JPH01290118A - 磁気ディスク - Google Patents
磁気ディスクInfo
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- JPH01290118A JPH01290118A JP11914588A JP11914588A JPH01290118A JP H01290118 A JPH01290118 A JP H01290118A JP 11914588 A JP11914588 A JP 11914588A JP 11914588 A JP11914588 A JP 11914588A JP H01290118 A JPH01290118 A JP H01290118A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ディスク、更に詳しくは優れた、かつ安
定した結晶配向性をもつ磁気記録媒体膜を有する磁気デ
ィスクに関する。
定した結晶配向性をもつ磁気記録媒体膜を有する磁気デ
ィスクに関する。
フロッピーディスク、ハードディスク等のＮ気ディスク
を製造する際、ターゲットと基板の間にマスクを設ける
か、ターゲット径を小さくし、スパッタ法によりスパッ
タ粒子を斜めに基板に入射させる方法が知られている（
特開昭６２−８２５１６号、同６２−８２５１７号）。
を製造する際、ターゲットと基板の間にマスクを設ける
か、ターゲット径を小さくし、スパッタ法によりスパッ
タ粒子を斜めに基板に入射させる方法が知られている（
特開昭６２−８２５１６号、同６２−８２５１７号）。
このようにして、非磁性基板上に、第１層として、例え
ばＣｒ層、第２層として例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ層が
積層された磁気ディスクが製造される。
ばＣｒ層、第２層として例えばＣｏ、 Ｃｏ−Ｎｉ層が
積層された磁気ディスクが製造される。
しかしながら、このような磁気ディスク（第１層の非磁
性Ｃｒの膜厚は１０００〜６０００人、第２層の磁性Ｃ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉの膜厚は２５０〜５００人）は、
保磁力Ｈｃが１２０００ｅ程度、Ｈｃの周方向と径方向
の比（ｔｌｃ比）が１．２〜１．７ 、角型比Ｓが０．
８程度、保磁力角型比Ｓ９が０．８５、磁気異方性定数
が３〜６ Ｘ １０’ｅｒｇ ／ ｃｃ 、 Ｓ Ｎ比
が２８〜３２ｄＢであり、その静磁気特性及び電磁変換
特性が充分なものではない。
性Ｃｒの膜厚は１０００〜６０００人、第２層の磁性Ｃ
ｏもしくはＣｏ−Ｎｉの膜厚は２５０〜５００人）は、
保磁力Ｈｃが１２０００ｅ程度、Ｈｃの周方向と径方向
の比（ｔｌｃ比）が１．２〜１．７ 、角型比Ｓが０．
８程度、保磁力角型比Ｓ９が０．８５、磁気異方性定数
が３〜６ Ｘ １０’ｅｒｇ ／ ｃｃ 、 Ｓ Ｎ比
が２８〜３２ｄＢであり、その静磁気特性及び電磁変換
特性が充分なものではない。
本発明の目的は、このような事情に鑑み、静磁気特性及
び電磁変換特性が可及的に向上した磁気ディスクを提供
することにある。
び電磁変換特性が可及的に向上した磁気ディスクを提供
することにある。
本発明は、前記目的を達成するものとして、非磁性基板
上に、実質的にＣｒからなる第１層、およびＣｏ−Ｎｉ
系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜である第２層が形成さ
れてなる磁気ディスクにおいて、該第１層中に酸素を含
有せしめたことを特徴とするものである。
上に、実質的にＣｒからなる第１層、およびＣｏ−Ｎｉ
系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜である第２層が形成さ
れてなる磁気ディスクにおいて、該第１層中に酸素を含
有せしめたことを特徴とするものである。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
本発明の磁気ディスクにおいて、まず、非磁性基板とし
ては、ＡｌＮ１−Ｐ下地が施されたＡｌ、Ａｌ、Ｏ，、
耐熱性プラスチック、ガラスなどが使用できる。
ては、ＡｌＮ１−Ｐ下地が施されたＡｌ、Ａｌ、Ｏ，、
耐熱性プラスチック、ガラスなどが使用できる。
次に、この非磁性基板上に、第１Ｎとして形成されるＣ
ｒ層は、実質的にＣｒからなるものであり、Ｃｒ単味で
も、７ａ、 Ｗ、 Ｎｂ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｚｒ、
Ｍｏ、 Ｚｎなどの元素が添加されていてもよい。また
、このＣｒ層には、酸素が含有せしめられていることが
必要であり、その量は、好ましくは重量にて５００ｐｐ
ｍ −１０％である。５００ｐｐｍ未満では、第１層と
して形成されるＣｒ層の結晶配向性、ひいては第２層の
ＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層の結晶配向性を向上させると
いう酸素による作用が希薄で、本発明の目的を充分達成
し難く、一方、１０％を超えると、第１層のＣｒ層の表
面に酸化膜が生成し、第２層のＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ
層のエピタキシャル成長が不可能になり易くなるため、
磁気特性が急激に劣化する。
ｒ層は、実質的にＣｒからなるものであり、Ｃｒ単味で
も、７ａ、 Ｗ、 Ｎｂ、 Ｔｉ、 Ｖ、 Ｚｒ、
Ｍｏ、 Ｚｎなどの元素が添加されていてもよい。また
、このＣｒ層には、酸素が含有せしめられていることが
