JPS61190714A - 面内記録型磁気記録体 - Google Patents
面内記録型磁気記録体Info
- Publication number
- JPS61190714A JPS61190714A JP2946285A JP2946285A JPS61190714A JP S61190714 A JPS61190714 A JP S61190714A JP 2946285 A JP2946285 A JP 2946285A JP 2946285 A JP2946285 A JP 2946285A JP S61190714 A JPS61190714 A JP S61190714A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- recording body
- magnetic recording
- coercive force
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、面内記録型のハードディスク媒体等に利用さ
れる磁気記録体に関する。
れる磁気記録体に関する。
（従来の技術）
従来、金属薄膜型磁気記録体が高密度記録可能な媒体と
して注目され、実用化されはじめているが、この中で非
磁性基材面上にＣｒｌ！を形成した後、その表面にＣＯ
ｇＩをスパッタ法や蒸着法で形成して成る磁気記録体が
ある。該磁気記録体は、面内方向で高い保磁力を示し、
面内記録型のハードディスク媒体等に応用されつつある
。
して注目され、実用化されはじめているが、この中で非
磁性基材面上にＣｒｌ！を形成した後、その表面にＣＯ
ｇＩをスパッタ法や蒸着法で形成して成る磁気記録体が
ある。該磁気記録体は、面内方向で高い保磁力を示し、
面内記録型のハードディスク媒体等に応用されつつある
。
又、最近、前記の記録体の磁性膜であるＣｏ膜に代え、
Ｃｏ−Ｎｉ膜としたものが公知である。
Ｃｏ−Ｎｉ膜としたものが公知である。
（発明が解決しようとする問題点）
上記のように、非磁性基材面上に形成したＣｒ膜を介し
ＣＯ磁性膜を形成した磁性記録体は、そのＣ「膜の厚さ
を増大すると保磁力が増大するが、その保磁力が６００
〜８０００６程度のものを得るにはその膜厚を４０００
〜８０００人とする必要があり、スパッタ法や蒸着法を
用いて量産しようとすると、該Ｃｒの膜厚を４０００〜
８０００人と厚くする必要があるため、ターゲットの消
耗が大きく、又量産速度が比較的おそい等の問題がある
。従って、Ｏｒの膜厚を薄くしても６００〜８０００
ｅ Ｐｉ！度のものを得られること、換言すれば、４０
００〜８０００人で上記以上の保磁力をもつ磁気記録体
の製造が望まれる。１方、この磁性膜がＣｏ膜である磁
気記録体は、耐食性が悪い欠点がある。以上の問題を解
決するため該ＣＯ磁性膜に代え、Ｃｏ−Ｎ１ｖＩｉ性膜
とした磁気記録体は、保磁力が向上し且つ耐食性も向上
したものが得られる。即ち、そのＣｒ１ｌ厚が３０００
人で７０００８の保磁力が得られるが、この同じ保磁力
を得るため、更に肉薄のＣｒ膜厚とすることができれば
更に好ましく、又その磁性膜の耐食性も更に向上したも
のが得られれば更に好ましい。
ＣＯ磁性膜を形成した磁性記録体は、そのＣ「膜の厚さ
を増大すると保磁力が増大するが、その保磁力が６００
〜８０００６程度のものを得るにはその膜厚を４０００
〜８０００人とする必要があり、スパッタ法や蒸着法を
用いて量産しようとすると、該Ｃｒの膜厚を４０００〜
８０００人と厚くする必要があるため、ターゲットの消
耗が大きく、又量産速度が比較的おそい等の問題がある
。従って、Ｏｒの膜厚を薄くしても６００〜８０００
ｅ Ｐｉ！度のものを得られること、換言すれば、４０
００〜８０００人で上記以上の保磁力をもつ磁気記録体
の製造が望まれる。１方、この磁性膜がＣｏ膜である磁
気記録体は、耐食性が悪い欠点がある。以上の問題を解
決するため該ＣＯ磁性膜に代え、Ｃｏ−Ｎ１ｖＩｉ性膜
とした磁気記録体は、保磁力が向上し且つ耐食性も向上
したものが得られる。即ち、そのＣｒ１ｌ厚が３０００
人で７０００８の保磁力が得られるが、この同じ保磁力
を得るため、更に肉薄のＣｒ膜厚とすることができれば
更に好ましく、又その磁性膜の耐食性も更に向上したも
のが得られれば更に好ましい。
（問題点を解決するための手段）
