JPS61197424A - 六フツ化ウランよりウラン酸化物を得る方法 - Google Patents
六フツ化ウランよりウラン酸化物を得る方法Info
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- JPS61197424A JPS61197424A JP60036663A JP3666385A JPS61197424A JP S61197424 A JPS61197424 A JP S61197424A JP 60036663 A JP60036663 A JP 60036663A JP 3666385 A JP3666385 A JP 3666385A JP S61197424 A JPS61197424 A JP S61197424A
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- gas
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/30—Nuclear fission reactors
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業分野）
本発明は原子炉燃料製造に適した高活性でかつ低弗素含
量の酸化ウラン粉末を六フッ化ウランの乾式賢換により
製造する方法に関する。
量の酸化ウラン粉末を六フッ化ウランの乾式賢換により
製造する方法に関する。
（従来技術とその欠点）
六フッ化ウランを原子炉燃料用二酸化ウランに変換する
方法には従来から乾式法と湿式法がある。
方法には従来から乾式法と湿式法がある。
湿式法は工程数が多く複雑でかつ廃液発生量が多い等の
欠点がある。−万、乾式法は一般的に製品二酸化ウラン
粉末の活性度が低く、かつ製品の残留弗素量が多い等の
欠点があるが、工種が単純で廃液発生量が少ない等の利
点を有するので、上記欠点を克服しつつ近年多く採用さ
れる傾向にある。
欠点がある。−万、乾式法は一般的に製品二酸化ウラン
粉末の活性度が低く、かつ製品の残留弗素量が多い等の
欠点があるが、工種が単純で廃液発生量が少ない等の利
点を有するので、上記欠点を克服しつつ近年多く採用さ
れる傾向にある。
この乾式法には、ロータリキルンによる方法、流動層反
応装蓋による方法、火炎燃焼反応装置による方法等があ
るが、火炎燃焼反応装置による方法が他の方法に比べて
製品二酸化ウランの活性度が高くなる可能性を有し、原
子炉燃料製造に適した二酸化ウランが得られる利点があ
る。しかしながら、火炎燃焼反応装置による場合、以下
に述べる理由により製品二酸化ウラン粉末中の残留弗素
量の低減化への負担が大きいという欠点があった。
応装蓋による方法、火炎燃焼反応装置による方法等があ
るが、火炎燃焼反応装置による方法が他の方法に比べて
製品二酸化ウランの活性度が高くなる可能性を有し、原
子炉燃料製造に適した二酸化ウランが得られる利点があ
る。しかしながら、火炎燃焼反応装置による場合、以下
に述べる理由により製品二酸化ウラン粉末中の残留弗素
量の低減化への負担が大きいという欠点があった。
従来の火炎燃焼反応装置による方法は、活性炎の存在下
における次のような見掛けの還元−加水分解反応に基づ
くものである。
における次のような見掛けの還元−加水分解反応に基づ
くものである。
ＵＦｌ＋３Ｈ１＋４／３０ｔ→１ ／３ Ｕｓ Ｏ・＋
６ＨＦ・・・（１）この反応では次の副反応により、Ｕ
Ｆ４を生成しやすい。
６ＨＦ・・・（１）この反応では次の副反応により、Ｕ
Ｆ４を生成しやすい。
ＵＦｓ 十Ｈ１−４ＵＦ４ ＋２ＨＦ・・・・・・・・
・・・・・・・（２）ＵＦ、は比較的低融点（約１００
０℃）で焼結しやすい物質であり、（１）式のステップ
の操作温度で焼結を開始し、後続工程において製品二酸
化ウラン粉末中の残留弗素量を低減するために重要な脱
弗反応を阻害する。
・・・・・・・（２）ＵＦ、は比較的低融点（約１００
