JPH0718009B2 - ロ−ル端面における真空シ−ル装置 - Google Patents
ロ−ル端面における真空シ−ル装置Info
- Publication number
- JPH0718009B2 JPH0718009B2 JP4140487A JP4140487A JPH0718009B2 JP H0718009 B2 JPH0718009 B2 JP H0718009B2 JP 4140487 A JP4140487 A JP 4140487A JP 4140487 A JP4140487 A JP 4140487A JP H0718009 B2 JPH0718009 B2 JP H0718009B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- roll
- vacuum
- casing
- face
- seal device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ロール端面における真空シール装置に関し、
詳しくは帯板の表面を蒸着メッキさせるための蒸着装置
に用いられているロール端面における真空シール装置に
関するものである。
詳しくは帯板の表面を蒸着メッキさせるための蒸着装置
に用いられているロール端面における真空シール装置に
関するものである。
一般に、真空蒸着法を行う装置には真空形成装置が必要
である。そこで、その真空度を高く保って真空ポンプの
小容化を図る提案が特開昭60−234964号公報で紹介され
ている。すなわち、これを添付第４図で説明すれば、真
空ケーシング１内に回転自在に横架された１対のロール
２、２と、これらロール２、２の両端面にその軸方向に
移動自在な側板（カーボンまたはカーボン繊維ライニン
グを形成された鋼板）３をバネ４で弾接するようなロー
ル端面における真空シール装置が紹介されている。
である。そこで、その真空度を高く保って真空ポンプの
小容化を図る提案が特開昭60−234964号公報で紹介され
ている。すなわち、これを添付第４図で説明すれば、真
空ケーシング１内に回転自在に横架された１対のロール
２、２と、これらロール２、２の両端面にその軸方向に
移動自在な側板（カーボンまたはカーボン繊維ライニン
グを形成された鋼板）３をバネ４で弾接するようなロー
ル端面における真空シール装置が紹介されている。
これを更にいえば、帯板５を大気圧から真空蒸着を行う
真空ケーシング１へ連続的に導入する場合、大気圧側か
らの気体の侵入を防ぐため、真空ケーシング１前後に数
段の予備真空ケーシングを設け、これらを真空ポンプで
排気することにより、大気側から真空蒸着用ケーシング
までの圧力勾配を形成する。そしてかかる真空ケーシン
グに使用されているロール端面における真空シール装置
が前記公報に紹介されている。
真空ケーシング１へ連続的に導入する場合、大気圧側か
らの気体の侵入を防ぐため、真空ケーシング１前後に数
段の予備真空ケーシングを設け、これらを真空ポンプで
排気することにより、大気側から真空蒸着用ケーシング
までの圧力勾配を形成する。そしてかかる真空ケーシン
グに使用されているロール端面における真空シール装置
が前記公報に紹介されている。
ところが、かかるロール端面における真空シール装置
は、真空ケーシングの凹部に嵌合された側板３を、ロー
ル端面へバネ４より弾接しているため、各種の不都合が
生じている。これを分析してみると、次のことが判明し
た。すなわち、第４図（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、該
ロール２、２をピンチロールとすれば、該ピンチロール
２、２の回転力は、 Ｔ＝Ｒ×（F0×μ１−２F1×μ２） ここでＲ＝ピンチロール２の半径 F0＝ピンチロール２の押圧力 μ１＝帯板５とピンチロール２間の摩擦係数 F1＝側板３の押圧力 で、かかるピンチロール２の回転力Ｔを得るためには、
ロール径Ｒを大きくするか、ピンチロール２の押圧力F0
を大きくする必要があるので、そのようにすれば、抗張
力の低い帯板材料に適用するのが困難となる。一方、ピ
ンチロール２の押圧力F0を小さくすれば、ロール径Ｒを
大きくする必要上、装置全体が大となる。
は、真空ケーシングの凹部に嵌合された側板３を、ロー
ル端面へバネ４より弾接しているため、各種の不都合が
