JP2000213475A - スクロ―ル形真空ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 チップシールを使用したスクロール形真空ポ
ンプにおいて、長期間にわたってチップシールとチップ
シール用溝の側面間のシールを維持することが難しい。 【解決手段】 チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂの断面が
鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の長さより渦巻状スク
ロールラップの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の
長さの方が長い台形であり、渦巻状スクロールラップの
先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の渦巻の外側端点
と鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の渦巻の外側端点を
結ぶ線と渦巻状スクロールラップの先端の溝２ｄ，３
ｄ，４ｄに面する線とのなす角度が９０度未満であるよ
うにチップシール２ｂ，３ｂ，４ｂを取り付ける。ま
た、渦巻状スクロールラップの先端に設けた溝２ｄ，３
ｄ，４ｄに２個以上の接着されないチップシール２ｂ，
３ｂ，４ｂを設ける。また、これらの手段を併用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はスクロール形真空ポ
ンプにおける、チップシールの構造およびその形状に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のスクロール形真空ポンプにおいて
は、図１に示すように吸込み口９から吸引された空気を
旋回スクロール２の鏡板２ｃおよび渦巻状スクロールラ
ップ２ａと固定スクロール３，４の鏡板３ｃ，４ｃおよ
び渦巻状ラップ３ａ，４ａに囲まれた圧縮空間に閉じ込
め、旋回スクロール２の固定スクロールに対する公転運
動により、その圧縮空間の容積を連続的に小さくするこ
とにより圧縮し、クランクシャフト５近傍に設けた送り
排気口１０から排気することにより、吸込み口９に接続
されている真空対象部位の真空化を行う。この際、吸込
み口９から吸引された空気が旋回スクロール２の鏡板２
ｃおよび渦巻状スクロールラップ２ａと固定スクロール
３，４の鏡板３ｃ，４ｃおよび渦巻状ラップ３ａ，４ａ
に囲まれた圧縮空間から極力漏れないように閉じ込める
ために、渦巻状スクロールラップ２ａ，３ａ，４ａの先
端部に溝２ｄ，３ｄ，4ｄを設けこの溝の中にチップシ
ール２ｂ，３ｂ，４ｂを設置している。

【０００３】従来、このチップシール２ｂ，３ｂ，４ｂ
の断面形状は、図５に示すように渦巻状スクロールラッ
プの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の長さより鏡
板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の長さの方が長い台形の
形状が多く用いられてきた。このようなチップシール
は、高圧側圧縮空間（スクロールラップの図中左側空
間）と低圧側圧縮空間（スクロールラップの図中右側空
間）との間の圧力差を利用するもので、この高圧側圧縮
空間と低圧側圧縮空間の圧力差により、高圧側の気体が
スクロールラップの溝内に入り、チップシールを鏡板側
（図中上方向）に押し付けると共に、低圧側圧縮空間側
（図中右方向）に押し付け、高圧側圧縮空間と低圧側圧
縮空間とを密閉するように作用している。

【０００４】また、このように高圧側圧縮空間と低圧側
圧縮空間との圧力差によらず、チップシール２ｂ，３
ｂ，４ｂと鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃの間の密閉を維持でき
るようにするために、図６のようにチップシール２ｂ，
３ｂ，４ｂと渦巻状スクロールラップの先端に設けられ
た溝２ｄ，３ｄ，４ｄで挟まれた空間に弾性体１２を設
けその弾性体１２のばね性によりチップシール２ｂ，３
ｂ，４ｂを鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに押し付ける方法も提
案されていた。なお、このように弾性体１２を使用する
場合、渦巻状スクロールラップの先端に設けられた溝２
ｄ，３ｄ，４ｄへのチップシールの設置を容易にするた
め、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂと弾性体１２は接着
または一体成形により製作されてきた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】チップシールは、その
製造コストを下げるため、一般に板材を打ち抜くことで
形成されている。しかしながら、このような方法で形成
するとチップシールの断面形状を完全に矩形にすること
は極めて困難である。従って、板材を打ち抜いてチップ
シールを形成した場合、その断面形状は台形状に形成さ
れてしまう。