０℃）で焼結しやすい物質であり、（１）式のステップ
の操作温度で焼結を開始し、後続工程において製品二酸
化ウラン粉末中の残留弗素量を低減するために重要な脱
弗反応を阻害する。
（発明の目的）
本発明者らは、このような背景のもとで上記の従来技術
の欠点を解決し、六フッ化ウランを原子炉燃料用に適し
た酸化ウラン粉末に乾式変換せしめる方法を提供すべく
検討した結果、ＵＦｓガスと水素ガスが実質的に共存し
ないようにすることによって、上記の目的を達成しうろ
ことを見出し、本発明に到達した。
の欠点を解決し、六フッ化ウランを原子炉燃料用に適し
た酸化ウラン粉末に乾式変換せしめる方法を提供すべく
検討した結果、ＵＦｓガスと水素ガスが実質的に共存し
ないようにすることによって、上記の目的を達成しうろ
ことを見出し、本発明に到達した。
（発明の構成）
すなわち、本発明によれば、六フッ化ウランより乾式に
てウラン酸化物を得る方法において、（ａ） 六フッ
化ウランもしくは六フッ化ウランと担体ガスの混合ガス
と水蒸気とをそれぞれ、水蒸気のモル流量／六フッ化ウ
ランのモルａｔ＞２７）ＩＩＪ合でｊｌＥ１反応帯域に
導入し、し六フッ化ウランの加水分解反応によりＵＯｔ
ＦｍとするＩＥｌ工程、（ｈ 第１工程で得られたＵ
Ｏ禦Ｆｔに水素含有ガスを供給し、混合する第２工程、
および （ｃ） ＠２工程からのＵＯ＊Ｆｍと水素含有ガスと
の混合物に酸素含有ガスを混入し、これを第２反応帯域
に導入して該水素含有ガスとｕ酸素含有ガスとの燃焼に
より生成した活性炎の存在下にて該ＵＯ＊Ｒを酸化ウラ
ンに富んだ組成物とする第３工程、の組合せよりなるこ
とを特徴とする六フッ化ウラン酸化物を得る方法Ｊ−が
得られる。
てウラン酸化物を得る方法において、（ａ） 六フッ
化ウランもしくは六フッ化ウランと担体ガスの混合ガス
と水蒸気とをそれぞれ、水蒸気のモル流量／六フッ化ウ
ランのモルａｔ＞２７）ＩＩＪ合でｊｌＥ１反応帯域に
導入し、し六フッ化ウランの加水分解反応によりＵＯｔ
ＦｍとするＩＥｌ工程、（ｈ 第１工程で得られたＵ
Ｏ禦Ｆｔに水素含有ガスを供給し、混合する第２工程、
および （ｃ） ＠２工程からのＵＯ＊Ｆｍと水素含有ガスと
の混合物に酸素含有ガスを混入し、これを第２反応帯域
に導入して該水素含有ガスとｕ酸素含有ガスとの燃焼に
より生成した活性炎の存在下にて該ＵＯ＊Ｒを酸化ウラ
ンに富んだ組成物とする第３工程、の組合せよりなるこ
とを特徴とする六フッ化ウラン酸化物を得る方法Ｊ−が
得られる。
本発明方法では六フッ化ウランから酸化ウラン粉末への
変換は、 ＵＦ＠ ＋２Ｈ＊Ｏ−＋ＵＯ＊Ｆｍ＋４ＨＦ ＊＊＊＊
＋＋ｓａ＊ｅ＠・（３）３ ＵＯｔ Ｆｍ ＋３ Ｈ重
Ｑ−＋［Ｊ、Ｏｓ ＋６ ＨＦ＋ １／２０ｍ ” ・
・（４１の２ステツプで行う。
変換は、 ＵＦ＠ ＋２Ｈ＊Ｏ−＋ＵＯ＊Ｆｍ＋４ＨＦ ＊＊＊＊
＋＋ｓａ＊ｅ＠・（３）３ ＵＯｔ Ｆｍ ＋３ Ｈ重
Ｑ−＋［Ｊ、Ｏｓ ＋６ ＨＦ＋ １／２０ｍ ” ・
・（４１の２ステツプで行う。
これにより、六フッ化ウランと水素ガスとの共存を実質
的に避けることができ、それによって、ＵＦ４の生成を
抑えることができる。すなわち、水素はａＥ１反応帯域
でＵＦｓを水蒸気のみの反応でＵＯｍＲとした後に、そ
の後刃に導入され、次いで、第２反応帯域に導入された
酸素との燃焼作用による活性炎のもとで第２反応が行な
われる。
的に避けることができ、それによって、ＵＦ４の生成を
抑えることができる。すなわち、水素はａＥ１反応帯域
でＵＦｓを水蒸気のみの反応でＵＯｍＲとした後に、そ
の後刃に導入され、次いで、第２反応帯域に導入された
酸素との燃焼作用による活性炎のもとで第２反応が行な
われる。
また、ガス混合を良くするなどの目的で第１ＦＬ応帯域
に水素含有担体ガスを導入する場合にはｌと水素が共存
するが、その場合には第１反応帯域の温ＫをＵＦ−と水
素が反応する温度以下（好ましくは２５０℃以下） Ｖ