生じている。これを分析してみると、次のことが判明し
た。すなわち、第４図（Ｅ）、（Ｆ）に示すように、該
ロール２、２をピンチロールとすれば、該ピンチロール
２、２の回転力は、 Ｔ＝Ｒ×（F0×μ１−２F1×μ２） ここでＲ＝ピンチロール２の半径 F0＝ピンチロール２の押圧力 μ１＝帯板５とピンチロール２間の摩擦係数 F1＝側板３の押圧力 で、かかるピンチロール２の回転力Ｔを得るためには、
ロール径Ｒを大きくするか、ピンチロール２の押圧力F0
を大きくする必要があるので、そのようにすれば、抗張
力の低い帯板材料に適用するのが困難となる。一方、ピ
ンチロール２の押圧力F0を小さくすれば、ロール径Ｒを
大きくする必要上、装置全体が大となる。
また、ピンチロール２の端面と側板３との間にはバネ４
による弾接により摩擦力が発生するが、バネ４が強すぎ
ると両者の間にブレーキの作用が起こり、抗張力の高い
帯板材料であっても通板動力を多く必要とし、またバネ
力が弱いとシール作用が損なわれる他、側板３の傾動に
より空気流入抵抗値が変動するということも判明した。
による弾接により摩擦力が発生するが、バネ４が強すぎ
ると両者の間にブレーキの作用が起こり、抗張力の高い
帯板材料であっても通板動力を多く必要とし、またバネ
力が弱いとシール作用が損なわれる他、側板３の傾動に
より空気流入抵抗値が変動するということも判明した。
（問題点を解決するための手段） そこで本発明は、かかる従来技術の判明した不都合を解
消するために創作されたもので、真空ケーシングに回転
自在に横架された１対のロールに挟み搬送される長尺物
の真空蒸着装置において、前記各ロール両端面に、それ
ぞれスラストボールベアリングのインナーレースの外面
を当接・押圧させ、かつ、該インナーレースの外周面
を、前記真空ケーシングに凹設した円形凹部に微小間隔
をもたせて嵌合させたロール端面における真空シール装
置を提供することにある。
消するために創作されたもので、真空ケーシングに回転
自在に横架された１対のロールに挟み搬送される長尺物
の真空蒸着装置において、前記各ロール両端面に、それ
ぞれスラストボールベアリングのインナーレースの外面
を当接・押圧させ、かつ、該インナーレースの外周面
を、前記真空ケーシングに凹設した円形凹部に微小間隔
をもたせて嵌合させたロール端面における真空シール装
置を提供することにある。
本発明の構成を作用とともに、添付図面に示す実施例に
より詳細に説明する。なお、第４図示の従来例と同一の
部分は同一符号で示し、その説明を省略する。
より詳細に説明する。なお、第４図示の従来例と同一の
部分は同一符号で示し、その説明を省略する。
本実施例の１対のロール２、２はフリーローラを示し、
厚さ0.6mm巾300mmの帯体（ストリップ）５をコイラー
（図示せず）等で引張られながら、ロール２、２間を、
15mm/minの速度で搬送される。これらロール２は同一構
造であるのでその一方について述べる。ロール２は、第
２図に示すように、周表面をゴムライニング2aし、両端
面にはカーボンプレート2bを添着している。カーボンプ
レート2bと、真空ケーシング１の側蓋1bに設けた円形の
凹部６との間にスラストボールベアリング７を介在させ
ている。該スラストボールベアリング７のアウターレー
ス7bは勿論、インナーレース7aの外周面は該凹部６に嵌
合し、その外周面と該凹部６の内周面6aとの間は20〜30
μの間隙８を形成し、大気側よりの空気流入抵抗部とし
ている。ロール端面の一方のスラストボールベアリング
７のアウターレース7bの外面には、押圧用のボルト９
（バネでもよい）を当接し、ロール２の加工誤差などを
調整するとともに、これらスラストボールベアリング７
やロール２を真空ケーシング１に押圧している。なお、
スラストボールベアリング７の押圧装置（ボルトあるい
はバネ）をロール２の両端面に配置するものでもよい。
10はロール軸、11はロール軸10の軸受、12は真空ケーシ
ング１のシールブロックで側蓋1bの外面で上下方向に摺
動できるように構成されている。13はシールバーで、ロ
ール２の周表面の軸方向の近傍に並設している。15はボ
ルト緩み止め用のバネ、16はインナーレース7aの回転支
持用ボールベアリングを示す。なお、このボールベアリ
ング16は側蓋1bに嵌着されているが、ロール軸10に嵌着
させるようにしてもよい。
厚さ0.6mm巾300mmの帯体（ストリップ）５をコイラー