【０００６】そこで、台形状に形成されたチップシール
を図５に示すように、鏡板に面する線の長さの方が長く
なるように配置すると、チップシールと鏡板間の接触面
積が大きくとれるため、チップシールと鏡板間密閉には
有効であるが、チップシールと渦巻状スクロールラップ
先端溝側面間の密閉は、チップシールの側面とスクロー
ルラップ角部との接触により密閉することになるため、
密閉性に問題がある。

【０００７】これは、チップシールと渦巻状スクロール
ラップ先端溝側面間の密閉をするためのチップシールの
側面において、スクロールラップの角部と接触する部分
（所謂密閉を行う部分）が変動するためである。このよ
うな変動は、チップシールが徐々に摩耗して厚さが徐々
に薄くなっていく過程や、又は、旋回スクロールが回転
する際、スクロールラップ端と鏡板面との間の距離に微
少な変動が生じるために生じる。チップシールは前記し
たように板材を打ち抜いて形成されるものであるため、
当然、その打ち抜いて形成された面（チップシールの側
面）の精度（面粗さ）は、削り出した場合に比較して粗
くなっている。このように粗い面上を変動しながらスク
ロールラップの角部と接触するため、密閉性に難点が生
じてしまう。密閉性が悪くなると、圧縮効率が低下し、
十分な真空度が得られないことが生じる。この問題を解
決するためには、チップシールの側面の精度を高めれば
よいが、精度を高めるためには、チップシールを板材か
らの打ち抜きのみで形成することが難しくなり、例えば
チップシールの側面を削り出しにより形成することとな
り、結果として高価なチップシールとなってしまう問題
を有している。

【０００８】なお、図６のようにチップシールと渦巻状
スクロールラップの先端に設けられた溝で挟まれた空間
に弾性体を設けその弾性体のばね性によりチップシール
を鏡板に押し付ける方法の場合、チップシールが摩耗し
薄くなると鏡板への押しつけ力が不足し密閉性が悪くな
り十分な真空度が得られなくなるといった問題を有して
いる。

【０００９】また、スクロール形真空ポンプは、旋回ス
クロールの回転により、その閉鎖された空間の圧力を徐
々に上昇させて最終的に排出する機構であるため、スク
ロールラップの左右の空間（高圧側圧縮空間と低圧側圧
縮空間）の圧力差に変動が生じる。本来、チップシール
はこの圧力差によって、鏡板側及び低圧側圧縮空間側に
押圧されているが、この圧力差の変動により、チップシ
ールが渦巻状スクロールラップ先端溝の側面から離れ、
圧縮効率の低下により十分な真空度が得られないことも
生じる。

【００１０】

【課題を解決するための手段】まず、上記した課題のう
ち、チップシールの側面がある程度の粗い面精度であっ
ても密閉性を高めるためには、常にチップシールの同一
個所がスクロールラップの側面と接触すれば良いことに
着目し、チップシールの低圧側圧縮空間側に突部を設
け、この突部がスクロールラップの側面に接触するよう
に構成すれば良い。なお、スクロールラップは通常削り
出しにより成形されているため、スクロールラップの側
面の面精度はチップシールの側面の面精度に比較して相
当高いものである。

【００１１】また、上記した課題のうち、スクロールラ
ップの左右の空間の圧力差変動により、チップシールが
スクロールラップから離れて密閉性が低下する問題につ
いては、この圧力差変動により移動してしまうチップシ
ールの他に、この圧力差変動の影響を受けないチップシ
ールを配置することにより解決することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施例を図１乃至図４を
用いて説明する。

【００１３】図１は本発明を適用したスクロール形真空
ポンプの全体外観図（一部断面図）であり、図２乃至図
４は本発明の各実施例を示す渦巻状スクロールラップの
先端近傍の部分断面拡大図である。