Ｃ維持することによりＵ Ｆ４の生成を抑制できる。さ
らに、第１反応帯域に導入する水蒸気のモル流量な■、
六フッ化ウランのモル流量を菌とすると、Ｄｏ／菌〉２
、好ましくは３ ＜（Ｘ）１００＜ １０となるように
設定することにより、第１反応帯域に導入された六フッ
化ウランと水蒸気の反応を速やかに完結することができ
る。
に水素含有担体ガスを導入する場合にはｌと水素が共存
するが、その場合には第１反応帯域の温ＫをＵＦ−と水
素が反応する温度以下（好ましくは２５０℃以下） Ｖ
Ｃ維持することによりＵ Ｆ４の生成を抑制できる。さ
らに、第１反応帯域に導入する水蒸気のモル流量な■、
六フッ化ウランのモル流量を菌とすると、Ｄｏ／菌〉２
、好ましくは３ ＜（Ｘ）１００＜ １０となるように
設定することにより、第１反応帯域に導入された六フッ
化ウランと水蒸気の反応を速やかに完結することができ
る。
このように、本発明方法においては、従来の火炎燃焼反
応装置を用いた方法で問題となる中間遷移生成物である
ＵＰ、の発生をきわめて容易に抑えることができるため
、製品二酸化ウラン粉末中の残留弗素量は箸しく低減す
るので重要な脱弗操作の負担が軽くなるという大きな利
点を有している。
応装置を用いた方法で問題となる中間遷移生成物である
ＵＰ、の発生をきわめて容易に抑えることができるため
、製品二酸化ウラン粉末中の残留弗素量は箸しく低減す
るので重要な脱弗操作の負担が軽くなるという大きな利
点を有している。
本発明方法の別の利点としては、第１反応帯域での上記
反応式（３１ｉｃよりＵＯ，Ｆ、のきわめて細かい粒子
が生成され、後続工程において活性度の高い原子炉用核
燃料に適した酸化ウラン粉末を得ることができるという
ことである。
反応式（３１ｉｃよりＵＯ，Ｆ、のきわめて細かい粒子
が生成され、後続工程において活性度の高い原子炉用核
燃料に適した酸化ウラン粉末を得ることができるという
ことである。
本発明方法のさらに別の利点としては、前記第ｌのガス
状反応体、すなわち六フッ化ウランもしくは六フッ化ウ
ランと担体ガスの混合ガスおよび水蒸気を第１反応帯域
中に導入する際に、二流体噴霧ノズルを使用し、その中
央部より第１のガス状反応体を、周辺部より水蒸気をそ
れぞれ噴排させることにより、上記反応式（３）により
容易にＵＯ！Ｆ！より細かい粒子が生成され、原子炉用
核燃料としてさらに好適な酸化ウラン粉末を得ることが
できる。
状反応体、すなわち六フッ化ウランもしくは六フッ化ウ
ランと担体ガスの混合ガスおよび水蒸気を第１反応帯域
中に導入する際に、二流体噴霧ノズルを使用し、その中
央部より第１のガス状反応体を、周辺部より水蒸気をそ
れぞれ噴排させることにより、上記反応式（３）により
容易にＵＯ！Ｆ！より細かい粒子が生成され、原子炉用
核燃料としてさらに好適な酸化ウラン粉末を得ることが
できる。
次に、第２反応帯域においては、上記反応式（４）によ
りＵＯｘＦｔが酸化ウランに転化される。この転化反応
は固気反応であるが、第１反応帯域で生成されるＵＯ，
Ｆｌ 粒子がきわめて細かいために全体として比表面積
が大きく、速かに反応が進行することが礒認された。こ
のことから、本発明方法によれば、他の乾式法である流
動層反応装置を用いた方法やロータリーキルンな用いる
方法で見られるような造粒はほとんどないので、第２反
応帯域の温度を７００℃以上の比較的高温な状態に保っ
た場合でも、製品酸化ウランの活性度を失うことなく、
反応を実施することができる。
りＵＯｘＦｔが酸化ウランに転化される。この転化反応
は固気反応であるが、第１反応帯域で生成されるＵＯ，
Ｆｌ 粒子がきわめて細かいために全体として比表面積
が大きく、速かに反応が進行することが礒認された。こ
のことから、本発明方法によれば、他の乾式法である流
動層反応装置を用いた方法やロータリーキルンな用いる
方法で見られるような造粒はほとんどないので、第２反
応帯域の温度を７００℃以上の比較的高温な状態に保っ
た場合でも、製品酸化ウランの活性度を失うことなく、