（図示せず）等で引張られながら、ロール２、２間を、
15mm/minの速度で搬送される。これらロール２は同一構
造であるのでその一方について述べる。ロール２は、第
２図に示すように、周表面をゴムライニング2aし、両端
面にはカーボンプレート2bを添着している。カーボンプ
レート2bと、真空ケーシング１の側蓋1bに設けた円形の
凹部６との間にスラストボールベアリング７を介在させ
ている。該スラストボールベアリング７のアウターレー
ス7bは勿論、インナーレース7aの外周面は該凹部６に嵌
合し、その外周面と該凹部６の内周面6aとの間は20〜30
μの間隙８を形成し、大気側よりの空気流入抵抗部とし
ている。ロール端面の一方のスラストボールベアリング
７のアウターレース7bの外面には、押圧用のボルト９
（バネでもよい）を当接し、ロール２の加工誤差などを
調整するとともに、これらスラストボールベアリング７
やロール２を真空ケーシング１に押圧している。なお、
スラストボールベアリング７の押圧装置（ボルトあるい
はバネ）をロール２の両端面に配置するものでもよい。
10はロール軸、11はロール軸10の軸受、12は真空ケーシ
ング１のシールブロックで側蓋1bの外面で上下方向に摺
動できるように構成されている。13はシールバーで、ロ
ール２の周表面の軸方向の近傍に並設している。15はボ
ルト緩み止め用のバネ、16はインナーレース7aの回転支
持用ボールベアリングを示す。なお、このボールベアリ
ング16は側蓋1bに嵌着されているが、ロール軸10に嵌着
させるようにしてもよい。
本実施例は以上の構成となっているので、以下の動作を
行う。すなわち、帯板５は図示しないコイラーにより巻
かれながら真空ケーシング１内を通過するように搬送さ
れるが、真空ケーシング１内中央部のメッキ処理室通過
時に金属蒸気が帯板５の表面に凝縮して薄膜を形成す
る。
行う。すなわち、帯板５は図示しないコイラーにより巻
かれながら真空ケーシング１内を通過するように搬送さ
れるが、真空ケーシング１内中央部のメッキ処理室通過
時に金属蒸気が帯板５の表面に凝縮して薄膜を形成す
る。
かかる真空ケーシング１は第１図では紙表面側を真空側
の室Ａとすれば、背面側が大気側の室Ｂとなるので、紙
表面側に向け、つまり手前に帯板５が導入される。その
ため、手前側の室Ａを真空にしなければならないので、
ロール２、２の周表面と帯板５とはゴムライニング2aで
密着させ両室A,Bを隔絶している。また、ロール２の周
表面の軸方向と真空ケーシング１の内面とは、第１図、
第２図および第３図に示すように、シールバー13でシー
ルしている。したがって，大気側の室Ａと真空側の室Ｂ
とは、ロール２が回転することから、ロール２の周表面
とシールバー13の下端面との若干の間隙から、矢印ａの
ように空気が侵入する。更に、凹部６とインナーレース
7aの外周面との間隙８より矢印ｂのように若干の空気が
侵入する。そのため、これら侵入した空気は真空ポンプ
14で真空ケーシング１より排出する。
の室Ａとすれば、背面側が大気側の室Ｂとなるので、紙
表面側に向け、つまり手前に帯板５が導入される。その
ため、手前側の室Ａを真空にしなければならないので、
ロール２、２の周表面と帯板５とはゴムライニング2aで
密着させ両室A,Bを隔絶している。また、ロール２の周
表面の軸方向と真空ケーシング１の内面とは、第１図、
第２図および第３図に示すように、シールバー13でシー
ルしている。したがって，大気側の室Ａと真空側の室Ｂ
とは、ロール２が回転することから、ロール２の周表面
とシールバー13の下端面との若干の間隙から、矢印ａの
ように空気が侵入する。更に、凹部６とインナーレース
7aの外周面との間隙８より矢印ｂのように若干の空気が
侵入する。そのため、これら侵入した空気は真空ポンプ
14で真空ケーシング１より排出する。
そして、ロール２はスラストボールベアリング７を介し
て真空ケーシング１の側蓋1bに押圧され密着されながら
真空シールを形成し、かつ、軽快に自転する。
て真空ケーシング１の側蓋1bに押圧され密着されながら
真空シールを形成し、かつ、軽快に自転する。
なお、本実施例はストリップの真空蒸着で説明したが、
本発明はこれに限らず、合成樹脂の帯板の真空蒸着にも
適用できることは云う迄もない。
本発明はこれに限らず、合成樹脂の帯板の真空蒸着にも
適用できることは云う迄もない。