本発明は、上記の要求を満足する磁気記録体を提供する
もので、非磁性基材面上にＣｒ膜を介して磁性膜ＪＩ＋
Ｉ！を形成して成る磁気記録体において、該磁性金属膜
は、Ｃ０ＸＴｉｙＮｉＺで表わされ且ツ０．４５≦ｘ＜
１．０．Ｏ＜ｙ≦ ０゜１０、ｘ＋ｙ＋ｚ−１の原
子％の組成比をもつことを特徴とする。
もので、非磁性基材面上にＣｒ膜を介して磁性膜ＪＩ＋
Ｉ！を形成して成る磁気記録体において、該磁性金属膜
は、Ｃ０ＸＴｉｙＮｉＺで表わされ且ツ０．４５≦ｘ＜
１．０．Ｏ＜ｙ≦ ０゜１０、ｘ＋ｙ＋ｚ−１の原
子％の組成比をもつことを特徴とする。
（実施例）
次に本発明の実施例につき説明する。
発明者は、磁性膜として、ＣＯ及びＣｏ−Ｎｉに夫々Ｔ
ｉの添加量ｍを変えてその各種の組成割合のＣｏ−Ｔｉ
磁性膜及びＣｏ−Ｔｉ−１磁性膜を、非磁性基材面に形
成したＣｒ膜面上に形成した磁気記録体を形成し、その
夫々につき保磁力と耐食性とを検討した。
ｉの添加量ｍを変えてその各種の組成割合のＣｏ−Ｔｉ
磁性膜及びＣｏ−Ｔｉ−１磁性膜を、非磁性基材面に形
成したＣｒ膜面上に形成した磁気記録体を形成し、その
夫々につき保磁力と耐食性とを検討した。
第１図及び第２図は、Ｃｒ膜厚を３０００人、Ｃｏ −
口又はＣｏ−■１−Ｎｉ１ｌ性膜の厚さ５００人の一定
とした磁気記録体の上記２元又は３元合金酸分の配合比
の変化と保磁力との関係を示す。
口又はＣｏ−■１−Ｎｉ１ｌ性膜の厚さ５００人の一定
とした磁気記録体の上記２元又は３元合金酸分の配合比
の変化と保磁力との関係を示す。
第１図のｃｏ−Ｔｉｌｌ性膜の曲線Ａ及びＣｏ−Ｔｉ−
Ｎｉ磁性膜の曲線Ｂに示すように、いづれの場合も、Ｔ
ｉの添加量が約１０ａｔ％まではＣＯ単独の磁性膜に比
し保磁力は増大することが分る。特に、Ｃｏ−Ｔｉ−旧
の３元合金の磁性膜ではその最高の保磁力は約Ｓａｔ％
の添加で８２００ ｅが得られ、この値は、仝図に対照
として示した従来公知の中でも最も高い保磁力を示すＣ
ｏｏ、 ７旧０，３磁性膜の最高の保磁カフ０００ ｅ
よりも高い優れたものが得られることが分る。又第１図
示のように、ＣＯ単独の磁性膜はその保磁力は４０（ｔ
ｏ ｅであるに対し、本発明によれば、第２図から明ら
かなように、保磁力が４０００ ｅより高い保磁力が得
られる本発明のＣｏ−Ｔｉ又はＣｏ−Ｔｉ−旧の磁性膜
の組成範囲は、ＣｏｘＴｉｙＮｉｚ 、但し０，４５≦
ｘく１．０、ｏ＜ｙ≦０．１０ 、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であ
る。
Ｎｉ磁性膜の曲線Ｂに示すように、いづれの場合も、Ｔ
ｉの添加量が約１０ａｔ％まではＣＯ単独の磁性膜に比
し保磁力は増大することが分る。特に、Ｃｏ−Ｔｉ−旧
の３元合金の磁性膜ではその最高の保磁力は約Ｓａｔ％
の添加で８２００ ｅが得られ、この値は、仝図に対照
として示した従来公知の中でも最も高い保磁力を示すＣ
ｏｏ、 ７旧０，３磁性膜の最高の保磁カフ０００ ｅ
よりも高い優れたものが得られることが分る。又第１図
示のように、ＣＯ単独の磁性膜はその保磁力は４０（ｔ
ｏ ｅであるに対し、本発明によれば、第２図から明ら
かなように、保磁力が４０００ ｅより高い保磁力が得
られる本発明のＣｏ−Ｔｉ又はＣｏ−Ｔｉ−旧の磁性膜
の組成範囲は、ＣｏｘＴｉｙＮｉｚ 、但し０，４５≦
ｘく１．０、ｏ＜ｙ≦０．１０ 、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１であ
る。
最も好ましい領域は、Ｃｏ０．６５ Ｔｉ０．０５ Ｎ
ｉ０．３０付近である。
ｉ０．３０付近である。
第３図は該ＣｏＯ，６５Ｔｉ０．０５ Ｎｉ０．３０１
ｉ性膜と対照としてＣｏ０．７ Ｎｉ０．３磁性膜と
Ｃｏ単独磁性膜の夫々につき、非磁性基材面に形成され
るＣｒ膜厚を変えた場合の保磁力との関係を検べた結果
を示す。
ｉ性膜と対照としてＣｏ０．７ Ｎｉ０．３磁性膜と
Ｃｏ単独磁性膜の夫々につき、非磁性基材面に形成され
るＣｒ膜厚を変えた場合の保磁力との関係を検べた結果
を示す。
この図から明らかなように、同じ保磁力、例えば７００
０ ｅを得るには、ＣＯ磁性膜の場合は、Ｃｒ膜厚を５
０００人、該Ｃｏ−Ｈ１Ｉｌ性膜の場合はＣｒ膜厚は、
３０００人を夫々必要とするに対し、本発明の該Ｃｏ−
Ｔｉ−Ｎｉ磁性膜の場合は、これを２０００人の肉薄で
足りることが分る。更に、本発明のＣ０−Ｔｉ−Ｎｉ磁