反応を実施することができる。
次に、本発明方法を実施例によって具体的に示すが、以
下の実施例は本発明の範囲を制限することはない。９面
は本発明の１実施例で使用される装置を示す。本実施例
は第１のガス状反応体が六フッ化ウランだけの場合であ
るが、担体ガスとしてはＮ＊ ｅ ＡＬ Ｈｅが好適で
ある。六フッ化ウランは管２を通って二流体噴霧ノズル
３の中央部に導入され、同時に反応ガスである水蒸気は
管２と同心の管４によりノズル３０周辺部に導入される
。
下の実施例は本発明の範囲を制限することはない。９面
は本発明の１実施例で使用される装置を示す。本実施例
は第１のガス状反応体が六フッ化ウランだけの場合であ
るが、担体ガスとしてはＮ＊ ｅ ＡＬ Ｈｅが好適で
ある。六フッ化ウランは管２を通って二流体噴霧ノズル
３の中央部に導入され、同時に反応ガスである水蒸気は
管２と同心の管４によりノズル３０周辺部に導入される
。
ノズル３より第１反応帯域６を形成する第１反応管１０
内にそれぞれ噴霧された六フッ化ウランガスと水蒸気は
直ちに反応してＵへＦ、微粒子を生成し、その他のガス
状反応生成体、たとえばＨＦおよび未反厄ガス（六フッ
化ウランガス、水蒸気）とともに第２反応帯域１５を形
成するｗｃ２反応管１４への入口手段である管７に導か
れる。さらに、管８は草ｌのガス状反応体および水蒸気
とは別個に、活量に管７に導入されるべき水素含有ガス
の導入口である。
内にそれぞれ噴霧された六フッ化ウランガスと水蒸気は
直ちに反応してＵへＦ、微粒子を生成し、その他のガス
状反応生成体、たとえばＨＦおよび未反厄ガス（六フッ
化ウランガス、水蒸気）とともに第２反応帯域１５を形
成するｗｃ２反応管１４への入口手段である管７に導か
れる。さらに、管８は草ｌのガス状反応体および水蒸気
とは別個に、活量に管７に導入されるべき水素含有ガス
の導入口である。
図示されているように、第１反応管１０および該反応管
ｌＯへのガスの入口手段５は外部加熱体１１により覆わ
れており、内部を所要温度に保つことができる。
ｌＯへのガスの入口手段５は外部加熱体１１により覆わ
れており、内部を所要温度に保つことができる。
ここで、ｔｉＥ１反応管１０に導入される六フッ化ウラ
ンガスおよび水蒸気のモル流量比は自由に変えることが
可能であり、竹に、水蒸気のモル流量／六フッ化ウラン
のモル流量〉２、好ましくは３〈水蒸気のモル流量／六
フッ化ウランのモル流量・ミ１０に設定することにより
、第１反応管１０に導入された六フッ化ウランと水蒸気
は速やかに反応を完結し、六フッ化ウランはほとんど全
量がＵＯｙ Ｆｔ に転化される。従って、後続して
導入される水素含有ガスと接触しても親弾操作にとって
好ましくないＵＦａの発生を抑制することができる。
ンガスおよび水蒸気のモル流量比は自由に変えることが
可能であり、竹に、水蒸気のモル流量／六フッ化ウラン
のモル流量〉２、好ましくは３〈水蒸気のモル流量／六
フッ化ウランのモル流量・ミ１０に設定することにより
、第１反応管１０に導入された六フッ化ウランと水蒸気
は速やかに反応を完結し、六フッ化ウランはほとんど全
量がＵＯｙ Ｆｔ に転化される。従って、後続して
導入される水素含有ガスと接触しても親弾操作にとって
好ましくないＵＦａの発生を抑制することができる。
またＪＺ反応帯帯域５への酸素含有ガスの導入は管９を
用いる。
用いる。
このようにして、第２反応帯域」５に導入したＵＯｔ
Ｆｔ 粉末および水素ガス、水蒸気、ｌＩ！！ガスは
点火装置１２によって点火された活性炎１３より発生す
る熱により反応を開始し、上記反応式（４）によって酸
化ウランに転化される。得られた酸化つ２ンの形態はそ
の大部分がＵ、０．であり、残りは第２反応帯域に導入
される水素と酸素のモル流量比によって任意に組成が変
り、ＵＯｔからＵ、０゜までのウラン酸化物であった。
Ｆｔ 粉末および水素ガス、水蒸気、ｌＩ！！ガスは
点火装置１２によって点火された活性炎１３より発生す