ロールの端面にスラストボールベアリングのインナーレ
ースの外面を当接・押圧させ、かつ、インナーレースを
真空ケーシングに設けた凹部に微小隙間をもたせて嵌合
させたので、ロール端面における真空シールは向上でき
る。殊に、インナーレースとロールとが一体化し、かか
る回転状態のインナーレースの外周面と、静止状態の真
空ケーシングの凹部とで間隙を形成するので安定した空
気流入抵抗部が得られ、ひいて、使用する真空ポンプの
容量を下げることができる。更に、スラストボールベア
リングを使用したので、ロール軸方向に押圧しても、ロ
ールの回転は軽快にでき、長尺物の搬送動力の節減、ロ
ール径を小とすることや、更には脆弱な長尺物を良好に
搬送することがてきる等、多くの効果が期待できる。
ースの外面を当接・押圧させ、かつ、インナーレースを
真空ケーシングに設けた凹部に微小隙間をもたせて嵌合
させたので、ロール端面における真空シールは向上でき
る。殊に、インナーレースとロールとが一体化し、かか
る回転状態のインナーレースの外周面と、静止状態の真
空ケーシングの凹部とで間隙を形成するので安定した空
気流入抵抗部が得られ、ひいて、使用する真空ポンプの
容量を下げることができる。更に、スラストボールベア
リングを使用したので、ロール軸方向に押圧しても、ロ
ールの回転は軽快にでき、長尺物の搬送動力の節減、ロ
ール径を小とすることや、更には脆弱な長尺物を良好に
搬送することがてきる等、多くの効果が期待できる。
第１図は本発明の実施例の全体断面図、第２図は第１図
の要部詳細図、第３図は第２図のＸ〜Ｘ断面図、第４図
は従来例を示す。 １…真空ケーシング、２…ロール、５…帯板、６…凹
部、７…スラストボールベアリング、7a…インナーレー
ス。
の要部詳細図、第３図は第２図のＸ〜Ｘ断面図、第４図
は従来例を示す。 １…真空ケーシング、２…ロール、５…帯板、６…凹
部、７…スラストボールベアリング、7a…インナーレー
ス。
Claims (1)
- 【請求項１】真空ケーシングに回転自在に横架された１
対のロールに挟み搬送される長尺物の真空蒸着装置にお
いて、 前記各ロール両端面に、それぞれスラストボールベアリ
ングのインナーレースの外面を当接・押圧させ、かつ、
該インナーレースの外周面を、前記真空ケーシングに凹
設した円形凹部に微小隙間をもたせて嵌合させたロール
端面における真空シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4140487A JPH0718009B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | ロ−ル端面における真空シ−ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4140487A JPH0718009B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | ロ−ル端面における真空シ−ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210274A JPS63210274A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0718009B2 true JPH0718009B2 (ja) | 1995-03-01 |
Family
ID=12607429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4140487A Expired - Lifetime JPH0718009B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | ロ−ル端面における真空シ−ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0718009B2 (ja) |
-
1987
- 1987-02-26 JP JP4140487A patent/JPH0718009B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63210274A (ja) | 1988-08-31 |
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