性膜は、Ｃｏ−１磁性膜及びＣｏ１１性膜に比し、Ｃｒ
膜の厚さの変化を問わず、どの点の厚さでも、保磁力の
向上したものが得られる。
０ ｅを得るには、ＣＯ磁性膜の場合は、Ｃｒ膜厚を５
０００人、該Ｃｏ−Ｈ１Ｉｌ性膜の場合はＣｒ膜厚は、
３０００人を夫々必要とするに対し、本発明の該Ｃｏ−
Ｔｉ−Ｎｉ磁性膜の場合は、これを２０００人の肉薄で
足りることが分る。更に、本発明のＣ０−Ｔｉ−Ｎｉ磁
性膜は、Ｃｏ−１磁性膜及びＣｏ１１性膜に比し、Ｃｒ
膜の厚さの変化を問わず、どの点の厚さでも、保磁力の
向上したものが得られる。
又、本発明のＣｏ−Ｔｉ−Ｎｉ磁性膜につき耐食性を、
Ｃｏ単独磁性膜、ＣＯ旧磁性膜と共に検ぺた結果を第４
図に示す。耐食性試験は、６０℃、９０％の恒温恒湿の
条件において、飽和磁化の減少で評価した。第４図から
明らかなように、本発明の磁性膜は、著しく耐食性が増
大していることが分る。
Ｃｏ単独磁性膜、ＣＯ旧磁性膜と共に検ぺた結果を第４
図に示す。耐食性試験は、６０℃、９０％の恒温恒湿の
条件において、飽和磁化の減少で評価した。第４図から
明らかなように、本発明の磁性膜は、著しく耐食性が増
大していることが分る。
本発明の磁性膜の製造において、その伯の元素を微ｍ添
加しても差支えない。又このように作成した磁性膜の上
面に耐摩耗性や耐食性の有機又は無機の任意の保護膜を
形成してもよい。
加しても差支えない。又このように作成した磁性膜の上
面に耐摩耗性や耐食性の有機又は無機の任意の保護膜を
形成してもよい。
本発明の磁気記録体のｙｊ造法は、その非磁性基材面上
のＣｒ膜は、スパッタ法や蒸着法などで形成し、そのＣ
ｒ膜の上面にＣｏ−Ｔｉ１ｉｉ膜又はＣ。
のＣｒ膜は、スパッタ法や蒸着法などで形成し、そのＣ
ｒ膜の上面にＣｏ−Ｔｉ１ｉｉ膜又はＣ。
−Ｔｉ−Ｎｉｌａ性膜を形成するにもスパッタ法や蒸着
法などで得られるが、Ｃｏ、旧、Ｔｉの蒸気圧が異なる
ので、スパッタ法が好ましく、製造容易である。Ｃｒ膜
の形成後磁性膜を形成するまでの時間は、できるだけ短
いことが好ましい。
法などで得られるが、Ｃｏ、旧、Ｔｉの蒸気圧が異なる
ので、スパッタ法が好ましく、製造容易である。Ｃｒ膜
の形成後磁性膜を形成するまでの時間は、できるだけ短
いことが好ましい。
ＤＣマグネトロンスパッタ法による本発明磁気記録体の
製造条件は例えば、次の通りである。
製造条件は例えば、次の通りである。
基板ニスライドガラス、基板温度：室温、到達真空度：
８ｘ１０’トール以下、スパッタ中のＡｒガス圧二
１×１０“２トール、磁性膜厚：５００人一定、Ｃｒ
膜析出速度： １０００人／ｍｎ、！ｉ性膜：５００人
／ ｍｎ 、ターゲット・基板間の距１ｌｉｌｌ：１０
０問、磁性膜のＣｏ、 Ｔｉ、 Ｎｉの組成の変化はＣ
ｏターゲット上にＴｉやＮｉのチップを配置してスパッ
タを行なった。生成磁性膜の組成分析は、蛍光Ｘ線法に
より行なって求めた。
８ｘ１０’トール以下、スパッタ中のＡｒガス圧二
１×１０“２トール、磁性膜厚：５００人一定、Ｃｒ
膜析出速度： １０００人／ｍｎ、！ｉ性膜：５００人
／ ｍｎ 、ターゲット・基板間の距１ｌｉｌｌ：１０
０問、磁性膜のＣｏ、 Ｔｉ、 Ｎｉの組成の変化はＣ
ｏターゲット上にＴｉやＮｉのチップを配置してスパッ
タを行なった。生成磁性膜の組成分析は、蛍光Ｘ線法に
より行なって求めた。
（発明の効果）
このように本発明によるときは、非磁性基材面上に、Ｃ
ｒ１ｌを形成したものの上面に磁性金属膜を形成して成
る磁気記録体の該磁性金属膜をＣｏｘＴｉｙＮｔｚから
成り且つこれらの成分の割合比を ０．４５ ≦ Ｘ
〈 １０、 Ｑ＜ｙ ≦ ０．１０ 、 Ｘ
＋ ｙ ＋Ｚ＝１としたので、その保磁力を著しく向
上できると共に従来のＣｏ磁性膜、Ｃｏ−１磁性膜の保
磁力と同じ保磁力をもつ磁気記録体を製造するには、そ
のＣｒ膜を著しく減少せしめることができるので、ター
ゲットの消耗ｍを減少できると共に生産性を向上し得ら
れ、又従来の上記磁気記録体に比し著しく耐食性の向上
した磁気記録体が得られる等の効果を有する。
ｒ１ｌを形成したものの上面に磁性金属膜を形成して成
る磁気記録体の該磁性金属膜をＣｏｘＴｉｙＮｔｚから
成り且つこれらの成分の割合比を ０．４５ ≦ Ｘ
〈 １０、 Ｑ＜ｙ ≦ ０．１０ 、 Ｘ
＋ ｙ ＋Ｚ＝１としたので、その保磁力を著しく向
上できると共に従来のＣｏ磁性膜、Ｃｏ−１磁性膜の保
