作用】従って、前記バッファー装置の存在により、製
品の種類によらず、一定の間隔で処理することが可能と
なり、製品の処理完了数を安定させ、そして自動処理装
置の処理能力を向上させることができる。

【００１３】

【実施例】次に、この発明の実施例の自動処理装置を図
１を用いて説明する。図１は図３に対応する、この発明
の自動洗浄装置内における処理槽部の配列と、その処理
方法を説明するためのシステム図ある。なお、従来技術
の処理槽部と同一の部分には同一の符号を付し、それら
の説明を省略する。

【００１４】この発明の自動洗浄装置内における処理槽
部６０Ａの構成の特長は、図１に示したように、各処理
槽６１、６２、６３、６４、６５（処理槽数５個の例）
の間にそれぞれバッファー２、３、４、５を配列、設置
したことである。これらのバッファー２、３、４、５は
各処理槽６１、６２、６３、６４、６５で処理された製
品を一時保管して、処理を進行させない役割を果たすも
のである。

【００１５】

【表２】

【００１６】図１に示した配列の処理槽部６０Ａで製品
Ａと製品Ｂとを同時に処理する方法を、〔表１〕と同様
に、図１及び〔表２〕を参照しながら、その動作を時系
列的に説明すると、下記のようになる。

【００１７】１）ロボットが製品Ａ−１をローダー部５
０から取り、処理槽６１に入れる。 ２）ロボットが製品Ａ−１を処理槽６１から取り出し、
処理槽６２に入れる。 ３）ロボットが製品Ｂ−１をローダー部５０から取り、
処理槽６１に入れる。 ４）ロボットが製品Ａ−１を処理槽６２から取り出し、
処理槽６３に入れる。 ５）ロボットが製品Ｂ−１を処理槽６１から取り出し、
バッファー３に入れる。 ６）ロボットが製品Ａ−２をローダー部５０から取り、
処理槽６１に入れる。 ７）ロボットが製品Ａ−１を処理槽６３から取り出し、
処理槽６４に入れる。 ８）ロボットが製品Ｂ−１をバッファー３から取り出
し、バッファー４に入れる。 ９）ロボットが製品Ａ−２を処理槽６１から取り出し、
処理槽６２に入れる。 １０）ロボットが製品Ａ−１を処理槽６４から取り、処
理槽６５に入れる。 １１）ロボットが製品Ｂ−２をローダー部５０から取り
出し、処理槽６１に入れる。 １２）ロボットが製品Ｂ−１をバッファー４から取り出
し、バッファー５に入れる。 １３）ロボットが製品Ａ−２を処理槽６２から取り出
し、処理槽６３に入れる。 １４）ロボットが製品Ａ−１を処理槽６５から取り出
し、アンローダー部７０へ置く。 １５）ロボットが製品Ｂ−２を処理槽６１から取り出
し、バッファー３に入れる。 １６）ロボットが製品Ｂ−１をバッファー５から取り出
し、処理槽６５に入れる。 １７）ロボットが製品Ａ−３をローダー部５０から取り
出し、処理槽６１に入れる。 １８）ロボットが製品Ａ−２を処理槽６３から取り出
し、処理槽６４に入れる。 １９）ロボットが製品Ｂ−２をバッファー３から取り出
し、バッファー４に入れる。 ２０）ロボットが製品Ｂ−１を処理槽６５から取り出
し、アンローダー部７０へ置く。 以下、同様の動作を繰り返す（詳細は〔表２〕を参照の
こと）。なお、前記のロボットの動きは、従来技術と同
様に自動洗浄装置に内蔵されている制御部により制御さ
れるものである。

【００１８】〔表２〕から明らかなように、この発明の
処理槽部６０Ａは各処理槽の間にバッファーを設けたた
め、ローダー部５０から処理槽６１へ製品を送るタイミ
ングは任意の一定時間で良く、また製品Ａと製品Ｂの作
業終了時間も、製品Ａ→製品Ｂ、製品Ｂ→製品Ａ共に同
じになる。

【００１９】これらのバッファー２、３、４、５の位置
はレイアウトの都合により上下、左右方向にずらせて設
置してもよい。また、各バッファー２、３、４、５の個
数は処理する製品の種類により最適の数や設置位置があ
ることは言うまでもない。また、これらのバッファー
２、３、４、５としては水洗槽を用いるとよい。

【００２０】

【発明の効果】以上、説明したように、この発明の処理
槽部６０Ａは、各処理槽の間にバッファー機能を持たせ
たので、製品の種類によらず、一定の間隔で処理するこ
とができる。それ故、更に、次のような効果が得られ
る。即ち、 １．製品の種類によらず、単位時間当たりの処理数が安
定する。 ２．生産計画と実績との差が生じ難くなる。 ３．作業者は製品投入の順番や製品の種類の切り換えタ
イミングを管理する必要がなくなり、作業者の負担が軽
減できる。 ４．製品の投入順によらず、自動処理装置を常に最大処
理能力で使用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図３に対応する、この発明の自動洗浄装置内
における処理槽部の配列と、その処理方法を説明するた
めのシステム図ある。

【図２】 現在、一般的に使用されている自動洗浄装置
の概略の平面図である。

【図３】 図２の自動洗浄装置の内の処理槽部の配列
と、その処理方法を説明するためのシステム図ある。

【符号の説明】

Ａ 製品 Ｂ 製品 Ｋ キャリヤ Ｋａ キャリヤ Ｗ 自動処理装置 ２ バッファー ３ バッファー ４ バッファー ５ バッファー １０ 製品投入、払出部 ２０ ストッカー部 ３０ キャリヤ交換部 ４０ 搬送部 ５０ ローダー部 ６０ 処理槽部 ６１ 処理槽 ６２ 処理槽 ６３ 処理槽 ６４ 処理槽 ６５ 処理槽 ７０ アンローダー部

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 順次配列された複数の処理装置から構成
   され、この複数の処理装置に対して使用する処理装置の
   数が異なる複数種の被処理物を、処理開始時間（時刻）
   を異ならしめて一定時間間隔で順次投入し、複数種の被
   処理物を連続的に処理する自動処理装置において、前記複数の処理装置間に少なくとも一個のバッファー装
   置を設置し、使用する処理装置の数が異なることに基づ
   く複数種の被処理物の処理時間差を、当該被処理物を前
   記バッファー装置に一時保管して調整し、被処理物の処
   理時間を一致させて投入順に順次処理終了するよう構成
   した ことを特徴とする自動処理装置。