【００１４】まず、図１において、本発明となるスクロ
ール形真空ポンプ１は、旋回スクロール２、旋回スクロ
ール２の渦巻状ラップ２ａと、旋回スクロール２を挟む
２つの固定スクロール３，４、固定スクロール３，４の
渦巻状ラップ３ａ，４ａと、旋回スクロール２の渦巻状
ラップ２ａおよび固定スクロール３、４の渦巻状ラップ
３ａ、４ａの先端部に設置されたチップシール２ｂ、３
ｂ、４ｂ、クランクシャフト５、クランクピン６、クラ
ンクピン６用シールド形ラジアル玉軸受７、クランクシ
ャフト５用片シールド形ラジアル玉軸受８、吸込み口
９、排気口１０、モータ１１から成る。

【００１５】このように構成されたスクロール形真空ポ
ンプ１は、吸込み口９を真空にしたい対象物（チャンバ
等）に接続し、旋回スクロール２が固定スクロール３に
対して公転運動することでできる流体ポケット１３を、
順次各スクロール２，３の外側から中心側へ圧縮しなが
ら移動させることにより、流体ポケット１３で捕獲した
空気を順次排気口１０へ移動させている。

【００１６】このような構成を持つスクロール形真空ポ
ンプ１の渦巻状スクロールラップの先端の溝２ｄ，３
ｄ，４ｄに、図２に示す形状のチップシール２ｂ，３
ｂ，４ｂを取り付ける。図２に示すチップシール２ｂ，
３ｂ，４ｂは、板材を打ち抜いて形成したものであり、
その断面形状は概ね台形形状となっている。このチップ
シール２ｂ，３ｂ，４ｂは、鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面
する線の長さより渦巻状スクロールラップの先端の溝２
ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の長さの方が長い台形である
チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂを渦巻状スクロールラッ
プの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の渦巻の外側
端点と鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の渦巻の外側端
点を結ぶ線と渦巻状スクロールラップの先端の溝２ｄ，
３ｄ，４ｄに面する線とのなす角度が９０度未満である
ように取り付けられている。

【００１７】チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂを渦巻状ス
クロールラップの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに装着する
と、スクロールラップ２ａ，３ａ，４ａにより形成され
る高圧側空間（スクロールラップの図中左側空間）と低
圧側空間（スクロールラップの図中右側空間）との間の
圧力差により、高圧側空間の空気が溝２ｄ，３ｄ，４ｄ
内に入り込み、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂを、鏡板
２ｃ，３ｃ，４ｃ側に押し付けると共に、低圧側空間側
にも押し付ける。

【００１８】低圧側空間側に押し付けられたチップシー
ル２ｂ，３ｂ，４ｂは、その上面が鏡板２ｃ，３ｃ，４
ｃに対して面接触していることから、チップシール２
ｂ，３ｂ，４ｂの最も低圧側空間側に突出した部位であ
る図中右下角部（以下突部という）がスクロールラップ
の溝２ｄ，３ｄ，４ｄ内の低圧側空間側の壁に突き当た
る。

【００１９】この状態で、スクロール形真空ポンプを長
時間作動すると、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂと鏡板
２ｃ，３ｃ，４ｃとの間の摩擦により、チップシール２
ｂ，３ｂ，４ｂの摩耗が進行する。しかし、チップシー
ル２ｂ，３ｂ，４ｂの摩耗が進んでも、低圧側空間との
密閉は、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂに設けた突部と
スクロールラップの溝２ｄ，３ｄ，４ｄ内の低圧側空間
側の壁との間により行われるため、チップシール２ｂ，
３ｂ，４ｂの側面の面精度に影響されず、常に所定の密
閉効果を奏することができる。なお、チップシール２
ｂ，３ｂ，４ｂの摩耗の進捗により、チップシール２
ｂ，３ｂ，４ｂに設けた突部と接触するスクロールラッ
プの溝２ｄ，３ｄ，４ｄ内の低圧側空間側の壁の部位は
変化するが、一般にスクロールラップの溝２ｄ，３ｄ，
４ｄは削り出しにより製作されているため、チップシー
ル２ｂ，３ｂ，４ｂの側面の面粗さよりも精度の高い面
が形成されている。

