JPS61201775A - シ−ル装置 - Google Patents
シ−ル装置Info
- Publication number
- JPS61201775A JPS61201775A JP60042613A JP4261385A JPS61201775A JP S61201775 A JPS61201775 A JP S61201775A JP 60042613 A JP60042613 A JP 60042613A JP 4261385 A JP4261385 A JP 4261385A JP S61201775 A JPS61201775 A JP S61201775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- face
- roll
- elastic body
- rolls
- solid lubricant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- D06B—TREATING TEXTILE MATERIALS USING LIQUIDS, GASES OR VAPOURS
- D06B23/00—Component parts, details, or accessories of apparatus or machines, specially adapted for the treating of textile materials, not restricted to a particular kind of apparatus, provided for in groups D06B1/00 - D06B21/00
- D06B23/14—Containers, e.g. vats
- D06B23/16—Containers, e.g. vats with means for introducing or removing textile materials without modifying container pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はシート材に真空蒸着、スパッタ、イオンブレー
ティングなどを施す連続真空処理装置等のロール装置の
ためのシール装置に関する。
ティングなどを施す連続真空処理装置等のロール装置の
ためのシール装置に関する。
（発明の背景〕
従来、相対する２個のロールの間を通してシート材を連
続的に高圧側から低圧側へ、もしくは低圧側から高圧側
へ搬入、搬出するロール装置のためのシール装置は、特
開昭５２−３３７１５号公報、特開昭５５−１０３６０
号公報などに開示されている。
続的に高圧側から低圧側へ、もしくは低圧側から高圧側
へ搬入、搬出するロール装置のためのシール装置は、特
開昭５２−３３７１５号公報、特開昭５５−１０３６０
号公報などに開示されている。
これらの開示例のシール装置は、軸に沿う円筒状のシー
ルとして、ケース矛に取り付けられた接触式リップシー
ルをロールに圧接することにより行われていた。また軸
端部のシールとしては表面にフッ素樹脂などの低摩擦材
の膜をコーティングした端面シール板体をばね等で押し
付けて行われた６すなわちロール端面部のシールは２つ
のロール端面とリップシールの端面、及びシールブロッ
クにシール板を同時に圧接することにより行われていた
。
ルとして、ケース矛に取り付けられた接触式リップシー
ルをロールに圧接することにより行われていた。また軸
端部のシールとしては表面にフッ素樹脂などの低摩擦材
の膜をコーティングした端面シール板体をばね等で押し
付けて行われた６すなわちロール端面部のシールは２つ
のロール端面とリップシールの端面、及びシールブロッ
クにシール板を同時に圧接することにより行われていた
。
そのため、ロール加工時の２つのロール間の加工誤差、
各ロール及びシールブロック側面部との加工誤差、さら
にリップシールとロールとの摩擦熱によりおこる、リッ
プシールとロールとの熱膨張差等の原因により、ロール
の端面部において、シールケース、リップシール、シー
ルロールに寸法差が生じ段ちがいが生じる。シール板の
背面を押すばね力では、シール板は一番長い部材に追随
するため端面部にすき間が生じ著しく気密を損ねるとい
う欠点があった。
各ロール及びシールブロック側面部との加工誤差、さら
にリップシールとロールとの摩擦熱によりおこる、リッ
プシールとロールとの熱膨張差等の原因により、ロール
の端面部において、シールケース、リップシール、シー
ルロールに寸法差が生じ段ちがいが生じる。シール板の
背面を押すばね力では、シール板は一番長い部材に追随
するため端面部にすき間が生じ著しく気密を損ねるとい
う欠点があった。
本発明の目的はロール端面の気密性を良好にするシール
装置を提供する。
装置を提供する。
本発明は上記の目的を達成するために、ロール装置の端
面のシール装置として、ロールの端面部に固体潤滑材、
弾性体および板体との組み合わせによる三重構造のシー
ル手段を配置したものである。
面のシール装置として、ロールの端面部に固体潤滑材、
弾性体および板体との組み合わせによる三重構造のシー
ル手段を配置したものである。
このように構成したことにより、ロール端面部での気密
性が良好となり、ロールの前後室内の圧力差を高くする
ことができる。
性が良好となり、ロールの前後室内の圧力差を高くする
ことができる。
以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。
第１図および第２図は本発明のシール装置の第１の実施
例を示すもので、これらの図において、１はシートＦの
導入、導出部を有するシールケース、２はシールケース
１に支持された弾性体リップシールである。シールケー
ス１にはロール３゜３′が回転可能に支持されている。
例を示すもので、これらの図において、１はシートＦの
導入、導出部を有するシールケース、２はシールケース
１に支持された弾性体リップシールである。シールケー
ス１にはロール３゜３′が回転可能に支持されている。
このロール３゜３′は矢印方向へ回転によりシートＦを
高圧側から低圧側へ、連続的に搬送する。第１図では右
側が高圧側、左側が低圧側である。ロール３，３′の軸
方向のシールはりツブシール２をロール３゜３′に圧接
することにより得られている。一方、ロール端面部のシ
ール手段は第２図に示すようにばね７によってロール端
面部に向って押圧される板体８と、この板体８のロール
端面側に接合した弾性体９と、この弾性体９のロール端
面側に接合した固体潤滑体の三重構造で構成されている
。
高圧側から低圧側へ、連続的に搬送する。第１図では右
側が高圧側、左側が低圧側である。ロール３，３′の軸
方向のシールはりツブシール２をロール３゜３′に圧接
することにより得られている。一方、ロール端面部のシ
ール手段は第２図に示すようにばね７によってロール端
面部に向って押圧される板体８と、この板体８のロール
端面側に接合した弾性体９と、この弾性体９のロール端
