JPS637368A - ロ−ル式シ−ル方式のサイドシ−ル装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、シート材に真空蒸着、スパッタ、イオンブレ
ーティングなどを施こす連続真空処理装置のローラ式シ
ール方式のサイドシール装置の改良に関するものである
。

〔従来の技術〕

従来、シート材を連続的に高圧側から低圧側へ、もしく
は高圧側から低圧側へ搬入、ｍ出する連続真空処理装置
用のロール式シール方式のサイドシール装置に関連し、
特開昭５７−３０７３３　、　　特開昭５８−１３１４
７０号公報が開示されている。

特開昭５７−３０７３３号公報のものを、第８図により
説明する０図において、３，３ａはロール、４はケース
、７はばね、１１はリップシール、１２は外周部サイド
シール板、１３は隙間である。２個のロール３，３ａの
間にはシートＦを挾み込みロール３，３ａの回転により
シートＦを搬送する方式である。そ°して、ロール３，
３ａとケース４との間のシールは舌状リップシール１１
にシール機能を持たせている。−方、ロール３，３ａの
端面部のサイドシール機構は１表面に弗素樹脂などの低
摩擦材を被びした１枚のサイドシール板１２により行な
われている６即ち、２本のロール３゜３ａの端面、リッ
プシール１１の端面、ケース４の端面を、サイドシール
板１２により背部にばね７を用いて押圧される荷重機構
によりシールしていた。ところが、このシール方式では
、２本のロール３，３ａ、ロール３，３ａとケース４、
ロール３，３ａとリップシール１１の間に製作時の加工
誤差による軸方向の寸法差が生じ、さらに１Ｍ転時には
ロール３，３ａが回転しりツブシール１１と摺動するた
め２本のロール３，３ａリップシール１１．ケース４間
の熱膨張差により軸方向に寸法差が生じる。この結果、
ロール端面部サイドシールにおいて隙間１３を生じ、空
気のリークが発生した気密性が著しく損われると云う欠
点があった。

また、特開昭５８−１３１４７０号公報のものでは、第
９図に示すように１本のロール３にシートＦを巻き付け
て搬送する方式であり、ロール３とロール３の上下にそ
れぞれ対設された半円筒状（９０〜１３０”ＩＪ！ｉの
弧状）のシール部材１，２との間に狭い間隙１０を形成
し間隙１０に半径方向のシール機能を持たせている。−
方サイドシール機構は、ロール３を一本だけ使用してい
るため、第９図に示すようにロール３の円筒上に外側シ
ール材１４を押し付けてシールを行なっていた。このシ
ール方式では、ロール円筒面上でシールを行なっている
ため、ロール３及び間隙１０を形成するシール部材１，
２の軸方向の寸法誤差に関係なくロール端面部をシール
できると云う利点がある。しかし、このサイドシール方
式では外側シール材１４がロールとの摺動により摩耗し
てしまうとシールの役目を果し得ないため、長時間の運
転は不可能で耐久性の点で問題があった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来のものにおいては、加工誤差や軸方向への熱膨
張に基づき生じる隙間を生じさせないように、また、長
期間の使用により摩耗を生じ耐久性が低下することを防
止する点の配慮がされておらず、空気のリークを防ぎ高
い圧力差を保持することができないと云う問題があった
。

本発明は上記の状況に鑑みなされたものであり、シール
性及び耐久性を向上できるロール式シール方式のサイド
シール装置を提供することを目的としたものである。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的は、ケース内に配設され外周に形成される狭い
間隙部で高圧部から低圧部へ、または、低圧部から高圧
部へシートを搬送する回転駆動されるロールと、該ロー
ル及び静止部の上記ケースの軸方向端面部の該ロール及
び該ケース間を封止する可撓性材料からなるサイドシー
ル材とを設けたものにおいて、上記サイドシール材が、
上記静止部に固着されるハウジングに対し接着固定され
ると共に該静止部に接する部分がたわみ代を設けて形成
されており、かつ、上記ロール端面に接する部分が剛体
板を介在しばねの張力により押圧され該ロール端面に接
触するように形成されていることより達成できる。

〔作用〕

後述の実施例の説明中にも記載されているように、弾性
体（可撓性材料）で形成されたサイドシ−部材９がロー
ル３，３ａ端面部及び静止部の一部を覆うように形成さ
れ、サイドシール材９の静止部に接する部分は背面を剛
体のハウジング５に接着固定され、かつ、たわみ代が設
けられており端面部に固定されることにより静止部材の
寸法差を吸収できる。−方、可動材のロール３端面に接
する部分には、背面を剛体材の剛体板を介在しばねが取
り付けられ、ばねの張力を介し押圧接触されている。こ
のため、可動部材の寸法差を吸収でき、また！軸方向の
熱膨張を吸収でき可動部と静止部の寸法差もサイドシー
ル材が弾性体であるため吸収できる。従って、ロール端
面部の各部材の寸法差による隙間１３が発生しないため
、良好な気密が得られ、また、サイドシール表面が摩耗
してもばねで押圧されているため追随可能で耐久性を向
上できる。