る熱により反応を開始し、上記反応式（４）によって酸
化ウランに転化される。得られた酸化つ２ンの形態はそ
の大部分がＵ、０．であり、残りは第２反応帯域に導入
される水素と酸素のモル流量比によって任意に組成が変
り、ＵＯｔからＵ、０゜までのウラン酸化物であった。
反応容器１は下流側において固気分離器と接続されてお
り、酸化ウラン粉末とガス状反応生成物を容易に分離で
きる。ガス状反応生成物のうち、水蒸気とＨＦとは凝縮
器により凝縮され、弗化水素酸水溶液として回収される
。
り、酸化ウラン粉末とガス状反応生成物を容易に分離で
きる。ガス状反応生成物のうち、水蒸気とＨＦとは凝縮
器により凝縮され、弗化水素酸水溶液として回収される
。
また、酸化ウラン粉末は親弾素還元工程により、弗素除
去および還元処理され、製品二酸化ウランとなる。この
ようにして得られた二酸化ウラン粉末の平均粒子径は数
ミクロン秒間であるので、それ以上粉砕等の調粒操作は
不要である。さらに好ましいことには、比表面積が２．
５イ／ｇ以上という原子炉用核燃料原料の二酸化ウラン
粉末としてきわめて好適な性質を示す。
去および還元処理され、製品二酸化ウランとなる。この
ようにして得られた二酸化ウラン粉末の平均粒子径は数
ミクロン秒間であるので、それ以上粉砕等の調粒操作は
不要である。さらに好ましいことには、比表面積が２．
５イ／ｇ以上という原子炉用核燃料原料の二酸化ウラン
粉末としてきわめて好適な性質を示す。
さて、下表に本発明方法によって得られた酸化ウラン粉
末の特性について、鼾】反応帯域に導入される各ガス状
反応体の流量比を変えた場合について示した。ただし担
体ガスとしてはＮ、ガスを用いた。
末の特性について、鼾】反応帯域に導入される各ガス状
反応体の流量比を変えた場合について示した。ただし担
体ガスとしてはＮ、ガスを用いた。
本発明による六フッ化ウランの転化
■ ＵＦｓ に対するモル流量比
ＵａＯｓの含有弗講ｌは親弾前のもの
（発明の効果）
本発明の上記構成によって得られた酸化ウラン粉末は、
親弁反応を阻害するＵＦ、の含有量が少なく、これを還
元して得られる二酸化ウラン粉末中の残留弗素量を低減
化せしめ、かつ活性度が高いというすぐれた特性を持っ
ており原子炉核燃料用二酸化ウランペレットの製造に適
している。
親弁反応を阻害するＵＦ、の含有量が少なく、これを還
元して得られる二酸化ウラン粉末中の残留弗素量を低減
化せしめ、かつ活性度が高いというすぐれた特性を持っ
ており原子炉核燃料用二酸化ウランペレットの製造に適
している。
図面は本発明の一実施例に使用される反応装置の断面側
面図である 図において、 ｌ−一一一反応容器 ２−−一−六フッ化つｘ）７４人管 ３−−−−二流体ｑｔｇノズル ４−一一一水蒸気導入管 ５−一一一第１反応！蛾への入口手段 ６−−−−筆１反応帯域 ７−−−− 、’ｇ ２反応帯域への入口手段８−一一
一水素含有担体ガスの導入管 ９−−−− ｔ’ｌｌ素含有担体ガスの導入管１０−−
−一第１反応管 １ｌ−−−一外部加熱手段 １２−−−一点火装置 １３−−−一活性炎 １４−−−一第２反応管 １５−−−一第２反応帯域
面図である 図において、 ｌ−一一一反応容器 ２−−一−六フッ化つｘ）７４人管 ３−−−−二流体ｑｔｇノズル ４−一一一水蒸気導入管 ５−一一一第１反応！蛾への入口手段 ６−−−−筆１反応帯域 ７−−−− 、’ｇ ２反応帯域への入口手段８−一一
一水素含有担体ガスの導入管 ９−−−− ｔ’ｌｌ素含有担体ガスの導入管１０−−
−一第１反応管 １ｌ−−−一外部加熱手段 １２−−−一点火装置 １３−−−一活性炎 １４−−−一第２反応管 １５−−−一第２反応帯域
Claims (2)
- （１）六フッ化ウランより乾式にてウラン酸化物を得る
方法において、 （ａ）六フッ化ウランもしくは六フッ化ウランと担体ガ
スの混合ガスと水蒸気とをそれぞれ、水蒸気のモル流量
／六フッ化ウランのモル流量＞２の割合で第１反応帯域