【００２０】次に、このように構成される図２に示すチ
ップシール２ｂ，３ｂ，４ｂの寿命について述べる。鏡
板２ｃ，３ｃ，４ｃと渦巻状スクロールラップ２ａ，３
ａ，４ａの先端の間隔を一定にし、チップシール２ｂ，
３ｂ，４ｂの厚さを０．１ｍｍずつ薄くしたものを複数
用意し、定時間内に所定の真空度（１Ｐａ）に達するこ
とが可能である最小の厚さを測定したところ、従来の図
５に示すような渦巻状スクロールラップの先端の溝２
ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の長さより鏡板２ｃ，３ｃ，
４ｃに面する線の長さの方が長い台形の形状を有するチ
ップシール２ｂ，３ｂ，４ｂの場合より小さい値が得ら
れた。これは、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂが摩耗し
て厚さが薄くなった場合、図２の構成の方が図５の従来
の構成より、より長期間に亘って安定した真空度が得ら
れることを示す。また、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂ
の厚さを一定にし、鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃと渦巻状スク
ロールラップ２ａ，３ａ，４ａの先端の間隔を０．０１
ｍｍずつ広げ、所定時間内に所定の真空度（１Ｐａ）に
達することが可能である最大間隔を測定したところ、図
５の従来の構成より大きな間隔が得られた。これは、旋
回スクロール２が圧力変動により微振動し渦巻状スクロ
ールラップ２ａ，３ａ，４ａの先端と鏡板２ｃ，３ｃ，
４ｃ間の距離が変動する場合、図２の構成の方が図５の
従来の構成より安定した真空度が得られることを示す。

【００２１】次に、図３及び図４に示す他の実施例につ
いて述べる。

【００２２】図３及び図４の実施例は、渦巻状スクロー
ルラップ２ａ，３ａ，４ａの左右の空間（高圧側空間
（スクロールラップの図中左側空間）と低圧側空間（ス
クロールラップの図中右側空間））に生じる圧力差が旋
回スクロールの回転によって変動した際に、この圧力差
によってチップシール２ｂ，３ｂ，４ｂが図中左右方向
に微振動して、チップシール２ｂ，３ｂ，４ｂとスクロ
ールラップの溝２ｄ，３ｄ，４ｄの内壁との間に間隙が
生じて、密閉性が低下するのを防止するものである。

【００２３】図３の構成は、スクロールラップの溝２
ｄ，３ｄ，４ｄ内に、第一のチップシール２ｅ，３ｅ，
４ｅの内側（下方）に第二のチップシール２ｆ，３ｆ，
４ｆを同じ向きに配置したものである。

【００２４】第一のチップシール２ｅ，３ｅ，４ｅと第
二のチップシール２ｆ，３ｆ，４ｆは接触はしているも
のの接着はされておらず、スクロールラップの方向に対
して垂直の方向（図中左右方向）に相対的に移動可能に
構成されている。したがって、渦巻状スクロールラップ
２ａ，３ａ，４ａの左右の空間（高圧側空間（スクロー
ルラップの図中左側空間）と低圧側空間（スクロールラ
ップの図中右側空間））に生じる圧力差によって第一の
チップシール２ｅ，３ｅ，４ｅとスクロールラップの溝
２ｄ，３ｄ，４ｄの内壁との間に間隙が生じても、第二
のチップシール２ｆ，３ｆ，４ｆは当該圧力差による影
響はほとんど受けないため、第二のチップシール２ｆ，
３ｆ，４ｆとスクロールラップの溝２ｄ，３ｄ，４ｄの
内壁との間で密閉性が確保できる。

【００２５】なお、図３では、断面が台形形状のチップ
シール（２ｅ，３ｅ，４ｅ、２ｆ，３ｆ，４ｆ）の例が
記載されているが、これに限るものではなく、例えば図
４に示すように第一のチップシール２ｅ，３ｅ，４ｅを
逆の台形形状としても良く、更には、矩形形状のチップ
シールとしても良い。