面側に接合した固体潤滑体の三重構造で構成されている
。
この三重構造のシール手段はその背面に配置したばね７
のばね力により、ロール端面部に押圧されてその部分を
シールする。そのため、ロール加工時の寸法差や、ロー
ルとりツブシールの摩擦によりおこる２つのロール、及
びリップシールの熱膨張差で生ずるロール端面部の段ち
がいによるすき間を弾性体９の弾性作用により吸収する
ことができ、良好な気密状態を得ることができる。
のばね力により、ロール端面部に押圧されてその部分を
シールする。そのため、ロール加工時の寸法差や、ロー
ルとりツブシールの摩擦によりおこる２つのロール、及
びリップシールの熱膨張差で生ずるロール端面部の段ち
がいによるすき間を弾性体９の弾性作用により吸収する
ことができ、良好な気密状態を得ることができる。
第３図は本発明の装置の第２の実施例を示すもので、こ
の図において第２図と同一符号のものは同一部分を示す
、この実施例は、ロール３，３′の端面部に弾性体１３
をはりつけ、この弾性体１３に対向する部分にばね７に
より押圧される板体１１とこの板体１１にコーティング
した固体潤滑材１２とからなるものを配置したものであ
る。
の図において第２図と同一符号のものは同一部分を示す
、この実施例は、ロール３，３′の端面部に弾性体１３
をはりつけ、この弾性体１３に対向する部分にばね７に
より押圧される板体１１とこの板体１１にコーティング
した固体潤滑材１２とからなるものを配置したものであ
る。
この実施例においても前述した実施例と同様な効果が得
られる。
られる。
第４図は本発明の装置の第３の実施例を示すもので、こ
の実施例ロール３，３′の端面部に固体潤滑材１６の膜
をコーティングし、この固体潤滑材に対向する板体１４
に弾性体１５をはりつけて構成したものである。
の実施例ロール３，３′の端面部に固体潤滑材１６の膜
をコーティングし、この固体潤滑材に対向する板体１４
に弾性体１５をはりつけて構成したものである。
第５図は本発明の装置の第４の実施例を示すもので、こ
の実施例はロール３．３′の端面に弾性体１９をはりつ
け、この弾性体１９の上に回転体潤滑材１８をコーティ
ングし、これに対向する位置に板体１７を配置したもの
である。
の実施例はロール３．３′の端面に弾性体１９をはりつ
け、この弾性体１９の上に回転体潤滑材１８をコーティ
ングし、これに対向する位置に板体１７を配置したもの
である。
以上述べたように、本発明の実施例によればロール式シ
ール装置ロール端面部のシール手段を、板体、弾性体、
固体潤滑材の組み合わせによる三重構造としたもので、
ロール端面部に生ずるすき間を吸収することが可能とな
り良好なシールが行える。
ール装置ロール端面部のシール手段を、板体、弾性体、
固体潤滑材の組み合わせによる三重構造としたもので、
ロール端面部に生ずるすき間を吸収することが可能とな
り良好なシールが行える。
以上のように、本発明によれば、シールロール製作時の
加工誤差や、運転時の熱膨張差による寸法差を吸収する
ことが可能なため、シール効果を高め、排気ポンプの容
量を減らすことができ、かつ、高い真空度を得ることが
できる。
加工誤差や、運転時の熱膨張差による寸法差を吸収する
ことが可能なため、シール効果を高め、排気ポンプの容
量を減らすことができ、かつ、高い真空度を得ることが
できる。
第１図は本発明のシール装置の第１の実施例を示す縦断
正面図、第２図は第１ｖ４の横断面図、第３図〜第５図
はそれぞれ本発明のシール装置の他の実施例を示す横断
面図である。 １・・・シールブロック、２・・・弾性リップシール、
３゜３′・・・ロール、７・・・ばね、８，１１，１４
．１７・・・台板体、９，１３．．１５，１９・・・弾
性体。 ｆ １ 凪 第 ２ 困 藁 ３ 口 冨４ 図
正面図、第２図は第１ｖ４の横断面図、第３図〜第５図
はそれぞれ本発明のシール装置の他の実施例を示す横断
面図である。 １・・・シールブロック、２・・・弾性リップシール、
３゜３′・・・ロール、７・・・ばね、８，１１，１４
．１７・・・台板体、９，１３．．１５，１９・・・弾
性体。 ｆ １ 凪 第 ２ 困 藁 ３ 口 冨４ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、相対して回転する２つのロール間を通してシートを
高圧側から低圧側へ、または低圧側から高圧側へ搬入、
搬出する搬送装置のためのシール装置において、ロール
端面部のシール手段を、ロール端面部に向つて押される
板体と弾性体と固体潤滑材との組み合わせから成る三重
構造体で構成したことを特徴とするシール装置。 ２、シール手段は、ロール端面に接合した弾性体と、こ
の弾性体に向つて押圧される板体と、この板体の弾性体
側面に設けた固体潤滑材とで構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のシール装置。 ３、シール手段は、ロール端面に設けた固体潤滑材とこ
の固体潤滑材に向つて押圧される板体と、この固体潤滑
材側の面に接合した弾性体とで構成したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のシール装置。 ４、シール手段は、ロール端面に接合した弾性体とこの
弾性体の端面に接合した固体潤滑剤材とこの固体潤滑材
に向つて押圧される板体とで構成したことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のシール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60042613A JPS61201775A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60042613A JPS61201775A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | シ−ル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61201775A true JPS61201775A (ja) | 1986-09-06 |
Family
ID=12640869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60042613A Pending JPS61201775A (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 | シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61201775A (ja) |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP60042613A patent/JPS61201775A/ja active Pending
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