に導入し、該六フッ化ウランの加水分解反応によりＵＯ
＿２Ｆ＿２とする第１工程、（ｂ）第１工程で得られた
ＵＯ＿２Ｆ＿２に水素含有ガスを供給し、混合する第２
工程、および （ｃ）第２工程からのＵＯ＿２Ｆ＿２と水素含有ガスと
の混合物に酸素含有ガスを混入し、これを第２反応帯域
に導入して該水素含有ガスと該酸素含有ガスとの燃焼に
より生成した活性炎の存在下にて該ＵＯ＿２Ｆ＿２を酸
化ウランに富んだ組成物とする第３工程、の組合せより
なることを特徴とする六フッ化ウランよりウラン酸化物
を得る方法。 - （２）前記六フッ化ウランもしくは六フッ化ウランと担
体ガスとの混合ガスと水蒸気との吹き込みを二流体噴霧
ノズルを用いて行う特許請求の範囲（１）に記載の方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036663A JPS61197424A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 六フツ化ウランよりウラン酸化物を得る方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60036663A JPS61197424A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 六フツ化ウランよりウラン酸化物を得る方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61197424A true JPS61197424A (ja) | 1986-09-01 |
| JPH0225844B2 JPH0225844B2 (ja) | 1990-06-06 |
Family
ID=12476096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60036663A Granted JPS61197424A (ja) | 1985-02-27 | 1985-02-27 | 六フツ化ウランよりウラン酸化物を得る方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61197424A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01136094A (ja) * | 1987-10-20 | 1989-05-29 | British Nuclear Fuels Plc | セラミック核燃料ペレットの製造方法 |
| US4872040A (en) * | 1987-04-23 | 1989-10-03 | International Business Machines Corporation | Self-aligned heterojunction transistor |
-
1985
- 1985-02-27 JP JP60036663A patent/JPS61197424A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4872040A (en) * | 1987-04-23 | 1989-10-03 | International Business Machines Corporation | Self-aligned heterojunction transistor |
| JPH01136094A (ja) * | 1987-10-20 | 1989-05-29 | British Nuclear Fuels Plc | セラミック核燃料ペレットの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0225844B2 (ja) | 1990-06-06 |
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