必要であり、その量は、好ましくは重量にて５００ｐｐ
ｍ −１０％である。５００ｐｐｍ未満では、第１層と
して形成されるＣｒ層の結晶配向性、ひいては第２層の
ＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ層の結晶配向性を向上させると
いう酸素による作用が希薄で、本発明の目的を充分達成
し難く、一方、１０％を超えると、第１層のＣｒ層の表
面に酸化膜が生成し、第２層のＣｏもしくはＣｏ−Ｎｉ
層のエピタキシャル成長が不可能になり易くなるため、
磁気特性が急激に劣化する。
更に、前記Ｃｒ層上に形成される第２層のＣｏ−Ｎｉ層
は、３０重量％以下のＮｉを含有するのが好ましい。３
０％を超えると、この層の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化する。
は、３０重量％以下のＮｉを含有するのが好ましい。３
０％を超えると、この層の残留磁化が大幅に低下し、電
磁変換特性が劣化する。
本発明の第１層、第２層の膜は、スパッタリング法、真
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
空蒸着法、イオンブレーティング法などにより形成する
ことができる。
以下、本発明の実施例を比較例、従来例と共に説明する
。
。
実施例１
厚さ１．５鶴の、Ｎ１−Ｐ下地が施されたＡＡ基板上に
、マグネトロンスパッタ装置を用いて、第１層として膜
厚３０００人のＣｒ単味層、第２層としてＮｉ２Ｏ重量
％、残部Ｃｏからなり、膜厚５００人の磁気記録媒体膜
を形成した。この際の成膜条件はいずれの試験において
も次の通りであった。
、マグネトロンスパッタ装置を用いて、第１層として膜
厚３０００人のＣｒ単味層、第２層としてＮｉ２Ｏ重量
％、残部Ｃｏからなり、膜厚５００人の磁気記録媒体膜
を形成した。この際の成膜条件はいずれの試験において
も次の通りであった。
第１表
注：酸素ガスは、バリアプルリークバルブを用いて導入
した。
した。
得られた磁気ディスクは切断し、各々、組成分析と磁気
特性の評価に供した。組成分析は、ＳＩＭＳ分析および
化学分析を併用し、また、磁気特性は、振動試料型磁力
計およびトルク計により測定した。
特性の評価に供した。組成分析は、ＳＩＭＳ分析および
化学分析を併用し、また、磁気特性は、振動試料型磁力
計およびトルク計により測定した。
得られた結果を第２表に示す。
実施例２
第１層を形成する際、Ｎｂを重量にて１．５％添加した
以外は、実施例１と同様にして磁気ディスクを得て、評
価に供した。また、添加したＮｂの組成分析はＥＰＭＡ
分析によった。
以外は、実施例１と同様にして磁気ディスクを得て、評
価に供した。また、添加したＮｂの組成分析はＥＰＭＡ
分析によった。
得られた結果を第３表に示す。
以上から明らかなように、本発明により、従来の、第１
層としての実質的なＣｒ層に実質的に酸素を含有せしめ
ない磁気ディスクに比較して、静磁気特性及び電磁変換
特性を著しく向上せしめることができる。また、本発明
は制御容易な酸素導入により製造することができるので
、良好な配向性のものを成膜ごとにバラクかせず、安定
して提供することができる。
層としての実質的なＣｒ層に実質的に酸素を含有せしめ
ない磁気ディスクに比較して、静磁気特性及び電磁変換
特性を著しく向上せしめることができる。また、本発明
は制御容易な酸素導入により製造することができるので
、良好な配向性のものを成膜ごとにバラクかせず、安定
して提供することができる。
特許出願人 住友金属鉱山株式会社
Claims (1)
- （１）非磁性基板上に、実質的にＣｒからなる第１層、
およびＣｏ−Ｎｉ系もしくはＣｏ系磁気記録媒体膜であ
る第２層が形成されてなる磁気ディスクにおいて、該第
１層中に酸素を含有せしめたことを特徴とする磁気ディ
スク。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11914588A JPH01290118A (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 磁気ディスク |
| EP19890305008 EP0342966A3 (en) | 1988-05-18 | 1989-05-17 | Magnetic disc |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11914588A JPH01290118A (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 磁気ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01290118A true JPH01290118A (ja) | 1989-11-22 |
Family
ID=14754033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11914588A Pending JPH01290118A (ja) | 1988-05-18 | 1988-05-18 | 磁気ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01290118A (ja) |
-
1988
- 1988-05-18 JP JP11914588A patent/JPH01290118A/ja active Pending
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