〔実施例〕

以下本発明のローラ式シール方式のサイドシール装置を
、実施例を用い従来と同部品は同符号で示し同部分の構
造の説明は省略し第１図、第２図により説明する。第１
図は要部縦断面図、第２図は第１図のシール部材及びハ
ウジング等を装着前の縦断面図である０図において、１
，２はシール部材、５はハウジング、６はベアリングホ
ックス。

７はばね、８は剛体板、９は摺動性の良好なゴムまたは
プラスチックの可撓性材のサイドシール材である。シー
ル部材１．２はロール３に付設されロール３との間に著
しく狭い隙間を形成している。

この隙間にシール機能を持たせ高い圧力差を保持するよ
うに形成している。シートＦは、ロール３の回転により
高圧側から低圧側へ、あるいは低圧側から高圧側へ連続
的に搬送されるようになっている。

サイドシール装置の端面部のシールは１弾性体からなる
サイドシール材９をシール装置端面部に圧接することに
より行なわれる。この圧接は、サイドシール材９が、シ
ール装置端面部を４９１成する部材のうちの静止部材で
あるシール部材１，２及びケース４に接する部分を、背
面を剛体から形成されるハウジング５に接着されている
。そして、サイドシール材９は第２図に示すようにたわ
み代ａを設けてハウジング５に接着されている。このた
め、ハウジング５をケース４に固定すると、シール部材
１，２とケース４との加工誤差による寸法差はサイドシ
ール材９の弾性により吸収することができる。また、サ
イドシール材９が、可動部であるロール３と接する部分
は、剛体の剛体板８を介してばね７の弾性により押し付
けられるようになっている。尚、剛性体８は、ばね７の
力がサイドシール材９とロール３の端面部に均一な力が
加えられるようにするため取り付けるものである。

従って、シール装置端面部は、加工時１組立時の誤差に
より生じる各部材の寸法差に基づく隙間を吸収すること
ができ完全なシールが行える。また、摺動部と接するサ
イドシール材９の部分は、背面に剛体板８を介しばね７
により押圧するように形成されているため、サイドシー
ル材９の表面が摩耗してもロール３の端面に追随できる
ため耐久性を向上できる。さらに、剛体板８のサイドシ
ール材９に接する面を接着固定すれば、ケース４の内外
の差圧を剛体板８で受けることができ差圧による均一な
押し付は力が得られ、ばね７の力を小さくすることがて
きる。

このように本実施例のロール式シール方式のサイドシー
ル装置は、端面部をシールするサイドシール材をたわみ
代を設けてハウジングに固定し、サイドシール材の静止
体であるケース及びシール部材端面に対してはたわみ代
を介在し圧接し、可動部分のロール端面に対してはたわ
み代の他にさらに剛体板を介在しばねで圧接するように
したので、製作時のロール端面部の加工誤差や組立誤差
、及び運転時の熱膨張差によりロール端面部に生じる寸
法差を吸収することができる。従って、シール効果を向
上し真空ポンプ容凰を減少でき、かつ。

高真空が得られる６また、サイドシール材がばね圧で押
されているので耐久性を著しく向上できる。

第３図は他の実施例を示し、上記実施例と異なるところ
は、上記実施例はロールが１本であるのに対し本実施例
は２本設けている点である。図において、１１はロール
全幅に圧接されるリップシ−ルである。この場合、静止
部材はケース４とリップシール１１とであり、サイドシ
ール材９をたわみ代ａを設けてハウジング５に接着しケ
ース４に取り付けることにより、ケース４とリップシー
ル１１間の寸法誤差が吸収される。また、摺動部材であ
る二本のロール３，３ａの端面は、背面に剛体板８を介
しばね７で押し付けられている。サイドシール材９が弾
性体のため２本のロール３゜３ａ間の軸方向の寸法差は
吸収され、さらに、運転時にはりツブシール１１とロー
ル３，３ａとの熱膨張差による寸法差も吸収することが
できる。

従って、シール装置端面部は、各部材の寸法差による隙
間がなくなり完全なシールが行なわれ上記実施例と同様
な作用効果を有する。

第４図はさらに他の実施例を示し、第３図の実施例と異
なるところは２本のロール３，３ａを使用する場合に、
第３図の実施例では剛体板８は一体のものを使用してい
るのに対し剛体板８，８ａに２分割した点である。これ
により、２本のロール３，３ａの軸方向寸法差がある場
合、あるいは熱膨張差が大きい場合でも、短い方のロー
ル端面に接するサイドシール材の面圧を下げることなく
シール性を損なうことなく、第３図の実施例と同様の作
用効果を有する。