【００２６】また図３のように、渦巻状スクロールラッ
プ先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄを深くし、この溝内に断面
が鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の長さより渦巻状ス
クロールラップの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線
の長さの方が長い台形であり、渦巻状スクロールラップ
の先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の渦巻の外側端
点と鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃに面する線の渦巻の外側端点
を結ぶ線と渦巻状スクロールラップの先端の溝２ｄ，３
ｄ，４ｄに面する線とのなす角度が９０度未満である2
枚のチップシール２ｅ，３ｅ，４ｅ及び２ｆ，３ｆ，４
ｆを、蒸気圧の低すぎないペースト状のグリース等をチ
ップシール２ｅと２ｆまたは３ｅと３ｆまたは４ｅと４
ｆ間に塗り一時的に接着し鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃで挟
み、塗布したグリース等の蒸気圧より低い圧力で真空引
きすることにより接着しない状態で重ねて取り付け、前
記同様に、鏡板２ｃ，３ｃ，４ｃと渦巻状スクロールラ
ップ２ａ，３ａ，４ａの先端の間隔を一定にして鏡板２
ｃ，３ｃ，４ｃに面するチップシールの厚さ２ｅ，３
ｅ，４ｅを０．１ｍｍずつ薄くし定時間内に所定の真空
度（１Ｐａ）に達することが可能である最小の厚さ、及
び2枚のチップシール２ｅ，３ｅ，４ｅ及び２ｆ，３
ｆ，４ｆの厚さを一定にして鏡板２ｄ，３ｄ，４ｄと渦
巻状スクロールラップ２ａ，３ａ，４ａの先端の間隔を
０．０１ｍｍずつ広げ所定時間内に所定の真空度（１Ｐ
ａ）に達することが可能である最大間隔を測定したとこ
ろ、図2のチップシール２ｂ，３ｂ，４ｂ1枚の構成より
も小さい厚さ、及び大きい間隔が得られた。

【００２７】また図４のように、鏡板２ｄ，３ｄ，４ｄ
に面するチップシール２ｅ，３ｅ，４ｅを、その断面が
渦巻状スクロールラップの先端の溝２ｄ，３ｄ，４ｄに
面する線の長さより鏡板２ｄ，３ｄ，４ｄに面する線の
長さの方が長い台形にしても図３の構成の場合と同様な
効果が得られる。

【００２８】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、チップ
シール摩耗による厚さの変動、旋回スクロールの微振動
による渦巻状スクロールラップ先端と鏡板間の距離の変
動、渦巻状スクロールラップの内外の圧力差の変動に対
して安定した真空度を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例になるスクロール形真空ポ
ンプの一部断面全体図。

【図２】 本発明の一実施例を示す部分断面図。

【図３】 本発明の他の実施例を示す部分断面図。

【図４】 本発明の更に他の実施例を示す部分断面図。

【図５】 従来の一実施例を示す部分断面図。

【図６】 従来の他の実施例を示す部分断面図。

【符号の説明】

１はスクロール形真空ポンプ、２は旋回スクロール、２
ａは旋回スクロールの渦巻状ラップ、２ｂは旋回スクロ
ールのチップシール、２ｃは旋回スクロールの鏡板、２
ｄは旋回スクロールの渦巻状ラップの先端の溝、２ｅは
チップシール2枚重ね時の旋回スクロールの鏡板側のチ
ップシール、２ｆはチップシール2枚重ね時の旋回スク
ロールの溝側のチップシール、３、４は固定スクロー
ル、３ａ，４ａは固定スクロールの渦巻状ラップ、３
ｂ、４ｂは固定スクロールのチップシール、３ｃ、４ｃ
は固定スクロールの鏡板、３ｄ，４ｄは固定スクロール
の渦巻状ラップの先端の溝、３ｅ，４ｅはチップシール
2枚重ね時の固定スクロールの鏡板側のチップシール、
３ｆ，４ｆはチップシール2枚重ね時の固定スクロール
の溝側のチップシール、５はクランクシャフト、６はク
ランクピン、７ａ，７ｂ，７ｃはクランクピン用軸受、
８はクランクシャフト用軸受、９は吸込み口、１０は排
気口、１１はモータ、１２は弾性体、１３は流体ポケッ
トである。