磁力と同じ保磁力をもつ磁気記録体を製造するには、そ
のＣｒ膜を著しく減少せしめることができるので、ター
ゲットの消耗ｍを減少できると共に生産性を向上し得ら
れ、又従来の上記磁気記録体に比し著しく耐食性の向上
した磁気記録体が得られる等の効果を有する。
第１図は本発明実施例の磁性膜の成分組成と保磁力との
関係を示すグラフ、第２図は仝様の関係の三角図表、第
３図はＣｒ膜厚と保磁力との関係を示すグラフ、第４図
は磁性膜の成分組成変化と耐食性の関係を示すグラフで
ある。 外２名 イ兄石ｎ刀 （Ｏｅ）
関係を示すグラフ、第２図は仝様の関係の三角図表、第
３図はＣｒ膜厚と保磁力との関係を示すグラフ、第４図
は磁性膜の成分組成変化と耐食性の関係を示すグラフで
ある。 外２名 イ兄石ｎ刀 （Ｏｅ）
Claims (1)
- 非磁性基材面上にＣｒ膜を介して磁性金属膜を形成して
成る磁気記録体において、該磁性金属膜は、ＣｏｘＴｉ
ｙＮｉｚで表わされ且つ０．４５≦ｘ＜１．０、０＜ｙ
≦０．１０、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１の原子％の組成比をもつこ
とを特徴とする磁気記録体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2946285A JPS61190714A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 面内記録型磁気記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2946285A JPS61190714A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 面内記録型磁気記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61190714A true JPS61190714A (ja) | 1986-08-25 |
| JPH0323969B2 JPH0323969B2 (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=12276764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2946285A Granted JPS61190714A (ja) | 1985-02-19 | 1985-02-19 | 面内記録型磁気記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61190714A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361409A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55105302A (en) * | 1979-02-07 | 1980-08-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
-
1985
- 1985-02-19 JP JP2946285A patent/JPS61190714A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55105302A (en) * | 1979-02-07 | 1980-08-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6361409A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-17 | Hitachi Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH0833983B2 (ja) * | 1986-09-01 | 1996-03-29 | 株式会社日立製作所 | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0323969B2 (ja) | 1991-04-02 |
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