第５図は上記各実施例のサイドシール材９の表面に、サ
イドシール材９及びロール３，３ａの端面間に、シール
性、潤滑性を向上させるため、低摩擦材の被膜の摺動材
を被覆した実施例である。

この場合、駆動トルクの減少、シール性の向上。

サイドシールの高寿命化が可能となる。

第６図はさらに他の実施例を示し、ロール３の端面部と
サイドシール材９との接触するサイドシール材９の面に
摩耗粉が溜り易い穴の摩耗粉溜り１７を設けたものであ
る。第６図では摩耗粉溜り１７をサイドシール材９側に
設けた場合を示したがロール３の端面側に設けてもよい
ことは勿論である。サイドシール材９は、ロール３との
摩擦により摩耗粉を発生しこの摩耗粉がサイドシール材
９とロール３端面との間に入り込み、シール性に悪影響
を与える場合があるが、摩耗粉溜り１７に摩耗粉は集め
られる。従って、本実施例は、上記各実施例に比較しさ
らに摩耗粉溜り１７を設けたことにより、摩耗粉による
シール性能への影響を防止しシール装置のクリーン化が
図られる。また、摩耗粉溜り１７を設けたことは、ロー
ル３端而とサイドシール材９との接触面積を小さくでき
るため、ばね張力の減少、駆動トルクの減少が可能であ
るほか上記第］図、第５図の実施例と同様の作用効果を
有する。

第７図はさらに他の実施例を示し、剛体板８は、ロール
３の端面にサイドシール材９を介在して当接する形状が
、ロール３端而部形状と同一形状に形成されている。従
って、このような剛体板８が設けられハウジング５に開
口した穴をロール３端面部形状と同一とすることにより
、ロール３伸長時の剛体８のガイド機能を持たせること
ができる。

そして、熱膨張によりロール３が軸方向に伸びた場合で
も、静止部材及びロール３端面部に対し接するサイドシ
ール材９はそれぞれの部分で均一な面圧で押されること
になり、上記各実施例と同様の作用効果を有する。

〔発明の効果〕

以上記述した如く本発明のロール式シール方式のサイド
シール装置は、シール性及び耐久性を著しく向上できる
効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のロール式シール方式のサイドシール装
置の実施例の要部縦断面図、第２図は第１図のシール部
材及びハウジング等の結合状態の縦断面図、第３図、第
４図はそれぞれ本発明のロール式シール方式のサイドシ
ール装置の他の実施例の要部縦断面図、第５図は第４図
のサイドシール材の詳細図、第６図、第７図はそれぞれ
本発明のロール式シール方式のサイドシール装置のさら
に他の実施例の要部縦断面図、第８図、第９図はそれぞ
れ従来のサイドシール装置の断面説明図である。 ３．３ａ・・・ロール、４・・・ケース、７・・・ばね
、８・・・剛体板、９・・・サイドシール材、１８・・
・間隙、ａ・・・たわみ代、Ｆ・・・シート。 第　３　図 Ｆ・・・シート 第　４　図 第　６　ｚ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ケース内に配設され外周に形成される狭い間隙部で
   高圧部から低圧部へ、または、低圧部から高圧部へシー
   トを搬送する回転駆動されるロールと、該ロール及び静
   止部の上記ケースの軸方向端面部の該ロール及び該ケー
   ス間を封止する可撓性材料からなるサイドシール材とを
   設けたものにおいて、上記サイドシール材が、上記静止
   部に固定されるハウジングに対し接着固定されると共に
   該静止部に接する部分がたわみ代を設けて形成されてお
   り、かつ、上記ロール端面に接する部分が剛体板を介在
   しばねの張力により押圧されて接触するように形成され
   ていることを特徴とするロール式シール方式のサイドシ
   ール装置。２、上記サイドシール材の上記ロール端面に
   接する部分の背面が上記剛体板に接着されている特許請
   求の範囲第１項記載のロール式シール方式のサイドシー
   ル装置。 ３、上記サイドシール材の上記ロール端面に接する表面
   に低摩擦係数の摺動材が被覆されている特許請求の範囲
   第１項記載のロール式シール方式のサイドシール装置。 ４、上記ロール端面もしくは上記サイドシール材の該ロ
   ール端面に対する接触面に摩耗粉溜りが設けられている
   特許請求の範囲第１項記載のロール式シール方式のサイ
   ドシール装置。 ５、上記ロール端面に上記サイドシール材を介在し当接
   する上記剛性板が上記ロール端面形状と同じに形成され
   ると共に、上記ハウジングに上記剛性板を遊嵌する穴が
   形成されている特許請求の範囲第１項記載のロール式シ
   ール方式のサイドシール装置。