フロントページの続き (72)発明者 小倉 光雄 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機株式会社内 (72)発明者 野崎 矢須志 茨城県ひたちなか市武田1060番地 日立工 機エンジニアリング株式会社内 Ｆターム(参考） 3H029 AA02 AA15 AB06 BB16 BB32 BB42 CC03 CC05 CC19 3H039 AA02 AA09 AA14 BB08 BB15 BB28 CC02 CC03 CC07 CC08 CC31

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 旋回スクロールの鏡板から立設するよう
   に第１の渦巻状スクロールラップを備え、固定スクロー
   ルの鏡板から立設するように第２の渦巻状スクロールラ
   ップを備え、前記第１の渦巻状スクロールラップと前記
   第２の渦巻状スクロールラップを噛合させるように向か
   い合わせ、前記第１の渦巻状スクロールラップと前記第
   ２の渦巻状スクロールラップの先端の鏡板に面する個所
   に溝を設け、その各々の溝に渦巻状スクロールラップの
   先端と鏡板をシールする為のチップシールを設け、前記
   旋回スクロールは偏心したクランクシャフトによって電
   動機に連結され、該電動機が回転することにより前記ク
   ランクシャフトが回転し前記クランクシャフトと前記旋
   回スクロール間に設置された軸受により前記旋回スクロ
   ールに回転運動が伝達されクランクピンにより公転運動
   に変換されるスクロール形真空ポンプにおいて、チップ
   シールの断面が鏡板に面する線の長さより渦巻状スクロ
   ールラップの先端の溝に面する線の長さの方が長い台形
   であり、渦巻状スクロールラップの先端の溝に面する線
   の渦巻の外側端点と鏡板に面する線の渦巻の外側端点を
   結ぶ線と渦巻状スクロールラップの先端の溝に面する線
   とのなす角度が９０度未満であるようにチップシールが
   取り付けてあることを特徴とするスクロール形真空ポン
   プ。
2. 【請求項２】 旋回スクロールの鏡板から立設するよう
   に第１の渦巻状スクロールラップを備え、固定スクロー
   ルの鏡板から立設するように第２の渦巻状スクロールラ
   ップを備え、前記第１の渦巻状スクロールラップと前記
   第２の渦巻状スクロールラップを噛合させるように向か
   い合わせ、前記第１の渦巻状スクロールラップと前記第
   ２の渦巻状スクロールラップの先端の鏡板に面する個所
   に溝を設け、その各々の溝に渦巻状スクロールラップの
   先端と鏡板をシールする為のチップシールを設け、前記
   旋回スクロールは偏心したクランクシャフトによって電
   動機に連結され、該電動機が回転することにより前記ク
   ランクシャフトが回転し前記クランクシャフトと前記旋
   回スクロール間に設置された軸受により前記旋回スクロ
   ールに回転運動が伝達されクランクピンにより公転運動
   に変換されるスクロール形真空ポンプにおいて、渦巻状
   スクロールラップの先端に設けた溝に２個以上の接着さ
   れないチップシールを設けたことを特徴とするスクロー
   ル形真空ポンプ。
3. 【請求項３】 渦巻状スクロールラップの先端に設けた
   溝に面するチップシールの断面が鏡板に面するチップシ
   ールに面する線の長さより渦巻状スクロールラップの先
   端の溝に面する線の長さの方が長い台形であり、渦巻状
   スクロールラップの先端の溝に面する線の渦巻の外側端
   点と鏡板に面するチップシールに面する線の渦巻の外側
   端点を結ぶ線と渦巻状スクロールラップの先端の溝に面
   する線とのなす角度が９０度未満であるように渦巻状ス
   クロールラップの先端の溝に面するチップシールが取り
   付けてあることを特徴とする請求項２記載のスクロール
   形真空ポンプ。